硅片支撑装置的制造方法

文档序号:10148281阅读:368来源:国知局
硅片支撑装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及光伏电池制造领域,具体而言,涉及一种硅片支撑装置。
【背景技术】
[0002]单晶硅硅片、多晶硅硅片在清洗脱胶的过程中需将玻璃与硅片进行分离,当硅片与玻璃分离后硅片失去环氧树脂胶的约束,会往一个方向倾斜,由于硅片数量较大,当硅片往一个方向倾斜时,会造成最边缘硅片因受力较大,造成边缘硅片碎裂,从而导致碎片率增加。
[0003]为了防止这一现象的发生,现大多都采用塑料挡板在晶棒翻转前卡入晶棒中,但由于在放置塑料挡板时会产生碎片,且塑料挡板的卡槽与载片篮支撑杆的配合不够紧密,所以塑料挡板会发生倾斜,硅片在脱离后还会出现一边倒的现象,不能够从根本上解决此问题。
[0004]另外,上述安装挡板的方式,使用的预清洗载片篮挡板是固定在载片篮上的,需两个人将晶棒翻转后花费较长时间才能够把挡板嵌入切割后硅片缝隙内,即费时又费力,并且,挡板使用一段时间后与载片篮横杆配合不再紧密,硅片掉落后无法起到很好的支撑作用,从而失去应起的作用。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的主要目的在于提供一种硅片支撑装置,以解决现有技术中的硅片容易发生碎裂的问题。
[0006]为了实现上述目的,本实用新型提供了一种硅片支撑装置,包括:支撑板;卡爪部,卡爪部安装在支撑板上,卡爪部卡紧在晶棒托盘上,使支撑板竖立在晶棒托盘上。
[0007]进一步地,卡爪部成对地设置,成对的卡爪部相对设置以形成夹紧空间。
[0008]进一步地,硅片支撑装置还包括弹性件,弹性件的两端分别与成对的两个卡爪部中的相应的卡爪部连接。
[0009]进一步地,支撑板上设置有安装凹槽,卡爪部与支撑板相连接的部分位于安装凹槽内。
[0010]进一步地,卡爪部与支撑板铰接。
[0011]进一步地,卡爪部包括连接杆,连接杆的一端与支撑板铰接,连接杆的另一端设置有卡接块,卡接块卡接在晶棒托盘上的滑槽内。
[0012]进一步地,连接杆为L形杆,连接杆围绕支撑板的相邻的两个侧壁设置。
[0013]进一步地,卡接块为矩形块。
[0014]进一步地,卡接块上设置有弧形导入面。
[0015]进一步地,连接杆的远离卡接块的一端设置有操作部。
[0016]本实用新型中的硅片支撑装置包括支撑板和安装在该支撑板上的卡爪部,在将晶棒切割完成后,将卡爪部卡紧在晶棒托盘上,便可以使支撑板隔离在晶棒托盘上的相邻的两个硅片之间,对硅片起到支撑作用,防止硅片之间发生挤压,从而缓解了硅片容易发生碎裂的问题。
【附图说明】
[0017]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
[0018]图1示出了根据本实用新型的硅片支撑装置的实施例的主视图;
[0019]图2示出了图1中的硅片支撑装置的侧视图;以及
[0020]图3示出了图1中的硅片支撑装置的仰视图。
[0021]其中,上述附图包括以下附图标记:
[0022]10、支撑板;20、卡爪部;21、连接杆;22、卡接块;23、操作部;30、弹性件。
【具体实施方式】
[0023]需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
[0024]本实施例提供了一种硅片支撑装置,请参考图1至图3,该硅片支撑装置包括:支撑板10 ;卡爪部20,卡爪部20安装在支撑板10上,卡爪部20卡紧在晶棒托盘上,使支撑板10竖立在晶棒托盘上。
