专利名称：层叠体及其制造方法
技术领域：
本发明涉及作为太阳能电池模块用保护板有用的层叠体及其制造方法。
背景技术：
近年，出于地球环境保护的观点，期待安全性更高的清洁能源。将来期待的清洁能源中，特别是太阳能电池，由于它的清洁性、安全性和易操作性，受到越来越高的期待。太阳能电池中将太阳光转换成电能的心脏部位为电池单元，该电池单元广泛使用由单晶、多晶或无定形硅类的半导体构成的电池。该电池单元通常多个串联或并联布线，此夕卜，为了能够长时间地维持其功能，用各种材料进行保护，用作为太阳能电池模块。 太阳能电池模块通常是这样的结构用强化玻璃覆盖电池单元的面朝太阳光侧的那面，用背板密封背面，在电池单元和强化玻璃之间的间隙、电池单元和背板之间的间隙内分别填充由热塑性树脂(尤其是乙烯一乙酸乙烯酯聚合物(以下称为EVA))构成的填充剂。太阳能电池模块要求20 30年左右的产品质量保证。由于太阳能电池模块主要在室外使用，因此要求其构成材料具有耐候性。强化玻璃和背板承担着防止由模块内部的水分引起的劣化的作用，也要求具有防湿性。强化玻璃不仅具有防湿性而且透明性、耐候性也优异，但是，塑性、耐冲击性、操作性等低。因此，人们开始研究使用树脂板、尤其是耐候性优异的氟树脂板代替强化玻璃。但是，树脂板与强化玻璃相比存在着防湿性低的问题。针对上述问题，有人提出在树脂板上设置无机氧化物的蒸镀薄膜作为防湿层的方案。例如，专利文献I中提出了层叠氟树脂板和具有无机氧化物的蒸镀薄膜的树脂板的保护板。此外，专利文献2中提出了在氟树脂板的一个面上设置无机氧化物的蒸镀薄膜，为了提高耐候性，还设置有防污层和/或紫外线吸收剂层的保护板。但是，上述防湿层与树脂板的密合性差，在以与该防湿层相接的方式设置填充剂层而构成太阳能电池模块时，存在防湿层从树脂板剥离的问题。如果由于该剥离而在树脂板和填充剂层之间产生间隙，则由于水分进入等，导致太阳能电池模块的耐久性下降。针对上述问题，有人提出在树脂板和无机氧化物的蒸镀薄膜之间设置用于提高密合性的层(密合层)。例如在专利文献3中，在氟类树脂基材层和无机氧化物蒸镀薄膜层之间设置含有丙烯酸多元醇和/或聚酯多元醇以及异氰酸酯化合物的复合体的混合物的结合层(日语7 >力一-一卜層)。此外，专利文献4提出在基材和由无机氧化物构成的蒸镀层之间设置蒸镀用底涂层，该蒸镀用底涂层由使含有曝唑啉基的树脂和由聚(甲基)丙烯酸和/或聚(甲基)丙烯酸与共聚单体的共聚物构成的丙烯酸类树脂以特定的比率反应而得到的、具有酰胺酯部位的树脂构成。现有技术文献专利文献专利文献I:日本专利特开2000-138387号公报
专利文献2:日本专利特开2000-208795号公报专利文献3:日本专利特开2009-158778号公报专利文献4:日本专利特开2010-16286号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
但是，即使设置了上述密合层，还是存在氟树脂板与上述防湿膜之间的密合性的长期稳定性低的问题。本发明是鉴于上述情况而完成的发明，提供耐候性、防湿性优异，层间的密合性及其长期稳定性也优异的层叠体及其制造方法。解决技术问题所采用的技术方案解决上述课题的本发明具有以下方式。[I] 一种层叠体，其特征是，依次层叠有含有氟树脂的基材板、密合层和以选自无机氧化物、无机氮化物及无机氧氮化物的至少I种无机化合物为主成分的防湿层，上述密合层以选自氧化锆、氧化钽及氧化铪的至少I种金属氧化物为主成分。[2]如上述I所述的层叠体，其特征是，上述氟树脂为乙烯一四氟乙烯类共聚物。[3]如上述[I]或[2]所述的层叠体，其特征是，上述防湿层包含作为上述无机化合物的Si化合物或Al化合物。[4]如上述[I] [3]中任一项所述的层叠体，其特征是，上述防湿层包含氧化铝。[5]如上述[I] [4]中任一项所述的层叠体，其特征是，可见光透射率为80%以上。[6] 一种太阳能电池模块用保护板，其特征是，使用上述[I] [5]中任一项所述
