短晶棒粘接工装及粘接方法与流程

本发明涉及晶棒加工，尤其是涉及一种短晶棒粘接工装及粘接方法。

背景技术：

1、现阶段大尺寸半导体切片不论是砂浆线切还是金刚线切片，其第一道工序都为晶锭粘接，粘接方式多为自动接着机自动粘结，但是现有设备也存在一个弊端；在粘接时若接收到低于120mm长的的晶锭，由于接着机所能接着最短距离为120mm,需要增加晶锭的长度在120mm以上才能满足接着要求；但是随着客户规格的收严等原因，仍存在截断后剩余部分小于120mm的情况方式，若无法粘接切片的话只能报废，为避免这种损失，急需一种方法来对应该类特殊情况。

技术实现思路

1、为解决上述技术中存在的技术问题，鉴于此，有必要提供一种短晶棒粘接工装。

2、一种短晶棒粘接工装，包括支撑座、夹持机构、长度补偿部、以及辅助定位机构；

3、所述支撑座顶部的两侧设置有沿支撑座长度方向均布的支撑轮，支撑轮呈倒v字形布设；

4、所述辅助定位机构包括横梁、限位管、定位块；所述横梁的一端固定设置有限位板，使横梁与限位板构成l形结构，所述限位管的一端封闭，所述定位块滑动设置于横梁上且抵靠在限位管远离限位板的一侧；

5、所述长度补偿部内置在限位管中，并且长度补偿部的一端伸出限位管；

6、所述夹持机构安装在支撑座上，夹持机构可将限位管、以及短晶棒同步向中间挤压，以使限位管中的长度补偿部能够与短晶棒共轴粘接。

7、优选的，所述辅助定位机构还包括定位杆，所述定位杆沿限位管的轴线方向伸入到限位管内部，定位杆与长度补偿部螺纹连接。

8、优选的，所述限位管的内壁上设置有沿限位管轴线方向布设的凸条，所述长度补偿部的外壁上开设有沿长度补偿部轴线方向布设且适配凸条的凹槽。

9、优选的，所述限位管远离限位板的一侧设置有适配定位块的卡接槽，使定位块能够卡入到卡接槽中。

10、优选的，所述夹持机构包括左夹持部、右夹持部；所述左夹持部、右夹持部能够同步沿限位管的轴线方向向中间靠拢，或者向两侧分开。

11、优选的，所述夹持机构还包括沿限位管的轴线方向转动设置于支撑座上的丝杠，丝杠分别与左夹持部、右夹持部螺纹连接，使丝杠能够同步带动左夹持部、右夹持部沿丝杠的轴线方向向中间靠拢，或者向两侧分开。

12、优选的，所述夹持机构还包括连接在丝杠输入端，并且能够带动丝杠转动的动力部。

13、还有必要提供一种短晶棒粘接方法。

14、一种短晶棒粘接方法，采用上述所述的短晶棒粘接工装，将短晶棒与长度补偿部粘接在一起，包括以下步骤，

15、将长度补偿部放置在限位管中，并将定位杆、限位管、以及长度补偿部组装好，使长度补偿部的端部凸出限位管；随后将限位管水平放置在支撑座顶部的支撑轮上；

16、将需要粘接的短晶棒水平放置在支撑座顶部的支撑轮上；

17、将横梁放置在短晶棒的顶部，使短晶棒的一端端面抵靠在限位板上；

18、将短晶棒远离限位板的一端端面加热至预设温度；

19、在长度补偿部凸出限位管的一端端面上涂抹粘接剂，随后将长度补偿部涂抹粘接剂的一端与短晶棒加热的一端对合；

20、将定位块沿横梁向短晶棒的一侧滑移，使定位块卡入到卡接槽内，在确保长度补偿部与短晶棒的端部贴合后，将定位块与横梁通过螺钉锁紧，以防止短晶棒与长度补偿部发生位移；

21、将左夹持部、右夹持部同步向中间挤压，使长度补偿部与短晶棒的端部紧密贴合，随后转动定位杆，促使长度补偿部沿限位管的轴线方向向短晶棒靠近；

22、根据定位块与限位管的间隙情况，适当调整定位块的位置，使定位块紧密抵靠在限位管一侧；

23、待长度补偿部与短晶棒粘接完成后，将定位杆从限位管及长度补偿部中拧出，随后将左夹持部、右夹持部同步向两侧缓慢移开，拆除横梁及限位管。

24、与现有技术相比，本发明提供的短晶棒粘接工装及粘接方法，通过限位管来为长度补偿部提供一个安装空间，而限位管的直径和晶棒的直径一致，粘接时靠在晶棒的尾部，来增加晶棒粘接时所需的长度，同时使得晶棒能够在支撑轮上平稳放置，粘接过程中晶棒能够保持其轴线与长度补偿部的轴线、以及支撑座的中心线共轴，便于面方位控制在规格要求内。

技术特征：

1.一种短晶棒粘接工装，其特征在于：包括支撑座、夹持机构、长度补偿部、以及辅助定位机构；

2.根据权利要求1所述的短晶棒粘接工装，其特征在于：所述辅助定位机构还包括定位杆，所述定位杆沿限位管的轴线方向伸入到限位管内部，定位杆与长度补偿部螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的短晶棒粘接工装，其特征在于：所述限位管的内壁上设置有沿限位管轴线方向布设的凸条，所述长度补偿部的外壁上开设有沿长度补偿部轴线方向布设且适配凸条的凹槽。

4.根据权利要求3所述的短晶棒粘接工装，其特征在于：所述限位管远离限位板的一侧设置有适配定位块的卡接槽，使定位块能够卡入到卡接槽中。

5.根据权利要求1所述的短晶棒粘接工装，其特征在于：所述夹持机构包括左夹持部、右夹持部；所述左夹持部、右夹持部能够同步沿限位管的轴线方向向中间靠拢，或者向两侧分开。

6.根据权利要求5所述的短晶棒粘接工装，其特征在于：所述夹持机构还包括沿限位管的轴线方向转动设置于支撑座上的丝杠，丝杠分别与左夹持部、右夹持部螺纹连接，使丝杠能够同步带动左夹持部、右夹持部沿丝杠的轴线方向向中间靠拢，或者向两侧分开。

7.根据权利要求6所述的短晶棒粘接工装，其特征在于：所述夹持机构还包括连接在丝杠输入端，并且能够带动丝杠转动的动力部。

8.一种短晶棒粘接方法，其特征在于：采用权利要求1至7任意一项所述的短晶棒粘接工装，将短晶棒与长度补偿部粘接在一起，包括以下步骤，

技术总结
一种短晶棒粘接工装，包括支撑座、夹持机构、长度补偿部、以及辅助定位机构；支撑座顶部的两侧设有沿支撑座长度方向均布且呈倒V字形布设的支撑轮；辅助定位机构包括横梁、限位管、定位块；横梁的一端固定设有限位板，使横梁与限位板构成L形结构，限位管的一端封闭，定位块滑动设于横梁上且抵靠在限位管远离限位板的一侧；长度补偿部内置在限位管中，并且长度补偿部的一端伸出限位管；夹持机构安装在支撑座上，夹持机构可将限位管、以及短晶棒同步向中间挤压，以使限位管中的长度补偿部能够与短晶棒共轴粘接。还提供了一种短晶棒粘接方法。本发明在前先在晶棒尾部贴合一段同直径可收缩的工装，来增加晶棒的长度，从而满足粘接需求及面方位规格。

技术研发人员：张民,王黎光,芮阳,赵延祥,程博,白玉,史小峰,石鑫
受保护的技术使用者：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/10/31