液滴排出装置的制作方法

专利名称：液滴排出装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及液滴排出装置。
背景技术：
以往，作为在基材上形成图案膜的装置，已知有喷墨式的液滴排出装置。该液滴排 出装置具备排出头，该排出头向基材、将成为图案膜的材料的功能液排出为液滴。并且，例 如在如有机EL装置等那样形成具有多种颜色要素的图案膜的情况下，具备与各颜色要素 对应的多个排出头。此外，在上述的有机EL装置中，已知有以下的结构由于劣化速度按每一颜色要 素不同、白平衡被破坏，所以根据各颜色要素的发光效率，改变发光面积，例如随着发光效 率变低而使发光面积依次增大。即，具有图案膜的形成区域面积的宽阔度按每一颜色要素 而不相同的结构(例如参照专利文献1)专利文献1特开2008-300367号公报在上述液滴排出装置中，使基材与排出头相对地移动，在该移动过程中从排出头 向基材、使功能液排出为液滴，使功能液涂敷在基材上。但是，在向基材排出液滴时，由于可 操作性的效率和/或操作条件等，基材与排出头的相对速度和/或从排出头排出的每单位 面积的液滴的排出量被限制。为此，在如上述的有机EL装置等那样图案膜形成区域的宽阔 度不相同的情况下，存在着下述问题在从与每一区域对应的排出头排出液滴时，与对于区 域面积宽阔的图案膜形成区域的排出量相比，对于区域面积狭小的图案膜形成区域的排出 量变少，由于为了达到预定的排出量(涂敷量)，需要进行反复排出工作，所以操作时间会 增加。

发明内容
本发明是为了解决上述问题的至少一部分而提出的，其可以作为以下的方式或应 用例而实现。[应用例1]本应用例的液滴排出装置，具备向在基材上设置的图案膜形成区域排 出液滴的排出头，其中与每一前述图案膜形成区域的宽阔度对应地具有排出前述液滴的 多个前述排出头；并且将与前述图案膜形成区域之中的狭小的图案膜形成区域对应的前述 排出头的数量，配置得多于与区域面积比前述狭小的图案膜形成区域宽阔的图案膜形成区 域对应的前述排出头的数量。根据该结构，根据图案膜形成区域的宽阔狭小度适宜规定排出头的数量。S卩，对于 狭小的图案膜形成区域，配置比与宽阔的图案膜形成区域对应的排出头的数量多的数量的 排出头。因而，对于狭小的图案膜形成区域，能够在短时间内排出较多的液滴。由此，能够 实现对于狭小的图案膜形成区域的液滴的排出量与对于宽阔的图案膜形成区域的液滴的 排出量的良好的排出量的平衡，使在液滴排出操作中所花费的工数时间缩短。[应用例2]在上述应用例的液滴排出装置中，仿照前述图案膜形成区域在前述基材与前述排出头相对地移动的扫描方向上的排列顺序，在前述扫描方向上配置与各前述图 案膜形成区域对应的多个前述排出头。根据该结构，根据图案膜形成区域的排列顺序配置多个排出头。即，例如，在狭小 的图案膜形成区域与宽阔的图案膜形成区域顺序排列的情况下，仿照各图案膜形成区域的 配置顺序配置与上述的各图案膜形成区域对应的排出头。由此，在一次扫描中，能够高效地 在对象的图案膜形成区域排出液滴。[应用例3]在上述应用例的液滴排出装置中，在前述图案膜形成区域在前述基材 与前述排出头相对地移动的前述扫描方向上的宽度不同的情况下，将与宽度窄的前述图案 膜形成区域对应的前述排出头的数量，配置得多于与宽度比前述宽度窄的图案膜形成区域 宽的前述图案膜形成区域对应的前述排出头的数量。根据该结构，根据图案膜形成区域在扫描方向上的宽度的宽窄适宜规定排出头的 数量。即，对于宽度窄的图案膜形成区域，配置比与宽度宽的图案膜形成区域对应的排出头 的数量多的数量的排出头。因而，对于宽度窄的图案膜形成区域，能够在短时间内排出较多 的液滴。