专利名称：处理精度检查装置、绘图精度检查装置、液滴喷出装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种通过喷墨喷头为代表的功能液滴喷头，对基板等的工件喷出功能液的液滴喷出装置中，检查喷出功能液滴喷射精度的工件处理装置的处理精度检查装置、液滴喷出装置的绘图精度检查装置、液滴喷出装置和工件以及电光学装置、电光学装置的制造方法和电子器械。
背景技术：
作为这种检查装置，应用在喷墨式打印机的检查装置是利用记录头在记录介质上印刷特定的图形图像，利用扫描器读取该图形图像，并处理其读取数据，矫正往复运动记录头的移动机构(移动系)的「速度不均匀」(例如，参照特开平8-84230号公报第5-6页、图7)在这样的以往的喷墨式打印机(液滴喷出装置)中，打印在记录介质(使用纸)的图形图像里除了移动机构的「速度不均匀」以外，因为还包含由于移动导向系的歪斜(「弯曲」)或「飞行的弯曲」等而引起的多个成分，不能高精度检查「速度不均匀」。即图形图像里包含由于移动机构的机械精度所引起的不良成分和由于功能液喷头的喷出精度所引起的不良成分，不能区分检查这些，很难采取恰当的对策。
发明内容
本发明是提供一种可以辨别由于移动机构的机械精度所引起的不良精度和由于处理机构的喷出精度所引起的不良精度的工件处理装置的处理精度检查装置、液滴喷出装置的绘图精度检查装置、液滴喷出装置和工件以及电光学装置、电光学装置的制造方法和电子器械为课题。
本发明的工件处理装置的处理精度检查装置，是通过装有工件和工件处理的工件处理机构，对工件一边相对移动工件处理机构一边对工件表面进行工件处理的工件处理装置的处理精度检查装置，其特征在于包括点画机构和点画控制机构；其中，所述点画机构和工件处理机构同时安装在移动机构，伴随工件和工件处理机构的相对移动，对工件照射相干光而进行视觉辨认可能的点画；而所述点画控制机构在所定时间频率内驱动进行点画的点画机构。
根据这样的结构，点画机构由点画控制机构控制，伴随工件和工件处理机构的相对移动，在工件上照射所定时间频率来照射相干光，对工件进行视觉辨认可能的点画。由此，由点画，在工件上打点，以点之间的间隔不一定形态来视觉辨认移动机构输送速度的「速度不均匀」。另外，以多个点的失去直线性来视觉辨认由于移动机构所引起的移动的「弯曲」。另一方面，与此同时，用工件处理机构进行工件处理，并且，如果视觉辨认其处理部分，则利用移动方向的各点和位置偏差来可以确认它。
本发明的液滴喷出装置的绘图精度检查装置，是通过装有工件和功能液滴喷头的移动机构，相对于工件，一边相对移动功能液滴喷头，一边从功能液滴喷头选择性地喷出功能液而进行绘图的液滴喷出装置的绘图精度检查装置，其特征在于包括进行点画的点画机构，其中所述点画机构和功能液滴喷头同时安装在移动机构，并伴随工件和功能液滴喷头的相对移动，对工件照射相干光而在工件上进行视觉辨认可能的点画；所述点画控制机构在所定时间频率内，点画驱动点画机构。
根据这样的结构，由点画控制机构来控制点画机构，伴随工件和功能液滴喷头的相对移动，以所定时间频率，对工件上照射相干光，对工件进行视觉辨认可能的点画。由此，在工件上打出由于点画的点画点，以点画点之间的间距不一定的形态来视觉辨认，例如由移动机构输送速度的「速度不均匀」。另外，以多个点画点失去直线性来视觉辨认由于移动机构的移动的「弯曲」。另一方面，如果与此同时进行功能液滴喷头的绘图，则利用功能液滴喷头的绘图点、移动方向的各点画点的位置偏差，可以确认功能液滴喷头的「飞行弯曲」、功能液滴喷头的倾斜(对工件的倾斜和对移动方向的倾斜等)和由于功能液的粘度增加所引起的飞行速度降低等的不良现象。
此时，最好是还具备图像识别(用点画机构的)点画结果的图像识别机构。
根据这样的结构，通过图像识别点画点和绘图点的方法，可以数值性、高精度地解析移动机构的「速度不均匀」、「弯曲」或功能液滴喷头的「飞行弯曲」等，并根据这些可以确实进行移动机构的矫正或功能液滴喷头的保养等的对策。
