一种半导体厂房抗微震结构的制作方法

本申请涉及建筑结构的领域，尤其是涉及一种半导体厂房抗微震结构。

背景技术：

1、晶圆半导体是一种非常精密的材料，通常以纳米为单位计量空间。在生产过程中一旦出现震动，即使震动非常微小，也很有可能造成机台在运转时出现偏差，从而给晶圆半导体生产带来严重的影响，微震动也可能会造成光刻机曝光出现错误，从而影响该芯片的布局，造成短路或断路。

技术实现思路

1、为了减少厂房内的震动对半导体生产造成影响，本申请提供一种半导体厂房抗微震结构。

2、本申请提供的一种半导体厂房抗微震结构采用如下的技术方案：

3、一种半导体厂房抗微震结构，包括地基层以及设置于所述地基层上的结构架，所述地基层上设置有支撑板，所述支撑板靠近所述地基层的侧壁上设置有限位块，所述地基层上设置有用于与所述限位块配合的限位槽，所述支撑板与所述地基层之间设置有沙土层，所述支撑板上设置有用于支撑设备的支撑组件。

4、通过采用上述技术方案，由于结构架暴露在外部环境中，所以结构架受外部因素而发生震动的因素较多，在结构架收到外部因素影响时，结构架将震动传递给地基层，地基层由于用混凝土浇筑，所以地基层跟随结构架产生一定的震动，由于支撑板与地基层之间的沙土层，地基层产生的震动波在向支撑板传递过程中被阻拦，沙土层从而将振动波吸收；通过设置支撑板以及沙土层，将支撑设备的支撑板与厂房的结构架分离开来，即使在地基层收到结构架的震动影响时，沙土层对震动进行吸收，将支撑板受到的影响降到最低。

5、优选的，所述支撑组件包括支撑台，所述支撑台设置于所述支撑板上，所述支撑台靠近所述支撑板的侧壁上设置有伸缩杆，所述伸缩杆一端与所述支撑台固定连接，所述伸缩杆另一端与所述支撑板固定连接，所述伸缩杆内设置有第一缓冲弹簧，所述支撑台上设置有辅助支撑杆，所述辅助支撑杆一端与所述支撑台铰接，所述辅助支撑杆另一端与所述支撑板铰接。

6、通过采用上述技术方案，在厂房搭建完成后，操作人员将生产半导体的设备放置在支撑台上，通过伸缩杆以及第一缓冲弹簧的缓冲作用下，进一步减少支撑板以及地基层震动对设备带来的影响，辅助支撑杆用于提高支撑台的牢固性。

7、优选的，所述支撑台上设置有隔震组件，所述隔震组件包括底座以及隔震板，所述底座设置于所述支撑板上，所述隔震板穿入所述底座内，所述底座内开设有用于与所述隔震板滑移配合的第一滑槽，所述隔震板位于所述第一滑槽内的端部上设置有第二缓冲弹簧，所述第二缓冲弹簧远离所述隔震板的端部与所述第一滑槽内侧壁固定连接。

8、通过采用上述技术方案，在支撑台上的设备安装完成后，隔震板用于减少水平方向震动对支撑台造成的影响，在隔震板受到横向震动影响时，隔震板对第二缓冲弹簧进行挤压，由于横向震动被隔震板阻拦，所以支撑台受到的影响降到最低。

9、优选的，所述支撑板上设置有用于减少所述支撑台受人工影响的底板，所述底板靠近所述支撑板的侧壁上设置有支撑柱，所述支撑柱远离所述底板的端部与所述支撑板固定连接。

10、通过采用上述技术方案，当有人员在支撑板上移动或者移动设备时，会在支撑板形成一定的震动，设置底板之后，操作人员在底板上移动或者进行其他操作，通过支撑柱的隔离作用，底板产生的震动通过支撑柱传递到支撑板上的震动能够有效降低。

11、优选的，所述底板底部填充有沙土层。

12、通过采用上述技术方案，沙土层能够进一步降低底板上震动发生后对支撑板造成的影响，通过沙土层内沙子的互相摩擦来隔离震动的传递。

13、优选的，所述结构架上设置有用于支撑房顶的调节杆，所述调节杆上设置有用于吸收震动的摇摆杆，所述结构架上设置有用于检测震动频率以及位置的传感器，所述结构架上设置有用于调节所述调节杆位置的控制组件。

