加压成形用的保护片和载板以及加压装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种保护片，其用于热压加工，在该热压加工中，利用与具有刚性的加压面相对配置的挠性片隔开两个空间，对该两个空间施加气压差，在加压面和挠性片之间夹着加热后的被加工件对其加压，上述保护片配置于被加工件和挠性片之间，防止从被加工件流出的成分附着于挠性片，上述保护片包括：片部，其具有挠性；和框架部，其安装于片部的周缘部，将片部的形状保持为大致平面状。
【专利说明】加压成形用的保护片和载板以及加压装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及加压成形用保护片和载板以及加压装置。
【背景技术】
[0002]通常，太阳能电池面板，通过对将玻璃板、充填材料、太阳能电池单元、充填材料、背板等构成部件层叠而形成的太阳能电池组件(层叠材料)进行热压加工并使上述太阳能电池组件成形为规定的厚度的层压加工来制造。用于进行太阳能电池面板的层压加工的加压装置(层压装置)使用专利文献I记载的隔片。
[0003]在日本专利公开公报日本特开2010 - 264511号公报(以下，记为专利文献I)中记载有在隔片和太阳能电池组件(被加工件)之间配置防止两者直接接触的隔膜(保护片)进行层压加工的内容。由此，即使在层压加工中从太阳能电池组件中流出粘接剂，流出的粘接剂也不流到隔片上，不需要更换粘合有粘接剂的隔片。
【发明内容】
[0004]发明想要解决的技术问题
[0005]但是，专利文献I的隔膜是与隔片同样具有挠性的薄的板材，另外，仅仅简单地载置于太阳能电池组件之上，没有进行任何固定。因此，存在隔膜在对真空腔室内加减压时被在真空腔室内产生的气流吹飞而产生位置偏移和皱摺的问题。这样一来，不能适当地进行太阳能电池组件的层压加工，加工后的太阳能电池面板的品质降低。另外，对多重折叠的隔膜进行加压，由此在隔片上产生应力集中，隔片的寿命也降低。
[0006]另外，为了被加工件的搬入搬出，层压装置的真空腔室被分割为能够开闭的上下的真空框。在层压装置上配置太阳能电池组件时，若未将隔膜正确地配置在热板上，则隔膜的一部分被上下的真空框夹着，弓I起真空腔室的真空泄漏，层压加工失败。
[0007]另外，因专利文献I的隔膜由于变形自如，所以为了将隔膜正确地配置在规定的位置以使得皱摺不聚在一起，需要进行慎重的作业，由此降低了生产性。
[0008]本发明是鉴于上述的情况而完成的。即，本发明的目的在于，提供一种能够提高加压加工的品质、生产性的加压成形用的保护片和载板以及加压装置。
[0009]用于解决技术问题的技术方案
[0010]本发明的一实施方式提供一种保护片，其用于热压加工，
[0011]在上述热压加工中，利用与具有刚性的加压面相对配置的挠性片隔开两个空间，对该两个空间施加气压差，在上述加压面和上述挠性片之间夹着加热后的被加工件对其加压，
[0012]上述保护片配置于上述被加工件和上述挠性片之间，防止从上述被加工件流出的成分附着于挠性片，
[0013]上述保护片的特征在于，包括:片部，其具有挠性；和框架部，其安装于上述片部的周缘部，将上述片部的形状保持为大致平面状。
[0014]根据该结构，皱摺难以聚集在保护片上，所以不会降低生产性，能够防止皱摺聚集在保护片上造成的加压加工(包括层压加工)的品质降低。即，上述构成的保护片由于设置有将片部的形状保持为大致平面状的框架部，从而皱摺难以聚集在片部上，不需要慎重地处置保护片以使得皱摺不聚集，因此，使加压成形的生产性提高。
[0015]在上述保护片中，也可以为如下结构:上述框架部比上述加压面大，配置于上述加压面的外部。
[0016]在上述保护片中，也可以为如下结构:上述片部在与设置于上述加压面的通气口重合的位置形成有贯通孔或切口。
[0017]在上述保护片中，也可以为如下结构:上述保护片由弹性体形成，具有伸缩性。
[0018]在上述保护片中，也可以为如下结构:上述框架部由形状记忆合金形成。
[0019]本发明的一实施方式提供一种载板，包括:
[0020]支承板，其具有挠性；
[0021]主框体，其安装于上述支承板的周缘部，将上述支承板的形状保持为大致平面状；和
[0022]副框体，其收纳权利要求1?5中任一项上述的保护片并对其进行定位，
[0023]将上述被加工件和上述保护片在载置于上述支承板上的状态下搬运，并载置于上述加压面上，能够对上述被加工件与支承板一起进行热压加工。
[0024]在上述的加压装置中，也可以为如下结构:上述支承板在与设置于上述加压面的通气口重合的位置形成有贯通孔或切口。
[0025]本发明的一实施方式提供一种加压装置，其构成为，包括:
[0026]加压面，其载置被加工件，具有刚性；
[0027]挠性片，其与上述加压面相对配置，分隔上述加压面侧的第一空间和第二空间；
[0028]加热单元，其将上述被加工件加热至成形温度；
[0029]压力控制部，其控制由上述挠性片分隔而成的第一空间和第二空间的气压差；和
[0030]保护片，其配置于上述被加工件和上述挠性片之间，具有挠性，
