一种机械手的制作方法

本技术涉及机械手，具体涉及一种机械手。

背景技术：

1、随着国内高端芯片制造技术的不断发展，芯片的材料不断迭代，对于芯片原材料——晶圆片的要求也越来越高，在晶圆清洗的领域，应对不同的工艺，cassette(晶圆盒)也有很多种类型。

2、如图1，为现有技术中的晶圆盒，这种上开式的晶圆盒，在放入槽式刻蚀机中处理时，由于浮力的影响，晶圆可能会从晶圆盒中漂出，导致机械手在抓取晶圆盒时导致碎片，即使不碎片，也会导致晶圆工艺受到影响，现在技术中一般会采用压杆的形式，即在清洗前，在晶圆盒的上方安装一个挡杆，在清洗完成后在将挡杆取下，但是这样设置需要两套自动化配套设备，一个安装一个取，会导致成本增加，如何在最低成本下防止漂片是目前亟待解决的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种机械手，以解决上述问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型实施例提供了一种机械手，包括：限位机构，所述限位机构安装在所述机械手的夹持端；其中

3、刻蚀时，所述机械手随晶圆盒放入刻蚀槽内，以使所述限位机构与晶圆片抵接，以限位晶圆片。

4、进一步地，所述限位机构包括至少一个限位压杆；

5、所述机械手包括间隔设置的两夹持板，所述限位压杆水平设置在两所述夹持板之间。

6、进一步地，所述夹持板上开设有腰型槽，所述限位压杆的端部滑动设置在所述腰型槽内。

7、进一步地，所述夹持板底部设置有若干挂柱，所述挂柱与晶圆盒相对应。

8、进一步地，所述机械手还包括挂篮检测器，所述挂篮检测器设置在所述夹持板的一侧，且所述挂篮检测器的检测端朝向所述挂柱设置。

9、进一步地，两所述夹持板之间的距离与晶圆盒的长度相对应。

10、进一步地，所述限位压杆为两个。

11、进一步地，两所述限位压杆平行设置，且方向与晶圆盒的长度方向一致。

12、相对于现有技术，本实用新型实施例具有以下有益效果：在机械手上设计限位压杆，免去了需要额外设置取和放挡杆两套设备的麻烦，降低了整体工艺所需的成本。

技术特征：

1.一种机械手，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的机械手，其特征在于，

3.如权利要求2所述的机械手，其特征在于，

4.如权利要求2所述的机械手，其特征在于，

5.如权利要求4所述的机械手，其特征在于，

6.如权利要求2所述的机械手，其特征在于，

7.如权利要求2所述的机械手，其特征在于，

8.如权利要求7所述的机械手，其特征在于，

技术总结
本技术涉及机械手技术领域，具体涉及一种机械手。本技术实施例提供了一种机械手，包括：限位机构，所述限位机构安装在所述机械手的夹持端；其中刻蚀时，所述机械手随晶圆盒放入刻蚀槽内，以使所述限位机构与晶圆片抵接，以限位晶圆片。在机械手上设计限位压杆，免去了需要额外设置取和放挡杆两套设备的麻烦，降低了整体工艺所需的成本。

技术研发人员：左国军,庄海云,王雪松,饶相松
受保护的技术使用者：创微微电子（常州）有限公司
技术研发日：20231011
技术公布日：2024/4/22