这些情况下，点画机构最好是振荡或调焦激光的激光照射机构来构成。
根据这样的结构，作为检查基准的点画点可以点画成至少比绘图点小而明显。另外，作为激光照射机构最好是利用半导体激光或碳酸激光。
这些情况下，点画控制机构最好是根据功能液滴喷头的喷头驱动器中取得的喷出时间信号来点画驱动点画机构。
另外此时，功能液滴喷头最好是进行为了绘图检查的喷出驱动，点画控制机构和功能液滴喷头的喷出驱动同步来点画驱动点画机构。
根据这样的结构，没有必要生成点画机构用专用的点画时间(数据)，并可以利用视觉辨认来容易比较点画点和绘图点。
此时，点画控制机构最好是具备延迟点画机构的点画驱动时间等于由功能液滴喷头开始喷出功能液之后功能液喷射到工件上为止时间的延迟机构。
根据这样的结构，在功能液滴喷头和点画机构的移动方向中，绘图点和点画点在理论上画在同一直线上。从而，不矫正绘图点和点画点而可以容易比较这些，可以瞬时把握精度不良。
这些情况下，至少和工件并设的目标板来替代工件的点画部位为好。
同样，还虚设检查用工件来替代工件为好。
根据这样的结构，因为在专用的目标板或虚设工件上进行点画机构的点画，在工件自体上不会留下点画结果，没有必要实施由于点画引起的表面加工。另外，目标板最好是安装在安装工件的工作台上。另外，目标板或虚设工件的表面上涂敷由点画机构的照射光来发色或变色的色素等、实施利用点画机构来可以明显进行记号的表面加工为好。并且，关于表面加工的方法，因为在绘图点上进行了视觉辨认可能的点画，视觉来更加明确精度不良成为可能。另外，除了点画区域以外，目标板上还设检查用绘图区域为好。
本发明的液滴喷出装置的特征在于具备上述的液滴喷出装置的绘图精度检查装置。
根据这样的结构，可以确实采取根据绘图精度检查装置检查结果的对策。即，如果精度不良是基于移动机构的不良，例如如果是「速度不均匀」，则利用脉冲宽的矫正来控制电动机(激励器)的每时每刻的速度，如果是「弯曲」，则进行移动机构的设置矫正或交换等的对策。另外，如果是基于功能液滴喷头的不良，例如「飞行弯曲」，则进行清洗或交换；如果是「倾斜」，则进行输送架安装的矫正。并且，对飞行速度的变化，进行喷出时间的矫正来可以对应。
本发明的工件是由上述的液滴喷出装置来绘图的工件，在离开功能液喷出区域的区域里最好是还具有由点画机构的点画的区域和由功能液滴喷头的检查用绘图区域。
另外，此时，点画区域里最好是还涂敷由点画机构的照射光来发色或变色的色素。
根据这样的结构，用液滴喷出装置对工件进行正式的绘图之前，可以简单进行精度检查。例如，在惰性气体气氛中进行绘图的液滴喷出装置中，可以不破坏气氛而可以进行检查。另外，点画区域和检查用绘图区域最好是设在工件的边缘部或最终要被切断的切断部等的不要的部分(非绘图区域)。
本发明的电光学装置是利用上述的液滴喷出装置，其特征在于，从功能液滴喷头对工件上喷出功能液而形成成膜部。
同样，本发明的电光学装置的制造方法的特征在于利用上述的液滴喷出装置，从功能液滴喷头对工件上喷出功能液而形成成膜部。
根据这样的结构，因为利用绘图精度良好(功能液的喷到精度)的液滴喷出装置来制造，可以制造高质量的电光学装置。另外，作为电光学装置可以考虑液晶显示装置、有机EL(电致发光)装置、电子放出装置、PDP(等离子显示板)装置和电泳动显示装置。另外，可以考虑利用这些的彩色滤光器。另外，电子放出装置包括所谓FED(场发射显示器)装置的概念。作为电光学装置，还可以考虑金属配线形成、透镜形成、抗蚀层形成和光扩散体形成等的装置。
本发明的电子器械的特征在于装有上述的电光学装置或由上述的电光学装置制造方法来制造的电光学装置。
此时，作为电子器械，有所谓的装有平面型显示板的手机、个人用电脑和各种电气产品。
图1是模式性表示本发明实施方式的液滴喷出装置的平面图。
图2是模式性表示实施方式的液滴喷出装置的正面图。
图3是表示作为液滴喷出装置的检查结果的绘图点和点画点的状态的平面图。
图4是表示液滴喷出装置的控制机构的框图。