[0031]上述保护片包括:
[0032]片部，其具有挠性；和
[0033]框状框架部，其安装于上述片部的周缘部，将上述片部的形状保持为大致平面状，
[0034]上述压力控制部控制上述气压差以使得上述第一空间的气压比上述第二空间的气压相对低，由此在上述挠性片和上述加压面之间夹着上述被加工件对其加压。
[0035]根据该结构，皱摺难以聚集在保护片上，所以不会降低生产性，能够防止皱摺聚集在保护片上造成的加压加工(包括层压加工)的品质降低。即，上述构成的保护片由于设置有将片部的形状保持为大致平面状的框架部，从而皱摺难以聚集在片部上，不需要慎重地处置保护片以使得皱摺不聚集，因此，使加压成形的生产性提高。
[0036]在上述的加压装置中，也可以为如下结构:
[0037]包括载置并输送上述被加工件和上述保护片的载板，
[0038]在载置有上述被加工件和上述保护片的上述载板载置于上述加压面上的状态下，能够对上述被加工件进行加压。
[0039]在上述的加压装置中，也可以为如下结构:
[0040]上述载板包括:
[0041]支承板，其具有挠性；
[0042]主框体，其安装于上述支承板的周缘部，将上述支承板的形状保持为大致平面状；和
[0043]副框体，其在框内收纳上述保护片，
[0044]上述副框体的内宽形成得比上述框架部的外宽稍宽，上述保护片的面方向的位置由上述载板的副框体约束。
[0045]在上述的加压装置中，也可以为如下结构:
[0046]包括:
[0047]下部模座，其上表面设置有上述加压面；
[0048]上部模座，其具有与上述加压面平行的下表面；
[0049]驱动单元，其上下驱动上述上部模座和上述下部模座的至少一方，使得上述上部模座和上述下部模座的间隔变化；和
[0050]安装于上述上部模座的下表面的框部，其将上述挠性片保持为大致平面状且与上述加压面平行，
[0051]上述框部具有安装于其下表面且遍及该下表面的整周延伸的环状的密封件。
[0052]在上述的加压装置中，也可以为如下结构:
[0053]当使上述下部模座和上述上部模座接近时，在上述框部的下表面和上述下部模座的上表面之间夹着上述保护片，形成上述第一空间，
[0054]在上述下部模座形成有用于对上述第一空间进行供气排气的供气排气通路，
[0055]上述保护片在与设置于上述下部模座的上表面的上述供气排气通路的开口部重合的位置形成有贯通孔或切口。
[0056]在上述的加压装置中，也可以为如下结构:
[0057]当使上述下部模座和上述上部模座接近时，在上述框部的下表面和上述下部模座的上表面之间夹着上述保护片，形成由上述保护片分隔为上述下部模座侧的第一部分和上述上部模座侧的第二部分的上述第一空间，
[0058]在上述下部模座形成有用于对上述第一空间的第一部分进行供气排气的第一供气排气通路，
[0059]在上述框部形成有用于对上述第一空间的上述第二部分进行供气排气的第二供气排气通路。
[0060]在上述的加压装置中，也可以为如下结构:
[0061 ] 上述第二供气排气路包括:
[0062]主供气排气通路，其在上述框部的周方向上延伸；和
[0063]供气排气狭缝，其沿着上述主供气排气通路延伸，连接上述主供气排气通路和上述第一空间的上述第二部分，比上述主供气排气通路细，
[0064]从上述供气排气狭缝的全长至上述第一空间的上述第二部分大致均匀地进行供气排气。
[0065]在上述的加压装置中，也可以为如下结构:
[0066]上述第一供气排气通路和上述第二供气排气通路包含各自独立的供气通路和排气通路。
【专利附图】
【附图说明】
[0067]图1是本发明实施方式的层压加工系统的外观图。
[0068]图2是本发明实施方式的载板的立体图。
[0069]图3是本发明实施方式的保护片的平面图。
[0070]图4是本发明实施方式的层压装置的侧视图。
[0071]图5是本发明第一实施方式的层压装置的固定模座和可动模座的截面图。
[0072]图6是图5的局部放大图。
[0073]图7是本发明的实施方式的压力控制系统的概略构成图。
[0074]图8是将本发明第二实施方式的层压装置的固定模座和可动模座的截面的局部放大的图。
[0075]图9是本发明第二实施方式的真空框的截面图。
[0076]图10是本发明第二实施方式的真空框的平面图。
【具体实施方式】
[0077]下面，参照附图对本发明的实施方式进行详细地说明。
[0078](第一实施方式)
[0079]图1是本发明第一实施方式的太阳能电池用层压加工系统I的外观图。层压加工系统I包括层叠装置100、搬入用输送机200、层压装置(加压装置)300、固化处理装置400、搬出用输送机500和控制装置10。控制装置10与构成层压加工系统I的各装置可通信地连接，统一控制各装置的动作。
[0080]层叠装置100是将构成太阳能电池的多个部件(例如，玻璃板、充填材料、太阳能电池单元、充填材料和背板)重叠来组装太阳能电池组件A的装置。由层叠装置100组装的太阳能电池组件A由搬入用输送机200输送至层压装置300。层压装置300进行太阳能电池组件A的层压加压(热压加工成形)。即，层压装置300对进行太阳能电池组件A热压加工，使其成形为规定的厚度的板状体。此外，由层压装置300进行的热压加工，进行至加压温度的充填材料的流动性实际消失为止。成形后的太阳能电池组件A被内置于层压装置300的输送组件输送至固化处理装置400。
