一种用于多根硅棒加工的固定装置的制作方法

本技术涉及硅棒加工夹具，具体为一种用于多根硅棒加工的固定装置。

背景技术：

1、硅棒在生产过程中需要通过夹持台对其进行固定和夹持，而夹持后的硅棒不易松动，从而便于工作人员对其进行后续加工处理，但是现有的硅棒采用单支加工，效率低。

2、公告号cn217122911u的实用新型专利公开了一种单晶硅棒生产用硅棒夹持固定装置，通过在底板的上端面贯穿开设有两个左右分布的滑槽；夹持机构设置于底板的上方，用于夹持不同直径的硅棒，通过驱动装置带动滑杆在滑槽的内部滑动，使得两个夹具相互靠近将硅棒加紧，此时，通过防滑垫增加夹具与硅棒之间的摩擦力，同时避免夹具将硅棒夹坏的问题，通过夹具呈“u”型，使得夹具在夹紧硅棒时，当硅棒外侧壁抵在夹具的内侧壁即可将硅棒加紧，进而通过夹具的形状设置，使得装置可以夹紧不同直径的硅棒。如此结构的单晶硅棒生产用硅棒夹持固定装置整体结构复杂，并且在加工时只能加工单支硅棒，加工效率低。

技术实现思路

1、针对现有硅棒在生产过程中的夹持台只能够支撑单支硅棒，导致硅棒加工效率低的问题，本实用新型的目的在于提供了一种用于多根硅棒加工的固定装置，其能够同时支撑多根待加工的硅棒，大大提高硅棒的加工效率。

2、为实现上述目的，本实用新型提供的用于多根硅棒加工的固定装置，包括底座组件，所述底座组件的上端设置有左夹具组件，所述底座组件的上端固定连接有右夹具组件；

3、所述底座组件包括有底座本体、固定孔和导轨，所述底座本体的上端开设有固定孔，所述底座本体的上端固定连接有导轨；

4、所述左夹具组件包括有左夹具本体、通孔、固定槽一和导槽，所述左夹具本体的上端开设有通孔，所述左夹具本体的右侧开设有固定槽一，所述左夹具本体的下端开设有导槽；

5、所述右夹具组件包括有右夹具本体和固定槽二，所述右夹具本体的左侧开设有固定槽二。

6、优选的，所述底座组件的底座本体上端开设有六个固定孔，所述底座本体的上端固定连接有三个导轨。

7、通过上述技术方案，便于左夹具组件通过螺栓固定与固定孔以及在导轨滑动。

8、优选的，所述左夹具组件的左夹具本体上端开设有两个通孔，所述左夹具本体的右侧开设有四个固定槽一，所述左夹具本体的下端开设有三个导轨。

9、通过上述技术方案，便于在底座组件上滑动与固定。

10、优选的，所述右夹具组件的右夹具本体左侧开设有四个固定槽二，所述固定槽二与左夹具组件的固定槽一相适配且位置对应。

11、通过上述技术方案，多个固定槽一以及多个固定槽二能够同时加工多根硅棒，减少多根加工存在的误差现象，保障了加工精度还提高了加工效率。

12、优选的，所述底座组件的固定孔和左夹具组件的通孔内侧均开设有螺纹，所述固定孔与通孔相适配。

13、通过上述技术方案，左夹具组件的通孔和底座组件的固定孔能够便于使用螺栓固定左夹具组件在底座组件上的多个不同间距的固定孔上，进行锁定并根据硅棒长度规格调节。

14、优选的，所述底座组件的导轨与左夹具组件的导槽相适配，所述左夹具组件与底座组件滑动连接，所述右夹具组件与底座组件固定连接。

15、通过上述技术方案，导轨和的导槽能够便于定位对齐夹具且适应不同长度的硅棒，操作方便。

16、本实用新型提供的固定装置方案，通过左夹具组件的多个固定槽一以及右夹具组件的多个固定槽二能够同时加工多根硅棒，减少多根加工存在的误差现象，有效提高加工效率。

17、本实用新型提供的固定装置方案，通过底座组件的导轨和左夹具组件的导槽能够便于定位对齐夹具且适应不同长度的硅棒，操作方便。

18、本实用新型提供的固定装置方案通过左夹具组件的通孔和底座组件的固定孔能够便于使用螺栓固定左夹具组件在底座组件上的多个不同间距的固定孔上，进行锁定并根据硅棒长度规格调节。

技术特征：

1.一种用于多根硅棒加工的固定装置，包括底座组件(1)，其特征在于：所述底座组件(1)的上端设置有左夹具组件(2)，所述底座组件(1)的上端固定连接有右夹具组件(3)；

2.根据权利要求1所述的一种用于多根硅棒加工的固定装置，其特征在于：所述底座组件(1)的底座本体(101)上端开设有六个固定孔(103)，所述底座本体(101)的上端固定连接有三个导轨(102)。

3.根据权利要求1所述的一种用于多根硅棒加工的固定装置，其特征在于：所述左夹具组件(2)的左夹具本体(201)上端开设有两个通孔(202)，所述左夹具本体(201)的右侧开设有四个固定槽一(203)，所述左夹具本体(201)的下端开设有三个导轨(102)。

4.根据权利要求1所述的一种用于多根硅棒加工的固定装置，其特征在于：所述右夹具组件(3)的右夹具本体(301)左侧开设有四个固定槽二(302)，所述固定槽二(302)与左夹具组件(2)的固定槽一(203)相适配且位置对应。

5.根据权利要求1所述的一种用于多根硅棒加工的固定装置，其特征在于：所述底座组件(1)的固定孔(103)和左夹具组件(2)的通孔(202)内侧均开设有螺纹，所述固定孔(103)与通孔(202)相适配。

6.根据权利要求1所述的一种用于多根硅棒加工的固定装置，其特征在于：所述底座组件(1)的导轨(102)与左夹具组件(2)的导槽(204)相适配，所述左夹具组件(2)与底座组件(1)滑动连接，所述右夹具组件(3)与底座组件(1)固定连接。

技术总结
本技术涉及硅棒加工夹具技术领域，且公开了一种用于多根硅棒加工的固定装置，包括底座组件，所述底座组件的上端设置有左夹具组件，所述底座组件的上端固定连接有右夹具组件，所述底座组件包括有底座本体、固定孔和导轨。该固定装置，通过左夹具组件的多个固定槽一以及右夹具组件的多个固定槽二能够同时加工多根硅棒，减少多根加工存在的误差现象，保障了加工精度还提高了加工效率，通过底座组件的导轨和左夹具组件的导槽能够便于定位对齐夹具且适应不同长度的硅棒，操作方便，通过左夹具组件的通孔和底座组件的固定孔能够便于使用螺栓固定左夹具组件在底座组件上的多个不同间距的固定孔上，进行锁定并据硅棒长度规格调节。

技术研发人员：周荣华,冯金
受保护的技术使用者：上海圣永丞半导体科技有限公司
技术研发日：20230521
技术公布日：2024/1/13