[0025]本实施例中的硅片支撑装置包括支撑板10和安装在该支撑板10上的卡爪部20,在将晶棒切割完成后,将卡爪部20卡紧在晶棒托盘上,便可以使支撑板10立在晶棒托盘上,进而使支撑板10隔离在晶棒托盘上的相邻的两个硅片之间,对硅片起到支撑作用,防止硅片之间发生挤压,从而缓解了硅片容易发生碎裂的问题。
[0026]在本实施例中,卡爪部20成对地设置,成对的卡爪部20相对设置以形成夹紧空间。本实施例通过使卡爪部20成对地设置,可以使硅片支撑装置比较稳固地夹持在晶棒托盘上。
[0027]在本实施例中,硅片支撑装置还包括弹性件30,弹性件30的两端分别与成对的两个卡爪部20中的相应的卡爪部20连接。本实施例通过设置弹性件30,可以将两个卡爪部20比较紧固地夹紧晶棒托盘。
[0028]在本实施例中,支撑板10上设置有安装凹槽,卡爪部20与支撑板10相连接的部分位于安装凹槽内。本实施通过在支撑板10上设置安装凹槽,并将卡爪部20在该安装凹槽内与支撑板10连接,可以防止卡爪部20突出于支撑板10的端面,进而对晶棒托盘上的硅片起到保护作用。
[0029]在本实施例中,卡爪部20与支撑板10铰接。这样,可以比较方便地使卡爪部20卡紧或张开,进而实现硅片支撑装置与晶棒托盘之间的连接与分离。
[0030]在本实施例中,卡爪部20包括连接杆21,连接杆21的一端与支撑板10铰接,连接杆21的另一端设置有卡接块22,卡接块22卡接在晶棒托盘上的滑槽内。这样,可以通过将卡接块22设置在晶棒托盘上的滑槽内,可以比较方便地实现硅片支撑装置与晶棒托盘之间的连接。
[0031]在本实施例中,如图1所示,连接杆21为L形杆,连接杆21围绕支撑板10的相邻的两个侧壁设置。这样,可以比较方便地使成对的卡爪部20之间形成夹紧空间。
[0032]在本实施例中,如图2和图3所示,卡接块22为矩形块。本实施例通过使卡接块22为矩形块,不仅可以使使卡接块22比较方便地卡接在晶棒托盘的滑槽内,还可以利用卡接块22的棱边使卡接块22稳定在滑槽内,防止卡接块22在滑槽内旋转。
[0033]在本实施例中,如图1所示,卡接块22上设置有弧形导入面。本实施例通过在卡接块22上设置弧形导入面,可以比较方便地使卡接块22卡入滑槽内。其中,卡接块22的垂直于其延伸方向的横截面为扇形面。
[0034]在本实施例中,连接杆21的远离卡接块22的一端设置有操作部23。在本实施例中,操作部23为L形杆。
[0035]本实施例中的,连接杆21的杆体与操作部23的与连接杆21连接的杆段之间形成U形结构。
[0036]本实施例中的硅片支撑装置主要解决多晶硅硅片、单晶硅硅片在脱胶后失去胶对硅片的约束,造成硅片与玻璃脱离后向同一方向倾斜、产生挤压、造成碎片的问题。
[0037]本实施例中的硅片支撑装置可以将与玻璃脱离后的整条晶棒硅片进行多段分离,减轻对最末端硅片的压力,从而减少碎片。
[0038]其中,本实施例中的硅片支撑装置针对的多晶硅硅块:一般为156MM*156丽,高度为209MM左右的多晶硅立方体。
[0039]本实施例中的硅片支撑装置针对的单晶硅硅块:一般为156MM*156丽,高度为450MM左右的单晶硅立方体。
[0040]本实施例中的支撑板10为不锈钢板。
[0041]其中,脱胶的含义为:无论是多晶硅硅块、单晶硅硅块在与玻璃粘接时均使用环氧树脂胶,在切割结束后需用乳酸加热对晶棒进行浸泡将硅片与玻璃脱离。
[0042]本实施例中所提到的玻璃的应用:一面用于粘接单晶硅块或多晶硅块,另一面粘接在设备专用工装上的介质。
[0043]本实施例中提到的环氧树脂胶:一般指以环氧树脂为主体所制得的胶粘剂,环氧树脂胶一般还应包括环氧树脂固化剂,否则这个胶就不会固化。其中,环氧树脂胶又分为软胶和硬胶。