14、通过采用上述技术方案，在大风天气或者冰雹天时，厂房的结构架收到在风力或者冰雹的冲击时会产生一定的震动，传感器将震动发生的位置传递给控制组件，控制组件驱动调节杆移动与震动源直接接触，调节杆会吸收一定震动能量并传递给摇摆杆，同时形成更加稳固的结构，降低结构架受到的影响。

15、优选的，所述控制组件包括滑竿以及套筒，所述滑竿与所述结构架滑动连接，所述调节杆与所述滑竿固定连接，所述套筒滑动套设于所述滑竿上，所述结构架上设置有双头电机，所述双头电机输出端固定连接有第一丝杆，所述第一丝杆穿入穿设于所述结构架内，所述第一丝杆与所述结构架转动连接，所述套筒底设置有连接板，所述第一丝杆穿过所述连接板，所述第一丝杆与所述连接板螺纹配合，所述结构架上设置有用于驱动所述滑竿移动的驱动组件。

16、通过采用上述技术方案，双头电机驱动第一丝杆转动，第一丝杆转动使得连接杆移动，连接板移动使得套筒以及滑竿移动，同时驱动组件驱动滑竿移动，使得滑竿上调节杆始终保持与结构架的接触。

17、优选的，所述驱动组件包括直齿轮以及齿条，所述套筒上穿设有传动杆，所述传动杆与所述套筒滑移配合，所以传动杆与所述套筒转动连接，所述套筒内穿设有第二丝杆，所述第二丝杆穿入所述滑竿内，所述第二丝杆与所述滑竿螺纹配合，所述传动杆与第二丝杆通过万向节连接，所述直齿轮固定套设于所述传动杆上，所述齿条固定连接与所述结构架上，所述直齿轮与所述齿条相互啮合。

18、通过采用上述技术方案，在双头电机驱动第一丝杆转动使得滑竿以及套筒移动时，直齿轮同时移动，齿条使得移动的直齿轮转动，直齿轮转动使得传动杆转动，传动杆转动使得第二丝杆转动，第二丝杆转动使得滑竿在套筒内移动。

19、优选的，所述支撑台上设置有缓冲垫。

20、通过采用上述技术方案，缓冲垫可以减少设备运行时设备对支撑台造成的微震，防止多个设备同时运行时发生共振，同时缓冲垫能够进一步减少支撑板震动时对支撑台上设备的影响。

21、综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

22、1.通过设置支撑板以及沙土层，将支撑设备的支撑板与厂房的结构架分离开来，即使在地基层收到结构架的震动影响时，沙土层对震动进行吸收，将支撑板受到的影响降到最低；

23、2.通过设置底板以及支撑柱，当有人员在支撑板上移动或者移动设备时，会在支撑板形成一定的震动，设置底板之后，操作人员在底板上移动或者进行其他操作，通过支撑柱的隔离作用，底板产生的震动通过支撑柱传递到支撑板上的震动能够有效降低；

24、3.通过设置缓冲垫，缓冲垫可以减少设备运行时设备对支撑台造成的微震，防止多个设备同时运行时发生共振，同时缓冲垫能够进一步减少支撑板震动时对支撑台上设备的影响。

技术特征：

1.一种半导体厂房抗微震结构，包括地基层(1)以及设置于所述地基层(1)上的结构架(2)，其特征在于：所述地基层(1)上设置有支撑板(11)，所述支撑板(11)靠近所述地基层(1)的侧壁上设置有限位块(111)，所述地基层(1)上设置有用于与所述限位块(111)配合的限位槽(112)，所述支撑板(11)与所述地基层(1)之间设置有沙土层(3)，所述支撑板(11)上设置有用于支撑设备的支撑组件。