图5是表示激光照射装置周围的控制系的框图。
图6是表示作为其他检查结果的绘图点和点画点的状态的平面图。
图7是表示设在吸附台的目标板周围的平面图。
图8A、8B是表示作为检查结果的绘图点和点画点的状态的平面图。
图9是通过本发明的液滴喷出装置来制造的液晶显示装置的断面图。
图10是通过本发明的液滴喷出装置来制造的有机EL(电致发光)装置的断面图。
图中，1、液滴喷出装置 3、绘图装置 4、喷头功能恢复装置 5、功能液滴喷头 5a、喷嘴 5b、喷嘴面 6、激光照射装置 7、控制机构 11、移动机构 12、X轴工作台 13、Y轴工作台15、喷头部件 32、安装工作台34、吸附工作台 51、半导体激光 52、振荡部件 61、点画点 71、绘图点 81、控制部82、CPU 91、激光振荡驱动器 92、喷头驱动器 93、延迟电路 95、图像识别相机 301、液晶显示装置 401有机EL装置 W、工件 Wa、绘图区域 Wb、非绘图区域 T、目标板
具体实施例方式
下面，结合
本发明的工件处理装置的处理精度检查装置和液滴喷出装置的绘图精度检查装置应用在液滴喷出装置的情况。本实施方式的液滴喷出装置是利用功能液滴喷头对作为工件的基板喷出功能液，以在基板上形成所要的成膜部(工件处理)的装置(后面要详细叙述)。
如图1的平面模式图和图2的正面模式图所示，实施方式的液滴喷出装置1具备机座2、在机座2全域广泛装载的绘图装置3、在机座2端部装载的喷头功能恢复装置4；通过绘图装置3对工件W上进行功能液的绘图的同时，通过喷头功能恢复装置4适当进行绘图装置3所具备的功能液滴喷头5的功能恢复处理(保养)。
绘图装置3具有X轴工作台12和垂直于X轴工作台12的Y轴工作台13所组成的移动机构11、移动自由地安装在Y轴工作台13上的主输送架14、垂直安装在主输送架14的喷头部件15。并且，在喷头部件15上通过支输送架16装有功能液滴喷头5和检查用的激光照射装置6。此时，利用靠近X轴工作台12端部的一对工件识别相机18、18来定位作为基板的工件W安装在X轴工作台12。另外，也可以在图示的支输送架16上虽然装有一个功能液滴喷头5，但装有多个。
喷头功能恢复装置4包括安装在机座2上的移动工作台21、装载在移动工作台21上的保护部件22、吸引部件23和摩擦接触部件24。在装置的停止工作时，为了防止功能液滴喷头5的喷嘴5a干燥，保护部件22将其封闭。吸引部件23从功能液滴喷头5强制吸引功能液的同时，具有接收功能液滴喷头5的所有喷嘴5a所喷出功能液的冲洗箱子的功能。摩擦接触部件24主要进行吸引功能液之后的功能液滴喷头5的喷嘴面5b的摩擦接触(擦拭)。
在保护部件22上，升降自由地设有对应于功能液滴喷头5的封闭帽26，装置在停止运行时，靠近喷头部件(的功能液滴喷头5)15来上升，使封闭帽26密接在功能液滴喷头5的喷嘴面5b而封闭它。由此，抑制功能液滴喷头5的喷嘴面5b的功能液的汽化，防止所谓的喷嘴堵塞。
同样，在吸引部件23，升降自由地设有对应于功能液滴喷头5的吸引帽27；在喷头部件(的功能液滴喷头5)15里充填功能液或清除功能液滴喷头5内的增加粘度的功能液时，使吸引帽27密接在功能液滴喷头5而进行泵吸引。另外，停止喷出(绘图)功能液时，使吸引帽27稍微离开功能液滴喷头5而进行冲洗(扔掉喷出)。由此，可以防止喷嘴的堵塞或谋求发生堵塞的功能液滴喷头5的功能恢复。
在摩擦接触部件24，例如抽出或卷绕自由地设有摩擦接触板28，一边输送抽出的摩擦接触板28一边由移动工作台21的摩擦接触部件24的X轴方向的移动来擦拭附着在功能液滴喷头5的喷嘴面5b的功能液。由此，可以清除附着在功能液滴喷头5的喷嘴面5b的功能液，可以防止功能液喷出时的飞行弯曲。
虽然省略图示，但在该液滴喷出装置1上，还组装有向每一个功能液滴喷头5供给功能液的功能液供给机构、总括控制上述的绘图装置3或功能液滴喷头5的构成装置的控制机构7(后面有叙述)。