的层叠体。[7]上述[I] [5]中任一项所述的层叠体的制造方法，其特征是，包括通过干式法在含有氟树脂的基材板的至少一面上形成上述密合层的工序，和通过干式法在上述密合层上形成上述防湿层的工序。[8]如上述[7]所述的制造方法，其特征是，上述密合层或上述防湿层的形成中使用的干式法是溅射法或等离子体化学蒸镀法。发明的效果根据本发明，能够提供耐候性、防湿性优异，层间的密合性及其长期稳定性也优异的层叠体及其制造方法。
具体实施例方式本发明的层叠体是依次层叠有含有氟树脂的基材板、密合层和以选自无机氧化物、无机氮化物及无机氧氮化物的至少I种无机化合物为主成分的防湿层而成的层叠体，上述密合层以选自氧化锆、氧化钽及氧化铪的至少I种金属氧化物为主成分。以下，对本发明进行详细说明。<基材板>构成基材板的氟树脂只要是在树脂的分子结构式中含有氟原子的热塑性树脂即可，无没有特别限定，可以使用各种公知的含氟树脂。具体可以例举四氟乙烯类树脂、氯代三氟乙烯类树脂、偏氟乙烯类树脂、氟乙烯类树脂、这些树脂中任意2种以上的复合物等。其中，特别是出于耐候性、防污性等优异的观点考虑，优选四氟乙烯类树脂或氯代三氟乙烯类树脂，特别优选四氟乙烯类树脂。四氟乙烯类树脂具体可以例举聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙烯一全氟(烷氧基乙烯)共聚物(PFA)、四氟乙烯一六氟丙烯一全氟(烷氧基乙烯)共聚物(EPE)、四氟乙烯一六氟丙烯共聚物(FEP)、四氟乙烯一乙烯共聚物(ETFE)、乙烯一三氯氟乙烯共聚物(ETCFE)等。根据需要，这些树脂可以分别再共聚少量的共聚单体成分。上述共聚单体成分只要是能够与构成各树脂的其他单体(例如ETFE时为四氟乙 烯和乙烯)共聚的单体即可，例如可以例举以下化合物。CF2=CFCl、CF2=CH2 等含氟乙烯类，CF2=CFCF3^ CF2=CHCF3 等含氟丙烯类，CH2=CHC2F5, CH2=CHC4F9, CH2=CFC4F9, CH2=CF (CF2) 3H 等具有碳数为 2 10 的氟代烷
基的含氟烷基乙烯类，CF2=CFO (CF2CFXO)mRf(式中，Rf表示碳数I 6的全氟烷基，X表示氟原子或三氟甲基，m表示I 5的整数)等全氟(烷基乙烯醚)类，CF2=CF0CF2CF2CF2C00CH3 或 CF2=CF0CF2CF (CF3) OCF2CF2SO2F 等具有可转变为羧基或磺酸基的基团的乙烯基醚类等。四氟乙烯类树脂优选上述例子中的PFA、FEP、ETFE或ETCFE，特别是从成本、机械强度、溅射成膜性等方面考虑，优选ETFE。ETFE是以乙烯单元和四氟乙烯单元为主体的共聚物。这里，“单元”是指构成聚合
