一种晶圆切割设备运动平台导轨的降温装置的制作方法

1.本实用新型属于芯片生产的技术领域，具体为一种晶圆切割设备运动平台导轨的降温装置。


背景技术：

2.在加工晶圆时，需要将晶圆放置到吸盘上，进行切割加工，现有的晶圆切割设备在切割加工过程中，支撑平台会频繁往复的移动，从而导致了运动平台导轨产生热量，影响切割工作的效率，或是切割设备损坏。


技术实现要素：

3.针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供了一种晶圆切割设备运动平台导轨的降温装置，解决了现有晶圆切割设备在切割加工过程中，支撑平台频繁往复移动，导致运动平台导轨温度升高，从而影响切割工作效率，或是损坏切割设备的技术问题。
4.本实用新型采取的方案为：一种晶圆切割设备运动平台导轨的降温装置，包括支撑板，其特征在于，所述的支撑板上间隔固定连接有四组伸缩杆，四组所述的伸缩杆伸出端固定连接有支撑平台，所述的支撑平台上间隔设有两组纵向滑动轨道，两组所述的纵向滑动轨道上滑动连接有滑动连接板，所述的滑动连接板上固定连接有横向滑动轨道，所述的横向滑动轨道上滑动连接有支架，所述的支架上固定连接有晶圆吸盘，所述的支撑平台上设有用于对纵向滑动轨道散热的散热装置。
5.优选的，所述的散热装置包括支撑平台上间隔开设有与纵向滑动轨道对应的两组通风管道，所述的支撑平台上固定连接有与纵向滑动轨道配合的温度传感器，两组所述的通风管道内间隔设有与温度传感器配合的数组散热风扇，所述的支撑平台上端间隔开设有与通风管道对应的数组出风口，下端可拆卸连接有与通风管道对应的过滤网。
6.优选的，所述的伸缩杆为液压伸缩杆。
7.本实用新型的有益效果：将需要加工的晶圆放置到晶圆吸盘上，然后滑动连接板会在沿着纵向滑动轨道往复动作，在长时间工作下，纵向滑动轨道会产生热量，在支撑平台上固定连接有与纵向滑动轨道配合的温度传感器，如果检测到纵向滑动轨道的温度，若达到预设温度，可以通过控制器启动散热风扇，进行对纵向滑动轨道进行散热，当温度降低到预设温度，控制器控制散热风扇停转，不再进行散热，从而节省了能源，同时也起到了很好的散热效果。
附图说明
8.图1是本实用新型的立体图视角之一。
9.图2是本实用新型的立体剖图视角之一。
10.图3是图2的a局部放大图。
11.附图标记：1、支撑板；2、支撑平台；3、纵向滑动轨道；4、滑动连接板；5、横向滑动轨
道；6、支架；7、晶圆吸盘；8、通风管道；9、温度传感器；10、散热风扇；11、出风口；12、过滤网；13、液压伸缩杆。
具体实施方式
12.有关本实用新型的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考附图1-3实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。以下实施例中所提到的结构内容，均是以说明书附图为参考。
13.下面将参照附图描述本实用新型的各示例性的实施例。
14.实施例一，一种晶圆切割设备运动平台导轨的降温装置，包括支撑板1，其特征在于，所述的支撑板1上间隔固定连接有四组伸缩杆，四组所述的伸缩杆伸出端固定连接有支撑平台2，所述的支撑平台2上间隔设有两组纵向滑动轨道3，两组所述的纵向滑动轨道3上滑动连接有滑动连接板4，所述的滑动连接板4上固定连接有横向滑动轨道5，所述的横向滑动轨道5上滑动连接有支架6，所述的支架6上固定连接有晶圆吸盘7，所述的支撑平台2上设有用于对纵向滑动轨道3散热的散热装置。
15.实施例二，在实施例一的基础上，所述的散热装置包括支撑平台2上间隔开设有与纵向滑动轨道3对应的两组通风管道8，所述的支撑平台2上固定连接有与纵向滑动轨道3配合的温度传感器9，两组所述的通风管道8内间隔设有与温度传感器9配合的数组散热风扇10，所述的支撑平台2上端间隔开设有与通风管道8对应的数组出风口11，下端可拆卸连接有与通风管道8对应的过滤网12。
16.实施例三，在实施例二的基础上，所述的伸缩杆为液压伸缩杆13。
17.该实施例在使用的时候，将需要加工的晶圆放置到晶圆吸盘7上，然后滑动连接板4会在沿着纵向滑动轨道3往复动作，在长时间工作下，纵向滑动轨道3会产生热量，在支撑平台2上固定连接有与纵向滑动轨道3配合的温度传感器9，如果检测到纵向滑动轨道3的温度，若达到预设温度，可以通过控制器启动散热风扇10，进行对纵向滑动轨道3进行散热，当温度降低到预设温度，控制器控制散热风扇10停转，不在进行散热，节省了能源，同时也起到了很好的散热效果；通过液压伸缩杆13进行调整支撑板1与支撑平台2间的距离。
18.上面所述只是为了说明本实用新型，应该理解为本实用新型并不局限于以上实施例，符合本实用新型思想的各种变通形式均在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种晶圆切割设备运动平台导轨的降温装置，包括支撑板（1），其特征在于，所述的支撑板（1）上间隔固定连接有四组伸缩杆，四组所述的伸缩杆伸出端固定连接有支撑平台（2），所述的支撑平台（2）上间隔设有两组纵向滑动轨道（3），两组所述的纵向滑动轨道（3）上滑动连接有滑动连接板（4），所述的滑动连接板（4）上固定连接有横向滑动轨道（5），所述的横向滑动轨道（5）上滑动连接有支架（6），所述的支架（6）上固定连接有晶圆吸盘（7），所述的支撑平台（2）上设有用于对纵向滑动轨道（3）散热的散热装置。2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割设备运动平台导轨的降温装置，其特征在于，所述的散热装置包括支撑平台（2）上间隔开设有与纵向滑动轨道（3）对应的两组通风管道（8），所述的支撑平台（2）上固定连接有与纵向滑动轨道（3）配合的温度传感器（9），两组所述的通风管道（8）内间隔设有与温度传感器（9）配合的数组散热风扇（10），所述的支撑平台（2）上端间隔开设有与通风管道（8）对应的数组出风口（11），下端可拆卸连接有与通风管道（8）对应的过滤网（12）。3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割设备运动平台导轨的降温装置，其特征在于，所述的伸缩杆为液压伸缩杆（13）。

技术总结
本实用新型属于芯片生产的技术领域，具体为一种晶圆切割设备运动平台导轨的降温装置，一种晶圆切割设备运动平台导轨的降温装置，包括支撑板，其特征在于，所述的支撑板上间隔固定连接有四组伸缩杆，四组所述的伸缩杆伸出端固定连接有支撑平台，所述的支撑平台上间隔设有两组纵向滑动轨道，两组所述的纵向滑动轨道上滑动连接有滑动连接板，所述的滑动连接板上固定连接有横向滑动轨道，所述的横向滑动轨道上滑动连接有支架，所述的支架上固定连接有晶圆吸盘，所述的支撑平台上设有用于对纵向滑动轨道散热的散热装置。轨道散热的散热装置。轨道散热的散热装置。


技术研发人员：张燕 陈松涛 何在田
受保护的技术使用者：郑州轨道交通信息技术研究院
技术研发日：2022.05.31
技术公布日：2022/9/27