X轴工作台12是具有构成X轴方向驱动系统的电动机来驱动的X轴滑块31，并在这里移动自由地装载吸附工作台33和θ工作台34所组成的安装工作台32所构成。同样，Y轴工作台13具有构成Y轴方向驱动系统的电动机来驱动的Y轴滑块36，并在这里通过θ工作台37移动自由地装载上述的主输送架14所构成。
此时，X轴工作台12直接支持在机座2而Y轴工作台13是支持在机座2上竖立设置的支柱38、38上。X轴工作台12和喷头功能恢复装置4是相互平行地布置在X轴方向上，Y轴工作台13是横跨X轴工作台12和喷头功能恢复装置4的移动工作台21而延伸。
并且，Y轴工作台13使安装在此上的喷头部件(功能液滴喷头5)15在位于喷头功能恢复装置4正上方位置的功能恢复区域41和位于X轴工作台12正上方位置的绘图区域42之间适当移动。即，进行功能液滴喷头5的功能恢复时，Y轴工作台13使喷头部件15靠近功能恢复区域41；引入到X轴工作台12的工件W上进行绘图时，使喷头部件15靠近绘图区域42。
另一方面，X轴工作台12的一个端部成为把工件W安装(改变放置)在X轴工作台12的装载移动区域43，在装载移动区域43里布置上述的一对工件识别相机18、18。于是，利用一对工件识别相机18、18同时识别供给到吸附工作台33的工件W的两处基准标记，根据该识别结果，进行工件W的定位。
在实施方式的液滴喷出装置1中，工件W的X轴方向的移动作为主扫描，功能液滴喷头5(喷头部件15)的Y轴方向的移动作为副扫描，根据存储在上述的控制机构7的喷出图形数据来进行绘图。
进行引入在绘图区域42的工件W的绘图时，使功能液滴喷头5(喷头部件15)靠近绘图区域42，与X轴工作台12的主扫描(工件W的往复移动)同步，喷出驱动功能液滴喷头5(功能液滴的选择性喷出)。另外，适当进行由于Y轴工作台13的副扫描(喷头部件15的移动)。通过这些一系列的工作，进行对工件W的绘图区域Wa的所要功能液的选择性喷出，即进行绘图。
另外，进行功能液滴喷头5的功能恢复时，用移动工作台21把吸引部件23移动到功能恢复区域41的同时，进行功能液滴喷头5的冲洗或泵吸引。另外，进行了泵吸引时，通过移动工作台21继续把摩擦接触部件24移动到功能恢复区域41，进行功能液滴喷头5的摩擦接触。同样，结束作业而停止装置的运行时，用保护部件22进行功能液滴喷头5的压盖。
另一方面，和功能液滴喷头5一起安装在喷头部件15的支输送架16的激光照射装置6是以所定的时间频率对工件上照射相干光的装置，由面向下方设置的半导体激光51和振荡半导体激光51的振荡部件52所构成。此时，激光照射装置6配合功能液滴喷头5的检查用喷出工作，在工件上进行照射激光的点画(参照图3)。即，激光照射装置6和功能液滴喷头5的驱动时间同步来照射激光，在工件上进行点画(后面要详细叙述)。另外，激光照射装置6除了激光振荡以外还调焦来进行点画，也是可以的。另外，也可以利用二氧化碳激光来替代半导体激光51。
如图3所示，控制机构7具有控制液滴喷出装置1的各种工作的控制部81。控制部81具备进行各种控制的CPU82、ROM83、RAM84和接口85，通过总线86互相连接这些。ROM83上有存储由CPU82处理的程序或控制数据的区域。RAM84使用于控制处理用的各种作业领域。接口85里装有补充CPU82功能的同时，用来处理周围电路之间的接口信号的逻辑电路。
分别通过驱动器(省略图示)，在接口85上连接上述的X轴工作台12、Y轴工作台13、功能液滴喷头5、激光照射装置6、喷头功能恢复装置4。并且，作为检测部87在接口85上连接上述的工件识别相机18、18。于是CPU82按照ROM83内的控制程序，通过接口85输入各种检测信号、各种指令、各种数据，控制RAM84内的各种数据(喷出图形数据)等，并通过接口85输出各种控制信号。
