本发明涉及一种防止管状桨划伤石英管内壁的装置。
背景技术:
在太阳能电池片生产过程中,需要在表面镀膜,例如多晶硅、氮化硅等,需要使用lpcvd进行镀膜。为提高产能,将单管lpcvd的装载量由几百片提高到1200片,导致炉管的长度、工艺恒温区的长度以及工艺气体分布要求大大提升,特别是工艺恒温区的中、后区对片间均匀性技术要求大大提升。
现有的管式lpcvd(石英管)中,需要使用两根管状桨托住载片舟,进行输送,由于长期处于高温环境,桨会有下弯,导致桨头端触碰到炉管壁,在出炉的时候容易造成炉管壁划伤,可能造成炉管炸裂。目前缺少一种能有效保护lpcvd管炉内壁的装置。
技术实现要素:
本发明所要解决的技术问题是提供一种结构简单、使用方便的石英管防划伤装置。
为解决上述技术问题,本发明提供了一种石英管防划伤装置;
包括定位板和两个保护座,所述保护座与lpcvd管炉的管状桨为一一对应关系,所述保护座一端伸入对应的管状桨内孔,保护座另一端处于对应的管状桨外且此端部外径大于管状桨的外径;
定位板分别与两个保护座固定连接。
采用这样的结构后,保护座与管状桨固定,管状桨在长期高温环境中,管状桨会有下弯,保护座代替管状桨与lpcvd管炉内壁接触,防止在取料的过程中,管状桨端部对炉管壁划伤;而且定位板可以限制两个管状桨端部的相对位置,避免两个管状桨之间距离发生改变,影响载片舟的固定。
为了更清楚的理解本发明的技术内容,以下将本石英管防划伤装置简称为本防划伤装置。
本防划伤装置的保护座为石墨材质;采用这样的结构后,石墨材质不仅不会对炉管壁造成划伤,而且具有耐高温的优点,符合本防划伤装置的设计要求。
本防划伤装置的保护座包括插入部和防划伤部,插入部伸入管状桨内孔中,使保护座与管状桨之间相对固定,防划伤部处于管状桨外,防划伤部的外径大于管状桨的外径;采用这样的结构后,保护座的结构更为具体,更加满足本防划伤装置的需要。
本防划伤装置的定位板上开有两个通孔,两个通孔的位置与两个保护座位置对应,两个定位螺钉贯穿两个通孔且与保护座之间螺纹配合;采用这样的结构后,通过定位螺钉贯穿通孔的方式将保护座与定位板之间固定。
本防划伤装置的两个通孔的其中一个为腰形孔,腰形孔的长度方向与定位板的长度方向一致;采用这样的结构后,可以根据管状桨中心距调节两个保护座的间距。
附图说明
图1是本防划伤装置实施例的使用状态俯视图。
图2是图1的左视图。
图3是本防划伤装置实施例保护座的结构示意图。
具体实施方式
如图1至3所示
本防划伤装置包括定位板2、两个定位螺钉3和两个保护座1。
保护座1为石墨材质,两个保护座1与lpcvd管炉的两根管状桨4为一一对应关系,保护座1呈两段阶梯轴状,包括前部的插入部11和后部的防划伤部12,插入部11伸入管状桨4后端内孔中,使保护座1与管状桨4之间相对固定,防划伤部12处于管状桨4外,防划伤部12的外径大于管状桨4的外径,管状桨4前端固定在lpcvd管炉的炉口盖板5。
两个保护座1之间通过定位板2固定,定位板2为不锈钢材质,定位板2上开有两个通孔,两个通孔的位置与两个保护座1位置对应,两个通孔的其中一个为腰形孔21,腰形孔21的长度方向与定位板2的长度方向一致,两个定位螺钉3贯穿两个通孔且分别伸入保护座1后端面中心,两个定位螺钉3与保护座1之间螺纹配合。
以上所述的仅是本发明的一种实施方式,应当指出,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以作出若干变型和改进,这些也应视为属于本发明的保护范围。