一种集成电路芯片加工用夹具的制作方法

本技术涉及集成电路芯片领域，尤其涉及一种集成电路芯片加工用夹具。

背景技术：

1、集成电路芯片是一种由多个电子元件(如晶体管、电阻、电容等)和导线组成的微型电路，这些元件和导线都被集成在同一块半导体材料上，它是现代电子设备中的核心部件，广泛应用于计算机、手机、电视、汽车等各种电子产品中，集成电路芯片加工用夹具是在集成电路芯片制造过程中使用的工具，它主要用于固定和定位半导体芯片和晶圆，以确保在加工过程中的精确位置和稳定性，在集成电路芯片加工过程中，需要对晶圆进行多次加工步骤，如光刻、蚀刻、沉积等，这些加工过程需要精确地定位和对准，以确保电子元件和导线的正确制造。夹具就是起到定位晶圆的作用。

2、往往传统的集成电路芯片加工用夹具在设计当中，当工作人员需要对集成电路芯片进行固定时，由于集成电路芯片大小不一，在进行固定时可能由于夹板松紧力不合适导致会出现偏移或者滑脱等现象，促使加工失败，影响集成电路芯片的使用质量，大大降低了工作效率。

技术实现思路

1、为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种集成电路芯片加工用夹具，旨在改善操作人员需要对集成电路芯片进行固定时，由于集成电路芯片大小不一，在进行固定时可能由于夹板松紧力不合适导致会出现偏移或者滑脱等现象，促使加工失败，影响集成电路芯片的使用质量的问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种集成电路芯片加工用夹具，包括支撑板，所述支撑板外侧壁固定连接有放置板，所述放置板顶壁固定连接有电机，所述电机输出端固定连接有第一转动柱，所述支撑板外侧壁转动连接有第二转动柱，所述第一转动柱与第二转动柱之间设置有皮带，所述第二转动柱侧壁固定连接有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆外侧壁螺纹连接有螺纹帽，所述螺纹帽顶壁固定连接有夹板，所述夹板底壁固定连接有第一滑块，所述第一滑块内部滑动连接有第一滑杆，所述第一滑杆固定连接在支撑板的内侧壁，所述支撑板顶壁固定连接有顶板，所述顶板顶壁设置有内槽，所述夹板滑动连接在内槽的内部。

3、作为上述技术方案的进一步描述：

4、所述顶板顶壁固定连接有第一电动推杆，所述第一电动推杆输出端固定连接有连接块。

5、作为上述技术方案的进一步描述：

6、所述连接块侧壁固定连接有第二滑块，所述第二滑块顶壁固定连接有支撑住。

7、作为上述技术方案的进一步描述：

8、所述支撑住顶壁固定连接有连接板，所述连接板中部固定连接有第二电动推杆，所述第二电动推杆输出端固定连接有加工头。

9、作为上述技术方案的进一步描述：

10、所述顶板顶壁固定连接有固定块，所述固定块侧壁固定连接有第二滑杆。

11、作为上述技术方案的进一步描述：

12、所述支撑住通过第二滑块滑动连接在第二滑杆上。

13、作为上述技术方案的进一步描述：

14、所述夹板内侧壁设置有内孔，所述夹板内侧壁设置有固定柱，所述固定柱固定连接在内孔的内部，所述固定柱顶壁固定连接有弹簧，所述弹簧另一端固定连接有缓冲板。

15、作为上述技术方案的进一步描述：

16、所述夹板顶壁螺纹连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆底壁固定连接有压板，所述第一螺纹杆顶壁固定连接有把手，所述压板滑动连接在夹板的内部。

17、作为上述技术方案的进一步描述：

18、所述缓冲板滑动连接在夹板的内部。

19、本实用新型具有如下有益效果：

20、1、本实用新型中，首先通过支撑板、放置板、电机、第一转动柱、第二转动柱、皮带、双向螺纹杆、第一滑杆、第一滑块、螺纹帽、夹板、顶板和内槽之间的配合，达到了可以对不同大小的集成电路芯片进行精准有效固定的效果，解决了由于集成电路芯片的大小不一，在固定时会出现夹持大小不合适在固定时出现松动偏移导致加工失败的问题，大大提高了工作效率。

