一种用于划片机的裂片平台的制作方法

本技术涉及划片机，具体为一种用于划片机的裂片平台。

背景技术：

1、划片机是包括砂轮划片机和激光划片机，砂轮划片机是综合了水气电、空气静压高速主轴、精密机械传动、传感器及自动化控制等技术的精密数控设备，主要用于硅集成电路，发光二极管，铌酸锂，压电陶瓷，砷化镓，蓝宝石，氧化铝，氧化铁，石英，玻璃，陶瓷，太阳能电池片等材料的划切加工，其中砂轮划片机国内也称为精密砂轮切割机，激光划片机是利用高能激光束照射在工件表面，使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。因激光是经专用光学系统聚焦后成为一个非常小的光点，能量密度高，因其加工是非接触式的，对工件本身无机械冲压力，工件不易变形，热影响极小，划精度高，广泛应用于太阳能电池板、薄金属片的切割和划片。

2、用于划片机的裂片平台，在使用的过程中由于需要对用于划片机的裂片平台上的晶圆体进行加工，且传统的用于划片机的裂片平台，再对上方的晶圆体加工时难以牢固的对其进行固定的问题，从而为用于划片机的裂片平台的使用带来了不便。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种用于划片机的裂片平台，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于划片机的裂片平台，包括支撑箱，所述支撑箱一侧的底部设置有移动机构，所述移动机构的一侧设置有定位机构，所述支撑箱的顶部固定连接有支撑台，所述支撑台的顶部固定连接有防护箱，所述防护箱的一侧设置有限位机构，所述限位机构的外部设置有过滤机构，所述支撑台的顶部固定连接有透气板，所述透气板的底部固定连接有抽气管，所述抽气管的底部固定连接有连接管，所述连接管的顶部固定连接有抽气机。

3、优选的，所述移动机构包括支撑杆，且支撑杆与支撑箱固定连接，所述支撑杆的底部转动连接有移动轮；通过移动机构下方的支撑杆和移动轮，可以更好的对用于划片机的裂片平台进行移动，避免了大部分的用于划片机的裂片平台难以移动的问题，从而为用于划片机的裂片平台的使用带来了便利。

4、优选的，定位机构包括固定块，所述固定块的内部螺纹连接有螺纹杆，所述固定块与连接支撑杆固定连接；通过定位机构的固定块和螺纹杆，可以更好的对用于划片机的裂片平台进行稳定，避免了用于划片机的裂片平台使用的过程中出现晃动的问题，从而使得用于划片机的裂片平台在使用的过程中更加稳定。

5、优选的，限位机构包括限位盒，且限位盒与防护箱固定连接，所述限位盒的内部滑动连接有限位杆，且限位杆与过滤机构滑动连接，所述限位杆的一侧固定连接有收缩弹簧；通过拉动限位杆带动收缩弹簧进行收缩，再由限位杆对过滤机构进行限位，可以更好的对过滤机构进行固定。

6、优选的，过滤机构包括过滤盒，且过滤盒与防护箱固定连接，所述过滤盒的内部固定安装有过滤网，所述过滤网的一侧固定连接有过滤棉；通过过滤机构上的过滤盒对过滤网和过滤棉进行固定，再由过滤网和过滤棉对进入的空气进行过滤，可以有效的避免了外部空气的杂质进入。

7、优选的，抽气管共为若干组，且每组共为两个；通过抽气机由连接管和抽气管进行抽气，可以更好的对于放置在裂片平台上的物品进行固定。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

9、1、通过透气板、抽气管、连接管和抽气机，可以更好的对用于划片机的裂片平台上的晶圆体进行固定，避免了大部分的用于划片机的裂片平台，难以对放置在上面需要加工的晶圆体进行固定的问题，从而为用于划片机的裂片平台的使用带来了不便。

技术特征：

1.一种用于划片机的裂片平台，包括支撑箱(1)，其特征在于：所述支撑箱(1)一侧的底部设置有移动机构(2)，所述移动机构(2)的一侧设置有定位机构(3)，所述支撑箱(1)的顶部固定连接有支撑台(4)，所述支撑台(4)的顶部固定连接有防护箱(5)，所述防护箱(5)的一侧设置有限位机构(6)，所述限位机构(6)的外部设置有过滤机构(7)，所述支撑台(4)的顶部固定连接有透气板(8)，所述透气板(8)的底部固定连接有抽气管(9)，所述抽气管(9)的底部固定连接有连接管(10)，所述连接管(10)的顶部固定连接有抽气机(11)。

2.根据权利要求1所述的一种用于划片机的裂片平台，其特征在于：所述移动机构(2)包括支撑杆(21)，且支撑杆(21)与支撑箱(1)固定连接，所述支撑杆(21)的底部转动连接有移动轮(22)。

3.根据权利要求1所述的一种用于划片机的裂片平台，其特征在于：所述定位机构(3)包括固定块(31)，所述固定块(31)的内部螺纹连接有螺纹杆(32)，所述固定块(31)与连接支撑杆(21)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于划片机的裂片平台，其特征在于：所述限位机构(6)包括限位盒(61)，且限位盒(61)与防护箱(5)固定连接，所述限位盒(61)的内部滑动连接有限位杆(62)，且限位杆(62)与过滤机构(7)滑动连接，所述限位杆(62)的一侧固定连接有收缩弹簧(63)。

5.根据权利要求1所述的一种用于划片机的裂片平台，其特征在于：所述过滤机构(7)包括过滤盒(71)，且过滤盒(71)与防护箱(5)固定连接，所述过滤盒(71)的内部固定安装有过滤网(72)，所述过滤网(72)的一侧固定连接有过滤棉(73)。

6.根据权利要求1所述的一种用于划片机的裂片平台，其特征在于：所述抽气管(9)共为若干组，且每组共为两个。

技术总结
本技术公开了一种用于划片机的裂片平台，包括支撑箱，所述支撑箱一侧的底部设置有移动机构，所述移动机构的一侧设置有定位机构，所述支撑箱的顶部固定连接有支撑台，所述支撑台的顶部固定连接有防护箱，所述防护箱的一侧设置有限位机构，所述限位机构的外部设置有过滤机构，所述支撑台的顶部固定连接有透气板，所述透气板的底部固定连接有抽气管，所述抽气管的底部固定连接有连接管。本技术安装有透气板、抽气管、连接管和抽气机，可以更好的对用于划片机的裂片平台上的晶圆体进行固定，避免了大部分的用于划片机的裂片平台，难以对放置在上面需要加工的晶圆体进行固定的问题，从而为用于划片机的裂片平台的使用带来了不便。

技术研发人员：陈启伟
受保护的技术使用者：上海烁璞新材料有限公司
技术研发日：20221205
技术公布日：2024/1/14