一种晶圆切方用辅助工具的制作方法

本实用新型涉及一种辅助工装，尤其涉及一种晶圆切方用辅助工具。

背景技术：

单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。

晶圆棒作为单晶硅片的加工原料，根据最终所需的单晶硅片的用途的不同，其形状也不同，使得部分晶圆棒需要先将其加工呈截面为正方形的立方体结构，再对其进行正方形的切片处理，现有的将晶圆棒加工为正方形的方式通常采用磨削的方式，不仅加工效率低下，而且由于缺少可靠的辅助工装，使其加工时不便于被定位，难以保证加工精度。

技术实现要素：

根据以上技术问题，本实用新型提供一种晶圆切方用辅助工具，包括基台、安装底座、限位块、安装台、粘接块、沉孔、固定螺栓、安装孔、拉手，所述基台为矩形结构，其上开设有安装孔，所述基台底部设有安装底座，所述安装底座底部设有限位块，所述基台、安装底座、限位块之间通过螺栓固定连接；

所述基台顶部上设有安装台，所述安装台外周等间距设有沉孔，通过将固定螺栓穿过沉孔及安装孔实现安装台与基台的固定连接；

所述安装台顶部设有粘接块，所述粘接块通过粘接的方式与安装台固定连接；

所述基台的一端设有u型结构的拉手。

进一步的，所述限位块的截面为等腰梯形结构。

进一步的，所述安装台为正方形结构。

进一步的，所述沉孔的数量为4个。

本实用新型的有益效果为：本实用新型为一种晶圆切方用辅助工具，使用时，通过将晶圆棒粘接在粘接块上，将限位块滑动卡接在切割机床工作台预先开设的限位槽上，通过一组平行设置的切割刀对晶圆棒进行切割，完成一次切割后90°调转安装台的方向，进行二次切割。本实用新型结构简单，可对晶圆棒进行可靠定位，只需两次切割即可完成将圆柱形结构的晶圆棒加工为方形结构的晶圆棒，极大的提高了加工效率，且保证了加工精度。

附图说明

图1为本实用新型主体结构图；

图2为本实用新型粘接晶圆棒后结构示意图；

图3为本实用新型使用状态侧视图。

如图，基台-1、安装底座-2、限位块-3、安装台-4、粘接块-5、沉孔-6、固定螺栓-7、安装孔-8、拉手-9、晶圆棒-10、切割机床本体-11、刀架-12、切割刀-13、切割机床工作台-14、限位槽-15。

具体实施方式

下面结合附图所示，对本实用新型进行进一步说明：本实用新型为一种晶圆切方用辅助工具，包括基台1、安装底座2、限位块3、安装台4、粘接块5、沉孔6、固定螺栓7、安装孔8、拉手9，所述基台1为矩形结构，其上开设有安装孔8，所述基台1底部设有安装底座2，所述安装底座2底部设有限位块3，所述基台1、安装底座2、限位块3之间通过螺栓固定连接；

所述基台1顶部上设有安装台4，所述安装台4外周等间距设有沉孔6，通过将固定螺栓7穿过沉孔6及安装孔8实现安装台4与基台1的固定连接；

所述安装台4顶部设有粘接块5，所述粘接块5通过粘接的方式与安装台4固定连接；

所述基台1的一端设有u型结构的拉手9。

进一步的，所述限位块3的截面为等腰梯形结构。

进一步的，所述安装台4为正方形结构。

进一步的，所述沉孔6的数量为4个。

工作原理：使用时，首先将晶圆棒6粘接在粘接块5上，将限位块3由切割机床工作台14预先开设的限位槽15一端滑入，等腰梯形结构的限位块3可以有效对基台1进行限位，切割机床本体11上设有一组共2片平行的切割刀13，注：限位槽15为与限位块3对应的等腰梯形结构，以及一组共2片平行设置的切割刀13为现有切割机床常见设置，在此不再赘述，通过一组切割刀13对晶圆棒10进行第一次切割，可切割出方形结构的相对边，完成一次切割后，通过拉手9将基台1整体由限位槽15内拉出，通过旋下固定螺栓7，将安装台4相对于基台1进行90°调转，再将基台1滑动卡接至切割机床工作台14的原位，对晶圆棒10进行二次切割，完成方形结构的另一组对边的切割。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出的是，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进，这些改进也应视为本实用新型的保护范围。

技术特征：

1.一种晶圆切方用辅助工具，其特征在于，包括基台、安装底座、限位块、安装台、粘接块、沉孔、固定螺栓、安装孔、拉手，所述基台为矩形结构，其上开设有安装孔，所述基台底部设有安装底座，所述安装底座底部设有限位块，所述基台、安装底座、限位块之间通过螺栓固定连接；

所述基台顶部上设有安装台，所述安装台外周等间距设有沉孔，通过将固定螺栓穿过沉孔及安装孔实现安装台与基台的固定连接；

所述安装台顶部设有粘接块，所述粘接块通过粘接的方式与安装台固定连接；

所述基台的一端设有u型结构的拉手。

2.按照权利要求1所述的一种晶圆切方用辅助工具，其特征在于，所述限位块的截面为等腰梯形结构。

3.按照权利要求1所述的一种晶圆切方用辅助工具，其特征在于，所述安装台为正方形结构。

4.按照权利要求1所述的一种晶圆切方用辅助工具，其特征在于，所述沉孔的数量为4个。

技术总结
一种晶圆切方用辅助工具，包括基台、安装底座、限位块、安装台、粘接块、沉孔、固定螺栓、拉手，所述基台为矩形结构，其上开设有安装孔，所述基台底部设有安装底座，所述安装底座底部设有限位块，所述基台、安装底座、限位块之间通过螺栓固定连接，所述基台顶部商设有安装台，所述安装台外周等间距设有沉孔，通过将固定螺栓穿过沉孔及安装孔实现安装台与基台的固定连接，所述安装台顶部设有粘接块，所述粘接块通过粘接的方式与安装台固定连接，所述基台的一端设有U型结构的拉手。本实用新型结构简单，可对晶圆棒进行可靠定位，只需两次切割即可完成将圆柱形结构的晶圆棒加工为方形结构的晶圆棒，极大的提高了加工效率，且保证了加工精度。

技术研发人员：薛佳勇;王海军;薛佳伟
受保护的技术使用者：天津众晶半导体材料有限公司
技术研发日：2020.07.11
技术公布日：2021.03.23