物的重复单元。构成ETFE的全部单元中，乙烯单元和四氟乙烯单元的合计含量优选90摩尔％以上，更优选95摩尔％以上，也可以是100摩尔％。ETFE中的乙烯单元/四氟乙烯单元的摩尔比优选40/60 70/30，更优选40/60 60/40。根据需要，ETFE可以具有少量的共聚单体成分单元。该共聚单体成分单元中的共聚单体成分可以例举与上述同样的成分。具有共聚单体成分单元时，构成ETFE的全部单元中的共聚单体成分单元的含量优选O. 3 10摩尔％，更优选O. 3 5摩尔％。氯代三氟乙烯类树脂可以例举例如将上述四氟乙烯类树脂中的四氟乙烯取代为氯代三氟乙烯的树脂。具体可以例举例如氯代三氟乙烯均聚物(CTFE)、乙烯一氯代三氟乙烯共聚物(ECTFE)等。基材板中含有的氟树脂可以是一种或两种以上。基材板可以是仅由氟树脂构成的基材板，也可以是由氟树脂和其他热塑性树脂的混合树脂构成的基材板。但是，考虑到本发明的效果，优选基材板以氟树脂为主成分。氟树脂在基材板中占有的比例是，相对于基材板的总质量优选50质量％以上，更优选70质量％以上。
所述其他的热塑性树脂可以例举例如丙烯酸树脂、聚酯树脂、聚氨酯树脂、尼龙树月旨、聚乙烯树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺树脂、聚氯乙烯树脂、聚碳酸酯树脂等。此外，也可以使用混合了颜料、紫外线吸收剂、炭黑、碳纤维、碳化硅、玻璃纤维、云母等添加剂和填充剂等的树脂。为了提高基材板与密合层的密合性，基材板也可以对形成密合层的表面实施表面处理。作为表面处理，只要是在不损害本发明的效果的范围内则无特别限定，可以从公知的表面处理方法中适当选择。具体可例举等离子体处理、电晕放电处理等。其中，等离子体处理可以对基材板的处理面整体进行均质的处理，对基材板表面造成的负荷小，且对密合性的长期稳定性的影响小等，因而优选。基材板的形状和尺寸根据目的适当确定即可，没有特别限定。例如，将该层叠体用作太阳能电池模块用保护板时，根据太阳能电池模块的形状和尺寸适 当确定即可。从强度的观点考虑，基材板的厚度优选10 μ m以上，更优选20 μ m以上。该厚度的上限根据目的适当确定即可，没有特别限定。例如，将该层叠体配置在太阳能电池模块的电池单元的朝向太阳光的那一侧用作保护板时，从高透光率引起发电效率提高的观点考虑，以薄为宜，具体而言，优选200 μ m以下，更优选60 μ m以下。<密合层>密合层以选自氧化锆、氧化钽及氧化铪的至少I种金属氧化物为主成分。这里，“为主成分”是指上述金属氧化物在该密合层中的比例为95摩尔％以上。优选上述金属氧化物在密合层中的比例为100摩尔％。即，密合层较好是由该金属氧化物构成。通过在基材板上形成该密合层，能够长期维持在该密合层上形成的防湿层和基材板之间的密封性。此外，由于该密合层的透明性也优异，因此层叠体整体的透明性也良好。密合层较好是通过干式法形成。通过干式法形成的膜(蒸镀膜)与通过湿式法形成的膜相比，膜厚均匀，与上述基材板的密合性也高。干式法可以例举物理蒸镀法(PVD法)、化学蒸镀法(CVD法)等。PVD法可以例举如真空蒸镀法、溅射法、离子镀法等，可以使用任一种方法。其中，特别优选溅射法，因为溅射法不仅生产性优异、在工业上广泛使用，而且可以以均匀的膜厚获得非常致密且与上述基材板的密合性高的膜。溅射法可以使用直流溅射法、高频溅射法、交流溅射法等中的任意一种。从能够在大面积基体上以较快的成膜速度高效成膜等生产性优异的方面考虑，优选直流溅射法或交流溅射法。CVD法可以例举等离子体CVD法、热CVD法、催化剂CVD法等，使用任何一种方法均可。其中，特别优选等离子体CVD法，因为溅射法不仅生产性优异、在工业上广泛使用，而且可以以均匀的膜厚获得非常致密且与上述基材板的密合性高的膜。密合层的具体形成条件可以根据使用的方法和材料适当设定。例如氧化锆膜通过使用锆靶，并利用在含氧气氛中的溅射法进行成膜而得到。此时，通过在靶上施加间歇性的负直流电压的方法，有效抑制成膜时的电弧(arcing)产生，能够增大投入电力，长时间维持更快的成膜速度。此时的具体溅射条件随装置的种类、靶组成等诸条件而变化，因此只要适当选择即可。通常优选排真空至lX10_4Pa 8X10_4Pa后，以0:100 90:10的流量比将氩和氧导入容器内，在溅射气体压力O. 2 3Pa、功率密度
