一种上电极安装工具的制作方法

本申请涉及电极安装工具，具体涉及一种上电极安装工具。

背景技术：

1、在对现有技术的研究和实践过程中，现有的上电极安装未有特定的安装工具。在进行上电极的安装时，需要双人一起将上电极搬运至机台上，进行定位安装。但是，其一，上电极本身表面光滑，机台间隙小，不利于搬运。其二，上电极安装时需要定位，需要两个人同时搬运放到定位槽，不易抓取。其三，安装纯硅电极从底部上螺丝，安装会存在一定的间隙，无法控制间隙大小。其四，由于电极是纯硅制成，强度低、韧性差、比较脆，易因为螺丝力矩不平衡导致内应力压碎电极。由于电极较大，无法确定电极中心的安装水平，从而遭受电极内部间隙存在颗粒物影响，使日常维护失败。

2、因此，如何提供一种上电极的安装工具，以减少上电极安装的困难是目前亟待解决的问题

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种上电极的安装工具，可以解决目前上电极安装困难的技术问题。

2、本申请实施例提供一种上电极安装工具，包括：

3、主体部，所述主体部为环形结构；

4、支撑部，所述支撑部为设于所述主体部上的环形结构，所述支撑部上开设有多个定位孔。

5、在本申请实施例提供的上电极安装工具中，所述支撑部的内径小于所述主体部的内径，所述支撑部的外径与所述主体部的外径相同。

6、在本申请实施例提供的上电极安装工具中，所述支撑部开设有至少四个定位孔。

7、在本申请实施例提供的上电极安装工具中，多个所述定位孔在所述支撑部上等距分布。

8、在本申请实施例提供的上电极安装工具中，所述定位孔为弧形槽孔。

9、在本申请实施例提供的上电极安装工具中，所述支撑部上设有至少八个安装孔点位。

10、在本申请实施例提供的上电极安装工具中，所述安装孔点位至少在每个所述定位孔两侧分别设有一个。

11、在本申请实施例提供的上电极安装工具中，多个所述安装孔点位在所述支撑部上等距分布。

12、在本申请实施例提供的上电极安装工具中，所述主体部的内径为370～380mm，所述主体部的外径为400～410mm。

13、在本申请实施例提供的上电极安装工具中，所述支撑部的内径为380～390mm，所述支撑部的外径为400～410mm。

14、在本申请实施例提供的上电极安装工具中，上电极安装工具包括主体部和设于主体部上的支撑部，支撑部和主体部均为环形结构，且支撑部上开设有多个定位孔。其中，在本申请实施例提供的上电极安装工具安装上电极时，先将电极放置水平，再将冷却气体分配盘从左上方垂直放入对应的定位孔，然后将螺丝按照标记的序号依次上紧，最后将冷却气体分配盘连带上电极垂直向上提出。因此，采用在本申请实施例提供的上电极安装工具安装上电极，可以提高安装速度，同时还能减少零部件的损坏概率。

技术特征：

1.一种上电极安装工具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的上电极安装工具，其特征在于，所述支撑部的内径小于所述主体部的内径，所述支撑部的外径与所述主体部的外径相同。

3.根据权利要求1所述的上电极安装工具，其特征在于，多个所述定位孔在所述支撑部上等距分布。

4.根据权利要求1所述的上电极安装工具，其特征在于，所述定位孔为弧形槽孔。

5.根据权利要求1所述的上电极安装工具，其特征在于，所述安装孔点位至少在每个所述定位孔两侧分别设有一个。

6.根据权利要求1所述的上电极安装工具，其特征在于，多个所述安装孔点位在所述支撑部上等距分布。

7.根据权利要求1所述的上电极安装工具，其特征在于，所述主体部的内径为370～380mm，所述主体部的外径为400～410mm。

8.根据权利要求1所述的上电极安装工具，其特征在于，所述支撑部的内径为380～390mm，所述支撑部的外径为400～410mm。

技术总结
在本申请实施例提供的上电极安装工具中，上电极安装工具包括主体部和设于主体部上的支撑部，支撑部和主体部均为环形结构，且支撑部上开设有多个定位孔。其中，在本申请实施例提供的上电极安装工具安装上电极时，先将电极放置水平，再将冷却气体分配盘从左上方垂直放入对应的定位孔，然后将螺丝按照标记的序号依次上紧，最后将冷却气体分配盘连带上电极垂直向上提出。因此，采用在本申请实施例提供的上电极安装工具安装上电极，可以提高安装速度，同时还能减少零部件的损坏概率。

技术研发人员：刘亚辉,张泽辉,李锦锋,张奉
受保护的技术使用者：粤芯半导体技术股份有限公司
技术研发日：20230424
技术公布日：2024/1/14