专利名称：环型磁钢驱动机械手的制作方法
技术领域：
本实用新型属于一种真空设备内机械装置。
随着薄膜新材料不断出现和采用，新工艺技术不断开发和完善，超高频超高速器件得到了飞速发展，而材料的制备和器件的研制都是在真空条件下，根据各工序的要求，对基片进行取送、储存、交接、输送、交互结合而完成的，目前大都采用波纹管机械手，由于波纹管氩弧焊缝长，往复运动易达到疲劳极限，造成漏气，减少了使用寿命，无法微调给安装和取送基片带来很多不便。
为解决以上波纹管机械手之不足，本实用新型提供一种环型磁钢驱动机械手，利用磁感应原理实现在真空条件下对样品的控制。
本实用新型之结构设计是这样实现的环型磁钢驱动机械手其结构是外壳为采用无磁不锈钢管制成，钢管的左端为氩弧焊接密封，在钢管内放置有圆型旋转软铁，里端为往复运动软铁，两者结为一体，往复运动软铁内装有运动杆，通过钢管右端与真空设备固定的法兰盘伸入真空设备内，与取送的样品联接，在钢管的外部装有与内部的旋转软铁和往复运动软铁相对应的有旋转运动磁钢和往复运动磁钢，外磁钢组件是由四个用于往复运动和一个用于旋转运动的环型磁钢，中间由铝环隔离，按极性方向排列后，安装在无磁不锈钢套内，两端用螺帽拧紧。
本实用新型之优点结构简单，安装使用方便，通过外磁钢的旋转和往复运动就可控制真空设备内的机械手作相应运动，完成对样品的控制操作。
本实用新型之详细结构由以下实施例及附图给出。
图1为环型磁钢驱动机械手结构原理图。
其结构如附图所示，1为左端盖，2为旋转软铁，3为旋转运动磁钢，4为往复运动磁钢，5为往复运动软铁，6为运动杆，7为不锈钢外壳，外壳采用不锈钢，端头采用氩弧焊，漏磁率小，环型磁钢采用钕铁硼(Na-Fe-β)永磁合金，充磁方向，磁极安装方向根据运动形式来决定，从动软铁组件由优于DT4的纯铁制成，工作对驱动环型外磁钢往复运动和旋转、摆动，带动运动杆在真空中作相应动作，完成取送基片等各项工作，行程为30～300mm，转角为0°～360°，摆角为0～±8°。
由于采用了环型磁钢，避免了瓦块型磁钢的粘接，车削，退磁，磁场不均匀等缺点，实现了转动、摆动、移动、复合运动，扩大了应用领域，减少了操作难度和简化了部件的结构，同时减少了漏磁率和放气量。
权利要求1．一种环型磁钢驱动机械手，其特征是机械手外壳(7)为采用无磁不锈钢管制成，钢管(7)的左端为氩弧焊接密封，在钢管(7)内放置有圆型旋转软铁(2)，里端为往复运动软铁(5)，两者结为一体，往复运动软铁(5)内装有运动杆(6)，通过钢管(7)右端与真空设备固定的法兰盘伸入其空设备内，与取送的样品联接，在钢管(7)的外部装有与内部的旋转软铁(2)和往复运动软铁(5)相对应的有旋转运动磁钢(3)和往复运动磁钢(4)，外磁钢组件是由四个用于往复运动和一个用于旋转运动的环型磁钢，中间由铝环隔离，按极性方向排列后，安装在无磁不锈钢套内，两端用螺帽拧紧。
专利摘要本结构属于一种真空设备内机械装置,其结构是外面为一不锈钢钢管,钢管内装有旋转软铁和往复运动软铁,软铁内装有运动杆,钢管外部相应装有旋转磁钢和往复运动磁钢,左端盖焊接密封,右端由法兰盘与真空设备固定联接,工作时驱动环型外磁钢往复运动和转动,摆动,带动运动杆在真空中作相应动作。优点:结构简单,安装使用方便,通过外磁钢的旋转和往复运动就可控制真空设备内的机械手作相应运动,完成对样品的机构操作。
文档编号B25J9/00GK2317058SQ9823671
公开日1999年5月5日 申请日期1998年2月24日 优先权日1998年2月24日
发明者雷震霖, 谢琪, 谢素珍, 李丛茂, 越科新 申请人:中国科学院沈阳科学仪器研制中心