专利名称：薄膜形成装置以及薄膜形成方法
技术领域：
本发明涉及喷墨方式的薄膜形成装置以及薄膜形成方法。
背景技术：
喷墨方式是从作为涂敷头的利用了气泡或者压电元件的喷墨涂敷头每次少量且高精度地排出作为涂敷材料的墨液滴的方式。将通过该墨液滴的高精度的排出向作为涂敷对象的部件涂敷墨液滴的处理装置化了的装置是喷墨涂敷装置。近年，它作为能够实现墨的高精细的涂敷的装置受到瞩目，并不限于对纸的印刷，在所有的产业领域探求其应用可能性，也有已被实用化的装置。在涂敷头的下面前端以规定的间距设置多个喷嘴，根据该喷嘴的间距决定作为涂敷材料的液滴的排出间隔。由于该喷嘴的间距小，能够按照每个喷嘴个别地管理排出的有 无，所以，不需要柔性版印刷法那样的版型，能够进行平面内的自由形状的涂敷。另一方面，由于调整涂敷材料的粘度，以便能够进行从喷嘴排出液滴，所以，在排出后的基板上产生涂敷材料的润展。因此，一滴液滴和相邻的一滴液滴生成的面形状的稳定性成为问题，尤其是在面形状的最外周的线形状对制作物的品质有很大影响。例如，专利文献I是通过喷墨头将定向膜材料排出，使之附着在基板上的文献。在进行干燥固化形成定向膜的方法中，表示了向用于做成适合喷墨中的排出的粘度的定向膜材料添加的表面张力调整的溶剂、脱气溶剂。它是欲提高喷墨的排出动作和排出后的基板上的水平性的方法，是就干燥固化而言，作为另外的工序向下一个进行干燥的装置转移的方法(参见非专利文献I)。在先技术文献专利文献专利文献I :专利第3073493号公报非专利文献非专利文献I :岩井善弘·越石健司著《液晶· rop ·有机EL彻底比较》、初版、株式会社工业调查会、2004年7月、P50-58至此，在要求喷墨方式的涂敷中的高涂敷位置精度、膜厚的均匀性方面，主要着眼于作为目标的涂敷间隔和涂敷头的喷嘴间距的相对的位置关系。但是，在逐渐将喷墨方式的涂敷在各个领域灵活应用方面，在进行涂敷的时刻的动作的基础上，对从刚刚涂敷后到进行干燥并粘合在基板上为止怎样进行管理也是重要的。尤其是在应用在液晶玻璃基板的制造的事例中，随着基板大型化的进展，成为怎样的粘合状态变得极其重要。因此，希望通过喷墨方式来管理位置，进行涂敷，迅速进行干燥，以便能够保持被管理的位置。但是，在非专利文献I所示那样的以往的方法中，在一系列涂敷处理结束后，进行干燥处理。因此，在从涂敷处理开始到设定在干燥装置上，开始干燥处理为止的期间，没有进行干燥处理。因此，存在在到开始干燥处理为止的期间，涂敷在玻璃基板上的液滴运动或因液滴间的重叠而产生的水平在无意的状态下连锁性地产生的可能性。因此，本发明以提供一种能够进行高精度且均匀的涂敷的薄膜形成装置以及薄膜形成方法为课题。
发明内容
为了解决这样的课题，本发明是一种薄膜形成装置，所述薄膜形成装置具备吸附保持涂敷对象物的吸附工作台、一面从喷墨式喷嘴向被吸附保持在该吸附工作台上的上述涂敷对象物的表面排出涂敷材，一面进行薄膜形成的多个涂敷头、使该涂敷头在上述涂敷对象物的上方位置移动的龙门架，其特征在于，上述龙门架还具备将上述涂敷对象物的表面加热的热源装置。发明效果 根据本发明，能够提供一种能够进行高精度且均匀的涂敷的薄膜形成装置以及薄膜形成方法。
