一种带有切屑液回收机构的半导体生产用数控钻床的制作方法

本发明涉及数控钻床，具体为一种带有切屑液回收机构的半导体生产用数控钻床。

背景技术：

1、数控钻床是一种高精度、高效率的数控机床，它可以自动化地进行钻孔、铰孔、攻丝等加工操作，它采用计算机控制系统，通过预先编程和自动化操作，能够精确地进行多种加工任务，在半导体生产中，由于硅片等材料的硬度较高，且对加工精度和质量有很高的要求，因此需要使用数控钻床来加工这些材料，此外，印制电路板(pcb)制造技术是电子信息制造业的重要基础和组成部分，而数控钻床则是印制电路板精密孔位加工关键的工艺装备。

2、在半导体生产中，切屑液在数控钻床的应用起着重要的作用，首先，它具有很好的冷却和润滑作用，可以降低半导体晶圆的表面损伤和机械应力，有助于减少硅片在钻孔加工过程中发生脆性崩裂或划痕的问题，其次，切屑液还具有较好的防腐防锈性能，可以减少数控钻床设备发生锈腐蚀的问题，从而大大提高了数控钻床的使用寿命。

3、在半导体元件的钻孔加工过程中，数控钻床会使用大量的切削液，然而，目前许多数控钻床在处理使用过的切削液时，常常直接将其排放，导致了切削液的大量浪费，这不仅对环境造成了污染，同时也增加了企业的运营成本，故而我们提出了一种带有切屑液回收机构的半导体生产用数控钻床。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本发明提供了一种带有切屑液回收机构的半导体生产用数控钻床，具备对使用过的切削液，集中回收和处理的优点，解决了在半导体元件的钻孔加工过程中，数控钻床会使用大量的切削液，然而，目前许多数控钻床在处理使用过的切削液时，常常直接将其排放，导致了切削液的大量浪费，这不仅对环境造成了污染，同时也增加了企业的运营成本的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述对使用过的切削液，集中回收和处理的目的，本发明提供如下技术方案：一种带有切屑液回收机构的半导体生产用数控钻床，包括工作台，所述工作台的顶部固定安装有防护外罩，所述防护外罩的内部设置有钻孔结构，所述工作台的底部固定安装有设备箱，所述设备箱的内部设置有切屑液回收结构；

5、所述切屑液回收结构包括集液罩、处理箱、混合杆、伺服电机、有机合成高分子絮凝剂盒、过滤罐、过滤滤芯、输送泵和储液箱，所述工作台的内部固定安装有集液罩，所述设备箱的内部固定安装有处理箱，所述处理箱的内部转动连接有数量为两个的混合杆，所述处理箱的右侧固定安装有伺服电机，所述处理箱的顶部固定安装有有机合成高分子絮凝剂盒，所述设备箱的内部固定安装有过滤罐，所述过滤罐的内部设置有过滤滤芯，所述过滤罐的顶部固定安装有输送泵，所述设备箱的内部固定安装有储液箱。

6、优选的，所述钻孔结构包括电动滑轨、驱动气缸、驱动电机、钻头、半导体元件固定座、双向螺纹杆、半导体元件限位夹板和切屑液喷管，所述防护外罩的内壁固定安装有电动滑轨，所述电动滑轨的外部滑动连接有驱动气缸，所述驱动气缸的底部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定安装有钻头，所述工作台的顶部固定安装有数量为两个的半导体元件固定座，两个所述半导体元件固定座的内部均转动连接有双向螺纹杆，两个所述半导体元件固定座的顶部均滑动连接有数量为两个的半导体元件限位夹板，所述工作台的顶部固定安装有数量为两个的切屑液喷管。

7、优选的，所述工作台的顶部正中心位置设置有矩形引流槽，所述集液罩固定安装于矩形引流槽的底部，且与矩形引流槽连通，所述矩形引流槽的内部安装有防护网，且防护网位于集液罩的顶部，所述集液罩通过其底部固定安装的第一连接管与处理箱连通。

8、优选的，两个所述混合杆的右侧均贯穿处理箱的内右壁，且均固定安装有传动轮，两个所述传动轮之间通过传动带传动连接，所述伺服电机的输出轴与其中一个传动轮固定连接，所述有机合成高分子絮凝剂盒通过右侧固定安装的注料管与处理箱连通，且注料管的内部设置有第一控制阀门。

9、优选的，所述处理箱与过滤罐之间通过第二连接管相连接，所述第二连接管的内部设置有第二控制阀门，所述过滤滤芯包括金属网过滤圈、纤维素过滤圈以及玻璃纤维过滤圈，所述金属网过滤圈的外部固定安装有纤维素过滤圈，所述纤维素过滤圈的外部固定安装有玻璃纤维过滤圈。

10、优选的，所述输送泵的顶部固定安装有与过滤罐相连通的第一输送管，所述输送泵的右侧固定安装有与储液箱相连通的第二输送管。

11、优选的，所述储液箱的左侧固定安装有与第一输送管相连接的第三输送管，且第一输送管与第三输送管的连接处设置有第一电动三通阀门，两个所述切屑液喷管的底部均固定安装有与第二输送管相连接的第四输送管，且第二输送管与第四输送管的连接处设置有第二电动三通阀门。

12、优选的，所述集液罩位于两个半导体元件固定座之间，两个所述切屑液喷管分别位于两个半导体元件固定座靠近防护外罩内左壁和内右壁的一侧，四个所述半导体元件限位夹板分别与两个双向螺纹杆螺纹连接。

