拆装静电吸盘的装置的制作方法

本技术涉及静电吸盘拆装，特别涉及一种拆装静电吸盘的装置。

背景技术：

1、在半导体工艺中，按时对机台进行保养，是维持机台稳定运行的保障。如何快速安全拆装零部件并清洁腔体是半导体设备工程师日常维护的关键。

2、目前在静电吸盘(esc)机台的维护保养过程中，传统的拆卸静电吸盘工作台的方法是用两个jig(其中，jig是一种拆卸静电吸盘的专用工具)去施力来人为控制力度拆卸静电吸盘，两端同时用力，将下端密封的o形密封圈分离拆卸出来，费时费力，且易造成静电吸盘的磕碰，导致零件损坏。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种拆装静电吸盘的装置，以解决拆卸静电吸盘的传统办法费时费力、容易造成静电吸盘的磕碰而导致零件损坏等问题中的至少一个问题。

2、为解决上述技术问题，本申请实施例提供一种拆装静电吸盘的装置，包括：基座、手摇杆和平衡受力机构，其中，

3、所述平衡受力机构包括：平衡受力组件、若干螺纹伸缩杆和若干静电吸盘固定件，其中，所述平衡受力组件包括：第一平衡受力杆和第二平衡受力杆，所述第一平衡受力杆和所述第二平衡受力杆均为星形结构，其中，

4、所述第一平衡受力杆和所述第二平衡受力杆上下间隔叠放；所述螺纹伸缩杆设于所述基座上并且通过螺纹贯穿所述第一平衡受力杆、所述第二平衡受力杆的端部，以支撑所述第一平衡受力杆和所述第二平衡受力杆；所述静电吸盘固定件均匀地分布在所述第一平衡受力杆、所述第二平衡受力杆的各分支杆上，并且所述静电吸盘固定件贯穿所述第一平衡受力杆和所述第二平衡受力杆；所述手摇杆通过螺纹贯穿上下间隔叠放的所述第一平衡受力杆和所述第二平衡受力杆的中心；

5、其中，所述拆装静电吸盘的装置被配置为：

6、将所述基座套设在静电吸盘的工作台的外围以使所述手摇杆和所述平衡受力机构位于所述工作台上方，将所有所述螺纹伸缩杆调节至相同的高度，利用所述静电吸盘固定件与所述工作台连接固定，通过旋转所述手摇杆，所述第一平衡受力杆和所述第二平衡受力杆沿着所述螺纹伸缩杆上的螺纹上升并带动所述静电吸盘固定件上升，以带动所述工作台升起；

7、或者，利用所述静电吸盘固定件与静电吸盘的工作台连接固定，将所述基座套设在静电吸盘的工作台的外围以使所述手摇杆和所述平衡受力机构位于所述工作台上方，将所有所述螺纹伸缩杆调节至相同的高度，通过旋转所述手摇杆，所述第一平衡受力杆和所述第二平衡受力杆沿着所述螺纹伸缩杆上的螺纹下降并带动所述静电吸盘固定件下降，以带动所述工作台下降至安装位置。

8、可选的，在所述拆装静电吸盘的装置中，静电吸盘固定件为螺丝。

9、可选的，在所述拆装静电吸盘的装置中，所述平衡受力机构还包括：多个限位滑轨，所述限位滑轨安装在所述第一平衡受力杆、所述第二平衡受力杆的各分支杆上，所述静电吸盘固定件设于所述限位滑轨内。