图I是表示有关本实施方式的薄膜形成装置的结构的立体图。图2是说明龙门架的背面侧的构造的结构示意图。图3是头恢复装置的放大图。图4是说明头恢复装置的动作的示意图。图5是说明控制部的功能的功能块图。图6是说明有关本实施方式的薄膜形成装置的薄膜形成方法的流程图。图7是说明外框涂敷工序的流程图。图8是说明内面涂敷工序的流程图。图9是说明有关本实施方式的薄膜形成装置的外框涂敷工序的示意图，Ca)表示去路时，(b)表示归路时。图10是说明有关变形例的薄膜形成装置的龙门架的构造的结构示意图。图11是说明有关变形例的薄膜形成装置的外框涂敷工序的示意图，(a)表示去路时，(b)表示归路时。
具体实施例方式下面，一面恰当地参照附图，一面详细地说明用于实施本发明的方式(下称“实施方式”)。另外，各图中，对共通的部分标注相同的符号，省略重复的说明。图I是表示有关本实施方式的薄膜形成装置I的结构的立体图。有关本实施方式的薄膜形成装置I有平板·面板·显示器、应用了电泳方式等的被称为柔性·显示器的柔韧地弯曲的电子纸等多种多样的用途。在下面的说明中，有关本实施方式的薄膜形成装置I作为相对于用于平板·面板·显示器的玻璃基板100形成(涂敷)聚酰亚胺的薄膜的装置来说明。另外，虽然在有关本实施方式的薄膜形成装置I中，形成(涂敷)在玻璃基板100上的聚酰亚胺的薄膜是通过进行正式干燥处理以及定向处理(研磨)而成为定向膜，但是，在本说明中，将正式干燥处理·定向处理前的薄膜也称为“定向膜”。薄膜形成装置I具备架台2、龙门架3、具有多个涂敷头4的涂敷头单元5、X轴移动机构6、Y轴移动机构7、Ζ轴移动机构8、对作为形成(涂敷)定向膜的对象的玻璃基板100进行真空吸附并进行固定的吸附工作台9、头恢复装置10、热源装置31、调准照相机32 (参见图2)、调准照相机移动机构33 (参见图2)、控制部50 (参见图5)。另外，在下面的说明中，如图I所示，将架台2的长度方向(龙门架3的移动方向)作为X轴，将架台2的宽度方向(在水平面上与X轴正交的方向)作为Y轴，将竖直方向作为Z轴，进行说明。另外，将龙门架3向X轴的正方向移动作为去路，将向X轴的负方向移动作为归路，进行说明。龙门架3是在与架台2之间具有开口 3a的门型龙门架，经X轴移动机构6被设置在架台2之上。在龙门架3的归路侧经Y轴移动机构7以及Z轴移动机构8设置具有多个涂敷头 4的涂敷头单元5。在龙门架3的去路侧设置热源装置31。另外，在龙门架3的去路侧经调准照相机移动机构33 (参见图2)设置调准照相机32 (参见图2)。X轴移动机构6是由设置在架台2上的定子(磁板)6a和设置在龙门架3上的动子(线圈)6b构成的线性马达执行器，能够相对于架台2使龙门架3在X轴方向移动。Y轴移动机构7是由设置在龙门架3上的定子(磁板)7a和设置在涂敷头单元5上的动子(线圈)7b构成的线性马达执行器，能够相对于龙门架3使涂敷头单元5在Y轴方向移动。Z轴移动机构8由伺服马达构成，能够相对于龙门架3使涂敷头单元5在Z轴方向移动。S卩、涂敷头单元5 (涂敷头4、后述的喷嘴4a)能够通过X轴移动机构6在X轴方向移动，通过Y轴移动机构7在Y轴方向移动，通过Z轴移动机构8在Z轴方向移动。另外，X轴移动机构6、Y轴移动机构7以及Z轴移动机构8由控制部50控制。设置具有多个涂敷头4的涂敷头单元5。为了确保将定向膜材料排出的喷嘴的间距的连续性，设置多个涂敷头4。在图I所示的例子中，图示了在涂敷头单元5上沿Y轴方向将四个涂敷头4配置成一列，该涂敷头4的列在X轴方向配置3列的情况。再有，相对于一个涂敷头4排出定向膜材料的喷嘴(未图示出)沿Y轴方向成一列配置多个，该喷嘴的列配置有多列(未图示出)。另外，涂敷头4是利用压电元件等从喷嘴高精度地排出少量的液滴的喷墨头。