专利名称：3400纳米带通红外滤光片的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种滤光片，特别是3400纳米带通红外滤光片。
背景技术：
对于许多安全性要求严格的场合都需对可燃气体浓度的测定，天然气是一种可燃气体，它主要包括主要成分的甲烷、烃类、惰性气体和痕量成分，故需要对天然气检测，检测器把气体浓度作为气体混合物的爆炸下限的百分数来测定。可利用具有与甲烷的吸收波长之一相等的峰透射波长的滤光片，通过红外光谱在理论上能够测定气体混合物中的可燃气体成分(比如甲烷)的浓度，滤光片和光源共同限定出一个选定的波长范围，在该范围内对气体混合物进行光谱测定，以便看是否为安全范围的浓度，然而天然气的成分不是单一的对于测定现在检测器普遍都受其它成分的影响， 对测试的气体混合物的爆炸下限的准确度出现了偏差。但是，目前用于测量甲烷的3400纳米带通红外滤光片，其信噪比低，精度差，不能满足市场发展的需要。
实用新型内容本实用新型的目的是为了解决上述现有技术的不足而提供一种峰值透过率高，能极大的提高信噪比的3400纳米带通红外滤光片。为了实现上述目的，本实用新型所设计的3400纳米带通红外滤光片，包括以Si 为原材料的基板、以Ge、SiO为镀膜材料的第一镀膜层和以Ge、SiO为镀膜材料的第二镀膜层，基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，其特征是第一镀膜层包含由内到外依次排列 263nm厚度的SiO层、73nm厚度的Ge层、330nm厚度的SiO层、136nm厚度的Ge层、276nm厚度的SiO层、95nm厚度的Ge层、278nm厚度的SiO层、140nm厚度的Ge层、256nm厚度的SiO 层、62nm厚度的Ge层、514nm厚度的SiO层、185nm厚度的Ge层、178nm厚度的SiO层、77nm 厚度的Ge层、557nm厚度的SiO层、135nm厚度的Ge层、923nm厚度的SiO层、275nm厚度的 Ge层、776nm厚度的SiO层、362nm厚度的Ge层、786nm厚度的SiO层、353nm厚度的Ge层、 748nm厚度的SiO层、422nm厚度的Ge层、1067nm厚度的SiO层、466nm厚度的Ge层、1041nm 厚度的SiO层、477nm厚度的Ge层、厚度的SiO层；第二镀膜层包含由内到外依次排列的厚度的SiO层、20Inm厚度的Ge层、464nm厚度的SiO层、20Inm厚度的Ge层、 928nm厚度的SiO层、20Inm厚度的Ge层、464nm厚度的SiO层、20Inm厚度的Ge层、464nm 厚度的SiO层、20Inm厚度的Ge层、943nm厚度的SiO层、195nm厚度的Ge层、8Mnm厚度的 SiO 层。上述各材料对应的厚度，其允许在公差范围内变化，其变化的范围属于本专利保护的范围，为等同关系。通常厚度的公差在IOnm左右。本实用新型得到的3400纳米带通红外滤光片，红外滤光片波长在3400nm时可对甲烷气体进行准确的测试，可测出准确的测试结果。该滤光片能实现中心波长定位为3400 士 1 %纳米，峰值透过率达90 %以上，截止区透过率小于0.1%，大大提高了信噪比。
图1是实施例整体结构示意图；图2是实施例提供的红外光谱透过率实测曲线图。图中第一镀膜层1、基板2、第二镀膜层3。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。