2.根据权利要求1所述的一种半导体厂房抗微震结构，其特征在于：所述支撑组件包括支撑台(12)，所述支撑台(12)设置于所述支撑板(11)上，所述支撑台(12)靠近所述支撑板(11)的侧壁上设置有伸缩杆(13)，所述伸缩杆(13)一端与所述支撑台(12)固定连接，所述伸缩杆(13)另一端与所述支撑板(11)固定连接，所述伸缩杆(13)内设置有第一缓冲弹簧(14)，所述支撑台(12)上设置有辅助支撑杆(15)，所述辅助支撑杆(15)一端与所述支撑台(12)铰接，所述辅助支撑杆(15)另一端与所述支撑板(11)铰接。

3.根据权利要求2所述的一种半导体厂房抗微震结构，其特征在于：所述支撑台(12)上设置有隔震组件(4)，所述隔震组件(4)包括底座(41)以及隔震板(42)，所述底座(41)设置于所述支撑板(11)上，所述隔震板(42)穿入所述底座(41)内，所述底座(41)内开设有用于与所述隔震板(42)滑移配合的第一滑槽(421)，所述隔震板(42)位于所述第一滑槽(421)内的端部上设置有第二缓冲弹簧(43)，所述第二缓冲弹簧(43)远离所述隔震板(42)的端部与所述第一滑槽(421)内侧壁固定连接。

4.根据权利要求2所述的一种半导体厂房抗微震结构，其特征在于：所述支撑板(11)上设置有用于减少所述支撑台(12)受人工影响的底板(44)，所述底板(44)靠近所述支撑板(11)的侧壁上设置有支撑柱(45)，所述支撑柱(45)远离所述底板(44)的端部与所述支撑板(11)固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种半导体厂房抗微震结构，其特征在于：所述底板(44)底部填充有沙土层(3)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体厂房抗微震结构，其特征在于：所述结构架(2)上设置有用于支撑房顶的调节杆(16)，所述结构架(2)上设置有用于检测震动频率以及位置的传感器，所述结构架(2)上设置有用于调节所述调节杆(16)位置的控制组件(5)。

7.根据权利要求6所述的一种半导体厂房抗微震结构，其特征在于：所述控制组件(5)包括滑竿(51)以及套筒(52)，所述滑竿(51)与所述结构架(2)滑动连接，所述调节杆(16)与所述滑竿(51)固定连接，所述套筒(52)滑动套设于所述滑竿(51)上，所述结构架(2)上设置有双头电机(53)，所述双头电机(53)输出端固定连接有第一丝杆(54)，所述第一丝杆(54)穿入穿设于所述结构架(2)内，所述第一丝杆(54)与所述结构架(2)转动连接，所述套筒(52)底设置有连接板(55)，所述第一丝杆(54)穿过所述连接板(55)，所述第一丝杆(54)与所述连接板(55)螺纹配合，所述结构架(2)上设置有用于驱动所述滑竿(51)移动的驱动组件。

8.根据权利要求7所述的一种半导体厂房抗微震结构，其特征在于：所述驱动组件包括直齿轮(56)以及齿条(57)，所述套筒(52)上穿设有传动杆(571)，所述传动杆(571)与所述套筒(52)滑移配合，所以传动杆(571)与所述套筒(52)转动连接，所述套筒(52)内穿设有第二丝杆(58)，所述第二丝杆(58)穿入所述滑竿(51)内，所述第二丝杆(58)与所述滑竿(51)螺纹配合，所述传动杆(571)与第二丝杆(58)通过万向节连接，所述直齿轮(56)固定套设于所述传动杆(571)上，所述齿条(57)固定连接与所述结构架(2)上，所述直齿轮(56)与所述齿条(57)相互啮合。

9.根据权利要求2所述的一种半导体厂房抗微震结构，其特征在于：所述支撑台(12)上设置有缓冲垫(121)。

技术总结
本申请公开了一种半导体厂房抗微震结构，属于建筑结构领域，其包括地基层以及设置于所述地基层上的结构架，所述地基层上设置有支撑板，所述支撑板靠近所述地基层的侧壁上设置有限位块，所述地基层上设置有用于与所述限位块配合的限位槽，所述支撑板与所述地基层之间设置有沙土层，所述支撑板上设置有用于支撑设备的支撑组件。本申请具有减少厂房内的震动对半导体生产造成影响的效果。

技术研发人员：王新河
受保护的技术使用者：中电环宇（北京）建设工程有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12