另外,控制部50能够按照每个涂敷头4的各喷嘴控制定向膜材料排出的有无、时间、排出的定向膜材料的量。图2是说明龙门架3的背面侧的构造的结构示意图。另外，在图2中，省略X轴移动机构6的动子6b、Y轴移动机构7、Z轴移动机构8来表示。如图2所示，被配置在龙门架3的去路侧(图I的背面侧)的热源装置31例如由红外线灯构成，能够向大致竖直方向照射红外线。即、在为龙门架3的归路时，能够相对于在龙门架3的开口 3a (参见图I)通过了的对象(玻璃基板100)照射红外线。另外，热源装置31由控制部50控制其点灯·灭灯。
另外，虽然有关本实施方式的薄膜形成装置I以将红外线灯作为热源装置31使用的装置进行了说明，但并不限定于此，可以是照射可视光线的可视光线灯(未图示出)，也可以是照射紫外线的紫外线灯(未图示出)，还可以是能够将涂敷在玻璃基板100上的定向膜材料加热的部件。顺带一句，在作为热源装置31使用紫外线灯(未图示出)的情况下，由于从将紫外线灯的电源接通到所照射的紫外线的强度稳定为止需要时间，所以，希望设置光闸(未图示出)，在对紫外线灯的点灯·灭灯进行控制的基础上，通过光闸的开闭对照射开始和照射停止进行控制。另外，作为热源装置31，也可以是将不含尘埃等的清洁的空气(干净空气)加热，向对象(玻璃基板100)吹拂的热风送风装置(未图示出)。通过将被加热的清洁的空气作为热媒质向对象吹拂，能够进一步将对象(玻璃基板100)加热。另外，也可以是将热风送风装置和红外线灯(可视光线灯、紫外线灯)组合的热源装置。调准照相机32是除用于与吸附在吸附工作台9上的玻璃基板100的定位用外，还 用于观察从涂敷头4排出，涂敷在玻璃基板100上的定向膜材料的照相机。调准照相机移动机构33能够相对于龙门架3使调准照相机32在Y轴方向移动。即、调准照相机32能够通过X轴移动机构6在X轴方向移动，通过调准照相机移动机构33在Y轴方向移动。另外，X轴移动机构6以及调准照相机移动机构33由控制部50控制。另外，由调准照相机32摄像的图像向控制部50传输，用于涂敷头4的位置校正。返回到图1，吸附工作台9能够真空吸附玻璃基板100并进行固定。另外，吸附工作台9具备由伺服马达构成的Θ旋转机构(未图示出)，能够以Z轴方向的轴为旋转轴旋转旋转角Θ。另外，吸附工作台9能够通过控制部50控制玻璃基板100的装拆以及旋转角Θ。接着，使用图3以及图4，进一步说明头恢复装置10。图3是头恢复装置10的放大图。头恢复装置10是从涂敷头4的喷嘴排出，防止喷嘴的孔堵塞且检测孔堵塞的恢复的装置。头恢复装置10具备吸入口 11、LED (Light Emitting Diode ;发光二极管)12、照相机13、使LED12在Y轴方向移动的LED移动机构12A、使照相机13在Y轴方向移动的照相机移动机构13A、电子天平14。在电子天平14，使定向膜材料从涂敷头4的喷嘴排出，调整各涂敷头4之间的每一次的排出量。吸入口 11与真空腔(未图示出)等连接，以在Z轴方向看位置与设置在涂敷头单元5上的多个涂敷头4对应的方式被配置。S卩、四个吸入口 11与图I所示的涂敷头单元5对应地沿Y轴方向配置成一列，该吸入口 11的列在X轴方向配置三列。LED12以位置与设置在涂敷头单元5上的沿Y轴方向配置成一列的涂敷头4对应的方式被配置。即、四个LED12与图I所示的涂敷头单元5对应地沿Y轴方向配置成一列。另外，LED12能够通过LED移动机构12A在Y轴方向移动。另外，LED12由控制部50控制其点灯·灭灯。