[0044]本实施例中的硅片支撑装置可以使工人操作起来简单、便捷,并且有效地控制碎片率。
[0045]本实施例中的硅片支撑装置的工作过程简介如下:
[0046]在晶棒切割完成后,将该硅片支撑装置安装在晶棒的中部,与硅片接触部分的支撑板为不锈钢板,钢板的两侧设置有可活动的卡爪部,在不锈钢板的两个边角上分别有一个定位销,可以使卡爪自由地活动。
[0047]当打开两个卡爪部时,用力地将两个操作部向相远离的方向扳动,进而将成对的卡爪部分开,该装置放入晶棒的中部,到达指定位置后慢慢松开,在两个卡爪部之间有一根弹簧对两个卡爪部起收紧作用,弹簧穿设在钢板的内孔中。
[0048]支撑板两端的卡爪部为方形,与晶棒托盘的滑道形状相吻合,松开操作部后方形卡爪进入滑道,支撑板安装到位。通过将卡爪部设置成方形,可以防止支撑板前后活动损伤硅片,安装完成后两人将晶棒进行翻转,装入洗片车进行清洗。
[0049]可见,本实施例中的硅片支撑装置具有操作简单、方便,对脱离后硅片能够起到有效的支撑作用,降低碎片产生的优点。
[0050]以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种硅片支撑装置,其特征在于,包括: 支撑板(10); 卡爪部(20),所述卡爪部(20)安装在所述支撑板(10)上,所述卡爪部(20)卡紧在晶棒托盘上,使所述支撑板(10)竖立在所述晶棒托盘上。2.根据权利要求1所述的硅片支撑装置,其特征在于,所述卡爪部(20)成对地设置,成对的所述卡爪部(20)相对设置以形成夹紧空间。3.根据权利要求2所述的硅片支撑装置,其特征在于,所述硅片支撑装置还包括弹性件(30),所述弹性件(30)的两端分别与成对的两个卡爪部(20)中的相应的所述卡爪部(20)连接。4.根据权利要求1所述的硅片支撑装置,其特征在于,所述支撑板(10)上设置有安装凹槽,所述卡爪部(20)与所述支撑板(10)相连接的部分位于所述安装凹槽内。5.根据权利要求1所述的硅片支撑装置,其特征在于,所述卡爪部(20)与所述支撑板(10)铰接。6.根据权利要求1所述的硅片支撑装置,其特征在于,所述卡爪部(20)包括连接杆(21),所述连接杆(21)的一端与所述支撑板(10)铰接,所述连接杆(21)的另一端设置有卡接块(22),所述卡接块(22)卡接在所述晶棒托盘上的滑槽内。7.根据权利要求6所述的硅片支撑装置,其特征在于,所述连接杆(21)为L形杆,所述连接杆(21)围绕所述支撑板(10)的相邻的两个侧壁设置。8.根据权利要求6所述的硅片支撑装置,其特征在于,所述卡接块(22)为矩形块。9.根据权利要求6所述的硅片支撑装置,其特征在于,所述卡接块(22)上设置有弧形导入面。10.根据权利要求6所述的硅片支撑装置,其特征在于,所述连接杆(21)的远离所述卡接块(22)的一端设置有操作部(23)。
【专利摘要】本实用新型提供了一种硅片支撑装置,包括:支撑板;卡爪部,卡爪部安装在支撑板上,卡爪部卡紧在晶棒托盘上,使支撑板竖立在晶棒托盘上。本实用新型中的硅片支撑装置解决了现有技术中的硅片容易发生碎裂的问题。
【IPC分类】B28D7/04, B28D5/00
【公开号】CN205058331
【申请号】CN201520802738
【发明人】梁新龙
【申请人】英利能源(中国)有限公司
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年10月15日
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