专利名称：中温太阳能平板集热器吸热翅片板的制作方法
技术领域：
本实用新型属于太阳能光热应用技术领域，涉及一种平板集热器吸热 板，具体地说是一种中温太阳能平板集热器吸热翅片板。
背景技术：
现有技术的平板集热器吸热翅片板，包括金属底板，金属底板上设有 一层反射膜，镀膜材料为TiNxOy或NiCr。这种结构的平板集热器吸热翅片板在生产和使用 中，存在的不足是，对抗远红外反射和抗热辐射的性能都不很理想，也就是对阳光的吸收和 对热量保存效果都没有达到最好效果，特别是中温150°C左右使用时，还有许多问题有待于 业内科技人员加以完善。发明内容本实用新型的目的是解决现有技术存在对抗远红外反射和抗热辐射 的性能不理想技术问题，的目的是解决现有技术存在对抗远红外反射和抗热辐射的性能不 理想技术问题，提供一种中温太阳能平板集热器吸热翅片板，从而克服现有技术的不足。为实现上述目的，本实用新型中温太阳能平板集热器吸热翅片板，包括金属底板， 其要点是在金属底板上依次设有一层氮化铝钛抗红外反射膜、两层氮氧化铝钛复合吸收膜 和一层氧化铝钛抗辐射复合保护膜。本发明的有益效果是，由于氮化铝钛(TiAlN)的红外反射率和红外反射率与金接 近，具有更低的低温发射率和热损，保温性能更好，同时TiAlN是一种优质的高硬度、耐磨 和抗氧化材料，因此使用该涂层的平板集热器具有良好的耐候性和耐氧化性，可以在150°C 左右中温使用性能好。本实用新型解决了现有技术存在对抗远红外反射和抗热辐射的性能 不理想技术问题。
附图为本实用新型结构示意图。图中1、抗红外反射膜 2、第一复合吸收膜 3、第二复合吸收膜 4、抗辐射复合 保护膜5、金属底板具体实施方式
参照附图，本实用新型中温太阳能平板集热器吸热翅片板，包括 金属底板5，在金属底板5上依次设有一层氮化铝钛抗红外反射膜1、两层氮氧化铝钛复合 吸收膜2、3和一层氧化铝钛抗辐射复合保护膜4。本实用新型在膜层制备时，将工件金属底板5装在双靶磁控溅射镀膜机的转架 上，工件公转的同时自转，自动程序控制溅射镀膜工艺运行，工艺运行完后取出工件。操作工艺如下膜层的制备方法属于磁控反应溅射法，溅射气体为氩气，反应气体为高纯氧气和 氮气，膜层共分四层溅射，其间有若干过渡层。1、抗红外反射膜1氮化铝钛TiAlN的溅射工作压强0. 2-0. 5Pa，反应气体氮气量20_20(^ccm，溅射厚度0. 04-0. 3 μ m ；2、第一复合吸收膜2，氧氮化铝钛TiAlNO溅射，钛铝比例1 1，工作压强 0. 2-0. 8Pa，反应气体氮气，氮氧比例0. 2 1，气体量60_150Sccm，溅射厚度0. 04-0. Iym ；3、第二复合吸收膜3，氮氧化铝钛TiAlNO溅射，钛铝比例1 1，工作压 强0. 2-0. 8Pa,反应气体氮气，氮氧比例0. 2 1，气体量60-150Sccm，溅射厚度 0. 04-0. 15ym ；[0016]4、抗辐射复合保护膜4，氧化铝钛TiAW溅射，钛铝比例1 1工作压强 0. 2-0. 8Pa，反应气体氧气量30-20(^ccm，溅射厚度0. 03-0. 12 μ m。膜层按溅射材料分，膜系结构共分四层溅射形成，每一层溅射膜的厚度是由相同 材质的材料至少通过两次以上溅射完成，最终形成金属/TiAlN/TiA10N/TiA10N/TiA10复 合镀膜集热板。
权利要求1. 一种中温太阳能平板集热器吸热翅片板，包括金属底板，其特征是在金属底板上依 次设有一层氮化铝钛抗红外反射膜、两层氮氧化铝钛复合吸收膜和一层氧化铝钛抗辐射复 合保护膜。
专利摘要本实用新型公开了一种中温太阳能平板集热器吸热翅片板，包括金属底板，其要点是在金属底板上依次设有一层氮化铝钛抗红外反射膜、两层氮氧化铝钛复合吸收膜和一层氧化铝钛抗辐射复合保护膜。本实用新型的有益效果是，由于氮化铝钛(TiAlN)的红外反射率和红外反射率与金接近，具有更低的低温发射率和热损，保温性能更好，同时TiAlN是一种优质的高硬度、耐磨和抗氧化材料，因此使用该涂层的平板集热器具有良好的耐候性和耐氧化性，可以在150℃左右中温使用性能好。本实用新型解决了现有技术存在对抗远红外反射和抗热辐射的性能不理想技术问题。
文档编号B32B9/04GK201903207SQ20102061654
公开日2011年7月20日 申请日期2010年11月19日 优先权日2010年11月19日
发明者安百军, 安百盈, 张振涛, 王德法 申请人:山东帅克新能源有限公司