由此，能够实现对于宽度窄的图案膜形成区域的液滴的排出量与对于宽度宽的图 案膜形成区域的液滴的排出量的良好的排出量平衡，使在液滴排出操作中所花费的工数时 间缩短。[应用例4]在上述应用例的液滴排出装置中，在前述宽度窄的图案膜形成区域的 宽度是前述宽度宽的图案膜形成区域的宽度的1/n的情况下，将与前述宽度窄的图案膜形 成区域对应的前述排出头的数量，配置为与前述宽度宽的图案膜形成区域对应的前述排出 头的数量的η倍以上。根据该结构，通过基于图案膜形成区域的宽度比规定排出头的数量，能够容易实 现对于宽度窄的图案膜形成区域的液滴的排出量与对于宽度宽的图案膜形成区域的液滴 的排出量的排出量平衡。


图1是表示液滴排出装置的结构的立体图；图2是表示排出头的结构的剖面图；图3是液滴排出装置的电控制方框图；图4是表示图案膜形成区域的排列的俯视图；图5是表示排出头的配置的俯视图；图6是表示图案膜形成区域的液滴的着落状态的示意图；图7是表示变形例的排出头的排列的俯视图；以及图8是表示其他变形例的排出头的排列的俯视图。符号说明1...液滴排出装置，7...基材，12...滑架，14...头单元，30...喷嘴板，31...喷 嘴，36、36B、36G、36R...液滴，68·.·基板，69·.·区划部，70...图案膜形成区域，70R...第 1图案膜形成区域，70G...第2图案膜形成区域，70B...第3图案膜形成区域，140、140B、 140G、140G-l、140G-2、140G-3、140G-4、140R、140R-4...排出头。
具体实施例方式以下，关于将本发明具体化了的实施方式，根据附图进行说明。而且，为了使各附 图中的各部件在各附图上成为可以辨识的程度的大小，按各部件使缩小不同而进行图示。[液滴排出装置的结构](整体结构)首先，关于液滴排出装置的整体结构进行说明。图1是表示液滴排出装置的结构 的立体图。如图1所示，在液滴排出装置1中，具备形成为长方体形状的基台2。在本实施 方式中，以该基台2的纵长方向为Y方向，以与该Y方向正交的方向为X方向。在基台2的上表面2a，遍及Y方向整幅而凸出设置有在Y方向上延伸的一对导轨 3a、3b。在该基台2的上侧，安装有作为构成扫描单元的台以及工作移动台的平台4，其中扫 描手段具备与一对导轨3a、3b对应的未图示的平动机构。该平台4的平动机构是具备例如 沿着导轨3a、3b在Y方向上延伸的螺纹轴(驱动轴)和与该螺纹轴螺合的球形螺钉的螺旋 式平动机构，该驱动轴与Y轴电动机(未图示)连接，该Y轴电动机接收预定的脉冲信号而 以步为单位进行正转、反转。并且，若对Y轴电动机输入对应于预定的步数的驱动信号，则 Y轴电动机进行正转或反转，平台4以与该步数相当的量、沿着Y轴方向以预定的速度去动 或回动(在Y方向上进行扫描)。并且，在基台2的上表面2a，与导轨3a、3b平行地配置有主扫描位置检测装置5， 从而能够计测平台4的位置。在该平台4的上表面，形成载置面6，在该载置面6上，设置有未图示的吸引式的基 材卡盘机构。并且，若在载置面6上载置基材7，则利用基材卡盘机构，将该基材7定位并固 定在载置面6的预定位置。在基台2的X方向两侧，竖立设置有一对支撑台8a、8b，在该一对支撑台8a、8b上， 架设有在X方向上延伸的引导部件9。引导部件9，其纵长方向的宽度形成得比平台4的X 方向的宽度宽，且以其一端伸出支撑台8a侧的方式配置。在引导部件9的上侧，配设有可 以供给地容纳要排出的液体的容纳罐10。另一方面，在该引导部件9的下侧，遍及X方向整 幅而凸出设置有在X方向上延伸的导轨11。沿着导轨11可移动地配置的滑架12形成为大致长方体形状。该滑架12的平动 机构是具备例如沿着导轨11在X方向上延伸的螺纹轴(驱动轴)和与该螺纹轴螺合的球 状螺母的螺旋式平动机构，该驱动轴与X轴电动机(未图示)连接，该X轴电动机接收预定 的脉冲信号而以步为单位进行正转、反转。