即，CPU82控制功能液滴喷头5的喷出驱动的同时，控制X轴工作台12和Y轴工作台13的移动工作，进行工件W上的绘图(液滴喷出)，另一方面，还控制激光照射装置6进行工件W上的利用激光照射的点画。另外，如果工件W被安装，则CPU82根据工件识别相机18的识别结果，进行X轴工作台12中的角度矫正和喷出图形数据(喷出时间)的矫正。并且，功能液滴喷头5的定期保养时，CPU82控制喷头功能恢复装置4的保护部件22、吸引部件23和摩擦接触部件24。
图5是该控制机构7的激光照射装置6的周围的框图。在激光照射装置6(点画机构)上连接振荡驱动该的振荡驱动器91，激光振荡驱动器91连接在控制部81。另外，功能液滴喷头5通过喷头驱动器92连接在控制部81。控制部81的CPU82向激光振荡驱动器91输出喷头驱动器92的喷出时间信号，激光振荡驱动器91，通过延迟电路(延迟机构)93延迟该喷出时间信号，生成振荡时间，并由该振荡时间来点画驱动激光照射装置6。
此时，延迟电路93延迟激光照射装置6的点画驱动时间等于由功能液滴喷头5开始喷出液滴到液滴喷射到工件W的时间。即，液滴喷射到工件W的时间和激光照射(到达)同时进行。由此，如图3所示，由于激光照射在工件W上所画的点画点61和由喷出液滴在工件W上所画的绘图点71，在理论上作为主扫描方向的X轴方向上整齐，如果不整齐，可以视觉辨认绘图精度有些不合理(后面要详细叙述)。
另外，如图5所示，也可以在控制部81上连接图像识别相机(图像识别机构)95来识别图像作为点画结果的点画点61和作为绘图结果的绘图点71。即，虽然用肉眼可以识别工件W上的点画点61和绘图点71，但是利用识别图像的方法，使两者的客观性比较或结果的数值化变为容易，生成各部的矫正数据也变为可能。
图3表示功能液滴喷头5的所有喷嘴(一部分，也是可以的)5a喷出功能液的检查用喷出工作和与此同步进行激光照射装置6的点画工作的状态；如图3所示，在工件W上，功能液的绘图点71和激光的点画点61在X轴方向(移动方向)上存在所定间隔点画。
此时，如果首先注目点画点61，例如，如图3所示，原来应该等间距的点画点61的点距P1、P2和P3变为不等间距(不是一定间距)的状态。在该点画结果中，认为其原因是X轴工作台12的「速度不均匀」。另外，该图中，虽然各点画点61对线La整齐，但是如果这些点存在位置偏移时，认为在X轴工作台12上存在「弯曲」。
另一方面，如果注目绘图点71，例如，如图3所示，原来应该各个绘图点71在点画点61的线L1、L2、L3和L4上，但是绘图成有位置偏差。在该绘图结果中，认为其原因是功能液滴喷头(的特定的喷嘴5a)5的「飞行弯曲」。另外，如果横排(五个)的绘图点71全部对每一个线L1、L2、L3和L4倾斜，则认为功能液滴喷头5在平面内倾斜(θ方向)。
另外，如图6所示，理应成为图6(a)的绘图结果，但如图(b)所示，如果横排(三个)的绘图点全部对每一个线L1、L2、L3和L4偏移，则认为因为功能液的粘度增加，功能液滴喷头(的每一个喷嘴5a)5的喷出速度全部变为迟(慢)。或认为功能液滴喷头5对铅垂方向倾斜安装。
这样，比较功能液滴喷头5的绘图点71和与此同步的激光照射装置6的点画点61的方法，对点画点61自体的点画不良，就判明由于移动机构(X轴工作台12)11的机械精度或定位精度所引起；另外，点画点61为基准的绘图点71的绘图不良，就判明由于功能液滴喷头(的各喷嘴5a)5的喷出精度或定位精度所引起。因此，可以确实进行根据该检查结果的矫正等的对策。
另外，虽然省略图示，如果进行激光照射机构的点画，在副扫描方向(Y轴方向)也可以检查Y轴工作台的机械精度或定位精度的检查。还只进行X轴方向(主扫描方向)和Y轴方向(副扫描方向)的点画的方法，可以独自检查移动机构(X轴工作台12和Y轴工作台13)11的机械精度。另外，此时，也可以独自的时间频率来进行点画。
另外，在该检查中，在工件W的不要部分，例如边缘部或以后要切断部分等的非绘图区域Wb上进行检查用的绘图和点画(参照图1)。尤其，具有相同形状的虚设工件引入在装置来替代工件W，也是可以的。另外，如图7所示，可以在吸附工作台33上，接近工件还设置检查专用的目标板T。目标板T是进行上述的点画和上述的检查用绘图的板，最好是沿着工件W的两个边的「L」字形状板。
