全自动晶圆机械手的制作方法

本技术涉及机械手，特别涉及全自动晶圆机械手。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品，由于其形状为圆形，故称为晶圆，晶圆在制造加工过程中，需要通过机械手臂对其进行位置的更改，比如从一个位置搬运至另一个位置。

2、现有技术(公开号：cn 214238251 u)公开了一种晶圆机械手装置，包括：控制器、平移机构及用于拿取晶圆的机械手；其中，与晶圆摆放的平面相平行的面为水平面；机械手及平移机构的数量为至少两个，每一机械手都与一平移机构的行动端传动连接，并通过行动端带动做水平面上的平移运动；平移机构的受控端与控制器的控制端相连接。

3、上述专利虽然通过平移机构移动机械手，拿取晶圆，实现生产过程中晶圆的上下料，但是存在以下弊端，使用时机械手无法抓取不同尺寸的晶圆，如果机械手无法适应不同尺寸晶圆的移动，可能需要人工干预来调整机械手的位置或更换不同尺寸的机械手，这会增加生产线的停机时间和人力成本，降低生产效率，需要进一步的改进，为此我们提出全自动晶圆机械手

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供全自动晶圆机械手，可以有效解决背景技术中的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

3、全自动晶圆机械手，包括底板，所述底板的上端设置有转动台，所述转动台的输出端安装有机械臂，所述机械臂上设置有放置台，所述放置台的右端开设有通槽，所述放置台的前端安装有调节部件，所述通槽内设置有两个前后对称分布的第一支撑板，两个所述第一支撑板的右端均设置有第二支撑板，两个所述第一支撑板的下端中部均安装有移动部件，两个所述第一支撑板的下端右部均开设有滑槽，两个所述移动部件分别延伸至两个滑槽内。

4、优选的，所述调节部件包括第一电机，所述第一电机安装在放置台的前端，所述第一电机的输出延伸至通槽内并固定连接有正反螺纹杆，所述正反螺纹杆的后端活动连接有轴承座，所述轴承座安装在通槽内，所述正反螺纹杆的外表面螺纹套设有两个前后对称分布的移动块。

5、优选的，两个所述移动块的右端分别与两个第一支撑板的左端固定连接，两个所述移动块的左端均与通槽的左壁滑动连接。

6、优选的，所述移动部件包括第二电机，所述第二电机安装在第一支撑板的下端，所述第二电机的输出端传动连接有第一齿轮，所述第一齿轮啮合连接有第二齿轮，所述第二齿轮的内部固定套设有丝杆，所述丝杆的外表面螺纹套设有移动板。

7、优选的，所述丝杆的左端与滑槽的左壁活动连接，所述移动板的右端与第二支撑板的左端固定连接，所述移动板滑动连接在滑槽内，所述第二电机的外表面活动套设有外壳，所述外壳安装在第一支撑板的下端。

8、优选的，所述第一支撑板和第二支撑板的上端均设置有吸盘。

9、优选的，所述底板的左端和右端均安装有l形板，所述底板的下端安装有电动缸，所述电动缸的输出端活动贯穿底板的上端并与转动台的下端固定连接，所述底板的内部活动套设有两个导杆，两个所述导杆的上端均与转动台的下端固定连接。

10、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

11、1、通过设置调节部件能够对两个第一支撑板之间的距离进行调整，需要抓取较大尺寸的晶圆时，控制第一电机带动正反螺纹杆转动，正反螺纹杆带动两个移动块相互的远离，两个移动块分别带动两个第一支撑板相互的远离，就可方便第一支撑板对较大尺寸的晶圆进行抓取，无需人工调整机械手的位置或更换不同尺寸的机械手，减少生产线的停机时间和人力成本，提高生产效率；

12、2、通过设置移动部件能够调整第二支撑板的位置，当第一支撑板之间的距离变大时，控制第二电机的输出端带动第一齿轮转动，第一齿轮带动第二齿轮转动，第二齿轮带动丝杆转动，丝杆带动移动板向右移动，移动板带动第二支撑板向右移动，调整抓取部位横向尺寸可以使机械手的夹持点与晶圆的中心对齐，从而提高抓取的精度和准确性，避免晶圆在抓取过程中产生偏移或倾斜。