并且，若对X轴电动机输入对应于预定的步数的 驱动信号，则X轴电动机进行正转或反转，滑架12以与步数相当的量、沿着X方向进行去动 或回动(在X方向上进行扫描)。在引导部件9与滑架12之间，配置有副扫描位置检测装 置13，从而能够计测滑架12的位置。并且，在滑架12的下表面(平台4侧的面)，凸出设 置有具备多个排出头140的头单元14。在基台2的一个单侧(图中X方向的反方向)，配置有维护用基台15。在维护用 基台15的上表面15a，遍及Y方向整幅而凸出设置有在Y方向上延伸的一对导轨16a、16b。 在该维护用基台15的上侧，安装有构成移动单元的维护平台17，该移动单元具备与一对导 轨16a、16b对应的未图示的平动机构。该维护平台17的平动机构，例如是与平台4相同的 平动机构，可沿着Y方向去动或回动。
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在维护平台17上，配置有冲洗单元18、加盖单元19、擦拭单元20。冲洗单元18 是在清洗排出头140内的液道时承接从排出头140排出的液滴的装置。当在排出头140内 混入了固体物的情况下，为了将固体物从排出头140排除，从排出头140排出液滴而进行清 洗。冲洗单元18执行承接该液滴的功能。加盖单元19，是对排出头140加盖的装置。有时从排出头140排出的液滴具有挥 发性，若存在于排出头140内部的功能液的溶剂从喷嘴挥发，则功能液的粘度将改变，有时 喷嘴会堵塞。加盖单元19通过对排出头140加盖，可防止喷嘴堵塞的情况。擦拭单元20是对排出头140的配置有喷嘴的喷嘴板进行擦拭的装置。喷嘴板是在 排出头140中配置在与基材7相对的一侧的面上的部件。当在喷嘴板上附着有液滴时，有 时附着在喷嘴板上的液滴与基材7接触，从而会在基材7上、在预定之外的位置附着液滴。 擦拭单元20通过擦拭喷嘴板，可防止在基材7上、在预定之外的位置附着液滴的情况。在维护用基台15与基台2之间，配置有重量测定装置22。在重量测定装置22中， 设置有2台电子天平，在各个电子天平上配置有承接皿。液滴从排出头140被排出到承接 皿上，从而电子天平测定液滴的重量。承接皿具备海绵状的吸收体，从而被排出的液滴不会 跳跃而溅出到承接皿的外部。电子天平在排出头140排出液滴的前后，测定承接皿的重量， 测定排出前后的承接皿的重量之差。通过滑架12沿着导轨11在X方向上移动，排出头140能够移动到与头清洗部21、 重量测定装置22、基材7相对的位置，从而排出液滴。(排出头的结构)图2是表示排出头的结构的剖面图。如图2所示，排出头140具备喷嘴板30，在喷 嘴板30上形成有喷嘴31。在喷嘴板30的上侧与喷嘴31相对的位置，形成有与喷嘴31连 通的腔32。并且，在排出头140的腔32中，被供给在容纳罐10中贮存的功能液33。在腔32的上侧，配设有在上下方向(Z方向)上振动而使腔32内的容积扩大缩小 的振动板34以及作为在上下方向上伸缩而使振动板34振动的加压单元的压电元件35。压 电元件35在上下方向上伸缩而使振动板34振动，振动板34使腔32内的容积扩大缩小而 对腔32加压。由此，腔32内的压力发生变化，从而被供给到了腔32内的功能液通过喷嘴 31被排出。并且，在排出头140接收用于对压电元件35进行控制驱动的驱动信号时，压电元 件35伸展，振动极34使腔32内的容积缩小。其结果，从排出头140的喷嘴31排出缩小了 的容积量的功能液33作为液滴36。而且，在本实施方式中，作为加压单元，虽然使用了纵向 振动型的压电元件35，但是并不特别限定于此，而例如也可以使用层叠形成下电极、压电体 层和上电极而成的挠曲变形型的压电元件。