专利名称：机器人系统、机器人控制装置以及机器人控制方法
技术领域：
本文所讨论的实施方式涉及机器人系统、机器人控制装置以及机器人控制方法。
背景技术：
已知有一种机器人控制装置，该机器人控制装置控制其中多个连杆通过关节连接的机器人。该机器人控制装置控制设置在机器人的关节部处的马达并且将马达的动カ通过減速器传递到连杆。在减速器中存在扭转。因此，提出一种通过补偿减速器的扭转来提高定位精度的机器人控制装置。例如，美国专利申请第2010/0191374号公报的说明书提出了一种机器人控制装置，该机器人控制装置通过基于设置在減速器的输出轴侧的编码器的输出和预定位置命令之间的差分来校正位置命令而补偿減速器的扭转。 然而，在上述传统的机器人控制装置中，在编码器的输出和位置命令之间存在控制延迟的元素，使得需要通过根据控制延迟执行调节来校正位置命令。控制延迟时间根据机器人的响应性而改变。因此，需要根据机器人的响应性设定延迟时间，使得假如设定值的精度低，则不能以高精度执行定位。实施方式的一方面的目的在于提供ー种能容易执行高精确定位的机器人系统、机器人控制装置以及机器人控制方法。
发明内容
根据实施方式的一方面的机器人系统包括机器人和机器人控制装置。在所述机器人中相邻的连杆经由关节连接，并且所述机器人包括位于所述关节中的马达和減速器，其中所述减速器将所述马达的驱动カ传递到所述连杆。所述机器人控制装置通过驱动所述马达来控制所述机器人。所述机器人包括检测所述马达的旋转角的第一检测单元和检测所述減速器的输出轴的旋转角的第二检测单元。所述机器人控制装置包括控制单元，该控制单元基于由所述第一检测单元检测的所述马达的所述旋转角和由所述第二检测单元检测的所述减速器的所述输出轴的所述旋转角来校正所述马达的位置命令。根据实施方式的一方面，可以提供一种能够容易地执行高精确定位的机器人系统、机器人控制装置以及机器人控制方法。
结合附图參考下述详细说明，将会更好地理解本发明和本发明的许多相关优点，从而容易获得对本发明和本发明的许多相关优点的更全面的了解，在附图中图I是根据第一实施方式的机器人的示意性侧视图；图2是根据第一实施方式的机器人的示意性正视图；图3是示出第二编码器的构造的一部分的图；图4是示出根据第一实施方式的机器人系统的构造的图5是示出根据第一实施方式的命令产生单元的构造的图；图6是根据第二实施方式的机器人的示意性侧视图；图7是沿图6中的线A-A剖取的示意性剖视图；图8是示出应变仪的配线状态的示意图；图9是示出根据第二实施方式的机器人系统的构造的图；以及
图10是示出根据第二实施方式的命令产生单元的构造的图。
具体实施例方式在下文中，将基于附图详细地描述本申请中所公开的机器人系统的ー些实施方式。本发明不限于这些实施方式。<第一实施方式>根据第一实施方式的机器人系统包括机器人和机器人控制装置。机器人中的相邻连杆经由关节相互连接，并且机器人控制装置通过驱动关节来控制机器人。多关节机器人被解释为机器人的一个实施例，然而，机器人是包括至少ー个关节的机器人便可。作为经由关节连接的连杆，例示出基座、旋转头和臂，然而，连杆不限于此。首先，说明根据第一实施方式的机器人的构造。图I是根据第一实施方式的机器人的示意性侧视图，图2是根据本实施方式的机器人的示意性正视图。如图I和图2所示，机器人2是多关节机器人，其包括基座25、旋转头26a、下臂26b、上臂26c以及关节29a至29c。关节29a将旋转头26a可旋转地连接到基座25。关节29b将下臂26b可旋转地连接到旋转头26a。关节29c将上臂26c可旋转地连接到下臂26b。在下文中，有时为了便于说明，每个关节29a至29c均统称为关节29，旋转头26a、下臂26b和上臂26c统称为连杆26。基座25借助未示出的锚定螺栓固定到诸如地板和天花板的固定表面。基座25、旋转头26a、下臂26b以及上臂26c例如是由金属铸件等制成的结构支承构件，并且经由关节29从基座25按顺序布置。关节29a包括致动器10a、第一编码器13a和第二编码器14a。