10、可选的，在所述拆装静电吸盘的装置中，所述第一平衡受力杆的结构和所述第二平衡受力杆的结构相同。

11、可选的，在所述拆装静电吸盘的装置中，所述第一平衡受力杆、所述第二平衡受力杆均包括：至少三个所述分支杆。

12、可选的，在所述拆装静电吸盘的装置中，所述拆装静电吸盘的装置还包括：把手，所述把手安装在所述第一平衡受力杆上。

13、可选的，在所述拆装静电吸盘的装置中，各所述螺纹伸缩杆上均设有高度调节旋钮，通过旋转所述高度调节旋钮，所述螺纹伸缩杆上升或者下降一定的高度。

14、可选的，在所述拆装静电吸盘的装置中，所述基座为圆环形结构。

15、可选的，在所述拆装静电吸盘的装置中，所述基座的内径大于所述工作台的外径。

16、本申请技术方案，至少包括如下优点：

17、本申请通过旋转手摇杆，利用静电吸盘固定件带动静电吸盘工作台抬起或者降下，拆装更省时省力。进一步的，静电吸盘固定件均匀地分布在所述第一平衡受力杆、所述第二平衡受力杆的各分支杆上，在拆装过程中，使得与静电吸盘固定件固定连接的静电吸盘工作台平衡受力，不会因为偏移导致安装失败，避免了静电吸盘的磕碰而导致零件损坏的情况，提高了拆装安全性和可靠性。

18、进一步的，本申请可以通过高度调节旋钮来调整螺纹伸缩杆的高度以及通过限位滑轨来调整静电吸盘固定件的位置，使得本申请提供的拆装静电吸盘的装置能够适用于不同高度以及不同尺寸的静电吸盘，提高了拆装静电吸盘的装置的实用性。

技术特征：

1.一种拆装静电吸盘的装置，其特征在于，包括：基座、手摇杆和平衡受力机构，其中，

2.根据权利要求1所述的拆装静电吸盘的装置，其特征在于，静电吸盘固定件为螺丝。

3.根据权利要求1所述的拆装静电吸盘的装置，其特征在于，所述平衡受力机构还包括：多个限位滑轨，所述限位滑轨安装在所述第一平衡受力杆、所述第二平衡受力杆的各分支杆上，所述静电吸盘固定件设于所述限位滑轨内。

4.根据权利要求1所述的拆装静电吸盘的装置，其特征在于，所述第一平衡受力杆的结构和所述第二平衡受力杆的结构相同。

5.根据权利要求4所述的拆装静电吸盘的装置，其特征在于，所述第一平衡受力杆、所述第二平衡受力杆均包括：至少三个所述分支杆。

6.根据权利要求1所述的拆装静电吸盘的装置，其特征在于，所述拆装静电吸盘的装置还包括：把手，所述把手安装在所述第一平衡受力杆上。

7.根据权利要求1所述的拆装静电吸盘的装置，其特征在于，各所述螺纹伸缩杆上均设有高度调节旋钮，通过旋转所述高度调节旋钮，所述螺纹伸缩杆上升或者下降一定的高度。

8.根据权利要求1所述的拆装静电吸盘的装置，其特征在于，所述基座为圆环形结构。

9.根据权利要求8所述的拆装静电吸盘的装置，其特征在于，所述基座的内径大于所述工作台的外径。

技术总结
本技术提供了一种拆装静电吸盘的装置，包括：基座、手摇杆和平衡受力机构，所述平衡受力机构包括：平衡受力组件、若干螺纹伸缩杆和若干静电吸盘固定件，其中，所述平衡受力组件包括：间隔叠放的星形结构的第一平衡受力杆和第二平衡受力杆。本申请通过旋转手摇杆，利用静电吸盘固定件带动静电吸盘工作台抬起或者降下，拆装更省时省力，节省了保养拆装静电吸盘机台的时间。进一步的，静电吸盘固定件均匀地分布在所述第一平衡受力杆、所述第二平衡受力杆的各分支杆上，在拆装过程中，使得与静电吸盘固定件固定连接的静电吸盘工作台平衡受力，不会因为偏移导致安装失败，避免了静电吸盘的磕碰而导致零件损坏的情况，提高了拆装可靠性。

技术研发人员：姚恒山,姜玮,曹春生,沈子扬
受保护的技术使用者：华虹半导体（无锡）有限公司
技术研发日：20230508
技术公布日：2024/1/14