此外，作为压力发生单元，也可以使用所谓的静 电式致动器等，该静电式致动器使振动板与电极之间产生静电，利用静电力使振动板变形 而使液滴从喷嘴排出。进而，也可以是具有下述结构的排出头使用发热体在喷嘴内产生气 泡，利用该气泡使功能液作为液滴排出。(电控制的结构)图3是液滴排出装置的电控制方框图。在图3中，液滴排出装置1具有作为处理 器而进行各种运算处理的CPU (运算处理装置)40和存储各种信息的存储器41。主扫描驱动装置42、副扫描驱动装置43、主扫描位置检测装置5、副扫描位置检测装置13、驱动排出头140的头驱动电路44，经由输入输出接口 45及总线46与CPU40连接。 进而，输入装置47、显示器48、构成图1所示的重量测定装置22的电子天平49、冲洗单元 18、加盖单元19、擦拭单元20也经由输入输出接口 45及总线46与CPU40连接。同样，在头 清洗部21中，选择1个单元的清洗选择装置50也经由输入输出接口 45及总线46与CPU40 连接。主扫描驱动装置42是控制平台4的移动的装置，副扫描驱动装置43是控制滑架 12的移动的装置。通过主扫描位置检测装置5识别平台4的位置，主扫描驱动装置42控 制平台4的移动，可以使平台4移动及停止到所期望的位置。同样，通过副扫描位置检测装 置13识别滑架12的位置，副扫描驱动装置43控制滑架12的移动，可以使滑架12移动及 停止到所期望的位置。输入装置47，是输入排出液滴的各种加工条件的装置，例如，是从未图示的外部装 置接收、输入在基材7上排出液滴的坐标的装置。显示器48是显示加工条件和/或操作状 况的装置，操作者基于在显示器48上显示的信息，使用输入装置47进行操作。电子天平49是测定承接排出头140所排出的液滴的承接皿的重量的装置。测定 液滴被排出前后的承接皿的重量，并将测定值发送给CPU40。图1所示的重量测定装置22 包括承接皿和电子天平49等而构成。清洗选择装置50是从作为头清洗部21的冲洗单元18、加盖单元19、擦拭单元20 中选择1个装置并使其移动到与排出头140相对的位置的装置。存储器41，是包含RAM、ROM等半导体存储器和/或硬盘、⑶-ROM这样的外部存储 装置的概念。在功能上，被设定有存储程序软件51的存储区域和/或用于存储作为基材7 内的排出装置的坐标数据的排出位置数据52的存储区域，其中程序软件51记述了液滴排 出装置1的工作的控制步骤。进而，被设定有用于存储主扫描移动量和副扫描移动量的存 储区域和/或作为CPU40所用的工作区域和/或临时文件存储区域等起作用的存储区域和 /或其他各种存储区域，其中主扫描移动量是向主扫描方向(Y方向)移动基材7的移动量， 副扫描移动量是向副扫描方向(X方向)移动滑架12的移动量。CPU40是下述部件按照在存储器41内存储的程序软件51，进行用于在基材7的 表面的预定位置对功能液进行液滴排出的控制。作为具体的功能实现部，具有重量测定运 算部53和排出运算部54，其中重量测定运算部53进行用于实现使用了电子天平49的重量 测定的运算，排出运算部54进行用于利用排出头140排出液滴的运算。如果详细地划分排出运算部54，则具有排出开始位置运算部55，该排出开始位置 运算部55用于将排出头140设置到用于液滴排出的初始位置。进而，排出运算部54具有 主扫描控制运算部56，该主扫描控制运算部56对用于使基材7以预定的速度向主扫描方 向(Y方向)进行扫描移动的控制进行运算。除此之外，排出运算部54具有副扫描控制运 算部57，该副扫描控制运算部57对用于使排出头140以预定的副扫描量向副扫描方向(X 方向)移动的控制进行运算。