一种石英玻璃晶圆多线切割机的制作方法

本技术涉及切割工具领域，尤其涉及一种石英玻璃晶圆多线切割机。

背景技术：

1、石英玻璃因其良好的性能广泛应用于半导体集成电路产业，晶圆是半导体集成电路的核心，石英玻璃晶圆是通过光刻技术加工制作成的半导体集成电路产品，现有的石英玻璃晶圆为了加快其生产，多采用多线切割技术去加工生产。

2、现有的石英玻璃晶圆多线切割机大部分为两个固定的放线轮与收线轮，但不同的切割线可能因为材质的不同导致切割线所固定的松紧变化，过紧可能会使切割线崩断，过松可能会导致切割形状扭曲，不利于石英玻璃晶圆的标准化生产，所以需要调节好切割线的松紧度。

技术实现思路

1、为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种石英玻璃晶圆多线切割机，旨在改善石英玻璃晶圆多线切割机大部分为两个固定的放线轮与收线轮，但不同的切割线可能因为材质的不同导致切割线所固定的松紧变化的问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种石英玻璃晶圆多线切割机，包括箱体，所述箱体内部固定连接有电动机一，所述电动机一输出端固定连接有齿轮，所述箱体内部固定连接有固定块，所述固定块外侧壁固定连接有固定板，所述固定板内部滑动连接有滑板一，所述滑板一外侧壁设置有齿条一，所述固定板内部滑动连接有滑板二，所述滑板二外侧壁设置有齿条二，所述滑板一内部固定连接有电动机三，所述电动机三输出端固定连接有连接块，所述连接块外侧壁转动连接有主轴，所述主轴外侧壁固定连接有放线轮，所述滑板二内部固定连接有转动块，所述转动块内部转动连接有副轴，所述副轴外侧壁转动连接有收线轮，所述放线轮与收线轮之间设置有切割线。

3、作为上述技术方案的进一步描述：

4、所述箱体内部设置有对称滑板，所述对称滑板内部转动连接有转动杆，所述转动杆外侧壁固定连接有圆珠，所述对称滑板外侧壁设置有深槽，所述深槽内部设置有圆珠槽，所述转动杆内部设置有弹簧。

5、作为上述技术方案的进一步描述：

6、所述齿条一外侧壁啮合连接在齿轮一侧，所述齿条二外侧壁啮合连接在齿轮另一侧，所述放线轮外侧壁设置有线槽，所述收线轮外侧壁设置有线槽。

7、作为上述技术方案的进一步描述：

8、所述箱体内部固定连接有夹板组，所述夹板组之间固定连接有电动机二。

9、作为上述技术方案的进一步描述：

10、所述电动机二输出端转动连接有曲型板，所述夹板组外侧壁固定连接有滑槽板。

11、作为上述技术方案的进一步描述：

12、所述滑槽板内部滑动连接有滑板三，所述曲型板外壁设置有弧形滑槽。

13、作为上述技术方案的进一步描述：

14、所述滑板三外侧壁固定连接有立柱，所述立柱滑动连接在弧形滑槽内部。

15、作为上述技术方案的进一步描述：

16、所述箱体内部固定连接有电动推杆，所述电动推杆输出端固定连接有工作台，所述工作台顶部设置有置物槽，所述工作台顶部设置有卡槽，所述箱体外壁底部固定连接有防滑垫。

17、本实用新型具有如下有益效果：

18、1、本实用新型中，首先在对不同材质切割线的松紧进行调节时，首先通过转动杆开合对主轴副轴拆卸达到对两个轮子拆卸安装以便更换切割线的效果，再由齿轮驱动齿条从而推动滑板达到了控制收线轮与放线轮距离以控制切割线松紧的效果。

19、2、本实用新型中，在防止切割线切割过度损坏材料时，首先通过电动机控制曲型板转动使弧形槽通过立柱推动滑板滑出从而达到控制切割距离的效果，再由电动推杆推动工作台知道滑板卡入卡槽中从而使切割线只切割想要的深度。