以类似的方式，关节29b包括致动器10b、第一编码器13b和第二编码器14b，并且关节29c包括致动器10c、第一编码器13c和第二编码器14c。在下文中，有时为了便于说明，致动器IOa至IOc统称为致动器10。以类似方式，有时第一编码器13a至13c (第一检测器的实施例)统称为第一编码器13，并且第二编码器14a至14c (第二检测器的实施例)统称为第二编码器14。第一编码器13是检测致动器10的输入轴的旋转角的编码器。第二编码器14是检测致动器10的输出轴的旋转角的编码器。如稍后所述，致动器10包括马达11 (參见图4)和減速器12 (參见图4)。马达11的驱动カ经由减速器12被传递到连杆26。第一编码器13检测马达11的旋转角，并且第二编码器14检测减速器12的输出轴的旋转角。第二编码器14a至14c均包括齿条16、与该齿条16啮合的小齿轮17以及检测器18。检测器18根据小齿轮17的旋转量检测减速器12的输出轴的旋转角。在第二编码器14中，齿条16和小齿轮17的相对位置随减速器12的输出轴的旋转而改变。图3是示出第二编码器14的构造的一部分的图。如图3所示，小齿轮17包括剪式齿轮机构，从而消除齿隙。换言之，小齿轮17的第一齿轮171和第二齿轮172彼此沿相反的方向被偏压，由此小齿轮17与齿条16在齿隙被消除的状态下啮合。在该实施方式中，说明了小齿轮17包括剪式齿轮机构的实施例，然而，齿条16可以包括剪式齿轮机构。接下来，说明控制机器人2的机器人控制装置的构造和操作。图4是示出根据第ー实施方式的机器人系统I的构造的图。机器人控制装置对任何致动器10执行类似的控制，从而，在该实施方式中，说明驱动ー个致动器10的实施例。例如，在控制致动器IOb的情况下，机器人控制装置3基于从第一编码器13b和第二编码器14b获得的信息控制致动器 IOb0机器人控制装置3驱动设置在机器人2的关节中的马达11。从而，马达11的驱动カ借助減速器12被传递到连杆26，因此连杆26被驱动。如图4所示，机器人控制装置3包括命令产生单元20,该命令产生单元输出马达11的位置命令Pref ;以及伺服控制单元21，该伺服控制单元控制马达11，使得马达11的旋转角与位置命令Pref匹配。位置命令Pref是限定马达11的旋转角的位置命令。命令产生单元20将基于从第一编码器13和第二编码器14获得的旋转角Pfbl和Pfb2校正的位置命令Pref输出到伺服控制单元21。第一编码器13检测作为旋转角Pfbl的马达11的旋转轴Ila的旋转角，并且第二编码器14检测作为旋转角Pfb2的減速器12的输出轴12a的旋转角。伺服控制单元21从命令产生单元20获得位置命令Pref并且从第一编码器13获得马达11的旋转角Pfbl。伺服控制单元21基于位置命令Pref和旋转角Pfbl计算用于使马达11的旋转角Pfbl与位置命令Pref匹配的电流命令Eref，并且将电流命令Eref输出到马达11。如上，基于马达11的旋转角Pfbl和减速器12的输出轴12a的旋转角Pfb2校正从命令产生单元20输出的位置命令Pref。因为伺服控制的延迟时间的元素不包括在马达11的旋转角Pfbl和减速器12的输出轴12a的旋转角Pfb2中，所以减速器12的扭转能被补偿而不需要执行补偿伺服控制的延迟时间的设定操作。图5是示出根据第一实施方式的命令产生单元20的构造的图。如图5所示，命令产生单元20包括位置命令产生单元30和位置命令校正单元31。位置命令产生单元30基于预定的命令简要表产生马达11的位置命令PrefO。然后，位置命令产生单元30将产生的位置命令PrefO输出到位置命令校正单元31。例如如下产生命令简要表。首先，计算末端执行器位置命令(XYZ坐标)，使得附接到机器人2的连杆的末端的未示出的末端执行器的轨迹以预定加速度和速度通过。XYZ坐标是作为控制点的末端执行器在其中操作的空间的坐标。然后，通过执行对于末端执行器位置命令的坐标变换而产生马达11的位置命令PrefO (马达坐标)。