进而，排出运算部54具有喷嘴排出控制运算部58等各种功 能运算部，该喷嘴排出控制运算部58进行下述运算该运算用于控制是否使排出头140内 的多个喷嘴中的某一个工作而排出功能液。维护平台17通过沿着导轨16a、16b移动，在与排出头140相对的位置，配置冲洗 单元18、加盖单元19、擦拭单元20中的某一个装置。由冲洗单元18、加盖单元19、擦拭单元20构成头清洗部21。(关于排出头的配置)接着，关于排出头140的配置进行说明。在本实施方式中，根据在基材7上设置的 每一图案膜形成区域的宽阔度，规定并配置排出头140的数量。因此，首先，关于本实施方 式的基材7的图案膜形成区域等进行说明。图4是表示在基材7上设置的图案膜形成区域 的排列的俯视图。而且，在本实施方式中，以有机EL装置为例进行说明。如图4所示，基材 7具有由在基板68上设置的区划部69区划而成的第1 第3图案膜形成区域70R、70G、 70B。并且，使用液滴排出装置1，对于第1图案膜形成区域70R，涂敷包含红色用的有机化 合物的功能液，在第1图案膜形成区域70R形成第1图案膜R。同样地，对于第2图案膜形 成区域70G，涂敷包含绿色用的有机化合物的功能液，在第2图案膜形成区域70G形成第2 图案膜G，对于第3图案膜形成区域70B，涂敷包含蓝色用的有机化合物的功能液，在第3图 案膜形成区域70B形成第3图案膜B。如图4所示，第1 第3图案膜形成区域70R、70G、70B在基板68上排列为矩阵状， 各第1 第3图案膜形成区域70R、70G、70B的区域面积的宽阔度不同。在本实施方式中， 第2图案膜形成区域70G的区域面积设置得最狭小，第1、第3图案膜形成区域70R、70B的 区域面积设置得比第2图案膜形成区域70G的区域面积宽阔。而且，第1、第3图案膜形成 区域70R、70B具有基本相同的区域面积。这样，通过使图案膜形成区域的面积不同，形成具 有不同的面积的第1 第3图案膜R、G、B，能够实现有机EL装置的长寿命化，并且容易获 得白平衡。可是，在对于如上所述第1 第3图案膜形成区域70R、70G、70B的面积分别不同 的基材7，从排出头140排出液滴36而在各第1 第3图案膜形成区域70R、70G、70B涂敷 功能液的情况下，对于第1、第3图案膜形成区域70R、70B，由于区域宽阔所以充分地涂敷功 能液是容易的，但是在如第2图案膜形成区域70G那样区域面积狭小的情况下，液滴36的 排出数受到限制，有可能第2图案膜形成区域70G的功能液的涂敷量不充分。因此，如以下那样配置与第1 第3图案膜形成区域70R、70G、70B对应的排出头 140。图5是表示与各图案膜形成区域对应的排出头的配置的俯视图。而且，图5所示的排 出头140，表示从液滴排出装置1的上方向基材7透视的俯视图，但是为了容易进行说明，用 实线表示排出头140的喷嘴31。此外，该图中的箭头表示基材7与排出头140的相对的移 动方向(主扫描方向Y方向)。如图5所示，头单元14具备与在基材7上设置的第1 第3图案膜形成区域70R、 70G、70B的每一个的宽阔度对应的多个排出头140R、140G、140B，进而，将与第1 第3图案 膜形成区域70R、70G、70B之中的第2图案膜形成区域70G对应的排出头140G的数量配置 得多于与第1、第3图案膜形成区域70R、70B对应的排出头140R、140B的数量，该第2图案 膜形成区域70G是狭小的图案膜形成区域，该第1、第3图案膜形成区域70R、70B是区域面 积比第2图案膜形成区域70G宽阔的图案膜形成区域。在本实施方式中，与第1、第3图案 膜形成区域70R、70B对应的排出头140R、140B分别各配置一个，与第2图案膜形成区域70G 对应的排出头140G配置两个，总计具备四个排出头140。并且，仿照扫描方向(Y方向)上 的第1 第3图案膜形成区域70R、70G、70B的排列顺序，在扫描方向上顺序地配置排出头 140R、140G、140B。在本实施方式中，从图5中的左侧向右侧，顺序地配置第1图案膜形成区