另外，最好是在工件W的点画区域、虚设工件的表面和目标板T的表面，涂敷由激光引起发色或变色的有机色素，点画结果可以明显视觉辨认。如果这样的话，例如如图8所示，在相同位置打入绘图点71和点画点61，容易比较这些。由此，更明确辨别点画点和绘图点之间的位置偏差的状态。
这里，说明关于上述的液滴喷出装置1应用在液晶显示装置的制造上的情况。图9表示液晶显示装置301的端面构造。如图9所示，液晶显示装置301是玻璃基板321为主体，互相面对的透明导电膜(ITO膜)322和形成定向膜323的上基板311、下基板312、安装在该上基板311与下基板312之间的多个隔片331、封闭该上基板311和下基板312的密封件332、充填在上基板311与下基板312之间的液晶333所构成；与此同时，在上基板311的背面，叠层相位基板341和偏振片342a，并且，在下基板312的背面，叠层偏振片342b和背景光343而构成。
在通常的制造工艺中，分别进行透明导电膜322的图案形成和定向膜323的涂敷而各自制造上基板311和下基板312之后，在下基板312上制作隔片331和密封件332，在该状态，粘合上基板311。接着，从密封件332的注入口注入液晶333之后，封闭注入口。然后，叠层相位基板341、两个偏振片342a、342b和背景光343。
实施方式的液滴喷出装置1可以利用在隔片331的形成或液晶333的注入。具体地，作为功能液引入构成单元间隙的密封件材料(例如紫外线固化树脂或热固化树脂)之后，在所定的位置上均匀喷出(涂敷)这些。首先，把环状印刷密封件332的下基板312安装在吸附工作台33，在该下基板312上，以比较粗的间隔喷出密封件材料之后，照射紫外线而凝固密封件材料。接着，在下基板312的密封件332的内侧均匀喷出所定量的液晶333而注入。然后，把单独准备的上基板311和涂敷所定量液晶的下基板312引入在真空中而粘合。
这样，粘合上基板311和下基板312之前，在单元里均匀涂敷(充填)液晶333，因此可以解除液晶333不会遍布在单元的角落等的细部等的不合理现象。
另外，作为功能液(密封件材料)利用紫外线固化树脂或热固化树脂的方法，可以利用这种液滴喷出装置1来进行上述的密封件332的印刷。同样，作为功能液(定向膜材料)引入聚酰亚胺树脂的方法，可以利用液滴喷出装置1来制作定向膜323。
这样，在制造液晶显示装置301中，虽然估计引入多种功能液，但上述的液滴喷出装置1中，因为功能液滴喷头5可以高精度喷出(被喷着)功能液，可以高精度且稳定地制造液晶显示装置301。
但是，上述的液滴喷出装置1不仅可以应用在装在手机、个人用电脑等的电子器械的上述的液晶显示装置301，还可以应用在各种电光学装置(设备)的制造。即，本实施方式的液滴喷出装置1可以应用在有机EL装置、FED(电子发射装置)、PDP装置和电泳动显示装置的制造。另外，还可以应用在液晶显示装置或有机EL装置等的彩色滤光器的制造。
下面，简单说明上述的液滴喷出装置1应用在制造有机EL装置的例子。如图10所示，有机EL装置401是由基板421、电路元件部422、像素电极423、贮存(bank)部424、发光元件425、阴极426(对向电极)和封闭用基板427所构成的有机EL元件411上，连接挠性(flexible)基板(省略图示)的配线和驱动IC(省略图示)的装置。电路元件部422形成在基板421上，多个像素电极423整齐排列在电路元件部422上。并且，每一个像素电极423之间以格子状形成贮存部424，由贮存部424生成的凹部开口431上形成发光元件425。阴极426上叠层封闭用基板427。