马达坐标是驱动机器人2的连杆26的马达11的旋转角的坐标。命令简要表由根据末端执行器的轨迹产生的位置命令PrefO的群形成。位置命令校正単元31产生作为位置命令校正信号的位置补偿值Padd并且借助该 位置补偿值Padd校正从位置命令产生单元30输出的位置命令PrefO。具体地,位置命令校正単元31包括扭转位置计算单元32、扭转位置初始值存储单元33、扭转位置差分计算单元34、位置补偿值计算单元35、位置补偿累加単元36以及补偿位置命令计算单元37。扭转位置计算单元32基于旋转轴Ila的旋转角Pfbl和减速器12的输出轴12a的旋转角Pfb2产生扭转位置Pdif，并且将产生的扭转位置Pdif输出到扭转位置差分计算单元34。扭转位置Pdif是指示减速器12的扭转的信息。具体地，扭转位置计算单元32从基于減速比从计算器12的输出轴12a的旋转角Pfb2计算出的旋转角Pfb2减去马达11的旋转角Pfbl，并且将该差分值设定为扭转位置Pdif。例如，当减速器12的减速比设为η时，扭转位置计算单元32从η倍的旋转角Pfb2减去马达11的旋转角Pfbl并且将该差分值设为扭转位置Pdif。当输入初始化信号Init吋，扭转位置初始值存储单元33将从扭转位置计算单元32输出的扭转位置Pdif作为扭转位置初始值PdifO存储。例如，当机器人2的姿势是基本姿势时，初始化信号Init被输入到扭转位置初始值存储单元33，并且此时从扭转位置计算单元32输出的扭转位置Pdif作为扭转位置初始值PdifO被存储在扭转位置初始值存储单元33中。扭转位置差分计算单元34从由扭转位置计算单元32获得的扭转位置Pdif减 去从扭转位置初始值存储单元33获得的扭转位置初始值PdifO，以产生扭转位置差分Perr ( = Pdif-PdifO)。扭转位置差分Perr是指示扭转位置Pdif的从扭转位置初始值PdifO的位移的信息。位置补偿值计算单元35从扭转位置差分Perr减去位置补偿累加值Padded以产生位置补偿值Padd。位置补偿值Padd是位置命令校正信号并且被从位置补偿值计算单元35输出到补偿位置命令计算单元37。位置补偿累加值Padded是从位置补偿累加単元36输出的信息，并且位置补偿累加単元36对从位置补偿值计算单元35输出的位置补偿值Padd进行累加以产生位置补偿累加值Padded。补偿位置命令计算单元37将从位置补偿值计算单元35获得的位置补偿值Padd加到从位置命令产生单元30获得的位置命令PrefO，以产生新的位置命令Pref。然后，ネト偿位置命令计算单元37将产生的位置命令Pref输出到伺服控制单元21。以该方式，在根据第一实施方式的机器人系统I中，命令产生单元20通过将从马达11的旋转角Pfbl和减速器12的输出轴12a的旋转角Pfb2之间的差分获得的位置补偿值Padd作为位置命令校正信号加到位置命令PrefO来校正该位置命令PrefO。虽然伺服控制的延迟时间的元素被包括在位置命令PrefO和马达11的旋转角Pfbl之间，但是伺服控制的延迟时间的元素不包括在马达11的旋转角Pfbl和减速器12的输出轴12a的旋转角Pfb2中。因此，在根据第一实施方式的机器人系统I中，由減速器12的扭转造成位置误差能够在不执行补偿伺服控制的延迟时间的设定操作的情况下减小。而且，在位置补偿值计算单元35中，因为位置补偿累加值Padded被从扭转位置差分Perr减去，所以一旦作为位置补偿值Padd被加上则扭转位置差分Perr下次不再被加上。因此，位置命令Pref根据扭转位置差分Perr被精确地补偿。在上述实施方式中，第二编码器14被设置到三个轴，然而，因为每个轴均被独立地控制，所以第二编码器14可以视情况而仅被设置到一个或两个轴。可以提供诸如限幅器和滤波器之类的限制单元以避免由于校正造成的位置命令Pref的突然波动。在该情况下，限制単元能被设置在扭转位置差分计算单元34和补偿位置命令计算单元37之间的路径中。