辅助拆卸工具的制作方法

本技术涉及集成电路制造，特别涉及一种辅助拆卸工具。

背景技术：

1、物理气相沉积(pvd)是指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由溅射阴极或者蒸镀源转移到基材表面上的过程。它的作用是可以使某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能，pvd设备加工的基本方法包括真空蒸发、溅射和离子镀等。

2、在pvd设备的腔室中，工艺套件(processkits)中的环形件(depring)通过螺丝固定在加热器(heater)上，由于加热器的直径比晶圆直径小，加热器周侧部分无法被晶圆以及环形件覆盖，将直接暴露在腔室内，随着工艺进程的推进，加热器上会出现膜层沉积，从而使得加热器和环形件之间的间隙越来越小，进而出现环形件卡死在加热器上，不便拆卸的情况发生。

3、目前，对于环形件的拆卸，通常采取的方式是刮除加热器和环形件侧面缝隙间的沉积膜层，随后采用薄片或者一字起等工具翘加热器与环形件底部的缝隙，从而将加热器与环形件分离。上述拆卸过程操作不便、耗时长且容易对环形件以及其他部件造成不同程度的损伤。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种辅助拆卸工具，以解决现有pvd设备中环形件与加热器拆卸不便的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种辅助拆卸工具，用于拆卸pvd设备的环形件，所述pvd设备包括加热器，所述环形件安装于所述加热器上，所述加热器具有孔位，所述辅助拆卸工具包括：膨胀卡座和顶杆；所述膨胀卡座具有变形部，所述变形部通过挤压形变卡设于加热器上的孔位中；所述膨胀卡座上开设有供所述顶杆穿过的第一通孔，且所述第一通孔位于所述加热器的孔位内；所述顶杆与所述第一通孔可拆卸连接并可在所述第一通孔内移动。

3、可选的，所述变形部包括至少两个弹性块，至少两个所述弹性块沿所述第一通孔的周向间隔设置；

4、至少两个所述弹性块通过内部挤压膨胀或者外部弹性压缩卡接在所述加热器上的孔位中。

5、可选的，还包括顶丝，所述顶丝与所述第一通孔螺纹连接，用于挤压所述弹性块向外膨胀。

6、可选的，所述变形部的外径不大于所述加热器上的孔位直径，且多个所述弹性块中任意相对的两个所述弹性块的内表面呈倾斜设置。

7、可选的，所述变形部中与所述加热器中孔位的孔壁抵紧的所述弹性块的外表面为圆弧面。

8、可选的，所述顶丝的任意一端局部呈光杆设置。

9、可选的，所述顶丝上开设有供所述顶杆穿过的第二通孔，且所述第二通孔内设置有内螺纹，所述顶杆外表面设置有外螺纹，所述顶杆与所述顶丝螺纹连接。

10、可选的，所述顶丝远离光杆设置的一端开设有多边形孔。

11、可选的，所述变形部的局部直径大于所述加热器上的孔位直径。

12、可选的，每个所述弹性块对应所述变形部中直径小于所述加热器上的孔位直径的部分呈弯曲设置。

13、在本实用新型提供的辅助拆卸工具中，利用加热器本身存在的孔位，无需对pvd设备进行改造，膨胀卡座通过变形部的挤压形变卡接在加热器的孔位中，在降低成本的同时，还增加了辅助拆卸工具在拆卸作业中的适用性。此外，将膨胀卡座通过变形部的挤压形变卡接在加热器的孔位中，为顶杆提供固定支点，便于顶杆逐步螺纹旋进并将环形件(depring)顶起，实现环形件(depring)与加热器(heater)的拆卸作业，可达到减少环形件(depring)与加热器(heater)的拆卸作业时间的效果，同时也可避免在拆卸过程中对环形件(depring)以及其他零部件造成损伤，提升了拆卸效率以及安全性。

技术特征：

1.一种辅助拆卸工具，用于拆卸pvd设备的环形件，所述pvd设备包括加热器，所述环形件安装于所述加热器上，所述加热器具有孔位，其特征在于，所述辅助拆卸工具包括膨胀卡座和顶杆，所述膨胀卡座具有变形部，所述变形部能够通过挤压形变卡设于所述加热器的孔位中，所述膨胀卡座上开设有供所述顶杆穿过的第一通孔，所述顶杆能够在所述第一通孔内移动。

2.根据权利要求1所述的辅助拆卸工具，其特征在于，所述变形部包括至少两个弹性块，至少两个所述弹性块沿所述第一通孔的周向间隔设置。

3.根据权利要求2所述的辅助拆卸工具，其特征在于，至少两个所述弹性块通过内部挤压膨胀或者外部弹性压缩卡设于所述加热器的孔位中。

4.根据权利要求3所述的辅助拆卸工具，其特征在于，还包括顶丝，所述顶丝与所述第一通孔螺纹连接，用于挤压所述弹性块向外膨胀。

5.根据权利要求4所述的辅助拆卸工具，其特征在于，所述变形部的外径不大于所述加热器的孔位的直径，且多个所述弹性块中任意相对的两个所述弹性块的内表面呈倾斜设置。

6.根据权利要求5所述的辅助拆卸工具，其特征在于，所述变形部中与所述加热器的孔位的孔壁抵紧的所述弹性块的外表面为圆弧面。

7.根据权利要求4所述的辅助拆卸工具，其特征在于，所述顶丝的一端局部呈光杆设置。

8.根据权利要求4所述的辅助拆卸工具，其特征在于，所述顶丝上开设有供所述顶杆穿过的第二通孔，且所述第二通孔内设置有内螺纹，所述顶杆外表面设置有外螺纹，所述顶杆与所述顶丝螺纹连接。

9.根据权利要求7所述的辅助拆卸工具，其特征在于，所述顶丝远离所述光杆的一端开设有多边形孔。

10.根据权利要求3所述的辅助拆卸工具，其特征在于，所述变形部的局部直径大于所述加热器的孔位的直径。

技术总结
本技术提供一种辅助拆卸工具，涉及集成电路制造技术领域。所述辅助拆卸工具用于拆卸PVD设备的环形件，环形件安装于所述加热器上，加热器具有孔位，所述辅助拆卸工具包括膨胀卡座和顶杆，所述膨胀卡座具有变形部，所述变形部能够通过挤压形变卡设于所述加热器的孔位中，所述膨胀卡座上开设有供所述顶杆穿过的第一通孔，所述顶杆能够在所述第一通孔内移动。本技术利用加热器本身存在的孔位，无需对PVD设备进行改造，将膨胀卡座通过变形部的挤压形变卡接在加热器的孔位中，为顶杆提供固定支点，从而便于顶杆逐步螺纹旋进并将环形件顶起，实现环形件与加热器的快速拆卸作业，提升了拆卸效率以及安全性。

技术研发人员：程刚
受保护的技术使用者：粤芯半导体技术股份有限公司
技术研发日：20221216
技术公布日：2024/1/12