安装辅助支架的制作方法

本技术涉及半导体集成电路制造，特别涉及一种安装辅助支架。

背景技术：

1、目前半导体厂中，时常需要维护更换一些波纹管，具体而言，slitactuator(狭缝阀门的制动器部件)和liftbellow(升降阀门的升降管部件)缺少专用的辅助安装工具，单个部件的重量超过5kg，安装时还需要使部件倾斜处于一定的角度，以与部件安装的位置相匹配，因此更换时必须由多人协同操作方可完成部件安装，由于机台结构紧凑，在无专用护具的情况下，存在安装时部件掉落，造成人身伤害的风险。现有安装方法费时费力，且存在一定的安全隐患。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种安装辅助支架，以解决部件安装难度大，效率低，且易造成人身伤害的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供一种安装辅助支架，包括连接件及安装组件，所述连接件枢接在承载台上，所述安装组件安装在所述连接件的侧壁上，所述安装组件用于安装待安装的部件，所述连接件用于带动所述安装组件自所述承载台的第一侧转动至第二侧，且所述承载台的第一侧和第二侧分别设置有第一锁止机构和第二锁止机构，用于固定所述安装组件，当所述安装组件与所述第一锁止机构或所述第二锁止机构连接时，所述安装组件与所述承载台之间具有不同的夹角。

3、优选地，所述安装组件包括底板及其上的斜面支撑板，所述斜面支撑板设置至少一个，所述斜面支撑板设置在所述底板靠近所述第二锁止机构的一侧，所述连接件的外壁与所述斜面支撑板固定连接。

4、优选地，所述安装组件还包括左护板和右护板，用于和所述斜面支撑板、所述底板共同围合成一用于设置所述部件的容置空间，所述右护板固定安装在所述底板上，所述左护板与所述底板可分离式连接。

5、优选地，所述第一锁止机构包括第二锁销，所述底板靠近所述第一侧设置有第二锁销板，所述第二锁销板上开设有第二锁销孔，所述承载台上配合所述第二锁销孔还开设有限位孔，以使所述第二锁销穿设在所述第二锁销孔和所述限位孔中。

6、优选地，所述承载台的第一侧还安装有辅助限位块，用于固定所述第二锁销板。

7、优选地，所述第二锁止机构包括底座和撑杆，所述底座安装在所述承载台上，所述撑杆的一端可转动地设置在所述底座上，另一端用于连接所述斜面支撑板，所述斜面支撑板配合所述撑杆设置有限位卡槽。

8、优选地，所述斜面支撑板设置两个，并分别记为第一斜面支撑板和第二斜面支撑板，所述第一斜面支撑板和所述第二斜面支撑板之间具有间隔，所述第一斜面支撑板远离所述第二斜面支撑板的一侧连接所述左护板，所述第二斜面支撑板远离所述第一斜面支撑板的一侧连接所述右护板。

9、优选地，所述右护板上开设有若干个通孔，用于设置螺钉与所述部件可拆卸连接。

10、优选地，所述第一斜面支撑板和所述左护板之间通过铰链铰接。

11、优选地，所述底板靠近所述左护板的一侧设有第一锁销板，所述第一锁销板上开设有第一锁销孔，用于设置第一锁销固定所述左护板，且所述左护板上具有供所述第一锁销板穿设其中的开口。

12、在本实用新型提供的安装辅助支架，通过设置可转动的安装组件，可满足部件不同安装角度的需求，可将承载台设置为可升降的结构，将安装辅助支架和可升降的承载台相结合，还能够满足不同高度的辅助安装要求，有效避免人身伤害的同时，降低安装难度，显著提升工作效率。

技术特征：

1.一种安装辅助支架，其特征在于，包括连接件及安装组件，所述连接件枢接在承载台上，所述安装组件安装在所述连接件的侧壁上，所述安装组件用于安装待安装的部件，所述连接件用于带动所述安装组件自所述承载台的第一侧转动至第二侧，且所述承载台的第一侧和第二侧分别设置有第一锁止机构和第二锁止机构，用于固定所述安装组件，当所述安装组件与所述第一锁止机构或所述第二锁止机构连接时，所述安装组件与所述承载台之间具有不同的夹角。

2.如权利要求1所述的安装辅助支架，其特征在于，所述安装组件包括底板及其上的斜面支撑板，所述斜面支撑板设置至少一个，所述斜面支撑板设置在所述底板靠近所述第二锁止机构的一侧，所述连接件的外壁与所述斜面支撑板固定连接。

3.如权利要求2所述的安装辅助支架，其特征在于，所述安装组件还包括左护板和右护板，用于和所述斜面支撑板、所述底板共同围合成一用于设置所述部件的容置空间，所述右护板固定安装在所述底板上，所述左护板与所述底板可分离式连接。

4.如权利要求2所述的安装辅助支架，其特征在于，所述第一锁止机构包括第二锁销，所述底板靠近所述第一侧设置有第二锁销板，所述第二锁销板上开设有第二锁销孔，所述承载台上配合所述第二锁销孔还开设有限位孔，以使所述第二锁销穿设在所述第二锁销孔和所述限位孔中。

5.如权利要求4所述的安装辅助支架，其特征在于，所述承载台的第一侧还安装有辅助限位块，用于固定所述第二锁销板。

6.如权利要求2所述的安装辅助支架，其特征在于，所述第二锁止机构包括底座和撑杆，所述底座安装在所述承载台上，所述撑杆的一端可转动地设置在所述底座上，另一端用于连接所述斜面支撑板，所述斜面支撑板配合所述撑杆设置有限位卡槽。

7.如权利要求3所述的安装辅助支架，其特征在于，所述斜面支撑板设置两个，并分别记为第一斜面支撑板和第二斜面支撑板，所述第一斜面支撑板和所述第二斜面支撑板之间具有间隔，所述第一斜面支撑板远离所述第二斜面支撑板的一侧连接所述左护板，所述第二斜面支撑板远离所述第一斜面支撑板的一侧连接所述右护板。

8.如权利要求3所述的安装辅助支架，其特征在于，所述右护板上开设有若干个通孔，用于设置螺钉与所述部件可拆卸连接。

9.如权利要求7所述的安装辅助支架，其特征在于，所述第一斜面支撑板和所述左护板之间通过铰链铰接。

10.如权利要求3所述的安装辅助支架，其特征在于，所述底板靠近所述左护板的一侧设有第一锁销板，所述第一锁销板上开设有第一锁销孔，用于设置第一锁销固定所述左护板，且所述左护板上具有供所述第一锁销板穿设其中的开口。

技术总结
本技术公开了一种安装辅助支架，属于半导体集成电路制造技术领域，该安装辅助支架，包括连接件及安装组件，连接件枢接在承载台上，安装组件安装在连接件的侧壁上，安装组件用于安装待安装的部件，连接件用于带动安装组件自承载台的第一侧转动至第二侧，且承载台的第一侧和第二侧分别设置有第一锁止机构和第二锁止机构，用于固定安装组件，当安装组件与第一锁止机构或第二锁止机构连接时，安装组件与承载台之间具有不同的夹角。通过连接件带动安装组件和待安装的部件转动，进一步通过第一锁止机构或第二锁止机构对处于所需角度的安装组件进行固定，从而满足不同部件的安装角度需求，提高安装工作效率。

技术研发人员：黄磊,张武,陈晨
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
技术研发日：20230530
技术公布日：2024/1/15