一种用于单晶硅加工静音式防尘装置的制作方法

本实用新型涉及防尘装置技术领域，具体是一种用于单晶硅加工静音式防尘装置。

背景技术：
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单晶硅，硅的单晶体，具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，用于制造半导体器件、太阳能电池等，单晶硅可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造，其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域，在军事电子设备中也占有重要地位，单晶体硅后期加工需要防尘防静电，避免静电击穿，为了避免以上情况发生，在单晶硅加工中，对浮尘要求特别苛刻的刻腐防机设备，一般设置有防尘装置，防尘装置，是避免设备暴露在空气尘埃中，并给与一种相对无尘空间的一种装置。

但是，现有的防尘装置没有设置减震设备，导致设备工作时，带动防尘装置整体抖动，危害使用者安全，影响内部工作机器加工精度，没有设置防尘壳体内的隔音板，导致了在工件加工过程中，加工工件发出的噪音没有通过任何处理措施直接传导至外界，造成噪音污染，影响使用者的身心健康，降低其他工作人员的工作效率，没有设置恒温机，导致防尘箱体内部工件因温度差异导致工件塑性变形，影响加工质量，提高了生产成本，因此，本领域技术人员提供了一种用于单晶硅加工静音式防尘装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

技术实现要素：
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本实用新型的目的在于提供一种用于单晶硅加工静音式防尘装置，以解决上述背景技术中提出的没有设置减震设备，导致设备工作时，带动防尘装置整体抖动，危害使用者安全，影响内部工作机器加工精度，没有设置防尘壳体内的隔音板，导致了在工件加工过程中，加工工件发出的噪音没有通过任何处理措施直接传导至外界，造成噪音污染，影响使用者的身心健康，降低其他工作人员的工作效率，没有设置恒温机，导致防尘箱体内部工件因温度差异导致工件塑性变形，影响加工质量，提高了生产成本的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于单晶硅加工静音式防尘装置，包括防尘箱体，所述防尘箱体下端面安装有减震底座，所述减震底座的下端固定连接有橡胶垫块，所述防尘箱体右侧端面设置有控制盒，且防尘箱体的前端开口处安装有滑动键，所述防尘箱体的前端位于减震底座的上端位置处设置有挡板，所述挡板中间端面安装有可视窗，所述防尘箱体的内部设置有刻蚀机。

作为本实用新型进一步的方案：所述挡板通过滑动键与防尘箱体滑动连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述防尘箱体内侧表面涂有防尘涂料。

作为本实用新型再进一步的方案：所述防尘箱体板材内部设置有隔音板，且隔音板选用消音材料，所述滑动键分别安装在防尘箱体的上下两端，所述可视窗为双层透明钢化玻璃，所述挡板上下端面均开设有与滑动键相嵌的凹槽。

作为本实用新型再进一步的方案：所述橡胶垫块上端安装有下固定板，所述下固定板上端设置有减震弹簧，所述减震弹簧上端安装有上固定板，所述上固定板与防尘箱体底部通过螺栓固定连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述橡胶垫块材质为橡塑材料。

作为本实用新型再进一步的方案：所述控制盒内部设置有恒温器和鼓风机，所述鼓风机安装在控制盒内部下方，所述恒温器设置于鼓风机上方靠近控制盒内壁上侧位置处，所述恒温器和鼓风机左侧与防尘箱体内部连接处均设置有防尘网罩。

作为本实用新型再进一步的方案：所述防尘网罩与控制盒的内壁固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、设置了减震设备，使设备工作时，不会带动防尘装置整体抖动，保障了使用者安全，增加了内部工作机器加工精度。

2、设置了防尘壳体内的隔音板，使在工件加工过程中，加工工件发出的噪音通过箱体内部隔音设施进行缓冲，降低声音震动，达到静音的目标，从而使防尘装置外界安静无加工杂音，避免噪声影响使用者的身心健康，同时降低了噪声对其他工作人员造成的影响。