[0081]固化处理装置400对通过层压装置300成形后的太阳能电池组件A进行施加用于保持形状的较轻的压力并加热的固化处理，使热固化树脂即太阳能电池组件A的充填材料稳定化。通过以上的处理，制作太阳能电池面板。结束固化处理完成的太阳能电池面板，被搬出用输送机500从层压加工系统I搬出。
[0082]以上一系列的处理通过控制装置10控制层叠装置100、搬入用输送机200、层压装置300、固化处理装置400和搬出用输送机500来进行。
[0083]在本实施方式中，太阳能电池组件A和加工后的太阳能电池面板，在载置于以下说明的载板800的状态下被输送，通过层压装置300和固化处理装置400，与载板800 —起被加压。
[0084]图2是在本实施方式中所使用的载板800的立体图。载板800包括:在中央部形成有中空部H的主框体810 ;以覆盖中空部H的方式固定于主框体810的上表面的支承板820 ;和用外缘部保持支承板820并将该支承板820固定于主框体810的副框体830。
[0085]主框体810和副框体830是具有太阳能电池面板的制造工序中实际上未变形(实际上看作刚体)程度的足够的刚性的构造材料。另外，主框体810和副框体830由金属和耐热性树脂(例如，聚酰胺树脂)形成，使得在热压加工时也维持足够的刚性。在本实施方式中，使用由不锈钢钢板形成的主框体810和副框体830。
[0086]另外，支承板820是柔性支承脆性部件即太阳能电池单元和玻璃板并保护其不受冲击的具有挠性的刚性低的支承部件。支承板820由即使在高温下也具有足够强度的氟树脂板、纤维强化耐热树脂板或金属薄板(例如，不锈钢钢板、铜板)等耐热材料形成，使得即使反复热压加工也不会破损。另外，支承板820的厚度设定在耐久性和柔软性兼得的范围内。例如，在使用由以聚酰胺为母材的碳纤维强化塑料形成的支承板820的情况下，支承板820的板厚设定在0.05?1.5mm的范围，更优选为0.5?1.0mm的范围。
[0087]支承板820的周缘部卷绕在副框体830上，例如通过粘接剂接合。另外，支承板820以不翘曲的方式在作用有极小的张力的状态下与副框体830接合。与支承板820接合的副框体830以在其与主框体810之间夹着支承板820的方式利用螺栓等安装于主框体810。由此，支承板820的形状由主框体810和/或副框体830保持为大致平面状。
[0088]在载板800中，支承板820的周缘部贴合于主框体810而失去挠性，但与中空部H面对的中央部维持挠性。太阳能电池组件A配置于具有挠性的支承板820的中央部之上，由支承板820弹性支承。另外，在通过搬入用输送机200和搬出用输送机500等输送单元输送载板800时,主框体810由输送单兀支承。因此，在输送中不会对载置于载板800的太阳能电池组件A施加较强的冲击，能够防止输送中的太阳能电池组件A的破损。
[0089]另外，在本实施方式中，在配置于载板800上的太阳能电池组件A之上还载置保护片700 (后述)，在使保护片700介于太阳能电池组件A和层压装置300的隔片350 (后述)之间的状态下，进行太阳能电池组件A的层压加压。
[0090]通过使用保护片700，来防止在层压加工中从太阳能电池组件A流出的树脂粘合于隔片350,层压加工的品质下降。
[0091]另外，存在隔片350在层压加压中曝露于从太阳能电池组件A的树脂产生的气体中而劣化的问题。这样，以下将在层压加压中从被加工件产生且具有促进隔片350的劣化的性质的气体称为“劣化促进性气体”。保护片700对防止劣化促进性气体造成的隔片350的劣化同样有效。
[0092]关于劣化促进性气体，根据本
【发明者】的研究表明，在热压加工时从作为密封材料使用EVA(乙烯醋酸乙烯共聚物)树脂的被加工件产生与形成隔片350的硅橡胶反应而变质(例如，使交联反应进行而丧失挠性和伸缩性)的成分的气体，这使隔片350显著劣化。因此，特别是，保护片700在使用硅橡胶制的隔片进行包含EVA树脂的被加工件的层压加压时的防止隔片350的劣化方面有效。另外，在热压加工时从EVA以外的树脂也产生例如包含于树脂的有机溶剂等挥发成分、随着树脂的固化反应产生的酸等气体，有可能促进由天然橡胶、合成橡胶或硅橡胶形成的隔片350的劣化。因此，即使在使用含有EVA以外的树脂的被加工件、硅橡胶以外的材质的隔片350的情况下，保护片700在防止隔片350的劣化方面也同样有效。
[0093]图3是保护片700的平面图。保护片700包括大致矩形状的具有挠性的片部710和矩形框状的具有刚性的框架部720。保护片700由具有耐热性橡胶板等形成。框架部720安装于片部710的周缘部，将片部710的形状保持为大致平面状。框架部720例如由钢丝和N1-Ti等形状记忆合金的线材等形成。片部710的周缘部闭合为环状，形成有沿着片部710的四边延伸的中空部。在该中空部穿过框架部720 (图6)。另外，片部710形成为比框架部720稍小。因此，在片部710安装框架部，以将片部扩展，使得片部710不产生松弛。另夕卜，为了容易进行框架部720的插拔，在保护片700的周缘部设置有多个切口部712。