O.5 5W/cm2下进行。
分别使用钽靶或者铪靶来代替锆靶，除此以外，可与上述同样地形成氧化钽膜或
者氧化铪膜。密合层可以是由单一层构成的层，也可以是由金属氧化物的种类不同的多层构成的层。从确保与基材板的密合性的观点考虑，密合层的膜厚(由多层构成时为合计膜厚)优选O. 5nm以上。此外，从维持光透射性、维持基材板的挠性及确保与基材板的密合性的观点考虑，更优选20nm以下，特别优选IOnm以下。<防湿层>
防湿层以选自无机氧化物、无机氮化物和无机氧氮化物中的至少一种无机化合物为主成分。这里，“为主成分”是指上述无机氧化物在该防湿层中的比例为95摩尔％以上。优选上述无机氧化物在防湿层中的比例为100摩尔％。即，优选防湿层由该无机氧化物构成或含有上述无机氧化物。作为上述无机氧化物，可例举金属氧化物等。该金属氧化物中的金属可以例举铝、硅、镁等。该氧化物尤其优选氧化硅(Si0x、0 < X ^ 2)、氧化铝(A10x、0 < X彡I. 5)。上述无机氮化物可以例举氮化硅(SiNx、0 < 1.3)、氮化铝(A1NX、0 < x ^ I)
坐寸ο上述无机氧氮化物可以例举氧氮化硅(Si0xNy、0 < X < 1、0 < y < I)等。由于透明性、水蒸气阻隔性等优异，无机氧化物优选Si化合物或Al化合物，Si化合物特别优选选自 SiOx(O < X ^ 2) ,SiNx(O < X 彡 I. 3)和 SiOxNy(O < x < UO < y < I)中的至少一种，此外，Al化合物优选AlOx (O < X < I. 5)。防湿层可以通过干式法形成，也可以通过湿式法形成，优选干式法。通过干式法形成的膜(蒸镀膜)与通过湿法形成的膜相比，膜厚均匀，与上述密合层的密合性也高。干式法可以例举物理蒸镀法(PVD法)、化学蒸镀法(CVD法)等。PVD法可以例举如真空蒸镀法、溅射法、离子镀法等，可以使用任一种方法。其中，特别优选溅射法，因为溅射法不仅生产性优异、在工业上广泛使用，而且可以以均匀的膜厚获得非常致密且与上述密合层的密合性高的膜。溅射法可以使用直流溅射法、高频溅射法、交流溅射法中的任意一种。从能够在大面积基体上以较快的成膜速度高效地成膜等生产性优异的方面考虑，优选直流溅射法或交流溅射法。CVD法可以例举等离子体CVD法、热CVD法、催化剂CVD法等，使用任何一种方法均可。其中，特别优选等离子体CVD法，因为等离子体CVD法不仅生产性优异、在工业上广泛使用，而且可以以均匀的膜厚获得非常致密且与上述基材板的密合性高的膜。防湿层的具体形成条件可以根据使用的方法和材料适宜设定。例如氧化铝膜通过使用铝靶，并利用在含氧气氛中的溅射法进行成膜而得到。此时，通过在靶上施加间歇性的负直流电压的方法，有效抑制成膜时的电弧产生，能够增大投入电力，长时间维持更快的成膜速度。此时的具体溅射条件随装置的种类、靶组成等诸条件而变化，因此只要适当选择即可。通常优选排真空至IX 10_4Pa 8X 10_4Pa后，以0:100 90:10的流量比将氩和氧导入容器内，在溅射气体压力O. 2 3Pa、功率密度O. 5 5W/cm2下进行。