技术特征：

1.全自动晶圆机械手，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的上端设置有转动台(3)，所述转动台(3)的输出端安装有机械臂(4)，所述机械臂(4)上设置有放置台(5)，所述放置台(5)的右端开设有通槽(7)，所述放置台(5)的前端安装有调节部件(6)，所述通槽(7)内设置有两个前后对称分布的第一支撑板(8)，两个所述第一支撑板(8)的右端均设置有第二支撑板(9)，两个所述第一支撑板(8)的下端中部均安装有移动部件(14)，两个所述第一支撑板(8)的下端右部均开设有滑槽(15)，两个所述移动部件(14)分别延伸至两个滑槽(15)内。

2.根据权利要求1所述的全自动晶圆机械手，其特征在于：所述调节部件(6)包括第一电机(61)，所述第一电机(61)安装在放置台(5)的前端，所述第一电机(61)的输出延伸至通槽(7)内并固定连接有正反螺纹杆(62)，所述正反螺纹杆(62)的后端活动连接有轴承座(64)，所述轴承座(64)安装在通槽(7)内，所述正反螺纹杆(62)的外表面螺纹套设有两个前后对称分布的移动块(63)。

3.根据权利要求2所述的全自动晶圆机械手，其特征在于：两个所述移动块(63)的右端分别与两个第一支撑板(8)的左端固定连接，两个所述移动块(63)的左端均与通槽(7)的左壁滑动连接。

4.根据权利要求1所述的全自动晶圆机械手，其特征在于：所述移动部件(14)包括第二电机(141)，所述第二电机(141)安装在第一支撑板(8)的下端，所述第二电机(141)的输出端传动连接有第一齿轮(142)，所述第一齿轮(142)啮合连接有第二齿轮(143)，所述第二齿轮(143)的内部固定套设有丝杆(144)，所述丝杆(144)的外表面螺纹套设有移动板(145)。

5.根据权利要求4所述的全自动晶圆机械手，其特征在于：所述丝杆(144)的左端与滑槽(15)的左壁活动连接，所述移动板(145)的右端与第二支撑板(9)的左端固定连接，所述移动板(145)滑动连接在滑槽(15)内，所述第二电机(141)的外表面活动套设有外壳(13)，所述外壳(13)安装在第一支撑板(8)的下端。

6.根据权利要求1所述的全自动晶圆机械手，其特征在于：所述第一支撑板(8)和第二支撑板(9)的上端均设置有吸盘(10)。

7.根据权利要求1所述的全自动晶圆机械手，其特征在于：所述底板(1)的左端和右端均安装有l形板(2)，所述底板(1)的下端安装有电动缸(11)，所述电动缸(11)的输出端活动贯穿底板(1)的上端并与转动台(3)的下端固定连接，所述底板(1)的内部活动套设有两个导杆(12)，两个所述导杆(12)的上端均与转动台(3)的下端固定连接。

技术总结
本技术公开了全自动晶圆机械手，涉及机械手技术领域，包括底板，所述底板的上端设置有转动台，所述转动台的输出端安装有机械臂，所述机械臂上设置有放置台，所述放置台的右端开设有通槽，所述放置台的前端安装有调节部件，所述通槽内设置有两个前后对称分布的第一支撑板，两个所述第一支撑板的右端均设置有第二支撑板，两个所述第一支撑板的下端中部均安装有移动部件，两个所述第一支撑板的下端右部均开设有滑槽。本技术通过设置调节部件能够对两个第一支撑板之间的距离进行调整，就可方便第一支撑板对较大尺寸的晶圆进行抓取，无需人工调整机械手的位置或更换不同尺寸的机械手，减少生产线的停机时间和人力成本，提高生产效率。

技术研发人员：高波
受保护的技术使用者：苏州康沃斯智能装备有限公司
技术研发日：20240411
技术公布日：2025/3/31