8域70R、第2图案膜形成区域70G、第3图案膜形成区域70B，仿照该配置顺序，从图5中的左 侧向右侧，顺序地配置排出头140R、排出头140G、排出头140B。这样，通过仿照第1 第3 图案膜形成区域70R、70G、70B的排列顺序配置排出头140R、140G、140B，能够高效地在所期 望的图案膜形成区域排出液滴36。此外，在本实施方式中，基材7与排出头140相对地移动的扫描方向(Y方向)上的 第1 第3图案膜形成区域70R、70G、70B的宽度不同，与第2图案膜形成区域70G对应的 排出头140G的数量，配置得多于与第1、第3图案膜形成区域70R、70B对应的排出头140R、 140B的数量，该第2图案膜形成区域70G是宽度窄的图案膜形成区域，该第1、第3图案膜形 成区域70R、70B是比第2图案膜形成区域70G的宽度宽的图案膜形成区域。这样，通过相 对于扫描方向上的宽度窄的图案膜形成区域，使与其他图案膜形成区域对应的排出头140 的数量增多，能够增加对于宽度窄的图案膜形成区域的液滴36的排出机会，达到预定的涂 敷量。而且，关于第1 第3图案膜形成区域70R、70G、70B在扫描方向上的宽度，在本身 为宽度窄的图案膜形成区域的第2图案膜形成区域70G的宽度，是本身为宽度宽的图案膜 形成区域的第1、第3图案膜形成区域70R、70B的宽度的大致1/n的情况下，也可以将与第 2图案膜形成区域70G对应的排出头140G的数量配置为与第1、第3图案膜形成区域70R、 70B对应的排出头140R、140B的数量的η倍以上。在本实施方式中，由于扫描方向上的第2 图案膜形成区域70G的宽度相当于第1、第3图案膜形成区域70R、70B的宽度的大致1/2， 所以将与第2图案膜形成区域70G对应的排出头140G的数量，相对于与第1、第3图案膜形 成区域70R、70B对应的各排出头140R、140B的一个，配置为2倍的两个。这样，通过基于图 案膜形成区域70的宽度比规定排出头140的数量，能够良好地进行对于各图案膜形成区域 的液滴36的排出。(液滴排出方法)接着，关于排出头140R、140G、140B对于第1 第3图案膜形成区域70R、70G、70B 的液滴36的排出方法进行说明。图6是表示图案膜形成区域的液滴的着落状态的示意图。 而且，在该图中，表示下述状态基材7与头单元14(排出头140)以一定的速度相对地移 动(主扫描方向Y方向)，在一次排出扫描的过程中，从各排出头140R、140G、140B排出液 滴36，所排出的液滴36着落在了第1 第3图案膜形成区域70R、70G、70B。此外，为了容 易进行说明，将各排出头140R、140G、140B的喷嘴31的数量表示为6个。此外，第1、第3图 案膜形成区域70R、70B具有相等的区域面积，第2图案膜形成区域70G具有第1、第3图案 膜形成区域70R、70B大致一半的宽阔度的区域。此外，在本实施方式中，在扫描方向(Y方 向)上，第2图案膜形成区域70G的宽度，具有第1、第3图案膜形成区域70R、70B的宽度的 大致一半的宽度。首先，关于对于第3图案膜形成区域70B的液滴36的排出方法进行说明。对于第 3图案膜形成区域70B，从排出头140B排出液滴36B，使液滴36B着落在第3图案膜形成区 域70B。具体地，使主扫描驱动装置42驱动，使基材7与头单元14相对地移动。并且，在 第3图案膜形成区域70B与排出头140B相对的位置，对排出头140B发送驱动信号，基于该 驱动信号驱动压电元件35，伴随着该驱动从喷嘴31排出液滴36B，使液滴36B-1着落在第 3图案膜形成区域70B。进而继续排出液滴36B，在一次扫描中液滴36B-1 36B-8顺序着