技术特征：

1.一种石英玻璃晶圆多线切割机，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内部固定连接有电动机一(9)，所述电动机一(9)输出端固定连接有齿轮(26)，所述箱体(1)内部固定连接有固定块(13)，所述固定块(13)外侧壁固定连接有固定板(10)，所述固定板(10)内部滑动连接有滑板一(11)，所述滑板一(11)外侧壁设置有齿条一(24)，所述固定板(10)内部滑动连接有滑板二(14)，所述滑板二(14)外侧壁设置有齿条二(25)，所述滑板一(11)内部固定连接有电动机三(18)，所述电动机三(18)输出端固定连接有连接块(27)，所述连接块(27)外侧壁转动连接有主轴(28)，所述主轴(28)外侧壁固定连接有放线轮(2)，所述滑板二(14)内部固定连接有转动块(29)，所述转动块(29)内部转动连接有副轴(32)，所述副轴(32)外侧壁转动连接有收线轮(3)，所述放线轮(2)与收线轮(3)之间设置有切割线(4)。

2.根据权利要求1所述的一种石英玻璃晶圆多线切割机，其特征在于：所述箱体(1)内部设置有对称滑板(35)，所述对称滑板(35)内部转动连接有转动杆(30)，所述转动杆(30)外侧壁固定连接有圆珠(31)，所述对称滑板(35)外侧壁设置有深槽(34)，所述深槽(34)内部设置有圆珠槽(33)，所述转动杆(30)内部设置有弹簧(36)。

3.根据权利要求1所述的一种石英玻璃晶圆多线切割机，其特征在于：所述齿条一(24)外侧壁啮合连接在齿轮(26)一侧，所述齿条二(25)外侧壁啮合连接在齿轮(26)另一侧，所述放线轮(2)外侧壁设置有线槽(5)，所述收线轮(3)外侧壁设置有线槽(5)。

4.根据权利要求1所述的一种石英玻璃晶圆多线切割机，其特征在于：所述箱体(1)内部固定连接有夹板组(16)，所述夹板组(16)之间固定连接有电动机二(17)。

5.根据权利要求4所述的一种石英玻璃晶圆多线切割机，其特征在于：所述电动机二(17)输出端转动连接有曲型板(22)，所述夹板组(16)外侧壁固定连接有滑槽板(19)。

6.根据权利要求5所述的一种石英玻璃晶圆多线切割机，其特征在于：所述滑槽板(19)内部滑动连接有滑板三(20)，所述曲型板(22)外壁设置有弧形滑槽(23)。

7.根据权利要求6所述的一种石英玻璃晶圆多线切割机，其特征在于：所述滑板三(20)外侧壁固定连接有立柱(21)，所述立柱(21)滑动连接在弧形滑槽(23)内部。

8.根据权利要求1所述的一种石英玻璃晶圆多线切割机，其特征在于：所述箱体(1)内部固定连接有电动推杆(12)，所述电动推杆(12)输出端固定连接有工作台(6)，所述工作台(6)顶部设置有置物槽(7)，所述工作台(6)顶部设置有卡槽(15)，所述箱体(1)外壁底部固定连接有防滑垫(8)。

技术总结
本技术涉及切割工具领域，公开了一种石英玻璃晶圆多线切割机，包括箱体，所述箱体内部固定连接有电动机一，所述电动机一输出端固定连接有齿轮，所述箱体内部固定连接有固定块，所述固定块外侧壁固定连接有固定板，所述固定板内部滑动连接有滑板一，所述滑板一外侧壁设置有齿条一，所述固定板内部滑动连接有滑板二，所述滑板二外侧壁设置有齿条二，所述滑板一内部固定连接有电动机三。本技术中，在对不同材质切割线的松紧进行调节时，首先通过收线轮与放线轮的线槽达到对切割线固定防打滑的效果，再由齿轮驱动齿条从而推动滑板达到了控制收线轮与放线轮距离以控制切割线松紧的效果。

技术研发人员：刘刚
受保护的技术使用者：嘉兴德恩光学科技有限公司
技术研发日：20230822
技术公布日：2024/3/27