一种夹持机构的制作方法

本技术涉及夹持设备，具体而言，涉及一种夹持机构。

背景技术：

1、在半导体设备中，物料托盘因存在一定公差需要夹持机构对其固定，检测时以满足移动需求，待完成检测或者到位后，夹持机构相对测试托盘放松。

2、经发明人研究发现，目前的一些夹持机构不能够自适应料盘的公差变化。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种夹持机构，其能够适应不同料盘的公差。

2、本实用新型的实施例是这样实现的：

3、第一方面，本实用新型提供一种夹持机构，包括：

4、支撑架，支撑架包括架体及设置于架体两端的第一夹持件及第二夹持件，第一夹持件能相对架体靠近或远离第二夹持件，以形成用于夹持物料的夹持空间；

5、缓冲连接件，缓冲连接件具有弹性且一端与第一夹持件连接；

6、第一驱动件，第一驱动件设置于架体，第一驱动件的驱动端与缓冲连接件的另一端连接，第一驱动件用于驱动缓冲连接件沿远离或靠近第二夹持件的方向移动，以使夹持空间缩小或张大。

7、在可选的实施方式中，第一夹持件具有第一连接部、第一夹持部及第一转动部，第一转动部位于第一连接部及第一夹持部之间，第一转动部与架体可转动连接，第一连接部与缓冲连接件连接。

8、在可选的实施方式中，第一连接部位于第一夹持件的一端且与缓冲连接件可转动连接。

9、在可选的实施方式中，缓冲连接件包括筒体、弹性件及滑动块，弹性件的两端分别抵持筒体的内端壁及滑动块，滑动块能沿筒体的轴向滑动，筒体与第一夹持件连接，滑动块与第一驱动件连接。

10、在可选的实施方式中，第二夹持件能相对架体靠近或远离第一夹持件，夹持机构还包括设置于架体的第二驱动件，第二驱动件的驱动端与第二夹持件连接，用于驱动第二夹持件沿远离或靠近第一夹持件的方向移动。

11、在可选的实施方式中，夹持机构还包括连接结构，连接结构的两端分别与第二夹持件及第二驱动件的驱动端连接。

12、在可选的实施方式中，第二夹持件具有第二连接部、第二夹持部及第二转动部，第二转动部位于第二连接部及第二夹持部之间，第二转动部与架体可转动连接，第二连接部与连接结构连接。

13、在可选的实施方式中，第二连接部位于第二夹持件的一端且与连接结构可转动连接。

14、在可选的实施方式中，第一夹持件包括第一连接部及第一销轴，架体的一端设置有间隔排布的两个第一耳部，第一耳部设置有第一贯穿孔，第一连接部位于两个第一耳部之间且设置有第一配合孔，第一销轴穿过第一贯穿孔及第一配合孔，第一销轴能相对第一贯穿孔绕自身轴线转动，第一连接部与缓冲连接件连接。

15、在可选的实施方式中，一驱动件与架体可拆卸连接。

16、本实用新型实施例的有益效果是：本实用新型实施例提供的一种夹持机构包括支撑架、缓冲连接件及第一驱动件。支撑架包括架体及设置有架体两端的第一夹持件及第二夹持件，第一夹持件能相对架体靠近或远离第二夹持件，以与第二夹持件形成用于夹持物料的夹持空间，缓冲连接件具有弹性且一端与第一夹持件连接，第一驱动件设置于架体上，第一驱动件的驱动端与缓冲连接件的另一端连接，第一驱动件用于驱动缓冲连接件沿远离或靠近第二夹持件的方向运动，以使夹持空间缩小或张大。由于设置具有弹性的缓冲连接件，使得第一驱动件的驱动端的多余行程会被具有弹性力的缓冲连接件所吸收，达到自适应的效果，能够适应不同料盘的公差导致的不同尺寸的料盘。

技术特征：

1.一种夹持机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的夹持机构，其特征在于：

3.根据权利要求2所述的夹持机构，其特征在于：

4.根据权利要求1所述的夹持机构，其特征在于：

5.根据权利要求1所述的夹持机构，其特征在于：

6.根据权利要求5所述的夹持机构，其特征在于：

7.根据权利要求6所述的夹持机构，其特征在于：

8.根据权利要求7所述的夹持机构，其特征在于：

9.根据权利要求1所述的夹持机构，其特征在于：

10.根据权利要求1所述的夹持机构，其特征在于：

技术总结
本技术实施例提供的一种夹持机构，涉及夹持设备技术领域。夹持机构包括支撑架、缓冲连接件及第一驱动件。支撑架包括架体及设置有架体两端的第一夹持件及第二夹持件，第一夹持件能相对架体靠近或远离第二夹持件，以与第二夹持件形成用于夹持物料的夹持空间，缓冲连接件具有弹性且一端与第一夹持件连接，第一驱动件设置于架体上，第一驱动件的驱动端与缓冲连接件的另一端连接，第一驱动件用于驱动缓冲连接件沿远离或靠近第二夹持件的方向运动，以使夹持空间缩小或张大。能够通过缓冲连接件吸收第一驱动件的驱动端的多余行程，达到自适应的效果，能够适应不同料盘的公差导致的不同尺寸的料盘。

技术研发人员：刘长江,郑军
受保护的技术使用者：聚时科技（上海）有限公司
技术研发日：20230721
技术公布日：2024/1/15