照相机13以位置与被设置在涂敷头单元5上的沿Y轴方向配置成一列的涂敷头4对应的方式被配置。即、四个照相机13与图I所示的涂敷头单元5对应地沿Y轴方向配置成一列。另外，照相机13能够通过照相机移动机构13A在Y轴方向移动。另外，由照相机13摄像的图像向控制部50传输。图4是说明头恢复装置10的动作的示意图。另外，图4是在图I的X-Z平面看的示意图。另外，图I中，虽然在X轴方向配置多个涂敷头4以及吸入口 11，但是，与成为检查对象的喷嘴对应的涂敷头4以及吸入口 11以外的部件在该图4中省略了图示。首先，控制部50 (后述的头恢复控制部51)控制X轴移动机构6以及Y轴移动机构7，以与吸入口 11对应的方式使涂敷头4移动。另外，控制部50 (头恢复控制部51)控制LED移动机构12A以及照相机移动机构13A，使之以LED12以及照相机13的Y轴坐标与检查对象的喷嘴4a的Y轴坐标一致的方式移动。另外，照相机13具有X轴方向的移动机构(未图示出)，使摄像的焦点位置以与检查对象的喷嘴4a的X轴坐标一致的方式移动。
接着，控制部50 (头恢复控制部51)控制涂敷头4，进行从喷嘴4a排出定向膜材料的液滴4b的恢复运转。另外，被排出的定向膜材料的液滴4b进入吸入口 11。此时，控制部50 (头恢复控制部51)使LED12点灯，由照相机13进行摄像。被排出的定向膜材料的液滴4b在由照相机13摄像的图像中，作为影子被摄像。据此，能够检测喷嘴4a的孔堵塞的恢复。另外，虽然喷嘴4a的孔堵塞是通过排出定向膜材料的液滴4b来消除的，但是，在仅通过排出控制不能消除孔堵塞的情况下，也可以是控制部50 (头恢复控制部51)控制Z轴移动机构8 (参见图1)，使涂敷头4下降，以便与吸入口 11接触，进行吸引恢复。而且，控制部50 (头恢复控制部51)控制Z轴移动机构8 (参见图I )，返回规定的高度，从喷嘴4a排出定向膜材料的液滴4b，由照相机13进行摄像，对恢复进行确认。图5是说明控制部50的功能的功能块图。 控制部50能够控制X轴移动机构6、Y轴移动机构7、Z轴移动机构8、LED移动机构12A、照相机移动机构13A以及调准照相机移动机构33的移动位置。另外，控制部50能够在吸附工作台9控制玻璃基板100的装拆以及旋转角Θ。另外，控制部50能够控制LED12以及热源装置31的点灯·灭灯。另外，控制部50能够按照多个的涂敷头4的喷嘴的每一个，对定向膜材料的排出的有无、时刻进行控制。另外，由照相机13以及调准照相机32摄像的图像输入控制部50。控制部50具备头恢复控制部51、外框涂敷工序控制部52、内面涂敷工序控制部53。头恢复控制部51进行使涂敷头4的喷嘴恢复的控制。外框涂敷工序控制部52进行形成向玻璃基板100上涂敷的定向膜的外框的控制。内面涂敷工序控制部53进行向由外框涂敷工序控制部52形成的定向膜的外框的内部涂敷定向膜材料的控制。接着，使用图6至图8，说明有关本实施方式的薄膜形成装置I的薄膜形成方法。在步骤SI中，控制部50的头恢复控制部51确认能否从涂敷头4的喷嘴正常地滴下定向膜材料。另外，使用电子天平14，调整来自涂敷头4的喷嘴的定向膜材料的排出量。具体地说，头恢复控制部51控制X轴移动机构6以及Y轴移动机构7，以与吸入口11对应的方式使涂敷头4移动。另外，控制LED移动机构12A以及照相机移动机构13A，以LED12以及照相机13的Y轴坐标与检查对象的喷嘴的Y轴坐标一致的方式使之移动。而且，头恢复控制部51控制涂敷头4，从喷嘴排出定向膜材料，由照相机13对被排出的定向膜材料的液滴进行摄像并确认。