晶棒的粘棒装置的制作方法

文档序号:1995385阅读:327来源:国知局
专利名称:晶棒的粘棒装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及ー种晶棒的粘棒装置。
背景技术
半导体照明产业技术发展的基石是衬底材料,目前能用于生产的衬底有蓝宝石Al2O3衬底、碳化硅SiC衬底以及Si衬底。随着以蓝宝石为衬底的高亮度LED的应用范围越来越广,白光LED进入家庭将逐步取代传统照明。LED发光材料GaN的外延生长对衬底的要求具有极强的方向性,不同方向的衬底外延生长的GaN薄膜结晶质量差异性较大,发光效率也各不相同,所以在LED衬底加工切割吋,必须选择合适的方向进行切割,尤其当几根晶棒同时切割时,必须设计合适的エ装将晶向存在偏差的晶棒调整到晶向一致进行切割, 不坚硬,因此切割出来的晶棒參差不齐。

实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种晶棒的粘棒装置本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种晶棒的粘棒装置,包括基座、挡板、定位螺丝、导轨、连接杆、千分表和滑块,所述的挡板固定在所述的基座上,所述的定位螺丝安装在所述的挡板上,所述导轨固定在所述的基座上,所述的滑块安装于在所述的导轨上,所述的千分表通过连接杆与所述的滑块连接;所述的基座为形变小的金属材质的长方体平台,所述的金属材质基座平台为铸铁或者不锈钢。本实用新型所述的挡板为形变小的铸铁或不锈钢。本实用新型的有益效果是,解决了背景技术中存在的缺陷,能保证多根晶棒在粘棒时按需要方向进行粘棒,在晶棒线切割后,能准确保证切割需要的晶片晶向。
以下结合附图
和实施例对本实用新型进ー步说明。图I是本实用新型的优选实施例的结构示意图;图中1、连接杆;2、滑块;3、导轨;4、千分表;5、基座;6、挡板;7、定位螺丝。
具体实施方式
现在结合附图和优选实施例对本实用新型作进ー步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。如图I所不的一种晶棒的一种粘棒エ装,包括基座5、挡板6、定位螺丝7、导轨3、连接杆I、千分表4和滑块2,两块挡板固定在基座上,基座为800mmX 300mmX 20mm的铸铁,挡板为800mmX 150mmX 20mm的不锈钢,两根处于基座同一平面且固定在基座上的导轨间距250mm,通过连接杆将千分表连接在导轨的滑块上。8颗定位螺丝垂直安装在挡板上,定位螺丝平行于基座。定位螺丝处于相同高度,带有刻度,最小刻度为I微米,为螺旋测微器制备。
以上说明书中描述的只是本实用新型的具体实施方式
,各种举例说明不对本实用新型的实质内容构成限制,所属技术领域的普通技术人员在阅读了说明书后可以对以前所述的具体实施方式
做修改或变形,而不背离实用新型的实质和范围。
权利要求1.一种晶棒的粘棒装置,其特征在于包括基座、挡板、定位螺丝、导轨、连接杆、千分表和滑块,所述的挡板固定在所述的基座上,所述的定位螺丝安装在所述的挡板上,所述导轨固定在所述的基座上,所述的滑块安装于在所述的导轨上,所述的千分表通过连接杆与所述的滑块连接;所述的基座为形变小的金属材质的长方体平台,所述的金属材质基座平台为铸铁或者不锈钢。
2.如权利要求I所述的晶棒的粘棒装置,其特征在于所述的挡板为形变小的铸铁或不锈钢。
专利摘要本实用新型涉及一种晶棒的粘棒装置,包括基座、挡板、定位螺丝、导轨、连接杆、千分表和滑块,所述的挡板固定在所述的基座上,所述的定位螺丝安装在所述的挡板上,所述导轨固定在所述的基座上,所述的滑块安装于在所述的导轨上,所述的千分表通过连接杆与所述的滑块连接;所述的基座为形变小的金属材质的长方体平台,所述的金属材质基座平台为铸铁或者不锈钢。本实用新型能保证多根晶棒在粘棒时按需要方向进行粘棒,在晶棒线切割后,能准确保证切割需要的晶片晶向。
文档编号B28D7/04GK202592575SQ201220141070
公开日2012年12月12日 申请日期2012年4月1日 优先权日2012年4月1日
发明者储耀卿, 石剑舫, 王善建, 石晓鑫, 朱文超 申请人:江苏鑫和泰光电科技有限公司
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