[0094]接着，对层压装置300的结构进行说明。图4是层压装置300的侧视图。层压装置300具备用于输送载置有太阳能电池组件A的载板800的一对输送机310 (图中仅表示跟前侧的一个)。一对输送机310排列配置于层压装置300的宽度方向(图4中与纸面垂直的方向)上。
[0095]在一对输送机310之间配置有固定于层压装置300的框架上的固定模座320。在固定模座320的上方设置有可动模座330。可动模座330经由气缸组件390支承于框架，通过气缸组件390能够在上下方向上驱动。在固定模座320之上配置载置有太阳能电池组件A的载板800，接着，使可动模座330下降，在可动模座330和固定模座320之间夹着太阳能电池组件A的状态下，进行使用后述的隔片350的太阳能电池组件A的层压加压。此外，以固定模座320的上表面整体收纳于载板800的中空部H(图2)内的方式设定固定模座320的水平方向的尺寸，使得固定模座320不与载板800的主框体810发生干涉。
[0096]另外,输送机310通过未图不的促动器能够在上下方向上移动。在输送机310输送载置有太阳能电池组件A的载板800时，输送机310的上表面310t向比固定模座320的上表面320t高的位置移动。因此，载板800和太阳能电池组件A在不与固定模座320发生干涉的状态下被输送。另一方面，在进行太阳能电池组件A的层压加压时，输送机310的上表面310t向比固定模座320的上表面320t低的位置移动，成为在固定模座320的上表面320t直接载置有载板800的支承板820的状态。这时，载板800的框部810成为经由支承板820从固定模座320的上表面320t垂下的状态。
[0097]图5是在设置有载置有太阳能电池组件A的载板800的状态下的层压装置300的固定模座320和可动模座330的截面图。另外，图6是将图5的局部(图4中用虚线P包围的部分)放大的局部放大图。
[0098]如图6所示，可动模座330包括可动模座主体331和安装于可动模座主体331的下表面的框部340。框部340包括上部框体340A和下部框体340B。在上部框体340A和下部框体340B之间夹着封闭框部340的开口的隔片350的周缘部。隔片350是具有伸缩性、气密性和耐热性的板状部件，与上部框体340A和下部框体340B气密地接合。由此，形成由隔片350、可动模座主体331和上部框体340A包围的上部腔室UC。在可动模座主体331或上部框体340A设置有连接上部腔室UC和外部空间的通气通路(未图示)，将上部腔室UC的内压维持在大气压。
[0099]载板800和保护片700各自的水平方向尺寸(图6中的左右方向和与纸面垂直的方向)比固定模座320大，在层压加压时，载板800的支承板820和保护片700的片部710在下部框体340B和固定模座320之间被气密地夹着。由此，形成由可动模座330的隔片350和框部340和固定模座320包围且密闭的下部腔室LC。
[0100]另外，在下部框体340B的下表面形成有在周向上延伸的环状槽341，在该环状槽341内嵌入有密封件341p。利用下端部从下部框体340B的下表面突出的密封件341p，确保下部框体340B和保护片700的抵接部的气密。另外，在本实施方式中，由于载板800的支承板820使用密合性高的材料，所以不在固定模座320的上表面设置密封件，但在支承板820使用密合性低的材料的情况下，也可以采用在固定模座320的上表面也设置有环状槽和密封件的结构。
[0101]在固定模座320安装有未图示的电热加热器，将固定模座320的加压面320p维持在太阳能电池组件A的成形温度(充填材料的固化温度)。通过在由电热加热器加热的固定模座320的加压面320p上配置太阳能电池组件A，将太阳能电池组件A加热至成形温度。此外，加压面320p是设置于固定模座320的上表面320t的中央部的平坦面，配置于加压面320p上的太阳能电池组件A由加压面320p和隔片350夹着，被热压加工。
[0102]另外，在固定模座320设置有连接上表面320t的周缘部(加压面320p的周围)和侧面320sa、320sb的多个供气通路323和排气通路324 (图6仅表示一个)。设置于固定模座320的侧面320sa、320sb的供气通路323和排气通路324的开口 323a和324a与后述的压力控制系统S连接，能够对下部腔室LC内的气压进行加压和减压。当通过压力控制系统S对下部腔室LC内进行抽真空时，由隔片350隔开的上部腔室UC和下部腔室LC之间产生内压差，其结果，隔片350向内压低的下部腔室LC侧膨胀，在隔片350和固定模座320的上表面320t之间太阳能电池组件A被热压加工，进行层压加工。
