专利名称：一种用于湿法成型制备ito靶材生坯的脱模及转移装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于陶瓷成型技术领域，涉及一种适用于湿法成型生产ITO陶瓷靶材中生坯的用于湿法成型制备ITO靶材生坯的脱模及转移装置。
背景技术：
ITO靶材的成型方法分为模压成型和湿法成型两种。近年来，随着平板显示器尺寸的逐渐增大，要求ITO靶材向着大型化方向发展。模压法的技术门槛低，生产周期短，操作简单，但存在压机及模具成本高，特别是大尺寸成型时，生坯易产生密度不均匀、翘曲和裂纹等缺陷，增加了产品的报废率。湿法成型则能够很好的解决了这些问题，成为近年来的靶材成型工艺研究的重点。专利文献CN 101890752是关于涉及制备生坯和ITO靶材单面吸水的注浆成型用的模具及其使用方法；CN12229067A是关于使用过滤式成型模制备陶瓷烧结体的制造方法。这些专利都提到了湿法成型制备ITO坯体，但都没有提及脱模方法的技巧与装置。专利文献CN201841592提到了一种平面陶瓷靶材模压成型脱模装置，在与成型压机的配合使用下，省去了脱模时需要人工翻转模具的步骤。在湿法制备大尺寸靶材时，在外力作用下脱模时，由于外力施加不均匀，易造成生坯掉边、掉角、表面凹坑、微裂纹，甚至撕断等问题。
实用新型内容为了克服现有技术的上述缺点，本实用新型提供一种在脱模过程中，只有垂直向上的提升力，没有其他分力，保证了生坯与模具之间没有剪切应力产生，从而保证生坯的完好性，具有结构简单，操作方便，脱模效率高，良品率高特点的用于湿法成型制备ITO靶材生坯的脱模及转移装置。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种用于湿法成型制备ITO靶材生坯的脱模及转移装置，包括支撑底板，支撑底板下端通过双头螺栓与纵向排列的三组共九个柔性吸盘体内的连接柱相连，柔性吸盘体通过气管相互连通，气管经三通接头与真空发生器相连，支撑底板上端设有四个呈正方形四个顶角用于将整个支撑底板向上提起脱模的吊环。所述柔性吸盘体内设有柔性吸盘。所述连接柱与支撑底板的联结处设有弹簧减震装置。所述真空发生器设有连接压缩空气的进气管。本实用新型的有益效果是:能够在脱模过程中，实现生坯与模具之间没有剪切应力出现，从而保证生坯的安全与完整性，提高了坯体的质量，提高了脱模效率，同时还能降低模具的损伤，具有结构简单，操作方便，脱模效率高，良品率高的特点。
图1是本实用新型结构示意图。[0011]图中:1-支撑底板，2-柔性吸盘体，3-真空发生器，4-吊环，5-双头螺栓，6-三通接头，7-气管。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。参见图1，一种用于湿法成型制备ITO靶材生坯的脱模及转移装置，包括支撑底板1，支撑底板I下端通过双头螺栓5与纵向排列的三组共九个柔性吸盘体2内的连接柱相连，连接柱与支撑底板I的联结处设有弹簧减震装置，、柔性吸盘体2内设有柔性吸盘，柔性吸盘体2通过气管7相互连通，气管7经三通接头6与真空发生器3相连，所述真空发生器
3设有连接压缩空气的进气管7，支撑底板I上端设有四个呈正方形四个顶角用于将整个支撑底板I向上提起脱模的吊环4。操作时，先将本装置中真空发生器3的进气管7与压缩空气管7连接好，关闭压缩空气；靶材成型好后，将本实用新型装置移至生坯上方，并将本装置下移使柔性吸盘体2与成型后的生坯接触，打开压缩空气，在压缩空气的作用下，真空发生器3会产生负压，负压使得柔性吸盘体2与生坯牢固地吸附在一起，通过吊环4将成型后的生坯从模具中取出，并将生坯移至指定位置。
权利要求1.一种用于湿法成型制备ITO靶材生坯的脱模及转移装置，包括支撑底板，支撑底板下端通过双头螺栓与纵向排列的三组共九个柔性吸盘体内的连接柱相连，柔性吸盘体通过气管相互连通，气管经三通接头与真空发生器相连，支撑底板上端设有四个呈正方形四个顶角用于将整个支撑底板向上提起脱模的吊环。
2.如权利要求1所述用于湿法成型制备ITO靶材生坯的脱模及转移装置，其特征是:所述柔性吸盘体内设有柔性吸盘。
3.如权利要求1所述用于湿法成型制备ITO靶材生坯的脱模及转移装置，其特征是:所述连接柱与支撑底板的联结处设有弹簧减震装置。
4.如权利要求1所述用于湿法成型制备ITO靶材生坯的脱模及转移装置，其特征是:所述真空发生器设有连接压缩空气的进气管。
专利摘要本实用新型涉及一种用于湿法成型制备ITO靶材生坯的脱模及转移装置，包括支撑底板，支撑底板下端通过双头螺栓与纵向排列的三组共九个柔性吸盘体内的连接柱相连，柔性吸盘体通过气管相互连通，气管经三通接头与真空发生器相连，支撑底板上端设有四个呈正方形四个顶角用于将整个支撑底板向上提起脱模的吊环。具有结构简单，操作方便，脱模效率高，良品率高的特点。
文档编号B28B13/06GK203031747SQ20132000599
公开日2013年7月3日 申请日期2013年1月7日 优先权日2013年1月7日
发明者周贤界, 郑子涛, 曾令俊, 周理卿, 刘守聪, 邹智明 申请人:韶关西格玛技术有限公司