一种多线切割的制造方法

文档序号:1894307阅读:430来源:国知局
一种多线切割的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种多线切割机,属于半导体材料切割【技术领域】。本实用新型的技术方案是,工作台(2)和切割装置(4)设置在背板(1)上,切割装置(4)位于工作台(2)下方;切割装置(4)所包括的第一绕线辊(5)、第二绕线辊(6)、第三绕线辊(7)垂直于背板(1),并且形成倒三角形状,中间形成独立的空间(8);第一绕线辊(5)、第二绕线辊(6)、第三绕线辊(7)外侧缠有多圈切割线(10),第一绕线辊(5)与第二绕线辊(6)之间的多圈切割线(10)所构成的平面为切割面(12)。该多线切割机避免切割过程中砂粒和切割料粉末落入机器轴承,延长机器的使用寿命,并且能够避免砂粒附着在切割线上,使得切割流畅平滑,提高切割质量。
【专利说明】一种多线切割机
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及材料切割领域,特别是指一种多线切割机。
【背景技术】
[0002]多线切割机是用来切割半导体、硅片等硬脆材料的一种机器,它的原理是通过高速运动的钢线带动附着在切割线上的切割料对半导体等硬脆材料进行摩擦,从而达到切割效果。现有技术(参见图4) 一般是工作台2在切割装置的下方,多条钢线在绕在切割装置的绕线辊上,在两个绕线辊之间形成一张由多条钢线组成的切割面12,工作台2位于切割面12的下方,被切割工件9置于工作台2上,通过工作台2的上升下降实现工件的进给,可将被切割工件一次同时切割为数十片。切割线在切割物体,切割到一定程度时,钢线进入被切割工件体内会有大量切割形成的砂粒和切割料附着在切割线上被带出来,钢线上若带有砂粒,在走线过程中砂粒可能会进入轴承中损坏轴承等机械零件,也会对绕线棍及导轮造成极大的摩擦,影响寿命,并且钢线上砂粒的存在会引起振动影响走线的流畅性,钢线若不能流畅平滑的切割,直接影响切割质量,对产品有较大的影响。
实用新型内容
[0003]有鉴于此,本实用新型的目的在于提出一种多线切割机,能够减少切割碎粒给机器轴承带来的损坏,提高切割质量。
[0004]基于上述目的本实用新型提供的多线切割机,包括工作台、切割装置,所述工作台和所述切割装置设置于背板上,所述切割装置位于所述工作台的下方;所述切割装置包括第一绕线辊、第二绕线辊、第三绕线辊,所述第一绕线辊和所述第二绕线辊和所述第三绕线辊垂直于所述背板,并且形成倒三角形状,所述第一绕线辊与所述第二绕线辊与所述第三绕线辊中间形成的独立空间;所述切第一绕线辊、第二绕线辊、第三绕线辊外侧缠有多圈切割线,所述第一绕线辊与所述第二绕线辊之间的多圈切割线所构成的平面为切割面。
[0005]可选的,所述多线切割机的切割装置空间内设有收料装置。
[0006]可选的,所述多线切割机的收料装置开口向上,开口于所述切割面相对。
[0007]可选的,所述多线切割机的收料装置可与所述切割装置分离。
[0008]可选的,所述多线切割机的工作台的底面用于固定工件,所述底面与所述工件之间通过粘连方式固定。
[0009]可选的,所述多线切割机的底面与所述工件之间粘连固定所用胶为一种厌氧胶。
[0010]可选的,所述多线切割机的工作台能够上下移动,移动方向与背板平行;所述切割装置固定于背板上。
[0011]可选的,所述多线切割机的所述第三绕线辊为主绕线辊,直接与驱动装置相连;所述第一绕线辊、所述第二绕线辊为辅绕线辊,在运转时由切割线带动转动。
[0012]可选的,所述多线切割机的所述第一绕线辊、所述第二绕线辊、所述第三绕线辊表面设有多个用于缠绕切割线的凹槽。[0013]从上面所述可以看出,本实用新型提供的多线切割机,使用倒立式切割,把传统切割方式的绕线辊和工作台位置倒置,切割装置置于工作台下方,切割装置包括的第一绕线辊、第二绕线辊、第三绕线辊之间所形成的区域内设有收料装置。在对工件进行切割时,由于摩擦切割所产生的砂粒以及附着在切割线上被带出来的切割材料,在重力作用下,落入收料装置内。这样能避免切割时产生的细碎物体对多线切割机轴承的破坏,延长机器的使用寿命,并且能够避免砂粒附着在切割线上,使得切割流畅平滑,提高切割质量。
【专利附图】

【附图说明】
[0014]图1为本实用新型实施例多线切割机整体结构示意图;
[0015]图2为本实用新型实施例多线切割机整体结构正面示意图;
[0016]图3为本实用新型实施例多线切割机工作原理示意图;
[0017]图4为现有技术工作原理示意图。
【具体实施方式】
[0018]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白,以下结合具体实施例,并参照附图,对本实用新型进一步详细说明。
[0019]图1、图2示出了本实用新型多线切割机整体结构,包括工作台2、切割装置4,工作台2和切割装置4设置于背板I上,切割装置4位于工作台2的下方;所述切割装置4包括第一绕线辊5、第二绕线辊6、第三绕线辊7,第一绕线辊5、第二绕线辊6、第三绕线辊7垂直于背板I,形成倒三角形状,第一绕线辊5与第二绕线辊6与第三绕线辊7所中间形成的空间8 ;所述切第一绕线辊5、第二绕线辊6、第三绕线辊7外侧缠有多圈切割线10 (参见图3),第一绕线辊5与第二绕线辊6之间的多圈切割线10所构成的平面为切割面12 ;所述空间8内设有收料装置11 (参见图3)。