13、(三)有益效果

14、与现有技术相比，本发明提供了一种带有切屑液回收机构的半导体生产用数控钻床，具备以下有益效果：

15、该带有切屑液回收机构的半导体生产用数控钻床，通过设置的切屑液回收结构，使用后的切削液经由集液罩进入处理箱，此时通过有机合成高分子絮凝剂盒向处理箱中投入有机合成高分子絮凝剂，并且在由伺服电机驱动的混合杆的混合作用下，有机合成高分子絮凝剂快速与切屑液发生反应，使得切屑液中的碎屑和微颗粒能够凝絮成团，增加体积，然后通过过滤罐内部的过滤滤芯对切屑液进行过滤，过滤后的切屑液在输送泵的作用下，进入储液箱中暂时存储，或者通过切屑液喷管重新喷出，实现了对使用过的切削液，集中回收和处理的目的，从而避免了切削液的大量浪费。

技术特征：

1.一种带有切屑液回收机构的半导体生产用数控钻床，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的顶部固定安装有防护外罩(2)，所述防护外罩(2)的内部设置有钻孔结构(3)，所述工作台(1)的底部固定安装有设备箱(4)，所述设备箱(4)的内部设置有切屑液回收结构(5)；

2.根据权利要求1所述的一种带有切屑液回收机构的半导体生产用数控钻床，其特征在于：所述钻孔结构(3)包括电动滑轨(301)、驱动气缸(302)、驱动电机(303)、钻头(304)、半导体元件固定座(305)、双向螺纹杆(306)、半导体元件限位夹板(307)和切屑液喷管(308)，所述防护外罩(2)的内壁固定安装有电动滑轨(301)，所述电动滑轨(301)的外部滑动连接有驱动气缸(302)，所述驱动气缸(302)的底部固定安装有驱动电机(303)，所述驱动电机(303)的输出端固定安装有钻头(304)，所述工作台(1)的顶部固定安装有数量为两个的半导体元件固定座(305)，两个所述半导体元件固定座(305)的内部均转动连接有双向螺纹杆(306)，两个所述半导体元件固定座(305)的顶部均滑动连接有数量为两个的半导体元件限位夹板(307)，所述工作台(1)的顶部固定安装有数量为两个的切屑液喷管(308)。

3.根据权利要求1所述的一种带有切屑液回收机构的半导体生产用数控钻床，其特征在于：所述工作台(1)的顶部正中心位置设置有矩形引流槽，所述集液罩(501)固定安装于矩形引流槽的底部，且与矩形引流槽连通，所述矩形引流槽的内部安装有防护网，且防护网位于集液罩(501)的顶部，所述集液罩(501)通过其底部固定安装的第一连接管与处理箱(502)连通。

4.根据权利要求1所述的一种带有切屑液回收机构的半导体生产用数控钻床，其特征在于：两个所述混合杆(503)的右侧均贯穿处理箱(502)的内右壁，且均固定安装有传动轮，两个所述传动轮之间通过传动带传动连接，所述伺服电机(504)的输出轴与其中一个传动轮固定连接，所述有机合成高分子絮凝剂盒(505)通过右侧固定安装的注料管与处理箱(502)连通，且注料管的内部设置有第一控制阀门。

5.根据权利要求1所述的一种带有切屑液回收机构的半导体生产用数控钻床，其特征在于：所述处理箱(502)与过滤罐(506)之间通过第二连接管相连接，所述第二连接管的内部设置有第二控制阀门，所述过滤滤芯(507)包括金属网过滤圈(5071)、纤维素过滤圈(5072)以及玻璃纤维过滤圈(5073)，所述金属网过滤圈(5071)的外部固定安装有纤维素过滤圈(5072)，所述纤维素过滤圈(5072)的外部固定安装有玻璃纤维过滤圈(5073)。

6.根据权利要求1所述的一种带有切屑液回收机构的半导体生产用数控钻床，其特征在于：所述输送泵(508)的顶部固定安装有与过滤罐(506)相连通的第一输送管，所述输送泵(508)的右侧固定安装有与储液箱(509)相连通的第二输送管。

7.根据权利要求2所述的一种带有切屑液回收机构的半导体生产用数控钻床，其特征在于：所述储液箱(509)的左侧固定安装有与第一输送管相连接的第三输送管，且第一输送管与第三输送管的连接处设置有第一电动三通阀门，两个所述切屑液喷管(308)的底部均固定安装有与第二输送管相连接的第四输送管，且第二输送管与第四输送管的连接处设置有第二电动三通阀门。

8.根据权利要求2所述的一种带有切屑液回收机构的半导体生产用数控钻床，其特征在于：所述集液罩(501)位于两个半导体元件固定座(305)之间，两个所述切屑液喷管(308)分别位于两个半导体元件固定座(305)靠近防护外罩(2)内左壁和内右壁的一侧，四个所述半导体元件限位夹板(307)分别与两个双向螺纹杆(306)螺纹连接。

技术总结
本发明涉及数控钻床技术领域，且公开了一种带有切屑液回收机构的半导体生产用数控钻床，包括工作台，所述工作台的底部固定安装有设备箱，设备箱的内部设置有切屑液回收结构，切屑液回收结构包括集液罩、处理箱、混合杆、伺服电机、有机合成高分子絮凝剂盒、过滤罐、过滤滤芯、输送泵和储液箱。该带有切屑液回收机构的半导体生产用数控钻床，使用后的切削液经由集液罩进入处理箱，此时向处理箱中投入有机合成高分子絮凝剂，使得切屑液中的碎屑和微颗粒能够凝絮成团，然后通过过滤罐内部的过滤滤芯对切屑液进行过滤，过滤后的切屑液在进入储液箱中暂时存储，实现了对使用过的切削液，集中回收和处理的目的，从而避免了切削液的大量浪费。

技术研发人员：金晓,陈嘉信
受保护的技术使用者：上海通实机器人制造有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/5/6