另外，在喷嘴产生孔堵塞，未滴下的情况下，执行上述的吸引恢复。确认能够从涂敷头4的喷嘴正常地滴下后，进入步骤S2。在步骤S2中，控制部50控制吸附工作台9，由外部的基板装填机构(未图示出)吸附被配置在吸附工作台9上的玻璃基板100 (基板装载)。另外，控制部50控制X轴移动机构6以及调准照相机移动机构33，使调准照相机32移动，根据由调准照相机32摄像的图像确认被吸附在吸附工作台9上的玻璃基板100的位置。控制部50根据在这里被确认的玻璃基板100的位置信息,控制后述的涂敷头4的移动。 在步骤S3中，控制部50的外框涂敷工序控制部52在玻璃基板100上涂敷并形成定向膜的外框。这里，使用图7，进一步说明步骤S3所示的外框涂敷工序。首先，在步骤S31中，外框涂敷工序控制部52控制Y轴移动机构7，使Y轴的位置移动(涂敷头Y轴对位)，以便在后述的步骤S32中，涂敷头4在形成外框图案110 (参见图9 Ca 的区域通过。在步骤S32中，如图9 Ca)所示，外框涂敷工序控制部52控制X轴移动机构6，使龙门架3在去路方向移动，且控制涂敷头4，控制从涂敷头4的喷嘴滴下定向膜材料的液滴的时刻。据此，在玻璃基板100上涂敷定向膜的外框图案110。若龙门架3的去路方向的移动结束，则进入步骤S33。在步骤S33中，外框涂敷工序控制部52使作为热源装置31的红外线灯点灯(热源装置0N)。在步骤S34中，如图9 (b)所示，外框涂敷工序控制部52控制X轴移动机构6，使龙门架3在归路方向移动。这样，相对于在龙门架3的开口 3a (参见图I)通过了的玻璃基板100，照射红外线(加热区域)34。据此，使在步骤S32被涂敷在玻璃基板100上的定向膜的外框图案110干燥。若龙门架3的归路方向的移动结束，则进入步骤S35。在步骤S35中，外框涂敷工序控制部52使作为热源装置31的红外线灯灭灯(热源装置OFF)。在步骤S36中，外框涂敷工序控制部52判定规定的次数是否结束。在步骤S3所示的外框涂敷工序中，为使外框图案110达到规定的高度，多次反复外框图案110的涂敷和干燥，在规定的次数未结束的情况下(S36 · No)，外框涂敷工序控制部52的处理返回步骤S31。在规定的次数结束了的情况下(S36 · Yes)，结束图7所示的外框涂敷工序(步骤S3)，进入图6的步骤S4。返回图6，在步骤S4中，控制部50的内面涂敷工序控制部53向由在步骤S3形成的外框图案110 (参见图9)包围的内面涂敷定向膜材料。这里，使用图8，进一步说明步骤S4所示的内面涂敷工序。在步骤S41中，内面涂敷工序控制部53控制Y轴移动机构7，使Y轴的位置移动(涂敷头Y轴对位)，以便使涂敷头4配置在Y轴方向的初期位置。在步骤S42中，内面涂敷工序控制部53控制X轴移动机构6，使龙门架3移动，且控制涂敷头4，控制从喷嘴滴下定向膜材料的液滴的时刻(龙门架移动 涂敷)。另外，在S42中的龙门架3的移动与去路、归路无关。据此，向由在步骤S3形成的外框图案110 (参见图9)包围的内面涂敷定向膜材料。在步骤S43中，内面涂敷工序控制部53判定规定的涂敷次数(N次)是否结束。如后所述，由外框图案110包围的内面的涂敷是一面使涂敷头4移动喷嘴间距的I / N，一面进行N次涂敷。据此，向由外框图案110包围的内面滴下的液滴的间距为涂敷头4的喷嘴间距的I / N。据此，能够使膜厚均匀化。