[0103]接着，对压力控制系统S进行说明。图7是与压力控制系统S连接的固定模座320的平面图。压力控制系统S包括:向下部腔室LC内供给外气的供气管路360 ;从下部腔室LC内排出空气(抽真空)的真空泵374 ;连接真空泵374和下部腔室LC的排气管路370 ；检测上部腔室UC和下部腔室LC的内压的压力计(未图示)；和通过控制控制真空泵374等的动作，对上部腔室UC和下部腔室LC的内压差进行控制的压力控制装置375。
[0104]排气管路370包括:一端与真空泵374连接的主管371 (371a、371b、371c);和将设置于固定模座320的多个排气通路324和主管371连接的多个分支管372a、372b。
[0105]主管371包括:一端与真空泵374连接的中继部371c ;和沿着固定模座320的周缘部延伸的大致3字状的配管部(371a、371b)。中继部371c的另一端与配管部(371a、371b)的大致中央连接。换言之，主管371在固定模座320侧分支为两个配管部371a、371b。另夕卜，在主管371的中途设置有能够开闭和流量调节的电磁阀373。
[0106]配管部371a经由多个(本实施方式中为4根)分支管372a，与在固定模座320的侧面320sa(图7中的上侧的侧面)开口的多个排气通路324连接。同样，配管部371b经由多个分支管372b，与在固定模座320的另一侧面320sb (侧面320sa的下侧的侧面)开口的多个排气通路324连接。
[0107]供气管路360包括:主管361 (361a、361b、361c);和将设置于固定模座320的多个供气通路323和主管361连接的多个分支管362a、362b。
[0108]主管361包括中继部361c和沿着固定模座320的周缘部延伸的大致-字状的配管部(361a、361b)。中继部361c的一端经由消声器364开放到大气，另一端与配管部(361a、361b)的大致中央连接。换言之，主管361在固定模座320侧分支为两个配管部361a、361b。另外，在中继部361c的中途设置有能够开闭和流量调节的电磁阀363。
[0109]配管部361a经由多个(本实施方式中为2根)分支管362a，与在固定模座320的侧面320sa开口的多个供气通路323连接。同样，配管部361b经由多个分支管362b，与在固定模座320的侧面320sb开口的多个供气通路323连接。
[0110]此外，电磁阀363和373与压力控制装置375可通信地连接，在压力控制装置375的控制下进行动作。下部腔室LC的内压通过电磁阀363和373的开度来调整。例如，在将下部腔室LC内抽真空进行层压加压时，在关闭供气管路360的电磁阀363成为断开外气的状态后，使真空泵374动作，逐渐打开排气管路370的电磁阀373。另外，在使下部腔室LC内恢复为大气压，进行太阳能电池组件A的搬入/搬出时，在关闭排气管路370的电磁阀373后，逐渐打开供气管路360的电磁阀363。
[0111]如上所述，在本实施方式中，除了用于排出下部腔室LC内的空气的排气管路370之外，还设置有用于向下部腔室LC内导入外气的供气管路360。根据该结构，能够防止从下部腔室LC暂时排出的排出气体向下部腔室LC内逆流。在从下部腔室LC排出的排出气体中含有从被加热的太阳能电池组件A的粘接材料(密封材料)等放出的有机溶剂等的挥发成分、过氧化物、酸等促进隔片350的劣化的各种成分的气体(劣化促进性气体)。像本实施方式的那样，设置排气专用的管路，使得残留于管路内的劣化促进性气体不向下部腔室LC逆流，由此防止下部腔室LC内的劣化促进性气体的浓度增高、隔片350的寿命缩短，能够减轻隔片350的更换等的维修成本。
[0112]另外，在本实施方式中，与供气管路360连接的供气通路323与下部腔室LC的长度方向上的一端侧(图7的右侧)连接，与排气管路370连接的排气通路324与下部腔室LC的长度方向上的另一端侧(图7的左侧)连接。根据该结构，下部腔室LC内的供气排气时的空气的流动被固定于一个方向(图7中的从右侧向左侧去的方向)，因此，能够高效地排出下部腔室LC内的劣化促进性气体。
[0113]如图6所示，保护片700的片部710和载板800的支承板820在与设置于固定模座320的上表面320t的供气通路323和排气通路324的开口 323b和324b相对的位置分别设置有通气孔714和824，以不阻碍经由供气通路323和排气通路324的空气的移动。
[0114]另外，在下部框体340B的内周设置有以覆盖供气通路323和排气通路324的开口323b和324b的方式向内侧突出的遮蔽突起343。通过设置遮蔽突起343，从供气通路323和排气通路324向下部腔室LC内喷出的气流直接冲撞隔片350，隔片350激烈振动，其结果，不产生隔片350与太阳能电池组件A、可动模座主体331碰撞的问题。此外，在下部框体340B的下表面设置有台阶344，遮蔽突起343的下表面形成于比片部710的上表面高的位置。由此，在遮蔽突起343和片部710之间确保间隙。经由该间隙，能够进行下部腔室LC的供气排气。另外，遮蔽突起343和片部710之间的间隙遍及下部框体340B的整周地设置。因此，供气排气的气流不集中在供气通路323的开口 323b、排气通路324的开口 324b附近，而分散在间隙整周，因此，在下部腔室LC内产生较强的气流，隔片350、保护片700的片部710振动，不使层压加工的品质下降。
