一种单晶硅片生产切片装置的制作方法

文档序号:41589012发布日期:2025-04-11 17:39阅读:4来源:国知局
一种单晶硅片生产切片装置的制作方法

本技术涉及单晶硅片切片,具体为一种单晶硅片生产切片装置。


背景技术:

1、单晶硅片是硅的单晶体,具有基本完整的点阵结构,不同方向有不同的性质,常作为半导材料使用,用于制造半导体器件、太阳能电池等,在单晶硅片生产过程中,需要对单晶硅棒进行切片,然后再进行加工后成为单晶硅片,因此需要使用到单晶硅片切片设备。

2、现有技术诸如公告号为cn219132808u的实用新型,该专利公开了一种单晶硅片切片装置,包括工作台和单晶硅棒,工作台顶部设有固定座,固定板内设有定位板,定位板顶部通过轴承连接设有螺纹杆,螺纹杆一端贯穿固定板内顶部与外部设有的转动板相连接,工作台顶部右侧设有安装板,安装板内顶部设有液压杆,液压杆一端连接设有切刀,安装板内设有调节机构,解决了现有的切片装置不方便对切片厚薄进行调节的问题。

3、上述及现有的相关技术,往往存在以下缺陷:单晶硅棒通过调节结构调节好切片厚度后,液压杆驱动切刀进行切片,切片后的硅片会通过下料口掉落在下料板上,而单晶硅棒与下料板之间具有一定高度,因此掉落后的硅片一定程度上自身会造成磕碰磨损,从而导致出现后期难以完整注入电极等操作,而提高切片破损率的问题。

4、为此,我们提出一种单晶硅片生产切片装置。


技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种单晶硅片生产切片装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种单晶硅片生产切片装置,包括工作台,所述工作台的上表面固定连接有固定座,所述固定座的内壁滑动连接有单晶硅棒,所述工作台上表面相对于固定座一侧的位置开设有下料口,所述工作台上表面相对于下料口远离固定座一侧的位置固定连接有安装板,所述安装板的长臂安装有调节结构,所述安装板的短臂固定连接有液压杆,所述液压杆的输出端固定连接有切刀,所述工作台的上表面设有防护结构,所述防护结构包括两个u形架,两个所述u形架的下表面均与工作台固定连接,两个所述u形架均位于下料口的两侧,所述u形架的内壁固定连接有内板,所述内板的下表面固定连接有两个弹性绳,所述u形架的下表面固定连接有两个长杆,所述长杆的圆弧面滑动连接有滑套,四个所述滑套两两一组,每组所述滑套的圆弧面均固定连接有侧板,两个所述弹性绳的下表面均与侧板固定连接,四个所述长杆的下端固定连接有下料板,四个所述滑套的圆弧面固定连接有防护布。

3、上述部件达到的效果为:达到了对单晶硅棒切片后掉落的硅片进行防护的效果,从而尽量避免单晶硅棒与下料板之间具有一定高度,使得硅片掉落过程中会容易造成一定磕碰破损的问题出现。

4、优选地,所述防护布的上表面均匀开设有若干个漏孔,所述下料板上表面相对于防护布的位置开设有扩孔。

5、上述部件达到的效果为:切割过程中碎屑从防护布的漏孔和扩孔掉落,扩孔起到将碎屑排出尽量防止滞留在防护布表面的作用。

6、优选地,所述下料板的上表面固定连接有缓冲垫,所述防护布的上表面固定连接有挡板。

7、上述部件达到的效果为:硅片掉落在防护布上倾倒时与挡板接触,挡板达到防止硅片向另一侧倾倒的效果。

8、优选地,四个所述长杆两两一组,每组所述长杆长度不一,所述滑套的内壁尺寸大于长杆圆弧尺寸。

9、上述部件达到的效果为:滑套带动防护布从长杆圆弧面滑动倾斜,利用长度不一的长杆和内壁较大的滑套起到可使防护布下降过程中倾斜的作用。

10、优选地,所述工作台的下表面设有收集结构,所述收集结构包括连接板,所述连接板的上表面与工作台固定连接,所述连接板的一侧固定连接有插杆,所述插杆的表面滑动连接有卡框,所述卡框的一侧固定连接有收集盒,所述收集盒位于扩孔的下方。