实施例如图1所示，本实施例提供的3400纳米带通红外滤光片，包括以Si为原材料的基板2、以Ge、SiO为镀膜材料的第一镀膜层1和以Ge、SiO为镀膜材料的第二镀膜层3，基板 2位于第一镀膜层1和第二镀膜层3之间，第一镀膜层1包含由内到外依次排列263nm厚度的SiO层、73nm厚度的Ge层、330nm厚度的SiO层、136nm厚度的Ge层、276nm厚度的SiO 层、95nm厚度的Ge层、278nm厚度的SiO层、140nm厚度的Ge层、256nm厚度的SiO层、62nm 厚度的Ge层、514nm厚度的SiO层、185nm厚度的Ge层、178nm厚度的SiO层、77nm厚度的 Ge层、557nm厚度的SiO层、135nm厚度的Ge层、923nm厚度的SiO层、275nm厚度的Ge层、 776nm厚度的SiO层、362nm厚度的Ge层、786nm厚度的SiO层、353nm厚度的Ge层、748nm 厚度的SiO层、422nm厚度的Ge层、1067nm厚度的SiO层、466nm厚度的Ge层、1041nm厚度的SiO层、477nm厚度的Ge层、528nm厚度的SiO层；第二镀膜层3包含由内到外依次排列的 928nm厚度的SiO层、20Inm厚度的Ge层、464nm厚度的SiO层、20Inm厚度的Ge层、92&im 厚度的SiO层、20Inm厚度的Ge层、464nm厚度的SiO层、20Inm厚度的Ge层、464nm厚度的 SiO层、20111111厚度的66层、94311111厚度的5丨0层、19511111厚度的66层、邪411111厚度的3丨0层。如图2所示，本实施例得到的3400纳米带通红外滤光片，能实现中心波长定位为 3400 士 1 %纳米，峰值透过率达90 %以上，截止区透过率小于0.1%，大大提高了信噪比。
权利要求1. 一种3400纳米带通红外滤光片，包括以Si为原材料的基板O)、以Ge、SiO为镀膜材料的第一镀膜层(1)和以Ge、SiO为镀膜材料的第二镀膜层(3)，基板( 位于第一镀膜层(1)和第二镀膜层(3)之间，其特征是第一镀膜层(1)包含由内到外依次排列^^ 厚度的SiO层、73nm厚度的Ge层、330nm厚度的SiO层、136nm厚度的Ge层、276nm厚度的SiO 层、95nm厚度的Ge层、278nm厚度的SiO层、140nm厚度的Ge层、256nm厚度的SiO层、62nm 厚度的Ge层、514nm厚度的SiO层、185nm厚度的Ge层、178nm厚度的SiO层、77nm厚度的 Ge层、557nm厚度的SiO层、135nm厚度的Ge层、923nm厚度的SiO层、275nm厚度的Ge层、 776nm厚度的SiO层、362nm厚度的Ge层、786nm厚度的SiO层、353nm厚度的Ge层、748nm 厚度的SiO层、422nm厚度的Ge层、1067nm厚度的SiO层、466nm厚度的Ge层、1041nm厚度的SiO层、477nm厚度的Ge层、厚度的SiO层；第二镀膜层(3)包含由内到外依次排列的厚度的SiO层、20Inm厚度的Ge层、464nm厚度的SiO层、20Inm厚度的Ge层、 928nm厚度的SiO层、20Inm厚度的Ge层、464nm厚度的SiO层、20Inm厚度的Ge层、464nm 厚度的SiO层、20Inm厚度的Ge层、943nm厚度的SiO层、195nm厚度的Ge层、8Mnm厚度的 SiO 层。
专利摘要本实用新型公开了一种3400纳米带通红外滤光片，包括以Si为原材料的基板、以Ge、SiO为镀膜材料的第一镀膜层和以Ge、SiO为镀膜材料的第二镀膜层，基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，主要是第一镀膜层包含了由内到外依次排列不同厚度的镀膜材料SiO层和Ge层，第二镀膜层包含了有内到外依次排列不同厚度的镀膜材料SiO层和Ge层。本实用新型得到的3400纳米带通红外滤光片，红外滤光片波长在3400nm时可对甲烷气体进行准确的测试，可测出准确的测试结果。该滤光片能实现中心波长定位为3400±1％纳米，峰值透过率达90％以上，截止区透过率小于0.1％，大大提高了信噪比。
文档编号B32B15/00GK202275174SQ20122009100
公开日2012年6月13日 申请日期2012年3月12日 优先权日2012年3月12日
发明者吕晶 申请人:杭州麦乐克电子科技有限公司