在有机EL装置401的制造工艺中，预先形成有电路元件部422上和像素电极423的基板421(工件W)上的所定位置上，形成贮存部424之后，进行适当形成发光元件425为目的的等离子处理，然后，形成发光元件425和阴极426(对向电极)。并且，在阴极426上叠层封闭用基板427而进行封闭，获得有机EL元件411之后，把有机EL元件411的阴极426连接在挠性基板的配线上的同时，把电路元件部422的配线连接在驱动IC的方法，可以制造有机EL装置401。
液滴喷出装置1可以利用在发光元件425的形成。具体地，功能液滴喷头5里引入发光元件材料(功能液)，对应于已形成贮存部424的基板421的像素电极423的位置，喷出发光元件材料并干燥该的方法，形成发光元件425。另外，分别引入对应的功能液的方法，也可以利用液滴喷出装置1来制作上述的像素电极423或阴极426。
另外，例如在电子放出装置的制造方法中，在多个功能液滴喷头5里引入R、G、B各颜色的荧光材料，使多个功能液滴喷头5进行主扫描和副扫描，选择性地喷出荧光材料，可以在电极上形成多个荧光体。
PDP装置的制造方法中，在多个功能液滴喷头5里引入R、G、B各颜色的荧光材料，使多个功能液滴喷头5进行主扫描和副扫描，选择性地喷出荧光材料，在背面基板上的多个凹部，可以分别形成荧光体。
电泳动显示装置的制造方法中，在多个功能液滴喷头5里，引入各颜色的泳动体材料，使多个功能液滴喷头5进行主扫描和副扫描，选择性地喷出泳动体材料，在电极上的多个凹部里分别形成荧光体。另外，由带电粒子和燃料所组成的泳动体最好是封入在微胶囊。
另外，作为其他的电光学装置可以考虑金属配线形成、透镜形成、抗蚀层形成和光扩散体形成，本实施方式的液滴喷出装置1也可以应用在这些各种装置的制造方法。
例如，在金属配线的形成方法中，在多个功能液滴喷头5里引入液状金属材料，使多个功能液滴喷头5进行主扫描和副扫描，选择性地喷出液状金属材料，在基板上形成金属配线。例如，应用在上述的液晶显示装置中的连接驱动器和各个电极的金属配线，或应用在上述的有机EL装置中的连接TFT等和各个电极的金属配线，可以制造这些设备。另外，除了这种平面型显示板以外，当然还可以应用在一般的半导体制造技术。
透镜的形成方法中，在多个功能液滴喷头5里引入透镜材料，使多个功能液滴喷头5进行主扫描和副扫描，选择性地喷出透镜材料，在透明基板上形成多个微型透镜。例如，可以应用在上述的FED装置中的光束聚束用设备的制造场合。另外，也可以应用在各种光设备的制造技术上。
在透镜的制造方法中，在多个功能液滴喷头5里引入透光性喷镀材料，使多个功能液滴喷头5进行主扫描和副扫描，选择性地喷出喷镀材料，在透镜表面上形成喷涂膜。
在抗蚀层(rasist)的形成方法中，在多个功能液滴喷头5里引入抗蚀层材料，使多个功能液滴喷头5进行主扫描和副扫描，选择性地喷出抗蚀层材料，在基板上形成任意形状的光致抗蚀层。例如，上述的各种显示装置中的贮存处的形成，原来就是作为半导体制造技术主体的光刻法中，广泛应用在光致抗蚀剂的涂敷。
在光扩散体的形成方法中，在多个功能液滴喷头5里引入光扩散材料，使多个功能液滴喷头5进行主扫描和副扫描，选择性地喷出光扩散材料，在基板上形成多个光扩散体。此时，当然也可以应用在各种光设备上。
这样，在液滴喷出装置1中可以引入多种功能液，把上述的液滴喷出装置1利用在各种电光学装置(设备)的制造，可以高精度、稳定制造电光学装置。
根据本发明的工件处理装置的处理精度检查装置，由点画机构的工件上的点画结果，可以容易辨别基于移动机构的机械精度的精度不良和基于处理机构的处理精度的精度不良。从而，可以恰当采取对精度不良的对策。
根据本发明的液滴喷出装置的绘图精度检查装置和液滴喷出装置，可以辨别基于移动机构的机械精度的精度不良和基于功能液滴喷头的喷出精度的精度不良，与此同时，由绘图精度检查装置的检查结果，可以恰当采取对策。另外，根据本发明的工件，根据需要可以简单进行精度检查。
根据本发明的电光学装置、电光学装置的制造方法和电子器械，因为利用绘图精度(功能液的喷中精度)良好的液滴喷出装置来制造，可以提供高质量、可靠性高的电光学装置。
权利要求