在规定的涂敷次数未结束的情况下(S43 · No)，进入步骤S44，内面涂敷工序控制 部52控制Y轴移动机构7，使涂敷头4移动I /N喷嘴间距。然后，返回步骤S42。在规定的涂敷次数结束了的情况下(S43 ·Yes)，结束图8所示的内面涂敷工序(步骤S4)，进入图6的步骤S5。在步骤S5中，控制部50控制吸附工作台9，解除被配置在吸附工作台9上的玻璃基板100的吸附。涂敷有定向膜的玻璃基板100由外部的基板装填机构(未图示出)从薄膜形成装置I取出(基板卸载)。另外，从薄膜形成装置I取出的玻璃基板100被送向进行正式干燥处理的干燥处理装置(未图示出)。这样，因为有关本实施方式的薄膜形成装置I使用喷墨方式，形成定向膜，所以，不需要以往的柔性版印刷法那样的版型，能够对应少量·多品种的定向膜形成(换言之，是少量·多品种的平板·面板·显示器的制造)。另外，有关本实施方式的薄膜形成装置I在将定向膜形成在玻璃基板100上时，形成定向膜的外框图案110，此后，在框内涂敷定向膜材料。这里，如图9所示，因为在形成定向膜的外框图案110时，由红外线灯等的热源装置31将被涂敷在玻璃基板100上的定向膜材料加热，所以，能够降低被涂敷的定向膜材料从玻璃基板100上的涂敷的位置扩展的情况。据此，能够降低从定向膜形成区域的溢出，有效地使用定向膜材料。另外，能够提高定向膜的边缘的直线性。据此，能够谋求平板 面板 显示器的非显示部面积的进一步的缩小化。另外，在进行多倒角的玻璃基板中，能够缩小相邻的定向膜图案间距，能够提高从一张玻璃基板获取的平板·面板·显示器的张数。接着，被涂敷在框内的定向膜材料由外框阻挡，不会进一步扩展。据此，能够降低从定向膜形成区域的溢出(润展)，有效地使用定向膜材料。另外，有关本实施方式的薄膜形成装置I与吸附工作台9相邻地设置头恢复装置10。据此，能够防止涂敷头4的孔堵塞，且将喷嘴恢复(清扫)，能够恰当地控制从涂敷头4的喷嘴滴下的定向膜材料的液滴的量和滴下的时刻。另外，通过由照相机13对从涂敷头4排出的定向膜材料进行摄像，能够确认是否无孔堵塞且正确地排出。另外，由于热源装置31的照射区域(图9 (b)所示的加热区域34)在玻璃基板100朝向龙门架3的下方，所以，不会助长涂敷头4的孔堵塞。<变形例>另外，有关本实施方式的薄膜形成装置并不限于上述实施方式的结构，在不脱离发明的主旨的范围内能够进行各种变更。图10是说明有关变形例的薄膜形成装置的龙门架3的构造的结构示意图。与有关本实施方式的龙门架3 (参见图2)相比，有关变形例的龙门架3 (参见图10)在龙门架3的归路侧(图I的正面侧)也具备热源装置35。热源装置35与热源装置31同样，例如由红外线灯构成，能够在大致竖直方向照射红外线。即、热源装置35在为龙门架3的去路时，能够相对于在龙门架3的开口 3a (参见图I)通过了的对象照射红外线。另外，热源装置35由控制部50控制其点灯·灭灯。
图11是说明有关变形例的薄膜形成装置的外框涂敷工序的示意图，(a)表示去路时，(b)表示归路时。如图11 (a)所示，在使龙门架3向去路方向移动时，控制涂敷头4，控制从涂敷头4的喷嘴滴下定向膜材料的液滴的时刻，且通过使热源装置35点灯，相对于玻璃基板100照射红外线(加热区域)36。另外，如图11 (b)所示，在使龙门架3在归路方向移动时，控制涂敷头4，控制从涂敷头4的喷嘴滴下定向膜材料的液滴的时刻，且通过使热源装置31点灯，相对于玻璃基板100照射红外线(加热区域)34。这样，根据有关变形例的薄膜形成装置，在去路时和归路时，都能够进行定向膜材料的滴下和干燥，能够缩短形成外框的节拍时间。