[0020]图3示出了本实用新型多线切割机的工作原理示意图,工作台底面3与切割面12相对,底面3用于固定工件9,第一绕线辊5、第二绕线辊6、第三绕线辊7通过转动带动多条切割线10,工作台2通过上下移动带动工件9,工件9与切割面12通过触碰摩擦,实现对工件9的切割。
[0021]参见图1、图2,图3,作为本实用新型多线切割机的一个实施例,工作台2可以向上或向下移动调节高度,工作台2的移动方向与背板I平行,工作台2的位置是通过伺服电机和丝杠进行控制调节,切割装置4固定在背板I上。
[0022]参见图3,作为本实用新型多线切割机的一个实施例,收料装置11置于空间8内部,开口向上,开口与切割面12相对。切割时产生的砂粒和掉下来的切割材料由于重力原因,落入收料装置11内。这样能避免切割时产生的细碎物体对多线切割机轴承的破坏,延长机器的使用寿命,并且能够避免砂粒附着在切割线上,使得切割流畅平滑,提高切割质量。
[0023]参见图3,作为本实用新型多线切割机的一个实施例,收料装置(11)可以与所述切割装置(4)分离。收料装置11在收集一定量的碎粒后,可以从空间8内卸下收料装置11,进行清理。
[0024]参见图3,作为本实用新型多线切割机的一个实施例,工作台底面3与工件9之间通过粘连方式固定。
[0025]参见图3,作为本实用新型多线切割机的一个实施例,底面与工件之间的通过一种厌氧胶粘连固定,厌氧胶不会破坏工件9,切割好的工件在切割完毕后,可以直接从工作台底面3取下,厌氧胶在每次使用后都需要更换。
[0026]参见图3,作为本实用新型多线切割机的一个实施例,第三绕线辊7为主绕线辊,直接与驱动装置相连,第三绕线辊7转动起来带动切割线10运转,切割线10通过运转同时带动第一绕线辊5和第二绕线辊6转动。第一绕线辊5、第二绕线辊6、第三绕线辊7,转动方向是一致的,通过转动带动切割线10。
[0027]第一绕线辊5、第二绕线辊6、第三绕线辊7的表面设有用于缠绕切割线10的凹槽,通过凹槽缠绕切割线使得切割线10与第一绕线辊5、第二绕线辊6、第三绕线辊7之间的切向相对位置固定,这样的设置使得在第一绕线辊5、第二绕线辊6、第三绕线辊7带动切割线转动时,切割线10不会在绕线辊上偏移。
[0028]所属领域的普通技术人员应当理解:以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已,并不用于限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种多线切割机,其特征在于包括工作台(2)、切割装置(4),所述工作台(2)和所述切割装置(4)设置于背板(I)上,所述切割装置(4)位于所述工作台(2)的下方; 所述切割装置(4)包括第一绕线辊(5)、第二绕线辊(6)、第三绕线辊(7),所述第一绕线辊(5)和所述第二绕线辊(6)和所述第三绕线辊(7)垂直于所述背板(I),并且形成倒三角形状,所述第一绕线辊(5)与所述第二绕线辊(6)与所述第三绕线辊(7)中间形成独立空间⑶; 所述第一绕线辊(5)、所述第二绕线辊(6)、所述第三绕线辊(7)外侧缠有多圈切割线(10),所述第一绕线辊(5)与所述第二绕线辊(6)之间的多圈切割线(10)所构成的平面为切割面(12)。
2.根据权利要求1所述的多线切割机,所述空间(8)内设有收料装置(11)。
3.根据权利要求2所述的多线切割机,其特征在于所述收料装置(11)开口向上,开口与所述切割面(12)相对。
4.根据权利要求2所述的多线切割机,其特征在于所述收料装置(11)能够与所述切割装置⑷分离。
5.根据权利要求1所述的多线切割机,其特征在于所述工作台(2)的底面(3)用于固定工件(9),所述底面(3)与所述工件(9)之间通过粘连方式固定。
6.根据权利要求4所述的多线切割机,其特征在于所述底面(3)与所述工件(9)之间粘连固定所用胶为一种厌氧胶。
7.根据权利要求1所述的多线切割机,其特征在于所述工作台(2)能够上下移动,移动方向与所述背板(I)平行;所述切割装置(4)与背板(I)相对位置保持固定。
8.根据权利要求1所述的多线切割机,其特征在于所述第三绕线辊(7)为主绕线辊,直接与驱动装置相连;所述第一绕线辊(5)和所述第二绕线辊(6)为辅绕线辊,在运转时由切割线(10)带动转动。
9.根据权利要求1所述的多线切割机,其特征在于所述第一绕线辊(5)、所述第二绕线辊(6)、所述第三绕线辊(7)表面设有多个用于缠绕切割线(10)的凹槽。
【文档编号】B28D5/04GK203579918SQ201320680355
【公开日】2014年5月7日 申请日期:2013年10月30日 优先权日:2013年10月30日
【发明者】章博 申请人:章博
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