例如，由补偿位置命令计算单元37获得的位置补偿值Padd能通过在位置补偿值计算单元35和补偿位置命令计算单元37之间设置限幅器而被限制到极限值。而且，例如，由补偿位置命令计算单元37获得的位置补偿值Padd的变化率能通过在位置补偿值计算单元35和补偿位置命令计算单元37之间设置滤波器而被限制。而且，编码器作为检测马达11的旋转角Pfbl的第一检测单元的实施例被说明，然而，第一检测单元能检测马达11的旋转角Pfbi便足够。例如，第一检测单元可以是观测器。以类似方式，编码器作为检测減速器12的输出轴12a的旋转角Pfb2的第二检测单元的实施例被说明，然而，第二检测单元能检测减速器12的输出轴12a的旋转角Pfb2便足够。例如，第二检测单元可以是观测器。<第二实施方式> 接下来，说明根据第二实施方式的机器人系统。与根据第一实施方式的机器人系统相比，根据第二实施方式的机器人系统通过进ー步补偿连杆的偏转来控制致动器10。因此，即使在例如由于连杆的自重、施加到位于连杆末端处的末端执行器的力等而使连杆自身被偏转的情况下，也能精确地执行机器人的定位。图6是根据第二实施方式的机器人的示意性侧视图，图7是沿图6中的线A-A剖取的示意性剖视图。通过赋予相同的附图标记来说明类似于根据第一实施方式的机器人系统I的构造。如图6所示，在根据第二实施方式的机器人2A中，除根据第一实施方式的机器人2的构造之外，应变仪单元40a附接到下臂26b并且应变仪单元40b附接到上臂26c。通过将应变仪单元40a和40b (第三检测器的实施例)附接到下臂26b和上臂26c中应变量大的区域，能精确地检测下臂26b和上臂26c的偏转。如图7所示，应变仪単元40a附接到下臂26b的矩形内壁27。具体地，配置为应变仪单元40a的应变仪41a至41d中的每个均附接到下臂26b的内壁27的相应边，并且基板43附接到下臂26b的内壁27的ー边。在应变仪41a至41d中，阻力系数根据下臂26b的偏转而变化。应变仪41a和41c是用于检测下臂26b的偏转中的沿第一方向(图7中的竖直方向)的偏转的应变仪，应变仪41b和41d是用于检测下臂26b的偏转中的沿与第一方向正交的第二方向(图7中的水平方向)的偏转的应变仪。如8所示，应变仪41a和41c经由配线42a和42c连接到基板43，并且与基板43上的两个电阻器R桥接。以类似方式，应变仪41b和41d经由配线42b和42d连接到基板43，并且与基板43上的两个电阻器R桥接。将应变仪41a至41d与基板43相连的配线42a至42d形成为具有相同长度。因此，精确地检测到下臂26b的偏转。具有电阻器R的桥接结构可以为每个应变仪41a至41d而设。以该方式，应变仪単元40a检测下臂26b的沿第一方向和第二方向的偏转信息。下臂26b的沿第一方向的偏转可以通过调节关节29a来补偿，下臂26b的沿第二方向的偏转可以通过调节关节29b来补偿。应变仪单元40b具有与应变仪40a类似的构造。机器人控制装置3A基于从应变仪单元40a和40b输出的偏转信息检测下臂26b和上臂26c沿每个方向的偏转，并且通过将偏转量转换成马达坐标值来校正马达11的控制。因此，补偿了下臂26b和上臂26c的偏转。臂26b和26c的偏转可以在应变仪单元40a和40b的基板43上被数字化以输出到机器人控制装置3A。在该情况下，通过使应变仪单元40a和40b菊花式链接能简化过程。
例如，应变仪单元40b连接到应变仪单元40a，并且应变仪单元40a连接到机器人控制装置3A(參见图9)。然后，应变仪単元40b通过串行信号将该应变仪单元40b的检测结果输出到应变仪单元40a。而且，应变仪单元40a通过串行信号将该应变仪单元40a的检测结果连同应变仪40b的检测结果一起传输到机器人控制装置3A(參见图9)。在下文中，为了便于说明，应变仪単元40a和40b有时统称为应变仪单元40。接下来，说明根据第二实施方式的控制机器人2A的机器人控制装置的构造和操作。图9是示出根据第二实施方式的机器人系统IA的构造的图。