[0115]另外，供气通路323的开口 323b和排气通路324的开口 324b以供气排气时的气流更均匀的方式各自等间隔地设置。
[0116]另外，如图7所示，与分支管362a(372a)连接的供气通路323 (排气通路324)的开口 323b (开口 324b)和与分支管362b (372b)连接的供气通路323 (排气通路324)的开口 323b(324b)设置于相对的位置，所以在供气排气时下部腔室LC内的气流不紊乱，能够高效地排出下部腔室LC内的气体。
[0117]另外，如图6所示，上部框体340A的下表面的内周侧和下部框体340B的上表面的内周侧成为缓和的锥形面或曲率小的曲面。因此，即使隔片350沿着上部框体340A、下部框体340B的表面弯曲，隔片350也不产生大的变形，能够防止隔片350的应力集中造成的劣化。
[0118]另外，保护片700配置于载板800的副框体830的内侧的空间(中空部)，但副框体830的内宽(内侧侧面的间隔)形成为比保护片700的宽(框架部720的外宽)稍宽。因此，保护片700的水平方向的位置由载板800的副框体830约束(定位)。另外，载板800的副框体830也作为将保护片700导向至规定位置的引导件发挥功能。因此，容易将保护片700正确地配置在规定位置。
[0119]如上所述，保护片700不安装于层压装置300，另外，保护片700的框架部720在片部710上容易装卸。因此，即使因从被加工件流出的树脂附着于片部710或片部710因从被加工件产生的劣化促进性气体而劣化，也能够容易地更换片部710。另外，将片部710设置为一次性片部，在每次层压加压时更换片部710，能够防止片部710的劣化和污染造成的层压加压不良。
[0120]在以上说明的本发明的第一实施方式中，由于在保护片700上形成有通气孔714，所以保护片700的两侧的空间(即，下部腔室LC整体)相互连接。因此，具有经由设置于固定模座320的供气通路323和排气通路324，能够对下部腔室LC整体同时进行供气排气的优点。另一方面，由于配置太阳能电池组件A的空间(即，劣化促进性气体产生的空间)和隔片350露出的空间经由通气孔714连接，所以从太阳能电池组件A产生的劣化促进性气体有可能到达隔片350，不能完全防止隔片350的劣化。以下说明的本发明第二实施方式没有保护片700的通气孔714，由此能够进一步可靠地防止隔片350的劣化。
[0121](第二实施方式)
[0122]图8是将本发明第二实施方式的层压装置300A的固定模座320和可动模座330的截面的局部放大的图(相当于第一实施方式的图6的图)。此外，在以下的第二实施方式的说明中，以与第一实施方式的不同的点为中心进行说明。另外，对与第一实施方式相同或类似的构成组件使用相同或类似的附图标记，省略重复的说明。
[0123]在第二实施方式中，不在保护片700的片部710设置通气孔714 (图6)。因此，下部腔室LC由片部710气密分隔为第一部分LCl (可动模座330侧)和第二部分LC2 (固定模座320侧)。即，第一部分LCl被片部710从设置于固定模座320的供气通路323和排气通路324断开，因此，不能经由供气通路323和排气通路324进行第一部分LCl的供气排气。因此，在本实施方式的层压装置300A中，替代第一实施方式的下部框体340B，使用设置有用于进行下部腔室LC的第一部分LCl的供气排气的供气通路345s和排气通路345e (图9)的真空框340C。
[0124]图9和图10分别是本发明第二实施方式的真空框340C的横截面图和平面图。
[0125]如图9所示，真空框340C包括矩形框状的上部件3401、下部件340 j和密封件346p。上部件340i和下部件340j上下重合，其接合部由环状的密封件346p密封。在真空框340C内设置有在延长方向上延伸的供气通路345s和排气通路345e。供气通路345s和排气通路345e是由上部件340i和下部件340j包围而形成的中空部。供气通路345s形成于真空框340C的一端侧(图10的右端侧)，在真空框340C剩余的部分形成有排气通路345e。具体而言，供气通路345s形成于矩形框状的真空框340C的一边(和与其邻接的二边的附近部分)，排气通路345e形成于其它三边(与形成有供气通路345s的一边相对的一边、和其它二边的大部分)。供气通路345s和排气通路345e由两个隔壁345w(图10)断开。
[0126]另外，在比供气通路345s和排气通路345e更靠内周侧，上部件340i和下部件340 j接近且相对，在其中间形成有分别将供气通路345s以及排气通路345e和下部腔室LC的第一部分LCl连接的供气狭缝349s和排气狭缝349e。供气狭缝349s和排气狭缝349e分别遍及部件供气通路345s和排气通路345e的大致全长地形成。