9落在第3图案膜形成区域70B。因此，在第3图案膜形成区域70B，由于从排出头140B的6 个喷嘴31分别排出8滴，所以总计着落48滴的液滴36B。关于第1图案膜形成区域70R也同样，在第1图案膜形成区域70R与排出头140R 相对的位置，对排出头140R发送驱动信号，基于该驱动信号驱动压电元件35，伴随着该驱 动从喷嘴31排出液滴36R，使液滴36R-1着落在第1图案膜形成区域70R。进而继续排出 液滴36R，在一次扫描中液滴36R-1 36R-8顺序着落在第1图案膜形成区域70R。因此， 在第1图案膜形成区域70R，也总计着落48滴的液滴36R。其次，关于对于第2图案膜形成区域70G的液滴36的排出方法进行说明。对于第 2图案膜形成区域70G，从两个排出头140G-l、140G-2排出液滴36G，使液滴36G着落在第2 图案膜形成区域70G。具体地，使主扫描驱动装置42驱动，使基材7与头单元14相对地移 动。并且，首先，在第2图案膜形成区域70G与排出头140G-1相对的位置，对排出头140G-1 发送驱动信号，基于该驱动信号驱动压电元件35，伴随着该驱动从喷嘴31排出液滴36G，使 液滴36G-1着落在第2图案膜形成区域70G。进而继续排出液滴36G，在排出头140G-1的一 次扫描中液滴36G-l、36G-2顺序着落在第2图案膜形成区域70G。因此，从排出头140G-1 在第2图案膜形成区域70G总计着落12滴的液滴36G。进而，伴随着基材7的扫描，在第2图案膜形成区域70G与排出头140G-2相对的位 置，对排出头140G-2发送驱动信号，基于该驱动信号驱动压电元件35，伴随着该驱动从喷 嘴31排出液滴36G，使液滴36G-3着落在第2图案膜形成区域70G。进而继续排出液滴36G， 在排出头140G-2的一次扫描中液滴36G-3、36G-4顺序着落在第2图案膜形成区域70G。因 此，从排出头140G-2在第2图案膜形成区域70G总计着落12滴的液滴36G。由此，最终，在 第2图案膜形成区域70G，着落24滴的液滴36G。虽然这是第1、第3图案膜形成区域70R、 70B的各个的着落数(48滴)的一半的24滴，但在以面积比(1 2)换算的情况下，对于任 意一个第1 第3图案膜形成区域70R、70G、70B都着落相等数量的液滴36。因此，在一次 扫描中，在第1 第3图案膜形成区域70R、70G、70B的各个中，能够按照区域的面积比涂敷 同等的液滴量。而且，进而，在要求图案膜的膜厚的情况下，也可以重复(多次扫描)进行上述的 液滴排出，在第1 第3图案膜形成区域70R、70G、70B，进而排出液滴36。因此，根据上述的实施方式，具有以下所示的效果。将与第1 第3图案膜形成区域70R、70G、70B之中的、区域的面积相比于其他的 区域狭小的第2图案膜形成区域70G对应的排出头140G的数量配置得多于与第1、第3图 案膜形成区域70R、70B对应的各排出头140R、140B的数量。由此，对于本身为狭小的图案 膜形成区域的第2图案膜形成区域70G和本身为宽阔的图案膜形成区域的第1、第3图案膜 形成区域70R、70B，能够按照面积比率涂敷同等的液滴36的量。而且，并不限定于上述的实施方式，而可举出以下的变形例。(变形例1)在上述实施方式中，配置了与第2图案膜形成区域70G对应的两个 排出头140G-l、140G-2，但是并不限定于此。例如，如图7所示，也可以配置一个排出头 140G-3。在此情况下，使排出头140G-3的喷嘴31的数量，比与其他的第1、第3图案膜形成 区域70R、70B对应的排出头140R、140B的各个的喷嘴31的数量具备得多。这样，也能够获 得上述相同的效果。