21、2、本实用新型中，再通过第一电动推杆、连接块、固定块、第二滑块、支撑住、连接板、第二电动推杆和加工头之间的配合，达到了可以根据加工位置不同进行调节加工头的效果，解决了在加工时无法达到精准定位的问题，提高了加工时的精准度。

技术特征：

1.一种集成电路芯片加工用夹具，包括支撑板(1)，其特征在于：所述支撑板(1)外侧壁固定连接有放置板(2)，所述放置板(2)顶壁固定连接有电机(3)，所述电机(3)输出端固定连接有第一转动柱(4)，所述支撑板(1)外侧壁转动连接有第二转动柱(5)，所述第一转动柱(4)与第二转动柱(5)之间设置有皮带(6)，所述第二转动柱(5)侧壁固定连接有双向螺纹杆(7)，所述双向螺纹杆(7)外侧壁螺纹连接有螺纹帽(10)，所述螺纹帽(10)顶壁固定连接有夹板(11)，所述夹板(11)底壁固定连接有第一滑块(9)，所述第一滑块(9)内部滑动连接有第一滑杆(8)，所述第一滑杆(8)固定连接在支撑板(1)的内侧壁，所述支撑板(1)顶壁固定连接有顶板(12)，所述顶板(12)顶壁设置有内槽(13)，所述夹板(11)滑动连接在内槽(13)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片加工用夹具，其特征在于：所述顶板(12)顶壁固定连接有第一电动推杆(14)，所述第一电动推杆(14)输出端固定连接有连接块(15)。

3.根据权利要求2所述的一种集成电路芯片加工用夹具，其特征在于：所述连接块(15)侧壁固定连接有第二滑块(17)，所述第二滑块(17)顶壁固定连接有支撑住(18)。

4.根据权利要求3所述的一种集成电路芯片加工用夹具，其特征在于：所述支撑住(18)顶壁固定连接有连接板(19)，所述连接板(19)中部固定连接有第二电动推杆(20)，所述第二电动推杆(20)输出端固定连接有加工头(21)。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片加工用夹具，其特征在于：所述顶板(12)顶壁固定连接有固定块(16)，所述固定块(16)侧壁固定连接有第二滑杆(29)。

6.根据权利要求3所述的一种集成电路芯片加工用夹具，其特征在于：所述支撑住(18)通过第二滑块(17)滑动连接在第二滑杆(29)上。

7.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片加工用夹具，其特征在于：所述夹板(11)内侧壁设置有内孔(22)，所述夹板(11)内侧壁设置有固定柱(23)，所述固定柱(23)固定连接在内孔(22)的内部，所述固定柱(23)顶壁固定连接有弹簧(24)，所述弹簧(24)另一端固定连接有缓冲板(25)。

8.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片加工用夹具，其特征在于：所述夹板(11)顶壁螺纹连接有第一螺纹杆(27)，所述第一螺纹杆(27)底壁固定连接有压板(26)，所述第一螺纹杆(27)顶壁固定连接有把手(28)，所述压板(26)滑动连接在夹板(11)的内部。

9.根据权利要求7所述的一种集成电路芯片加工用夹具，其特征在于：所述缓冲板(25)滑动连接在夹板(11)的内部。

技术总结
本技术涉及集成电路芯片领域，公开了一种集成电路芯片加工用夹具，包括支撑板，所述支撑板外侧壁固定连接有放置板，所述放置板顶壁固定连接有电机，所述电机输出端固定连接有第一转动柱，所述支撑板外侧壁转动连接有第二转动柱，所述第一转动柱与第二转动柱之间设置有皮带，所述第二转动柱侧壁固定连接有双向螺纹杆。本技术中，通过电机、第一转动柱、第二转动柱、皮带、双向螺纹杆、第一滑杆、第一滑块和夹板之间的配合，达到了可以对不同大小的集成电路芯片进行精准有效固定的效果，解决了由于集成电路芯片的大小不一，在固定时会出现夹持大小不合适在固定时出现松动偏移导致加工失败的问题，大大提高了工作效率。

技术研发人员：何明峰,潘国振,周广城
受保护的技术使用者：深圳市天戈微电子有限公司
技术研发日：20230724
技术公布日：2024/1/15