在该实施方式中，为了易于理解说明，说明其中根据第二实施方式 的机器人控制装置3A控制ー个致动器10的实施例。例如，在控制致动器IOb的情况下，机器人控制装置3A基于从第一编码器13b和第二编码器14b以及应变仪单元40a获得的信息来控制致动器10b。如上所述，机器人2A包括应变仪単元40。应变仪単元40将检测的偏转信息Pfc输出到机器人控制装置3A。机器人控制装置3A包括命令产生单元20A和伺服控制单元21。根据第二实施方式的伺服控制单元21具有类似于根据第一实施方式的伺服控制单元21的构造。从命令产生单元20A输出的位置命令Pref除基于旋转角Pfbl和Pfb2之外还基于偏转信息Pfc来校正。因此，减速器12的扭转被补偿，而且连杆26的应变能被补偿。图10是示出根据第二实施方式的命令产生单元20A的构造的图。如图10所示，以类似于根据第一实施方式的命令产生单元20的方式，命令产生单元20A包括位置命令产生单元30。而且,命令产生单元20A包括位置命令校正单元31A。以与根据第一实施方式的位置命令校正单元31相似的方式，位置命令校正单元31A包括扭转位置计算单元32、扭转位置初始值存储单元33、扭转位置差分计算单元34、位置补偿值计算单元35以及位置补偿累加単元36。此外，位置命令校正単元31A包括偏转量逆变换单元51、偏转位置初始值存储单元52、偏转位置差分计算单元53、位置补偿值计算单元54、位置补偿累加単元55以及补偿位置命令计算单元56。偏转量逆变换单元51根据从应变仪单元40获得的偏转信息Pfc计算偏转位置Pdif2。具体地，偏转量逆变换单元51检测偏转信息Pfc中的驱动杆件26沿预定方向的偏转量并且根据偏转量执行坐标变换，从而产生由马达11驱动的连杆26的偏转位置Pdif2(马达坐标)。马达坐标是驱动机器人2A的连杆26的马达11的旋转角的坐标。例如，在对驱动下臂26b的致动器IOb的控制中，偏转量逆变换单元51通过根据从应变仪单元40a获得的偏转信息Pfc中的下臂26b沿第二方向的偏转量执行坐标变换来产生由马达11驱动的下臂26b的偏转位置Pdif2。当输入初始化信号Init吋，偏转位置初始值存储单元52将从偏转量逆变换单元51输出的偏转位置Pdif2作为偏转位置初始值Pdif3存储在该偏转位置初始值存储单元52中。例如，当在机器人2A的姿势为基本姿势的状态下将初始化信号Init输入到偏转位置初始值存储单元52吋，从偏转量逆变换单元51输出的偏转位置Pdif2作为偏转位置初始值Pdif3被存储在偏转位置初始值存储单元52中。偏转位置差分计算单元53从由偏转量逆变换单元51获得的偏转位置Pdif2减去从偏转位置初始值存储单元52获得的偏转位置初始值Pdif3，以产生偏转位置差分Perrl ( = Pdif2_Pdif3)。偏转位置差分Perrl是指示偏转位置Pdif2从偏转位置初始值Pdif3的位移的信息。位置补偿值计算单元54从偏转位置差分Perrl减去位置补偿累加值Paddedl，并且将减去值作为位置补偿值Paddl输出到补偿位置命令计算单元56。位置补偿累加值Paddedl是从位置补偿累加単元55输出的信息，并且位置补偿累加単元55对从位置补偿值计算单元54输出的位置补偿值Paddl求累加以产生位置补偿累加值Paddedl。补偿位置命令计算单元56将从位置补偿值计算单元35获得的位置补偿值Padd和从位置补偿值计算单元54获得的位置补偿值Paddl加到从位置命令产生单元30获得的位置命令PrefO以产生新的位置命令Pref。然后，补偿位置命令计算单元56将产生的位置命令Pref输出到伺服控制单元21。以该方式，在根据第二实施方式的机器人系统IA中，命令产生单兀20A包括基于旋转角Pfbl和Pfb2计算的位置补偿值Padd以及基于从偏转量逆变换单元51输出的偏转量Pdif2计算的位置补偿值Paddl，以待加到位置命令PrefO。因此，除减小由于减速器12的扭转而造成的位置误差之外，还能减小由于连杆26的偏转造成的位置误差。