(变形例2)在上述实施方式中，关于与具有2种类型的区域面积的宽阔度的各个 图案膜形成区域对应的排出头140的配置进行了说明，但是也可以与具有3种类型以上的 不同的区域面积的宽阔度的各个图案膜形成区域对应地，配置排出头140。例如，如图8所 示，也可以与区域面积最宽阔的第3图案膜形成区域70B、具有第3图案膜形成区域70B的 区域面积的大致1/2的宽阔度的第1图案膜形成区域70R、具有第3图案膜形成区域70B的 区域面积的大致1/3的宽阔度的第2图案膜形成区域70G的各个对应地，配置排出头140。 在此情况下，配置一个与第3图案膜形成区域70B对应的排出头140B，与第1图案膜形成区 域70R对应地配置两个排出头140R-4，与第2图案膜形成区域70G对应地配置三个排出头 140G-4。这样，随着图案膜形成区域变得狭小，或者，随着图案膜形成区域的扫描方向上的 宽度变窄，使与各个图案膜形成区域对应的排出头140的数量增多。这样，也能够获得上述 同样的效果。(变形例3)在上述实施方式中，关于R、G、B的3种类型的图案膜的颜色要素进行 了说明，但是并不限定于此。例如，也可以应用于形成1或2种类型的颜色要素的情况。进 而，也可以应用于形成4种类型以上的颜色要素的情况。这样，也能够获得上述同样的效
果 ο(变形例4)在上述实施方式的液滴排出装置1中，以有机EL装置为例进行了说 明，但是并不限定于此。例如，也可以应用于滤色器、等离子体显示面板等。这样，也能够获 得上述同样的效果。
权利要求
一种液滴排出装置，其具备向在基材上设置的图案膜形成区域排出液滴的排出头，其特征在于与每一前述图案膜形成区域的宽阔度对应地具有排出前述液滴的多个前述排出头；并且将与前述图案膜形成区域之中的狭小的图案膜形成区域对应的前述排出头的数量，配置得多于与区域面积比前述狭小的图案膜形成区域宽阔的图案膜形成区域对应的前述排出头的数量。
2.根据权利要求1所述的液滴排出装置，其特征在于仿照前述图案膜形成区域在前述基材与前述排出头相对地移动的扫描方向上的排列 顺序，在前述扫描方向上配置与各前述图案膜形成区域对应的多个前述排出头。
3.根据权利要求1或2所述的液滴排出装置，其特征在于在前述图案膜形成区域在前述基材与前述排出头相对地移动的前述扫描方向上的宽 度不同的情况下，将与宽度窄的前述图案膜形成区域对应的前述排出头的数量，配置得多 于与宽度比前述宽度窄的图案膜形成区域宽的前述图案膜形成区域对应的前述排出头的数量。
4.根据权利要求3所述的液滴排出装置，其特征在于在前述宽度窄的图案膜形成区域的宽度是前述宽度宽的图案膜形成区域的宽度的1/ η的情况下，将与前述宽度窄的图案膜形成区域对应的前述排出头的数量，配置为与前述宽 度宽的图案膜形成区域对应的前述排出头的数量的η倍以上。
全文摘要
本发明提供在图案膜形成区域的区域面积分别不同的情况下，也将高效地排出液滴的液滴排出装置。其是具备向在基材上设置的图案膜形成区域排出液滴的排出头的液滴排出装置，其中，与每一前述图案膜形成区域的宽阔度对应地具有排出前述液滴的多个前述排出头；并且将与前述图案膜形成区域之中的狭小的图案膜形成区域对应的前述排出头的数量，配置得多于与区域面积比前述狭小的图案膜形成区域宽阔的图案膜形成区域对应的前述排出头的数量。
文档编号B41J2/145GK101890839SQ2010101828
公开日2010年11月24日 申请日期2010年5月19日 优先权日2009年5月20日
发明者篠原亨, 酒井宽文 申请人:精工爱普生株式会社