一种耐腐蚀的化学处理放置框的制作方法

1.本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体为一种耐腐蚀的化学处理放置框。


背景技术：

2.随着社会经济的快速发展，在半导体设备腔室内部中会用到各种类型的设备部件，按照结构区分有圆环形部件、圆盘形部件，按照材质区分有铝、不锈钢、钛、石英、陶瓷等，而半导体设备腔室内部的部件在维护保养过程中需要进行良好的防护，避免划伤、碰撞等问题的产生。
3.但是，现有的半导体设备部件维护时使用的化学处理放置框耐腐蚀性能较差，且不方便进行组装；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种耐腐蚀的化学处理放置框。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种耐腐蚀的化学处理放置框，以解决上述背景技术中提出的现有的半导体设备部件维护时使用的化学处理放置框耐腐蚀性能较差，且不方便进行组装等问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种耐腐蚀的化学处理放置框，包括四个上层支撑杆，四个所述上层支撑杆的下方设置有四个下层支撑杆，所述下层支撑杆与位于其正上方的上层支撑杆的中间设置有竖向连接杆其中两个所述下层支撑杆的中间设置有横向连接杆，其余两个所述下层支撑杆的中间设置有纵向连接杆，所述纵向连接杆位于横向连接杆的上方，所述横向连接杆和纵向连接杆的两端端部均设置有定位插接块，所述下层支撑杆的内侧设置有定位插接孔，所述横向连接杆和纵向连接杆端部的定位插接块插接在定位插接孔内侧，所述上层支撑杆、下层支撑杆、竖向连接杆、横向连接杆和纵向连接杆的外表面均设置有耐腐蚀涂层。
6.优选的，所述竖向连接杆的两端端部均设置有弧形凹槽，所述弧形凹槽的内壁弧度与上层支撑杆和下层支撑杆的外表面弧度一致。
7.优选的，所述横向连接杆的上表面和纵向连接杆的底面均设置有定位卡接槽，所述横向连接杆与纵向连接杆通过定位卡接槽卡接固定。
8.优选的，所述定位卡接槽的内侧两端端部之间的间距尺寸与横向连接杆和纵向连接杆的直径尺寸保持一致，所述定位卡接槽的深度尺寸为横向连接杆和纵向连接杆的半径尺寸。
9.优选的，所述定位插接块的一端与横向连接杆、纵向连接杆的端部贴合，所述定位插接块与横向连接杆、纵向连接杆均通过一体化注塑成型。
10.优选的，所述耐腐蚀涂层的为pfa镀层，所述pfa镀层的厚度为2mm。
11.优选的，所述上层支撑杆和下层支撑杆的直径为8mm，所述竖向连接杆、横向连接杆和纵向连接杆的直径为6mm，所述上层支撑杆、下层支撑杆、竖向连接杆、横向连接杆和纵
向连接杆的材质均为不锈钢。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.1、本实用新型通过可以快速的对处理放置框进行快速的组装，且在处理放置框的组件外侧设置有pfa镀层，可以有效的增加处理放置框的耐腐蚀性能，减缓处理放置框的腐蚀速率，有效的延长处理放置框的使用寿命。
附图说明
14.图1为本实用新型整体的结构示意图；
15.图2为本实用新型整体的爆炸图图；
16.图3为本实用新型纵向连接杆的结构示意图；
17.图4为本实用新型下层支撑杆的局部横截面示意图。
18.图中：1、上层支撑杆；2、下层支撑杆；3、竖向连接杆；4、横向连接杆；5、纵向连接杆；6、定位插接块；7、定位插接孔；8、定位卡接槽。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
20.请参阅图1至图4，本实用新型提供的一种实施例：一种耐腐蚀的化学处理放置框，包括四个上层支撑杆1，四个上层支撑杆1的下方设置有四个下层支撑杆2，下层支撑杆2与位于其正上方的上层支撑杆1的中间设置有竖向连接杆3其中两个下层支撑杆2的中间设置有横向连接杆4，其余两个下层支撑杆2的中间设置有纵向连接杆5，纵向连接杆5位于横向连接杆4的上方，横向连接杆4和纵向连接杆5的两端端部均设置有定位插接块6，下层支撑杆2的内侧设置有定位插接孔7，横向连接杆4和纵向连接杆5端部的定位插接块6插接在定位插接孔7内侧，上层支撑杆1、下层支撑杆2、竖向连接杆3、横向连接杆4和纵向连接杆5的外表面均设置有耐腐蚀涂层。
21.进一步，竖向连接杆3的两端端部均设置有弧形凹槽，弧形凹槽的内壁弧度与上层支撑杆1和下层支撑杆2的外表面弧度一致。
22.进一步，横向连接杆4的上表面和纵向连接杆5的底面均设置有定位卡接槽8，横向连接杆4与纵向连接杆5通过定位卡接槽8卡接固定。
23.进一步，定位卡接槽8的内侧两端端部之间的间距尺寸与横向连接杆4和纵向连接杆5的直径尺寸保持一致，定位卡接槽8的深度尺寸为横向连接杆4和纵向连接杆5的半径尺寸。
24.进一步，定位插接块6的一端与横向连接杆4、纵向连接杆5的端部贴合，定位插接块6与横向连接杆4、纵向连接杆5均通过一体化注塑成型。
25.进一步，耐腐蚀涂层的为pfa镀层，pfa镀层的厚度为2mm。
26.进一步，上层支撑杆1和下层支撑杆2的直径为8mm，竖向连接杆3、横向连接杆4和纵向连接杆5的直径为6mm，上层支撑杆1、下层支撑杆2、竖向连接杆3、横向连接杆4和纵向连接杆5的材质均为不锈钢。
27.工作原理：使用时，首先将横向连接杆4一端两端端部的定位插接块6插接在两个平行放置的下层支撑杆2内侧的定位插接孔7内侧，并对下层支撑杆2与横向连接杆4进行压紧使得横向连接杆4的端部紧密贴合在下层支撑杆2的外壁上，然后将纵向连接杆5端部的定位插接块6插接在另外两个下层支撑杆2内侧的定位插接孔7内部，并同样对纵向连接杆5和下层支撑杆2进行压紧，在横向连接杆4与下层支撑杆2、纵向连接杆5与组装完毕后，将横向连接杆4和纵向连接杆5进行翻转，使得横向连接杆4表面的定位卡接槽8朝上而纵向连接杆5底面的定位卡接槽8朝下，随后将纵向连接杆5覆盖在横向连接杆4的上方通过横向连接杆4和纵向连接杆5上的定位卡接槽8进行卡接，再将四个下层支撑杆2的端部进行贴合并进行焊接，再然后将竖向连接杆3的底端贴合在下层支撑杆2的表面并进行固定，最后将四个上层支撑杆1的端部相互贴合并固定，将组装后的四个上层支撑杆1放置在竖向连接杆3的上端上固定即可，可以快速的对处理放置框进行快速的组装，且在处理放置框的组件外侧设置有pfa镀层，可以有效的增加处理放置框的耐腐蚀性能，更好的对设备部件进行防护。
28.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。


