一种用于静电卡盘组件的基座进行定位的定位工装的制作方法

本发明属于半导体制造，具体涉及一种用于静电卡盘组件的基座进行定位的定位工装。

背景技术：

1、在高密度等离子设备中，静电卡盘组件作为其核心零部件，需要定期更换来保证更好的工艺效果，由于其整体组件重量较大不方便取放，且在机台设备上更换时空间有限。如图1和图2所示，基座1整体通过导向杆2准确定位到腔体3中；导向杆2整体全为金属，顶部为倒角设计，留有锋利金属边缘，如图3所示。如图4所示，在安装过程中，基座1的密封面4与金属导向杆2接触容易造成密封面4的损坏，导致密封失效，无法进行正常工艺动作，一旦基座的密封面损坏其更换难度大、更换时间长、财产损失大，需优化相应结构避免此类问题。

技术实现思路

1、基于现有技术存在的技术问题，本发明提供一种用于静电卡盘组件的基座进行定位的定位工装，旨在解决静电卡盘组件的基座在半导体设备的腔体内定位安装过程中，导向杆易损坏基座的密封面的技术问题。

2、为实现上述目的，本发明提供了一种用于静电卡盘组件的基座进行定位的定位工装，用于对安装于半导体设备的腔体内的静电卡盘组件的基座进行定位，腔体的底部设置有安装孔，基座朝向腔体的一面为的密封面，密封面设置有通孔，用于静电卡盘组件的基座进行定位的定位工装包括导向杆和保护套，保护套为塑料材质，导向杆具有相对的第一端和第二端，第一端用于插入安装孔，第二端套设有保护套，带有保护套的第二端用于插入通孔。

3、可选地，保护套包括保护管，保护管的内部中空且一端设有开口，保护管的另一端设有封闭结构，第二端通过开口插入保护管。

4、可选地，封闭结构为半球形端盖。

5、可选地，半球形端盖与保护管一体成型。

6、可选地，保护管与第二端可拆卸地连接。

7、可选地，保护管与第二端螺纹套接。

8、可选地，保护管内包括非螺纹孔和螺纹孔，非螺纹孔的孔径大于螺纹孔的孔径，非螺纹孔的一端与开口连通，非螺纹孔的另一端与螺纹孔连通。

9、可选地，用于静电卡盘组件的基座进行定位的定位工装还包括连接件，连接件套设于保护套的外侧壁，以增加导向杆的长度。

10、可选地，连接件内设置有与扳手配合的扳手孔。

11、可选地，扳手孔为内六角孔。

12、本发明提供的用于静电卡盘组件的基座进行定位的定位工装的有益效果在于：

13、在静电卡盘组件的基座安装过程中，导向杆的第一端插入腔体的底部安装孔，导向杆的第二端套设塑料材质的保护套并插入基座的密封面上的通孔，实现基座的定位安装。通过设置塑料材质的保护套，避免了导向杆与基座的密封面直接接触，从而减少对基座的密封面造成损坏的风险，延长基座的使用寿命，减少财产损失。

技术特征：

1.一种用于静电卡盘组件的基座进行定位的定位工装，用于对安装于半导体设备的腔体内的静电卡盘组件的基座进行定位，所述腔体的底部设置有安装孔，所述基座朝向所述腔体的一面为的密封面，所述密封面设置有通孔，其特征在于，所述定位工装包括导向杆和保护套，所述保护套为塑料材质，所述导向杆具有相对的第一端和第二端，所述第一端用于插入所述安装孔，所述第二端套设有所述保护套，带有所述保护套的所述第二端用于插入所述通孔。

2.根据权利要求1所述的用于静电卡盘组件的基座进行定位的定位工装，其特征在于，所述保护套包括保护管，所述保护管的内部中空且一端设有开口，所述保护管的另一端设有封闭结构，所述第二端通过所述开口插入所述保护管。

3.根据权利要求2所述的用于静电卡盘组件的基座进行定位的定位工装，其特征在于，所述封闭结构为半球形端盖。

4.根据权利要求3所述的用于静电卡盘组件的基座进行定位的定位工装，其特征在于，所述半球形端盖与所述保护管一体成型。

5.根据权利要求2所述的用于静电卡盘组件的基座进行定位的定位工装，其特征在于，所述保护管与所述第二端可拆卸地连接。

6.根据权利要求5所述的用于静电卡盘组件的基座进行定位的定位工装，其特征在于，所述保护管与所述第二端螺纹套接。

7.根据权利要求6所述的用于静电卡盘组件的基座进行定位的定位工装，其特征在于，所述保护管内包括非螺纹孔和螺纹孔，所述非螺纹孔的孔径大于所述螺纹孔的孔径，所述非螺纹孔的一端与所述开口连通，所述非螺纹孔的另一端与螺纹孔连通。

8.根据权利要求1所述的用于静电卡盘组件的基座进行定位的定位工装，其特征在于，所述用于静电卡盘组件的基座进行定位的定位工装还包括连接件，所述连接件套设于所述保护套的外侧壁，以增加所述导向杆的长度。

9.根据权利要求8所述的用于静电卡盘组件的基座进行定位的定位工装，其特征在于，所述连接件内设置有与扳手配合的扳手孔。

10.根据权利要求9所述的用于静电卡盘组件的基座进行定位的定位工装，其特征在于，所述扳手孔为内六角孔。

技术总结
本发明适提供了一种用于静电卡盘组件的基座进行定位的定位工装，用于对安装于半导体设备的腔体内的静电卡盘组件的基座进行定位，腔体的底部设置有安装孔，基座朝向腔体的一面为的密封面，密封面设置有通孔，用于静电卡盘组件的基座进行定位的定位工装包括导向杆和保护套，保护套为塑料材质，导向杆具有相对的第一端和第二端，第一端用于插入安装孔，第二端套设有保护套，带有保护套的第二端用于插入通孔。通过设置塑料材质的保护套，避免了导向杆与基座的密封面直接接触，从而减少对基座的密封面造成损坏的风险，延长基座的使用寿命，减少财产损失。

技术研发人员：马宏坤,张建,苏宇,王晓晨,李伟阳
受保护的技术使用者：盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15