11、上述部件达到的效果为:达到了对切割排出后碎屑进行收集的效果,借助各部件的配合,使得排出的碎屑可以得到良好的集中收集,以此便于人员对碎屑进行快速处理。

12、优选地,所述插杆为矩形杆,所述卡框的一侧与连接板相抵接。

13、上述部件达到的效果为:卡框从插杆表面滑动与连接板贴合,借助连接板起到可对卡框移动位置进行定位的作用。

14、优选地,所述收集盒的上表面固定连接有转动架,所述转动架的表面转动连接有盖板,所述盖板的上表面与收集盒相抵接。

15、上述部件达到的效果为:转动盖板与收集盒贴合,盖板达到对收集盒进行遮盖避免移动过程中碎屑掉落的效果。

16、优选地,所述收集盒靠近卡框的一侧固定连接有限位杆,所述限位杆的上表面与盖板相抵接。

17、上述部件达到的效果为:转动盖板与限位杆贴合,限位杆起到限位盖板旋转角度便于侧面碎屑导向的作用。

18、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

19、本实用新型,通过设置防护结构,达到了对单晶硅棒切片后掉落的硅片进行防护的效果,通过防护布和弹性绳对硅片的缓冲,使得降低切割后硅片的掉落速度,从而使得硅片与下料板之间的接触更加流畅,以此有效提高单晶硅棒切割后硅片的完整率,,并且还可对切割过程中碎屑进行排出,有效提高硅片自身清洁度。

20、本实用新型,通过设置收集结构,达到了对切割排出后碎屑进行收集的效果,借助各部件的配合,使得排出的碎屑可以得到良好的集中收集,以此便于人员对碎屑进行快速处理。



技术特征:

1.一种单晶硅片生产切片装置,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的上表面固定连接有固定座(2),所述固定座(2)的内壁滑动连接有单晶硅棒(3),所述工作台(1)上表面相对于固定座(2)一侧的位置开设有下料口(5),所述工作台(1)上表面相对于下料口(5)远离固定座(2)一侧的位置固定连接有安装板(4),所述安装板(4)的长臂安装有调节结构(10),所述安装板(4)的短臂固定连接有液压杆(6),所述液压杆(6)的输出端固定连接有切刀(7),所述工作台(1)的上表面设有防护结构(8),所述防护结构(8)包括两个u形架(801),两个所述u形架(801)的下表面均与工作台(1)固定连接,两个所述u形架(801)均位于下料口(5)的两侧,所述u形架(801)的内壁固定连接有内板(802),所述内板(802)的下表面固定连接有两个弹性绳(803),所述u形架(801)的下表面固定连接有两个长杆(804),所述长杆(804)的圆弧面滑动连接有滑套(805),四个所述滑套(805)两两一组,每组所述滑套(805)的圆弧面均固定连接有侧板(806),两个所述弹性绳(803)的下表面均与侧板(806)固定连接,四个所述长杆(804)的下端固定连接有下料板(807),四个所述滑套(805)的圆弧面固定连接有防护布(808)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产切片装置,其特征在于:所述防护布(808)的上表面均匀开设有若干个漏孔(809),所述下料板(807)上表面相对于防护布(808)的位置开设有扩孔(810)。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产切片装置,其特征在于:所述下料板(807)的上表面固定连接有缓冲垫(811),所述防护布(808)的上表面固定连接有挡板(812)。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产切片装置,其特征在于:四个所述长杆(804)两两一组,每组所述长杆(804)长度不一,所述滑套(805)的内壁尺寸大于长杆(804)圆弧尺寸。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产切片装置,其特征在于:所述工作台(1)的下表面设有收集结构(9),所述收集结构(9)包括连接板(91),所述连接板(91)的上表面与工作台(1)固定连接,所述连接板(91)的一侧固定连接有插杆(92),所述插杆(92)的表面滑动连接有卡框(93),所述卡框(93)的一侧固定连接有收集盒(94),所述收集盒(94)位于扩孔(810)的下方。

6.根据权利要求5所述的一种单晶硅片生产切片装置,其特征在于:所述插杆(92)为矩形杆,所述卡框(93)的一侧与连接板(91)相抵接。

7.根据权利要求5所述的一种单晶硅片生产切片装置,其特征在于:所述收集盒(94)的上表面固定连接有转动架(95),所述转动架(95)的表面转动连接有盖板(96),所述盖板(96)的上表面与收集盒(94)相抵接。

8.根据权利要求7所述的一种单晶硅片生产切片装置,其特征在于:所述收集盒(94)靠近卡框(93)的一侧固定连接有限位杆(97),所述限位杆(97)的上表面与盖板(96)相抵接。


技术总结
本技术公开了一种单晶硅片生产切片装置,涉及单晶硅片切片技术领域,包括工作台,所述工作台的上表面固定连接有固定座,所述固定座的内壁滑动连接有单晶硅棒,所述工作台上表面相对于固定座一侧的位置开设有下料口,所述工作台上表面相对于下料口远离固定座一侧的位置固定连接有安装板,所述安装板的长臂安装有调节结构,所述安装板的短臂固定连接有液压杆,所述液压杆的输出端固定连接有切刀,所述工作台的上表面设有防护结构,所述防护结构包括两个U形架,此一种单晶硅片生产切片装置,达到了对单晶硅棒切片后掉落的硅片进行防护的效果,解决了单晶硅棒与下料板之间具有一定高度,使得硅片掉落过程中会容易造成一定磕碰破损的问题。

技术研发人员:徐明
受保护的技术使用者:南京势创智能科技有限公司
技术研发日:20240604
技术公布日:2025/4/10
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1