技术特征：
1.一种耐腐蚀的化学处理放置框，包括四个上层支撑杆(1)，其特征在于：四个所述上层支撑杆(1)的下方设置有四个下层支撑杆(2)，所述下层支撑杆(2)与位于其正上方的上层支撑杆(1)的中间设置有竖向连接杆(3)其中两个所述下层支撑杆(2)的中间设置有横向连接杆(4)，其余两个所述下层支撑杆(2)的中间设置有纵向连接杆(5)，所述纵向连接杆(5)位于横向连接杆(4)的上方，所述横向连接杆(4)和纵向连接杆(5)的两端端部均设置有定位插接块(6)，所述下层支撑杆(2)的内侧设置有定位插接孔(7)，所述横向连接杆(4)和纵向连接杆(5)端部的定位插接块(6)插接在定位插接孔(7)内侧，所述上层支撑杆(1)、下层支撑杆(2)、竖向连接杆(3)、横向连接杆(4)和纵向连接杆(5)的外表面均设置有耐腐蚀涂层。2.根据权利要求1所述的一种耐腐蚀的化学处理放置框，其特征在于：所述竖向连接杆(3)的两端端部均设置有弧形凹槽，所述弧形凹槽的内壁弧度与上层支撑杆(1)和下层支撑杆(2)的外表面弧度一致。3.根据权利要求1所述的一种耐腐蚀的化学处理放置框，其特征在于：所述横向连接杆(4)的上表面和纵向连接杆(5)的底面均设置有定位卡接槽(8)，所述横向连接杆(4)与纵向连接杆(5)通过定位卡接槽(8)卡接固定。4.根据权利要求3所述的一种耐腐蚀的化学处理放置框，其特征在于：所述定位卡接槽(8)的内侧两端端部之间的间距尺寸与横向连接杆(4)和纵向连接杆(5)的直径尺寸保持一致，所述定位卡接槽(8)的深度尺寸为横向连接杆(4)和纵向连接杆(5)的半径尺寸。5.根据权利要求1所述的一种耐腐蚀的化学处理放置框，其特征在于：所述定位插接块(6)的一端与横向连接杆(4)、纵向连接杆(5)的端部贴合，所述定位插接块(6)与横向连接杆(4)、纵向连接杆(5)均通过一体化注塑成型。6.根据权利要求1所述的一种耐腐蚀的化学处理放置框，其特征在于：所述耐腐蚀涂层的为pfa镀层，所述pfa镀层的厚度为2mm。7.根据权利要求1所述的一种耐腐蚀的化学处理放置框，其特征在于：所述上层支撑杆(1)和下层支撑杆(2)的直径为8mm，所述竖向连接杆(3)、横向连接杆(4)和纵向连接杆(5)的直径为6mm，所述上层支撑杆(1)、下层支撑杆(2)、竖向连接杆(3)、横向连接杆(4)和纵向连接杆(5)的材质均为不锈钢。

技术总结
本实用新型公开了一种耐腐蚀的化学处理放置框，包括四个上层支撑杆，四个所述上层支撑杆的下方设置有四个下层支撑杆，所述下层支撑杆与位于其正上方的上层支撑杆的中间设置有竖向连接杆其中两个所述下层支撑杆的中间设置有横向连接杆，其余两个所述下层支撑杆的中间设置有纵向连接杆，所述纵向连接杆位于横向连接杆的上方。本实用新型通过设置有上层支撑杆、下层支撑杆、竖向连接杆、横向连接杆、纵向连接杆、定位插接块、定位插接孔和定位卡接槽可以快速的对处理放置框进行快速的组装，且在处理放置框的组件外侧设置有PFA镀层，可以有效的增加处理放置框的耐腐蚀性能，更好的对设备部件进行防护。设备部件进行防护。设备部件进行防护。


技术研发人员：惠朝先 汤高 王泽麟
受保护的技术使用者：广州富乐德科技发展有限公司
技术研发日：2022.05.16
技术公布日：2022/10/11