防湿层可以是由单一层构成的层，也可以是由材质(例如作为主成分的无机化合物)不同的多层构成的层。从防湿性的观点考虑，防湿层的膜厚(由多层构成时为合计膜厚)优选IOnm以上。此外，从维持光透射性、维持基材板的挠性及确保与基材板的密合性的观点考虑，优选50nm以下，更优选30nm以下。本发明的层叠体由于具有上述结构，因此耐候性、防湿性优异，各层间的密合性及其长期稳定性也优异。即，由于密合层含有特定的金属氧化物作为主成分，因此密合层与防湿层之间以及密合层与基材板之间的密合性高。因此，层叠体整体的密合性及其长期稳定性高。此外，该密合层的透明性高，因此层叠体整体的透明性也优异。因此，本发明的层叠体可用作为太阳能电池模块用保护板。
例如，由于层叠体整体的密合性及其长期稳定性高，将该层叠体配置成防湿层侧的面成为EVA等填充剂层侧的太阳能电池模块不易产生基材板和填充剂层之间的密合强度下降。此外，该层叠体中，基材板、密合层和防湿层各自的透明性高，层叠体整体的透明性高。因此，该层叠体可以用作为保护太阳能电池模块中电池单元朝向太阳光的那一侧的保护板。另外，将本发明的层叠体用作为保护太阳能电池模块中电池单元朝向太阳光那一侧的保护板时，该层叠体的可见光透射率优选80%以上，更优选85%以上，进一步优选90%以上。其上限越高越好，因此没有特别限定，但实际为98%左右。此外，含有含氟树脂的基材板不仅耐候性、耐热性和耐化学品性优异，而且防污性也优异。因此，以太阳能电池模块的最外层成为该基材板的方式来配置该层叠体时，该太阳能电池模块表面不易粘附灰尘和碎屑，因此可以长期地防止由污溃引起的性能下降。
实施例以下，将上述实施方式的具体例子作为实施例进行说明。还有，本发明并不局限于以下的实施例。以下各例中使用的测定方法和评价方法如下所示。[可见光透射率的测定]使用分光器(产品名“UV-3100PC”，岛津株式会社制)测定分光透射光谱，以JISR3106-1998为基准，从该测定值计算出可见光透射率(%)。[各层的膜厚]使用分光椭偏仪装置(产品名“M-2000DI”，J. A.乌兰日本公司(J. A. W00LLAMJAPAN社)制)测定膜厚，采用WVASE32(J. A乌兰日本公司制)进行光学拟合(fitting)，从而算出。[密合性的评价]将在实施例和比较例中得到的层叠体切割成尺寸IOcmX IOcm而得到的层叠体以及切割成相同尺寸的EVA薄膜(普利司通株式会社(宁J卜 >社)制W25CL)按照ETFE膜/密合层/防湿层/ EVA膜的顺序(只有比较例I是ETFE膜/防湿层/EVA膜的顺序)进行配置，用热压机(旭硝子株式会社制)在压力10kgf/cm、面积120cm2、温度150°C、时间10分钟的条件下热压接，得到试验片。接着,将各试验片切割成IcmX IOcm的尺寸,使用奥利安泰克公司(才I)工> f
夕社)制拉伸万能试验机RTC-1310A，以JISK6854-2为基准，在拉伸速度50mm/分钟下，测定180°剥离(peeling)试验中的密合强度(剥离粘结强度，单位N/cm)。密合强度的测定在下述耐候性试验之前(初期)及之后实施。但是，对初期的密合强度低于lN/cm的试验片没有进行耐候性试验。耐候性试验以JIS-B7753为基准，使用日光碳弧灯式耐候性试验机(须贺试验机株式会社(^力試験機社)制，日光耐候性试验机(寸 U开'一 ^一夕一)S300)进行100小时(h)试验。将耐候性试验后的密合强度为5N/cm以上的记为〇，为其以下的记为X。