一种锅型靶材的氦泄露检测用夹具的制作方法

本技术属于靶材检测，涉及一种夹具，尤其涉及一种锅型靶材的氦泄露检测用夹具。

背景技术：

1、靶材是薄膜溅射的重要部件，主要用于集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器或电子控制器件等领域，靶材的形状有长方形、圆形、圆柱体和不规则形状等，不规则形状的靶材通常称为异形靶材。

2、hcm系列靶材是一种锅型异形靶材，锅体部分为溅射区域，材质通常为铜、钽等。此类靶材在使用过程中通过法兰与机台装配，但是由于法兰和靶材的材质往往并不相同，尤其是钽锅型靶材和钛法兰，二者的熔点差异很大，钽的熔点高达2995℃，而钛的熔点只有1660℃，较难在异形靶材中连接两种材料，焊接结合率比较低。因此，需要通过真空检漏技术确认焊接情况，避免使用时漏气。

3、氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点，是真空检漏技术中灵敏度最高，使用最为普遍的检漏仪器。然而，氦质谱检漏仪检测靶材时，需要用氦质谱检漏仪本身的一根管子与靶材的进水口或者出水口连接起来，把产品腔体里面的空气抽出来，使产品内部达到真空状态。然而，氦质谱检漏仪的接口是标准件，而靶材本身是没有接口的，所以无法直接相连，进而难以实现锅型靶材的氦泄露检测。

4、因此，为解决上述问题，需设计一种夹具实现氦质谱检漏仪和靶材的连接，进而实现锅型靶材的氦泄露检测。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种锅型靶材的氦泄露检测用夹具，使得锅形靶材与氦质谱检漏仪连接，进而实现了锅型靶材的氦泄露检测。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、本实用新型提供了一种锅型靶材的氦泄露检测用夹具，所述氦泄露检测用夹具上设置有密封圈；

4、所述密封圈与所述锅型靶材中密封槽的位置不重合；

5、所述氦泄露检测用夹具的中心设置有通孔；

6、所述通孔背对所述锅型靶材的一面设置有与氦质谱检漏仪的波纹管结构相适应的弯型接头。

7、本实用新型中，所述通孔的背面设置有弯型接头。

8、本实用新型中，在夹具表面采用整圈密封圈设计，夹具接触面可以平整的与靶材台阶面接触，不产生漏气；在夹具的中心设置有通孔，方便使用时，将靶材腔体里面的空气抽出来，使其内部达到真空状态；所述通孔背对所述锅型靶材的一面设置有与氦质谱检漏仪的波纹管结构相适应的弯型接头，通过弯型接头将氦质谱检漏仪本身的波纹管连接起来，进而实现了锅型靶材的氦泄露检测。同时，本实用新型提供的锅型靶材的氦泄露检测用夹具结构简单，易于加工，可操作性强，降低了生产成本和操作难度。

9、作为本实用新型优选的技术方案，所述氦泄露检测用夹具的形状为圆形。

10、优选地，所述氦泄露检测用夹具的直径为480-520mm，例如可以是480mm、485mm、490mm、495mm、500mm、505mm、510mm、515mm或520mm等，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

11、本实用新型中，所述氦泄露检测用夹具的大小根据锅形靶材的尺寸而定。

12、作为本实用新型优选的技术方案，所述通孔的直径为13-15mm，例如可以是13mm、13.2mm、13.4mm、13.6mm、13.8mm、14mm、14.2mm、14.4mm、14.6mm、14.8mm或15mm等，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

13、作为本实用新型优选的技术方案，所述氦泄露检测用夹具上设置有凹槽。

14、本实用新型中，所述凹槽与锅型靶材中凸台的结构相适应，使得氦泄露检测用夹具接触面可以平整地与锅型靶材的凸台面接触。

15、优选地，所述氦泄露检测用夹具的外周设置有凸台。

16、作为本实用新型优选的技术方案，所述密封圈设置于所述凹槽和所述凸台之间。

17、作为本实用新型优选的技术方案，所述凹槽的深度为14-16mm，例如可以是14mm、14.2mm、14.4mm、14.6mm、14.8mm、15mm、15.2mm、15.4mm、15.6mm、15.8mm或16mm等，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