3、设置了恒温机，使防尘箱体内部工件因温度恒定，避免工件塑性变形，影响加工质量，降低了工件生产成本。

附图说明：

图1为一种用于单晶硅加工静音式防尘装置的结构示意图；

图2为一种用于单晶硅加工静音式防尘装置中箱体剖视图；

图3为一种用于单晶硅加工静音式防尘装置中电器盒内部的结构示意图；

图4为一种用于单晶硅加工静音式防尘装置中减震底座的结构示意图；

图5为一种用于单晶硅加工静音式防尘装置中挡板的结构示意图。

图中：1、防尘箱体；2、刻蚀机；3、控制盒；4、减震底座；5、滑动键；6、橡胶垫块；7、挡板；8、可视窗；9、隔音板；10、恒温器；11、防尘网罩；12、鼓风机；13、减震弹簧；14、上固定板；15、下固定板。

具体实施方式：

请参阅图1～5，本实用新型实施例中，一种用于单晶硅加工静音式防尘装置，包括防尘箱体1，防尘箱体1下端面安装有减震底座 4，减震底座4的下端固定连接有橡胶垫块6，防尘箱体1右侧端面设置有控制盒3，且防尘箱体1的前端开口处安装有滑动键5，防尘箱体1的前端位于减震底座4的上端位置处设置有挡板7，挡板7中间端面安装有可视窗8，防尘箱体1的内部设置有刻蚀机2。

在图1中：挡板7通过滑动键5与防尘箱体1滑动连接，为了方便防尘箱体1闭合。

在图1中：防尘箱体1内侧表面涂有防尘涂料，为了增强防尘箱体1内部防尘性。

在图2中：防尘箱体1板材内部设置有隔音板9，且隔音板9选用消音材料，滑动键5分别安装在防尘箱体1的上下两端，为了降低刻蚀机2在工作中产生的噪音。

在图4中：橡胶垫块6上端安装有下固定板15，下固定板15上端设置有减震弹簧13，减震弹簧13上端安装有上固定板14，上固定板14与防尘箱体1底部通过螺栓固定连接，为了加强防尘箱体1和减震底座4的连接。

在图4中：橡胶垫块6材质为橡塑材料，为了增加减震底座4与地面的静摩擦。

在图3中：控制盒3内部设置有恒温器10和鼓风机12，鼓风机 12安装在控制盒3内部下方，恒温器10设置于鼓风机12上方靠近控制盒3内壁上侧位置处，恒温器10和鼓风机12左侧与防尘箱体1 内部连接处均设置有防尘网罩11，为了控制密封后的防尘箱体内部的温度。

在图3中：防尘网罩11与控制盒3的内壁固定连接，为了增强防尘箱体1的密封性。

在图5中：可视窗8为双层透明钢化玻璃，挡板7上下端面均开设有与滑动键5相嵌的凹槽，且挡板7内部设置有隔音板9，为了增加防尘箱体1正面的隔音性

本实用新型的工作原理是：所述防尘箱体1和挡板7闭合后，防尘箱体1即处于相对密封的状态，鼓风机12将防尘箱体1内的浮尘抽走后，防尘箱体1内部就形成了相对无尘的空间，同时恒温器10 控制刻蚀机2加工时防尘箱体1内部的温度，从而保证加工过程中恒温，减少加工误差，降低废品率；减震底座4与防尘箱体1固定相连，减震底座4通过减震弹簧13组成的弹簧组，通过弹性减震模式减少由防尘箱体1产生的震动，并通过底部橡胶垫块6,将多余的应力分散到地面中，从而避免刻蚀机2加工工件时的震动，提高加工精度；减震底座4和挡板7内部均设置有隔音板9，通过降低声波震动的方式，阻碍声波传播，进而起到隔音效果，同时挡板7上的可视窗8设置有两层钢化玻璃，方便使用者观察内部设备工作状态，同时双层的钢化玻璃能有效的阻隔声音传播。

以上所述的，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。