[0127]另外，在矩形框状的真空框340C的相对的二个边各自形成有分别将供气通路345s以及排气通路345e和真空框340C的外周面连接的供气孔347s和排气孔347e。供气孔347s和排气孔347e分别与供气通路345s和排气通路345e的延长方向中央连接。供气孔347s和排气孔347e分别在一端部(真空框340C的外周面附近)被扩径，形有锥螺纹348s和348e。锥螺纹348s和348e分别与供气管路360和排气管路370连接。因此，与经由设置于固定模座320的供气通路323和排气通路324的下部腔室LC的第二部分LC2的供气排气连动，进行经由设置于真空框340C的供气通路345s和排气通路345e的下部腔室LC的第一部分LCl的供气排气。另外，根据该结构，由保护片700的片部710分隔的下部腔室LC的第一部分LCl和第二部分LC2的内压通常为恒定，不对片部710施加内压差。
[0128]供气狭缝349s和排气狭缝349e遍及全长截面尺寸(图9所示的横截面的尺寸)形成为一定，使得压力损失在延长方向上大致均匀。另外，经由截面面积大且压力损失小的供气通路345s以及排气通路345e和截面面积小(即比供气通路345s和排气通路345e细)且压力损失大的供气狭缝349s以及排气狭缝349e，供给和排出下部腔室LC的第一部分LCl内的空气。因此，从供气狭缝349s和排气狭缝349e的周方向全长大致均匀且缓慢地向下部腔室LC的第一部分LCl供给空气和从下部腔室LC的第一部分LCl排出空气。
[0129]以上是本发明优选的实施方式的说明。但是，本发明实施方式的具体方式不限于上述的方式，在由专利要求范围的记载显示的技术思想的范围内能够进行各种变形。
[0130]例如，在上述实施方式的层压装置中，构成为被加工件配置于在下部腔室LC，但也可以构成为被加工件配置于上部腔室UC。该情况下，隔片固定于下部腔室LC，上部腔室UC构成为能够打开和关闭。被加工件例如隔着载板800的支承板820配置于隔片上，在被加工件和可动模座主体331之间配置保护片700的片部710。另外，各腔室的内压控制与上述实施方式的控制颠倒相反。即，在将下部腔室LC的内压保持为大气压的状态下使上部腔室UC的内压为负压，由此隔片向上部腔室UC侧膨胀，被加工件在上部腔室UC的顶面和隔片之间被热压加工。
[0131]另外，在上述实施方式的层压装置中，采用下部腔室LC支承于固定模座、上部腔室UC支承于可动模座的结构，但也可以设置为使下部腔室LC支承于可动模座、使上部腔室UC支承于固定模座的结构。该情况下，固定模座配置于可动模座的上方。或者，也可以设置为使两腔室支承于上下一对可动模座的结构。
[0132]另外，在上述各实施方式中，采用通过利用电热加热器加热载置被加工件的固定模座320，将被加工件加热至加工温度(成形温度)的结构，但也可以设置为使用其它的加热单元对热盘进行加热的结构。例如，也可以采用如国际公开第2006/103868号中所公开的、通过在形成于固定模座的流路流过硅离子等的载热体，对固定模座均匀加热的结构。另夕卜，也可以采用对收纳有产品的下部腔室LC导入由电热加热器等加热后的空气的方法、利用远红外线或微波直接加热被加工件的方法。另外，也可以采用利用远红外线放射材料对固定模座320的载置有被加工件的面进行涂层，利用电热加热器对固定模座320进行加热的结构。根据该结构，除了进行固定模座320和被加工件接触的加热之外，还进行远红外线的远距离加热，所以能够更有效且均匀地进行被加工件的加热，缩短层压加压的加工时间。
[0133]另外，在上述的各实施方式中，使用矩形框状的框部340，但也能够使用其它形状(例如，圆筒状、多边筒状)的框部。另外，也能够使载板800和保护片700的形状为其它形状(例如，圆板状)。
[0134]另外，上述实施方式采用使上部腔室UC总是开放到大气，使下部腔室LC的内压在大气压和真空之间变化，由此进行热压加工的结构，但本发明不限定于这种构成。例如，在设置于可动模座主体331或上部框体340A的通气通路连接供给压缩器等的加压空气的装置，能够使上部腔室UC的内压加压至大气压以上的结构也包含于本发明。
[0135]另外，也可以采用使下部腔室LC为总是开放到大气的状态，将上部腔室UC的内压加压为正压，由此进行加压的结构。该情况下，向设置于可动模座主体331或上部框体340A的下部腔室LC供给外气的通气通路与供给压缩器等加压空气的装置连接。另外，也可以设置为上部腔室UC和下部腔室LC的任一者的内压均能够调整(例如，从真空至正压)的结构。
[0136]另外，在上述实施方式中，采用将上部腔室UC开放到大气、向下部腔室LC供给和排出空气的结构，但也可以设置为将高纯度的氮气和碳酸气体等低活性或不活泼气体向上部腔室UC和/或下部腔室LC供给的结构。由此，能够进一步减轻隔片的劣化。
[0137]另外，也可以在排气管路370的主管371或分支管372a、372b (例如，主管371的电磁阀373和分支管372a、372b之间)设置止回阀。通过在排气管路370设置止回阀，能够更加可靠地防止残留于排气管路370内的排出气体向下部腔室LC的逆流，能够更有效地抑制隔片133的劣化。