18、作为本实用新型优选的技术方案，所述凹槽的内径为400-410mm，例如可以是400mm、402mm、404mm、406mm、408mm或410mm等，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

19、作为本实用新型优选的技术方案，所述凸台的高度为4-6mm，例如可以是4mm、4.2mm、4.4mm、4.6mm、4.8mm、5mm、5.2mm、5.4mm、5.6mm、5.8mm或6mm等，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

20、本实用新型中，所述凸台的宽度为20-30mm，例如可以是20mm、22mm、24mm、26mm、28mm或30mm等，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

21、作为本实用新型优选的技术方案，所述氦泄露检测用夹具的外周均匀设置有至少4个缺口，例如可以是4个、5个、6个或7个等，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

22、本实用新型中，所述氦泄露检测用夹具的外周均匀设置有缺口，便于检测前后锅型靶材的放置和拿取。

23、作为本实用新型优选的技术方案，所述缺口的深度小于所述氦泄露检测用夹具的高度。

24、与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

25、本实用新型提供的锅型靶材的氦泄露检测用夹具，在夹具表面采用整圈密封圈设计、中心设置有通孔以及通孔的背面设置有弯型接头，可以将氦质谱检漏仪的波纹管与靶材连接起来，进而实现了锅型靶材的氦泄露检测的目的，避免了检测过程中出现漏气现象。

技术特征：

1.一种锅型靶材的氦泄露检测用夹具，其特征在于，所述氦泄露检测用夹具上设置有密封圈；

2.根据权利要求1所述锅型靶材的氦泄露检测用夹具，其特征在于，所述氦泄露检测用夹具的形状为圆形；

3.根据权利要求1所述锅型靶材的氦泄露检测用夹具，其特征在于，所述通孔的直径为13-15mm。

4.根据权利要求1所述锅型靶材的氦泄露检测用夹具，其特征在于，所述氦泄露检测用夹具上设置有凹槽；

5.根据权利要求4所述锅型靶材的氦泄露检测用夹具，其特征在于，所述密封圈设置于所述凹槽和所述凸台之间。

6.根据权利要求4所述锅型靶材的氦泄露检测用夹具，其特征在于，所述凹槽的深度为14-16mm。

7.根据权利要求4所述锅型靶材的氦泄露检测用夹具，其特征在于，所述凹槽的内径为400-410mm。

8.根据权利要求4所述锅型靶材的氦泄露检测用夹具，其特征在于，所述凸台的高度为4-6mm。

9.根据权利要求1所述锅型靶材的氦泄露检测用夹具，其特征在于，所述氦泄露检测用夹具的外周均匀设置有至少4个缺口。

10.根据权利要求9所述锅型靶材的氦泄露检测用夹具，其特征在于，所述缺口的深度小于所述氦泄露检测用夹具的高度。

技术总结
本技术提供了一种锅型靶材的氦泄露检测用夹具，所述氦泄露检测用夹具上设置有密封圈；所述密封圈与所述锅型靶材中密封槽的位置不重合；所述氦泄露检测用夹具的中心设置有通孔；所述通孔背对所述锅型靶材的一面设置有与氦质谱检漏仪的波纹管结构相适应的弯型接头。本技术提供的锅型靶材的氦泄露检测用夹具，在夹具表面采用整圈密封圈设计、中心设置有通孔以及通孔的背面设置有弯型接头，可以将氦质谱检漏仪的波纹管与靶材连接起来，进而实现了锅型靶材的氦泄露检测的目的，避免了检测过程中出现漏气现象。

技术研发人员：姚力军,潘杰,王学泽,李佳奇
受保护的技术使用者：宁波江丰电子材料股份有限公司
技术研发日：20230301
技术公布日：2024/1/13