1.一种工件处理装置的处理精度检查装置，其通过移动装有工件和进行工件处理的工件处理机构，相对于上述工件，一边相对移动上述工件处理机构一边对上述工件表面进行工件处理，其特征在于包括点画机构和点画控制机构；其中，所述点画机构是和上述的工件处理机构同时安装在上述的移动机构，伴随上述工件和上述工件处理机构的相对移动，对上述工件照射相干光而在上述工件上进行视觉辨认可能的点画的机构，所述点画控制机构是在所定的时间频率来点画驱动上述点画机构的控制机构。
2.一种液滴喷出装置的绘图精度检查装置，通过装有工件和功能液滴喷头的移动机构，相对于上述工件，一边相对移动上述功能液滴喷头一边从功能液滴喷头选择性地喷出功能液滴而进行绘图，其特征在于包括点画机构和点画控制机构；其中，所述点画机构是和上述的功能液滴喷头同时安装在上述的移动机构，伴随上述工件和上述功能液滴喷头的相对移动，对上述工件照射相干光而在上述工件上进行视觉辨认可能的点画的机构，所述点画控制机构是在所定的时间频率来点画驱动上述点画机构的控制机构。
3.根据权利要求2所述的液滴喷出装置的绘图精度检查装置，其特征在于还包括图像识别上述点画机构的点画结果的图像识别机构。
4.根据权利要求2所述的液滴喷出装置的绘图精度检查装置，其特征在于上述的点画机构是由振荡或调焦而照射激光的激光照射机构来构成。
5.根据权利要求2所述的液滴喷出装置的绘图精度检查装置，其特征在于上述的点画控制机构是根据上述功能液滴喷头的喷头驱动器中取得的喷出时间信号，点画驱动上述点画机构。
6.根据权利要求5所述的液滴喷出装置的绘图精度检查装置，其特征在于上述的功能液滴喷头进行绘图检查用喷出驱动；上述的点画控制机构与上述的功能液滴喷头的喷出驱动同步来点画驱动上述的点画机构。
7.权利要求6所述的液滴喷出装置的绘图精度检查装置，其特征在于上述的点画控制机构具有延迟机构，以延迟从上述功能液滴喷头喷出功能液到液滴喷着在上述工件上的时间、上述点画机构的点画驱动。
8.根据权利要求2所述的液滴喷出装置的绘图精度检查装置，其特征在于还具备和上述工件同时设置的目标板来至少替代上述工件的点画部位。
9.根据权利要求2所述的液滴喷出装置的绘图精度检查装置，其特征在于还具备检查用虚设工件来替代上述工件。
10.一种液滴喷出装置，其特征在于具备权利要求2所述的液滴喷出装置的绘图精度检查装置
11.一种工件，利用权利要求10所述的液滴喷出装置来绘图，其特征在于在离开功能液喷出区域里，具有由上述点画机构的点画区域和由上述功能液滴喷头的检查用绘图区域。
12.根据权利要求11所述的工件，其特征在于在上述点画区域上涂敷有通过上述点画机构的照射光来发色或变色的色素。
13.一种电光学装置，其特征在于利用权利要求10所述的液滴喷出装置，从上述功能液滴喷头对工件上喷出功能液滴而形成成膜部。
14.一种电光学装置的制造方法，其特征在于利用权利要求10所述的液滴喷出装置，从上述功能液滴喷头对工件上喷出功能液滴而形成成膜部。
15.一种电子器械，其特征在于装有权利要求13所述的电光学装置。
16.一种电子器械，其特征在于装有由权利要求14所述的电光学装置制造方法制造的电光学装置。
全文摘要
本发明的目的是提供一种可以辨别基于移动机构的机械精度所引起的精度不良和基于功能液滴喷头的喷出精度所引起的精度不良的液滴喷出装置的绘图精度检查装置。本发明的绘图精度检查装置，通过移动机构(11)，对工件W一边相对移动功能液滴喷头(5)一边喷出功能液滴而进行绘图的液滴喷出装置，包括点画机构(6)和点画控制机构(81)；其中所述点画机构是和功能液滴喷头(5)同时设在移动机构(11)，伴随上述的相对移动，对工件W照射相干光，在工件W上进行视觉辨认可能的点画；所述点画控制机构(81)是所定的时间频率来点画驱动点画机构(6)。
文档编号B41J29/46GK1517210SQ200410001849
公开日2004年8月4日 申请日期2004年1月14日 优先权日2003年1月15日
发明者岩田裕二 申请人:精工爱普生株式会社