专利名称：扩散片更换装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种扩散片更换装置，特别涉及一种可安全、方便地更换 扩散片的装置。
背景技术：
光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备，当前，绝大多数投入使用的 是步进重复光刻机。在步进重复光刻机中，整个像场同时曝光，这种系统容易 设计和实现，但随着市场不断提高对大尺寸、高精度、低成本生产的需求，对 半导体设备带来了前所未有的挑战，步进重复光刻机采用一次成像技术且较大 直径的透镜，从而限制了步进重复光刻机向更高精度的芯片加工方向发展。
在这种情况下，研发人员开发了 一种新型的光刻机一 一步进扫描投影光刻 机。在步进扫描投影光刻机中，曝光过程与步进重复投影光刻机有所不同，光 束通过一个下狭缝并透过照明系统中的投影到掩模面上，掩模以设定的匀速通 过这束光，同时，硅片在透镜的下方以相反方向运动。这种步进扫描投影光刻 机与步进重复投影光刻机相比，具有更低的变形和更大面积的像场。其中，如
图l所示，照明系统一般由积分镜l、扩散片2和变焦镜3等光学元件组成，如 图2所示的扩散片，该扩散片2为圆盘状且外环面具有外螺紋5，扩散片2通过 该外螺紋5与积分镜1的内螺紋(未示出)相互旋紧后与积分镜1固定，而且 该扩散片2上规则分布了复数个通孔4，用于和更换装置配合使用。如图3所示 为照明系统与现有的扩散片更换装置工作原理示意图，该扩散片更换装置由两 个内六角扳手6组成，采用上述的六角扳手6可更换扩散片2,也就是说用新的 扩散片代替老化的扩散片使扩散片不影响光刻机的性能。该两个内六角扳手6 可以分别设置于通过扩散片2中心成一直线的两个通孔4上，同时用力将两个 内六角扳手6按同一方向旋转，比如顺时针或逆时针旋转，此时外螺紋5与积 分镜1的内螺紋旋开或旋紧，最终可将积分镜1与扩散片2固定或者分离，但 上述更换操作复杂。其中，如图4所示为现有的扩散片更换装置结构图，六角扳手6由六角形状8a的扳头8和扳柄7组成。但是，采用两个六角扳手6更换 扩散片2时，由于积分镜1与变焦镜3之间间距较小，六角扳手6容易从扩散 片2上的通孔4滑出与变焦镜3发生碰撞，从而影响变焦镜3的性能。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种扩散片更换装置，通过该更换装置可方便、
安全地将与积分镜连接的扩散片更换。
为了达到所述的目的，本实用新型提供了一种扩散片更换装置，包括柄杆，
其中，该柄杆上设置有两个与其垂直的柄头，该柄头可插入扩散片的通孔中。
在上述的扩散片更换装置，所述的柄杆还包括两侧的柄把。
在上述的扩散片更换装置，所述的两个柄头位于同一平面上。
在上述的扩散片更换装置，所述的两个柄头之间的距离等于通过扩散片中
心成一直线的两个通孔之间的距离。
在上述的扩散片更换装置，其中柄头的直径小于或等于通孔的直径。
在上述的扩散片更换装置，所述的柄杆和柄头一体成形。
在上述的扩散片更换装置，所述的柄杆和两个柄头的末端为圓柱状。
本实用新型由于采用了上述的技术方案，使之与现有技术相比，具有以下
的优点和积极效果
1. 可方便地将扩散片与积分镜固定或者分离。
2. 可安全地拆卸或安装扩散片，扩散片更换装置不会与变焦镜发生碰撞。
本实用新型的扩散片更换装置由以下的实施例及附图给出。
图1为现有技术中光刻机的照明系统部分结构图2为图1照明系统中的扩散片结构图3为照明系统与内现有的扩散片更换装置工作原理示意图4为现有的扩散片更换装置结构图5为本实用新型的扩散片更换装置具体结构示意图6为本实用新型的扩散片更换装置与照明系统工作原理示意图。'
具体实施方式
以下将对本实用新型的扩散片更换装置作进一步的详细描述。
照明系统如前所述，主要包括积分镜l、具有复数个规则排列通孔4的扩散 片2和变焦镜3等光学元件。图5为本实用新型的扩散片更换装置具体结构示 意图，该扩散片更换装置10主要由柄杆12和位于柄杆12上的两个柄头11组 成，其中柄杆12和柄头11 一体成形，两个柄头11处于一个平面内且与柄杆12 垂直，柄杆12两端具有两个柄把9，两个柄头ll之间的距离等于通过扩散片2 中心成一直线的两个通孔4之间的距离。其中，柄杆12 (或柄把9)和两个柄 头11的末端都为圆柱状，柄头11的直径小于或等于通孔4的直径，使柄头11 可以伸进通孔4中。
图6为本实用新型的扩散片更换装置与照明系统工作原理示意图，当扩散 片2和变焦镜3要分离或固定时，将扩散片更换装置IO伸入至扩散片2和变焦 镜3之间，将扩散片更换装置10的两个柄头11对准并伸入通过扩散片2中心 成一直线的两个通孔4内，同时用力将柄把9按同一方向旋转，比如顺时针或 逆时针旋转，此时扩散片2的外螺紋5与积分镜1的内螺紋旋开或旋紧，最终 可将积分镜1与扩散片2固定或者分离。
采用本实用新型的扩散片更换装置可方便得将积分镜与扩散片固定或者分 离。此外，由于本实用新型利用一体成形的扩散片更换装置，可安全地拆卸或 安装扩散片，扩散片更换装置不会与变焦镜发生碰撞。
以上介绍的仅仅是基于本实用新型的较佳实施例，并不能以此来限定本实 用新型的范围。任何对本实用新型的装置作本技术领域内熟知的步骤的替换、 组合、分立，以及对本实用新型实施步骤作本技术领域内熟知的等同改变或替 换均不超出本实用新型的揭露以及保护范围。
权利要求1. 一种扩散片更换装置，包括柄杆，其特征在于该柄杆上设置有两个与其垂直的柄头，该柄头可插入扩散片的通孔中。
2、 如权利要求l所述的扩散片更换装置，其特征在于所述的柄杆还包括 两侧的柄把。
3、 如权利要求l所述的扩散片更换装置，其特征在于所述的两个柄头位 于同一平面上。
4、 如权利要求3所述的扩散片更换装置，其特征在于所述的两个柄头之 间的距离等于通过扩散片中心成一直线的两个通孔之间的距离。
5、 如权利要求4所述的扩散片更换装置，其特征在于其中柄头的直径小 于或等于通孔的直径。
6、 如权利要求1所述的扩散片更换装置，其特征在于所述的柄杆和柄头 一体成形。
7、 如权利要求1至6任一项权利要求所述的扩散片更换装置，其特征在于 所述的柄^干和两个柄头的末端为圆柱^R。
专利摘要本实用新型涉及一种扩散片更换装置。现有的扩散片更换装置存在操作复杂、扩散片更换时更换装置与其它光学元件发生碰撞等问题。本实用新型的用于光刻机扩散片的更换装置，包括柄杆，其中该柄杆上设置有两个与其垂直的柄头。采用本实用新型的更换装置不仅能方便地扩散片与积分镜固定或者分离，而且扩散片更换时更换装置不会与其它光学元件发生碰撞。
文档编号B25B13/48GK201077041SQ200720071949
公开日2008年6月25日 申请日期2007年6月29日 优先权日2007年6月29日
发明者伟 张, 徐敏祺, 李云锋, 琨 王 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司