旋转臂及半导体检测设备的制作方法

本申请属于半导体检测设备，尤其是涉及一种旋转臂及半导体检测设备。

背景技术：

1、近年来，半导体设备发展迅速，半导体量检测设备是半导体制造过程中对芯片性能与缺陷的进行检测的关键设备。目前检测晶圆的半导体检测设备的主体腔体主要由前置样品交换室和样品量测室构成，由于量测样品需要，需要在前置样品交换室抽完真空后通过旋转臂托起晶圆，并将其传输至进样品量测室。

2、然而，现有的旋转臂的通用性较差，难以匹配不同尺寸规格的晶圆。现有旋转臂通过承托搬运方式搬运晶圆，然而该种搬运方式易导致晶圆在运输过程中发生偏移滑片，甚至出现碎片。

技术实现思路

1、本申请提供了一种旋转臂及半导体检测设备，以解决现有技术提出的偏移滑片的技术问题。

2、根据本申请的一个方面，提供了一种旋转臂，该旋转臂包括旋转机构、夹取机构以及驱动机构；旋转机构包括第一动力构件以及旋转架，夹取机构在第一方向上设置于旋转架的两侧，两侧的夹取机构相对设置；第一动力构件连接于旋转架，以驱动旋转架带动夹取机构旋转；驱动机构用于驱动夹取机构动作，以使夹取机构夹取或松开。

3、在本申请可选的实施例中，夹取机构包括固定挡板组件以及活动挡板组件；固定挡板组件与活动挡板组件在第一方向上间隔设置，活动挡板组件相对固定挡板组件靠近旋转架的旋转中心；驱动机构用于驱动活动挡板组件在第一方向上靠近或远离固定挡板组件。

4、在本申请可选的实施例中，驱动机构包括第二动力构件、凸轮、伸缩杆以及弹性件；凸轮活动连接于旋转架，第二动力构件连接于凸轮，以用于驱动凸轮相对旋转架旋转，凸轮的旋转中心与旋转架的旋转中心同心设置；伸缩杆以及弹性件在第一方向上设置于凸轮的两侧，伸缩杆沿第一方向延伸且一端连接于活动挡板组件、另一端抵接于凸轮；弹性件沿第一方向延伸且一端连接于活动挡板组件、另一端连接于旋转架。

5、在本申请可选的实施例中，凸轮包括两个凸面以及两个凹面，两个凸面关于凸轮的旋转中心对称设置，两个凹面关于凸轮的旋转中心对称设置。

6、在本申请可选的实施例中，弹性件外套于伸缩杆。

7、在本申请可选的实施例中，固定挡板组件包括固定块以及固定挡板，活动挡板组件包括活动块以及活动挡板；固定块连接于旋转架，活动块活动连接于旋转架，固定挡板及活动挡板分别连接于固定块及活动块。

8、在本申请可选的实施例中，固定挡板及活动挡板均包括转接板段以及承托板段；承托板段连接于转接板段并沿第一方向延伸，固定挡板的转接板段连连接于固定块，活动挡板的转接板段连接于活动块；在同一夹取机构中，固定挡板中的承托板段与活动挡板中的承托板段面向彼此设置。

9、在本申请可选的实施例中，夹取机构还包括防滑垫，防滑垫设置于承托板段。

10、根据本申请的另一个方面，提供了一种半导体检测设备，该半导体检测设备包括前置样品交换室、样品量测室、第一基座、第二基座以及上述的旋转臂；第一基座设置于前置样品交换室内，第二基座设置于样品量测室内，旋转臂连接于样品量测室并用于交换第一基座及第二基座上的晶圆。

11、在本申请可选的实施例中，还包括阀门，阀门用于通断前置样品交换室与样品量测室；在阀门断开前置样品交换室与样品量测室的状态下，旋转架及两侧的夹取机构位于样品量测室中；在阀门连通前置样品交换室与样品量测室的状态下，两侧的夹取机构中的一者位于第一基座的上方、另一者位于第二基座的上方，以用于分别夹取对应的晶圆。

12、综上所述，本申请提供的旋转臂及半导体检测设备至少具有以下有益效果：

13、在本申请提供的旋转臂中，通过旋转机构调节夹取机构的位置，使得夹取机构位于搬运工位，通过驱动机构驱动夹取机构动作，从而实现夹取或松开晶圆以进行搬运。相较于现有技术中采用旋转臂承托晶圆的搬运方案，本申请提供的旋转臂通过夹取机构夹取晶圆，在搬运过程中，能够更好地固定晶圆，避免晶圆在搬运过程中发生偏移滑片。另外，夹取机构可活动，因而，其能够适配更多种规格尺寸的晶圆，通用性更高。

技术特征：

1.一种旋转臂，其特征在于，所述旋转臂(100)包括旋转机构(110)、夹取机构(120)以及驱动机构(130)；

2.根据权利要求1所述的旋转臂，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的旋转臂，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的旋转臂，其特征在于，所述凸轮(132)包括两个凸面(1321)以及两个凹面(1322)，两个所述凸面(1321)关于所述凸轮(132)的旋转中心对称设置，两个所述凹面(1322)关于所述凸轮(132)的旋转中心对称设置。

5.根据权利要求3所述的旋转臂，其特征在于，所述弹性件(134)外套于所述伸缩杆(133)。

6.根据权利要求2所述的旋转臂，其特征在于，所述固定挡板组件(121)包括固定块(1211)以及固定挡板(1212)，所述活动挡板组件(122)包括活动块(1221)以及活动挡板(1222)；

7.根据权利要求6所述的旋转臂，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的旋转臂，其特征在于，所述夹取机构(120)还包括防滑垫(123)，所述防滑垫(123)设置于所述承托板段。

9.一种半导体检测设备，其特征在于，包括前置样品交换室(r1)、样品量测室(r2)、第一基座(201)、第二基座(202)以及根据权利要求1至8中任一项所述的旋转臂(100)；

10.根据权利要求9所述的半导体检测设备，其特征在于，还包括阀门(203)，所述阀门(203)用于通断所述前置样品交换室(r1)与所述样品量测室(r2)；

技术总结
本申请属于半导体检测设备技术领域，尤其是涉及一种旋转臂及半导体检测设备。该旋转臂包括旋转机构、夹取机构以及驱动机构；旋转机构包括第一动力构件以及旋转架，夹取机构在第一方向上设置于旋转架的两侧，两侧的夹取机构相对设置；第一动力构件连接于旋转架，以驱动旋转架带动夹取机构旋转；驱动机构用于驱动夹取机构动作，以使夹取机构夹取或松开。本申请提供的旋转臂通过夹取机构夹取晶圆，在搬运过程中，能够更好地固定晶圆，避免晶圆在搬运过程中发生偏移滑片。另外，夹取机构可活动，因而，其能够适配更多种规格尺寸的晶圆，通用性更高。

技术研发人员：贾堃,李宏飞,张洪彪,席阳,刘石汉
受保护的技术使用者：东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司
技术研发日：20230814
技术公布日：2024/2/25