此外，将初期的密合强度低于lN/cm的试验片结果记为X。[实施例I]将100 μ m厚的ETFE膜(商品名AFLEX，旭硝子株式会社制)设置在溅射装置(特机株式会社(卜v #社)制)内，抽真空至8X KT4Pa左右后，向腔体内以40sccm导入気气并以IOsccm导入氧气，使压力为O. 3Pa。接着，以200W的功率施加直流电压，从而产生等离子体。采用锆作为靶，通过开关遮蔽器(日文夕一)来控制成膜时间，从而在ETFE膜上形成5nm厚的氧化错薄膜。接着,采用招作为祀，向腔体内以50sccm导入気气并以3sCCm导入氧气，用320V的DC电压进行放电。通过开关遮蔽器来控制成膜时间，从而形成20nm厚的氧化铝薄膜，制作由ETFE膜/氧化锆(密合层)/氧化铝(防湿层)构成的层叠体。 对该层叠体进行可见光透射率)的测定及密合性的评价。其结果示于表I。[实施例2]在上述实施例I中，使用钽代替铝作为靶，并形成5nm厚的氧化钽薄膜，除此以外，进行与上述实施例I同样的操作，制作由ETFE膜/氧化钽(密合层)/氧化铝(防湿层)构成的层叠体。对该层叠体进行可见光透射率)的测定及密合性的评价。其结果示于表I。[实施例3]在上述实施例I中，使用铪代替铝作为靶，并形成5nm厚的氧化铪薄膜，除此以外，进行与上述实施例I同样的操作，制作由ETFE膜/氧化铪(密合层)/氧化铝(防湿层)构成的层叠体。对该层叠体进行可见光透射率)的测定及密合性的评价。其结果示于表I。[比较例I]将100 μ m厚的ETFE膜(商品名AFLEX，旭硝子株式会社制)设置在溅射装置(特机株式会社制)内，抽真空至8 X KT4Pa左右后，向腔体内以50sccm导入IS气并以3sccm导入氧气，用320V的DC电压进行放电。通过开关遮蔽器来控制成膜时间，从而形成20nm厚的氧化铝薄膜，制作由ETFE膜/氧化铝(防湿层)构成的层叠体。对该层叠体进行可见光透射率)的测定及密合性的评价。其结果示于表I。比较例I的层叠体的初期的密合强度为O. lN/cm的较弱的值，因此没有进行耐候性试验。
此外，测定初期的密合强度后，利用荧光X射线评价剥离界面，结果为在ETFE膜和氧化铝薄膜的界面发生了剥离。[比较例2]在上述实施例I中，使用不锈钢(SUS304)代替招，并形成5nm厚的SUS氧化物薄膜，除此以外，进行与上述实施例I同样的操作，制作由ETFE膜/SUS氧化物(密合层)/氧化铝(防湿层)构成的层叠体。对该层叠体进行可见光透射率)的测定及密合性的评价。其结果示于表I。[比较例3]
在上述实施例I中，使用锡一招合金(Sn:Al=50质量％ : 50质量％ ,以下记为Sn-50A1)代替铝，并形成5nm厚的Sn_50Al氧化物薄膜，除此以外，进行与上述实施例I同样的操作，制作由ETFE膜/Sn-50A1氧化物(密合层)/氧化铝(防湿层)构成的层叠体。对该层叠体进行可见光透射率)的测定及密合性的评价。其结果示于表I。[比较例4]在上述实施例I中，使用锡一铬合金(Sn:Cr=70质量％ :30质量％，以下记为Sn-30Cr)代替铝，并形成5nm厚的Sn_30Cr氧化物薄膜，除此以外，进行与上述实施例I同样的操作，制作由ETFE膜/Sn-30Cr氧化物(密合层)/氧化铝(防湿层)构成的层叠体。对该层叠体进行可见光透射率)的测定及密合性的评价。其结果示于表I。[比较例5]在上述实施例I中，使用铬代替铝，并形成5nm厚的氧化铬薄膜，除此以外，进行与上述实施例I同样的操作，制作由ETFE膜/氧化铬(密合层)/氧化铝(防湿层)构成的