[0138]另外，上述实施方式是在太阳能电池面板的制造中应用本发明的实施方式，但本发明能够应用于任意的层压构造体的成形。例如，本发明能够应用于通过对包含预浸材料的构成材料的层叠体进行热压加工而成形的印刷配线基板等的板状层压构造体的制造。另夕卜，也能够适用于等离子显示器面板、有机EL显示器面板等各种平面板显示器的制造。
【权利要求】
1.一种保护片，其用于热压加工， 在所述热压加工中，利用与具有刚性的加压面相对配置的挠性片隔开两个空间，对该两个空间施加气压差，在所述加压面和所述挠性片之间夹着加热后的被加工件对其加压， 所述保护片配置于所述被加工件和所述挠性片之间，防止从所述被加工件流出的成分附着于挠性片， 所述保护片的特征在于，包括: 片部，其具有挠性；和 框架部，其安装于所述片部的周缘部，将所述片部的形状保持为大致平面状。
2.如权利要求1所述的保护片，其特征在于， 所述框架部比所述加压面大，配置于所述加压面的外部。
3.如权利要求1或2所述的保护片，其特征在于， 所述片部在与设置于所述加压面的通气口重合的位置形成有贯通孔或切口。
4.如权利要求1?3中任一项所述的保护片，其特征在于， 所述保护片由弹性体形成，具有伸缩性。
5.如权利要求1?4中任一项所述的保护片，其特征在于， 所述框架部由形状记忆合金形成。
6.—种载板,其特征在于,包括: 支承板，其具有挠性； 主框体，其安装于所述支承板的周缘部，将所述支承板的形状保持为大致平面状；和 副框体，其收纳权利要求1?5中任一项所述的保护片并对其进行定位， 将所述被加工件和所述保护片在载置于所述支承板上的状态下搬运，并载置于所述加压面上，能够对所述被加工件与支承板一起进行热压加工。
7.如权利要求6所述的载板，其特征在于， 所述支承板在与设置于所述加压面的通气口重合的位置形成有贯通孔或切口。
8.一种加压装置，其构成为，包括: 加压面，其载置被加工件，具有刚性； 挠性片，其与所述加压面相对配置，分隔所述加压面侧的第一空间和第二空间； 加热单元，其将所述被加工件加热至成形温度； 压力控制部，其控制由所述挠性片分隔而成的第一空间和第二空间的气压差；和 保护片，其配置于所述被加工件和所述挠性片之间，具有挠性， 所述保护片包括: 片部，其具有挠性；和 框状框架部，其安装于所述片部的周缘部，将所述片部的形状保持为大致平面状，所述压力控制部控制所述气压差以使得所述第一空间的气压比所述第二空间的气压相对低，由此在所述挠性片和所述加压面之间夹着所述被加工件对其加压。
9.如权利要求8所述的加压装置，其特征在于: 包括载置并输送所述被加工件和所述保护片的载板， 在载置有所述被加工件和所述保护片的所述载板载置于所述加压面上的状态下，能够对所述被加工件进行加压。
10.如权利要求8或9所述的加压装置，其特征在于， 所述载板包括: 支承板，其具有挠性； 主框体，其安装于所述支承板的周缘部，将所述支承板的形状保持为大致平面状；和 副框体，其在框内收纳所述保护片， 所述副框体的内宽形成得比所述框架部的外宽稍宽，所述保护片的面方向的位置由所述载板的副框体约束。
11.如权利要求8?10中任一项所述的加压装置，其特征在于，包括: 下部模座，其上表面设置有所述加压面； 上部模座，其具有与所述加压面平行的下表面； 驱动单元，其上下驱动所述上部模座和所述下部模座的至少一方，使得所述上部模座和所述下部模座的间隔变化；和 安装于所述上部模座的下表面的框部，其将所述挠性片保持为大致平面状且与所述加压面平行， 所述框部具有安装于其下表面且遍及该下表面的整周延伸的环状的密封件。
12.如权利要求11所述的加压装置，其特征在于， 当使所述下部模座和所述上部模座接近时，在所述框部的下表面和所述下部模座的上表面之间夹着所述保护片，形成所述第一空间， 在所述下部模座形成有用于对所述第一空间进行供气排气的供气排气通路， 所述保护片在与设置于所述下部模座的上表面的所述供气排气通路的开口部重合的位置形成有贯通孔或切口。
13.如权利要求12所述的加压装置，其特征在于， 当使所述下部模座和所述上部模座接近时，在所述框部的下表面和所述下部模座的上表面之间夹着所述保护片，形成由所述保护片分隔为所述下部模座侧的第一部分和所述上部模座侧的第二部分的所述第一空间， 在所述下部模座形成有用于对所述第一空间的第一部分进行供气排气的第一供气排气通路， 在所述框部形成有用于对所述第一空间的所述第二部分进行供气排气的第二供气排气通路。
14.如权利要求13所述的加压装置，其特征在于， 所述第二供气排气路包括: 主供气排气通路，其在所述框部的周方向上延伸；和 供气排气狭缝，其沿着所述主供气排气通路延伸，连接所述主供气排气通路和所述第一空间的所述第二部分，比所述主供气排气通路细， 从所述供气排气狭缝的全长至所述第一空间的所述第二部分大致均匀地进行供气排气。
15.如权利要求13或14所述的加压装置， 所述第一供气排气通路和所述第二供气排气通路包含各自独立的供气通路和排气通路。
【文档编号】B32B37/06GK104275910SQ201410326899
【公开日】2015年1月14日 申请日期:2014年7月10日 优先权日:2013年7月10日
【发明者】冈崎静明, 渡边吉智 申请人:北川精机株式会社