另外，因为能够缩短从涂敷(定向膜材料的液滴的滴下)到干燥(红外线的照射)为止的时间，所以，外框的直线性进一步得到提高。另外，也可以是还具备对吸附在吸附工作台9 (参见图I)上的玻璃基板100进行加热的加热构件(未图示出)，通过在外框形成工序(步骤S3)将玻璃基板100加热，来促进被滴下的定向膜材料的液滴的干燥。符号说明I :薄膜形成装置；2 :架台；3 :龙门架；3a:开口 ；4 :涂敷头；4a:喷嘴；4b:定向膜材料的液滴；5 :涂敷头单元；6 X轴移动机构；6a :定子；6b :动子；7 Y轴移动机构；7a :定子；7b :动子；8 :Z轴移动机构；9 :吸附工作台；10 :头恢复装置；11 :吸入口(排出位置);12 LED (摄像装置)；12A LED移动机构(摄像装置)；13 :照相机(摄像装置)；13A :照相机移动机构(摄像装置);31 :热源装置；32 :调准照相机；33 :调准照相机移动机构；34 :红外线(加热区域)；35 :热源装置；36 :红外线(加热区域)；50 :控制单元；51 :头恢复控制部；52 :外框涂敷工序控制部；53 :内面涂敷工序控制部；100 :玻璃基板(涂敷对象物)；110 :外框图案。
权利要求
1.一种薄膜形成装置，所述薄膜形成装置具备吸附保持涂敷对象物的吸附工作台、 一面从喷墨式喷嘴向被吸附保持在该吸附工作台上的上述涂敷对象物的表面排出涂敷材，一面进行薄膜形成的多个涂敷头、 使该涂敷头在上述涂敷对象物的上方位置移动的龙门架，其特征在于， 上述龙门架还具备将上述涂敷对象物的表面加热的热源装置。
2.如权利要求I所述的薄膜形成装置，其特征在于， 在与上述涂敷对象物的表面不同的位置，还具备从上述涂敷头将涂敷材排出的排出位置。
3.如权利要求2所述的薄膜形成装置，其特征在于，在上述排出位置 还具备对从上述涂敷头的喷嘴排出的涂敷材进行摄像的摄像装置。
4.一种薄膜形成装置的薄膜形成方法，是具备 吸附保持涂敷对象物的吸附工作台、 一面从喷墨式喷嘴向被吸附保持在该吸附工作台上的上述涂敷对象物的表面排出涂敷材，一面进行薄膜形成的多个涂敷头、 使该涂敷头在上述涂敷对象物的上方位置移动的龙门架、 被配置在上述龙门架上，并将上述涂敷对象物的表面加热的热源装置的薄膜形成装置的薄膜形成方法，其特征在于，具有 从上述涂敷头的喷嘴向上述涂敷对象物的表面排出涂敷材，形成薄膜的外框的外框涂敷步骤、 由上述热源装置将上述涂敷对象物的表面加热的使涂敷材干燥的外框干燥步骤、从上述涂敷头的喷嘴向形成在上述涂敷对象物上的上述外框的框内部排出涂敷材,形成薄膜的薄膜涂敷步骤。
全文摘要
本发明提供一种能够进行高精度且均匀的涂敷的薄膜形成装置以及薄膜形成方法。本发明中，是具备吸附保持涂敷对象物(100)的吸附工作台(9)、一面从喷墨式喷嘴向被吸附保持在吸附工作台(9)上的涂敷对象物(100)的表面排出涂敷材，一面进行薄膜形成的多个涂敷头(4)、使涂敷头(4)在涂敷对象物(100)的上方位置移动的龙门架(3)的薄膜形成装置(1)，其中，龙门架(3)还具备将涂敷对象物(100)的表面加热的热源装置(31)。
文档编号C03C17/22GK102826762SQ20121018213
公开日2012年12月19日 申请日期2012年6月5日 优先权日2011年6月16日
发明者德安良纪, 山本英明, 渡濑直树, 松井淳一, 中村秀男 申请人:株式会社日立工业设备技术