以该实施方式，因为例如即使当由于连杆26的自重、施加到末端执行器的カ等而被偏转时，也能减小由于连杆26的偏转而造成的位置误差，所以能精确地执行机器人2A的定位。而且，在位置补偿值计算单元54中，因为位置补偿累加值Paddedl被从偏转位置差分Perrl减去,所以一旦作为位置补偿值Paddl被加上则偏转位置差分Perrl从下次不被加上。因此，能根据偏转位置差分Perrl精确地补偿位置命令Pref。在上述中，应变仪作为检测连杆26的偏转的检测器的实施例被说明，然而，例如，可以使用压电式应变传感器作为检测连杆26的偏转的检测器。如上所述，在根据第一实施方式和第二实施方式的机器人系统I和IA中，从马达11的旋转角Pfbl和减速器12的输出轴12a的旋转角Pfb2获得的位置补偿值Padd被加到位置命令PrefO。因此，在没有执行补偿伺服控制的延迟时间的设定操作的情况下能减小由 于减速器12的扭转而造成的位置误差，从而能执行高精确的定位。
权利要求
1.一种机器人系统,该机器人系统包括 机器人，在该机器人中相邻的连杆经由关节连接，并且在所述关节中设置马达和减速器，所述减速器将所述马达的驱动カ传递到所述连杆；和 机器人控制装置，该机器人控制装置通过驱动所述马达来控制所述机器人，其中， 所述机器人包括 第一检测单元，该第一检测单元检测所述马达的旋转角，和第二检测单元，该第二检测単元检测所述减速器的输出轴的旋转角，并且 所述机器人控制装置包括命令产生单元，该命令产生单元基于所述第一检测单元的检测结果和所述第二检测单元的检测结果来校正所述马达的位置命令。
2.根据权利要求I所述的机器人系统，其中，所述命令产生单元根据所述第一检测单元的所述检测结果和所述第二检测单元的所述检测结果之间的差来校正所述位置命令。
3.根据权利要求I所述的机器人系统，其中，所述第二检测单元包括 齿条， 小齿轮，该小齿轮与所述齿条啮合，并且随着所述减速器的所述输出轴的旋转而改变相对于所述齿条的相对位置，以及 检测器，该检测器根据所述小齿轮的旋转量而检测所述减速器的所述输出轴的旋转位置，并且 所述齿条或所述小齿轮是剪式齿轮。
4.根据权利要求2所述的机器人系统，其中，所述第二检测单元包括 齿条， 小齿轮，该小齿轮与所述齿条啮合，并且随着所述减速器的所述输出轴的旋转而改变相对于所述齿条的相对位置，以及 检测器，该检测器根据所述小齿轮的旋转量而检测所述减速器的所述输出轴的旋转位置，并且 所述齿条或所述小齿轮是剪式齿轮。
5.根据权利要求I至4中的任一项所述的机器人系统，该机器人系统还包括检测所述连杆的偏转的第三检测单元，其中 所述命令产生单元除了其于所述第一检测单元的所述检测结果和所述第二检测单元的所述检测结果之外还基于所述第三检测单元的检测结果来校正所述位置命令。
6.一种机器人控制装置，该机器人控制装置包括 位置命令产生单元，该命令位置产生单元产生限定包括多个连杆的机器人的位置的位置命令；和 位置命令校正単元，该位置命令校正単元基于马达的旋转角和減速器的输出轴的旋转角校正所述马达的位置命令，所述马达经由所述减速器驱动所述机器人的所述连杆。
7.—种机器人控制方法,该机器人控制方法包括 检测马达的旋转角，该马达经由减速器驱动机器人的连杆； 检测所述减速器的输出轴的旋转角；以及 基于所述马达的旋转角的检测结果和所述输出轴的旋转角的检测结果来校正所述马达的位置命令。
全文摘要
本发明涉及一种机器人系统、机器人控制装置以及机器人控制方法。根据实施方式的机器人系统包括位置命令产生单元，该位置命令产生单元基于马达的旋转角和减速器的输出轴的旋转角来校正所述马达的位置命令，其中所述马达经由所述减速器驱动机器人的连杆。
文档编号B25J13/00GK102649270SQ20111045659
公开日2012年8月29日 申请日期2011年12月30日 优先权日2011年2月23日
发明者松尾智弘, 泉哲郎 申请人:株式会社安川电机