层叠体。对该层叠体进行可见光透射率)的测定及密合性的评价。其结果示于表I。[比较例6]在上述实施例I中，使用铌代替铝，并形成5nm厚的氧化铌薄膜，除此以外，进行与上述实施例I同样的操作，制作由ETFE膜/氧化铌(密合层)/氧化铝(防湿层)构成的
层叠体。对该层叠体进行可见光透射率)的测定及密合性的评价。其结果示于表I。比较例6的层叠体的初期的密合强度为O. 9N/cm的较弱的值，因此没有进行耐候性试验。[比较例7]在上述实施例I中，使用钥代替招，并形成5nm厚的氧化钥薄膜，除此以外，进行与上述实施例I同样的操作，制作由ETFE膜/氧化钥(密合层)/氧化铝(防湿层)构成的
层叠体。对该层叠体进行可见光透射率)的测定及密合性的评价。其结果示于表I。比较例7的层叠体的初期的密合强度为O. lN/cm的较弱的值，因此没有进行耐候性试验。[比较例8]在上述实施例I中，使用钨一钛合金(W:Ti=90质量％ :10质量％，以下记为W-IOTi)，并形成5nm厚的W-IOTi氧化物薄膜，除此以外，进行与上述实施例I同样的操作，制作由ETFE膜/W-IOTi氧化物(密合层)/氧化铝(防湿层)构成的层叠体。对该层叠体进行可见光透射率)的测定及密合性的评价。其结果示于表I。[实施例4]将100 μ m厚的ETFE膜(商品名AFLEX，旭硝子株式会社制)设置在溅射装置(特机株式会社制)内，抽真空至8X10_4Pa左右后，经由调节阀向溅射装置内以50scm导入氩气，将溅射装置内压力控制在2. 6Pa。以60W对基板施加RF(高频)而使其产生等离子体，进行60秒的表面处理。接着，向腔内以40sccm导入気
权利要求
1.一种层叠体，其特征在于，依次层叠有含有氟树脂的基材板、密合层和以选自无机氧化物、无机氮化物及无机氧氮化物的至少I种无机化合物为主成分的防湿层，所述密合层以选自氧化锆、氧化钽及氧化铪的至少I种金属氧化物为主成分。
2.如权利要求I所述的层叠体，其特征在于，所述氟树脂为乙烯一四氟乙烯类共聚物。
3.如权利要求I或2所述的层叠体，其特征在于，所述防湿层包含作为所述无机化合物的Si化合物或Al化合物。
4.如权利要求I 3中任一项所述的层叠体，其特征在于，所述防湿层包含氧化铝。
5.如权利要求I 4中任一项所述的层叠体，其特征在于，可见光透射率为80%以上。
6.一种太阳能电池模块用保护板，其特征在于，使用权利要求I 5中任一项所述的层叠体。
7.权利要求I 5中任一项所述的层叠体的制造方法，其特征在于，包括 通过干式法在含有氟树脂的基材板的至少一面上形成所述密合层的工序，和 通过干式法在所述密合层上形成所述防湿层的工序。
8.如权利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述密合层或所述防湿层的形成中使用的干式法是溅射法或等离子体化学蒸镀法。
全文摘要
本发明提供耐候性、防湿性优异，层间的密合性及其长期稳定性也优异的层叠体及其制造方法。本发明的层叠体的特征是，依次层叠有含有氟树脂的基材板、密合层和以选自无机氧化物、无机氮化物及无机氧氮化物的至少1种无机化合物为主成分的防湿层，上述密合层由选自氧化锆、氧化钽及氧化铪的至少1种金属氧化物构成。
文档编号B32B27/30GK102791476SQ201180012439
公开日2012年11月21日 申请日期2011年3月2日 优先权日2010年3月12日
发明者中尾卓也, 志堂寺荣治, 有贺广志, 木原直人 申请人:旭硝子株式会社