专利名称：丝网印刷机及丝网印刷方法
技术领域：
本发明涉及在基板的上表面及设于基板的上表面的一部分的开口部的底面形成电极图案的、所谓的空腔基板上实施丝网印刷的丝网印刷机及丝网印刷方法。
背景技术：
目前，已知有如下的所谓的空腔基板即在下层侧基板部件的上表面粘贴有上层侧基板部件而成，且在上表面及设于上表面的一部分的开口部(空腔部)的底面形成电极图案，该空腔基板作为轻量高密度的基板在各种设备中被使用(专利文献1)。在这种空腔基板的两电极图案上分别实施焊锡膏等膏的丝网印刷的丝网印刷机中，使用具有与基板的上表面接触的平板部、从平板部突出而形成并与空腔部嵌合的嵌合部的立体的掩模部件。在该掩模部件中，在平板部上形成与设于基板上表面的电极图案 (平坦部电极图案)对应的掩模图案，且在嵌合部的底面形成与设于空腔部的底面的电极图案(空腔部电极图案)对应的掩模图案。因此，使基板和掩模部件接触来自进行丝网印刷，由此，能够在平坦部电极图案和空腔部电极图案的双方同时进行印刷(转印)膏。专利文献1 日本国特开2008-235761号公报但是，在上述的空腔基板中，在粘贴下层侧基板部件和上层侧基板部件时有时产生位置偏离，因此，即使以一个基板部件(通常为上层侧基板部件)为基准进行与掩模部件的对位，对于另一基板部件而言不一定与掩模部件的对位适当，则就执行丝网印刷，其结果可能存在在基板整体上产生印刷偏离的问题。
发明内容
于是，本发明的目的是提供一种丝网印刷机及丝网印刷方法，能够在以基板部件粘贴而成的空腔基板为对象的丝网印刷中，不容易引起印刷偏离。本发明第一方面的丝网印刷机，在下层侧基板部件的上表面粘贴有上层侧基板部件的基板的、形成于上层侧基板部件的上表面的第一电极图案及形成于设于上层侧基板部件的上表面的一部分的开口部的底面即下层侧基板部件的上表面的第二电极图案上实施丝网印刷，其具备掩模部件，其作为各自不同的区域具有在与上层侧基板部件的开口部嵌合的嵌合部的底面形成有与第二电极图案对应的第二电极图案对应掩模图案的第二电极图案对应掩模区域、和形成有与第一电极图案对应的第一电极图案对应掩模图案的第一电极图案对应掩模区域；印刷执行装置，其进行掩模部件的第二电极图案对应掩模区域和基板的第二电极图案的对位并在第二电极图案上实施丝网印刷，进行掩模部件的第一电极图案对应掩模区域和基板的第一电极图案的对位并在第一电极图案上实施丝网印刷。本发明第二方面在第一方面的基础上的丝网印刷机，其中，印刷执行装置在进行掩模部件的第二电极图案对应掩模区域和基板的第二电极图案的对位并在第二电极图案上实施了丝网印刷之后，进行掩模部件的第一电极图案对应掩模区域和基板的第一电极图案的对位并在第一电极图案上实施丝网印刷。
本发明第三方面在第一或第二方面的基础上的丝网印刷机，其中，用于掩模部件的第一电极图案对应掩模区域和基板的第一电极图案的对位的第一标记设于第一电极图案对应掩模区域及上层侧基板部件的上表面，用于掩模部件的第二电极图案对应掩模区域和基板的第二电极图案的对位的第二标记设于第二电极图案对应掩模区域及上层侧基板部件的开口部的底面即下层侧基板部件的上表面。本发明第四方面提供一种丝网印刷方法，在下层侧基板部件的上表面粘贴有上层侧基板部件的基板的、形成于上层侧基板部件的上表面的第一电极图案及形成于设于上层侧基板部件的上表面的一部分的开口部的底面即下层侧基板部件的上表面的第二电极图案上使用掩模部件实施丝网印刷，所述掩模部件作为各自不同的区域具有在与上层侧基板部件的开口部嵌合的嵌合部的底面形成有与第二电极图案对应的第二电极图案对应掩模图案的第二电极图案对应掩模区域、和形成有与第一电极图案对应的第一电极图案对应掩模图案的第一电极图案对应掩模区域，其中，包括进行掩模部件的第二电极图案对应掩模区域和基板的第二电极图案的对位并在第二电极图案上实施丝网印刷的工序、进行掩模部件的第一电极图案对应掩模区域和基板的第一电极图案的对位并在第一电极图案上实施丝网印刷的工序。本发明第五方面在第四方面的基础上的网印刷方法，其中，在执行了进行掩模部件的第二电极图案对应掩模区域和基板的第二电极图案的对位并在第二电极图案上实施丝网印刷的工序之后，执行进行掩模部件的第一电极图案对应掩模区域和基板的第一电极图案的对位并在第一电极图案上实施丝网印刷的工序。在本发明中，掩模部件作为分别不同的区域在与上层侧基板部件的开口部(空腔部)嵌合的嵌合部的底面具有形成有与第二电极图案对应的第二电极图案对应掩模图案的第二电极图案对应掩模区域和形成有与第一电极图案对应的第一电极图案对应掩模区域的第一电极图案对应掩模区域，第二电极图案和第一电极图案各自分别与掩模区域(第二电极图案对应掩模区域或第一电极图案对应掩模区域)进行对位之后实施丝网印刷。因此，在以粘贴基板部件而成的空腔基板为对象的丝网印刷中，即使在粘贴下层侧基板部件和上层侧基板部件时产生位置偏离的情况下，也不容易引起印刷偏离。
图1是本发明一实施方式的丝网印刷机的局部俯视图；图2(a)是本发明一实施方式的丝网印刷机的作为印刷对象的空腔基板的俯视图、图2(b)是侧向剖面图；图3是本发明一实施方式的丝网印刷机所具备的印刷执行部的正面图；图4(a)是本发明一实施方式的丝网印刷机所具备的掩模部件的俯视图、图4(b) 是侧向剖面图；图5是表示本发明一实施方式的丝网印刷机的控制系统的块图；图6(a)、(b)、(c)、(d)是本发明一实施方式的丝网印刷机所具备的掩模部件和空腔基板的侧面图；图7(a)、(b)、(c)、(d)是本发明一实施方式的丝网印刷机所具备的掩模部件和空腔基板的侧面4
图8是表示本发明一实施方式的丝网印刷机所执行的丝网印刷工序的流程图；图9(a)、(b)是本发明一实施方式的丝网印刷机的动作说明图；图10(a)、(b)是本发明一实施方式的丝网印刷机的动作说明图；图11(a)、(b)是本发明一实施方式的丝网印刷机的动作说明图；图12(a)、(b)是本发明一实施方式的丝网印刷机的动作说明图；图13(a)、(b)是本发明一实施方式的丝网印刷机所具备的清洗装置的动作说明图。符号说明1丝网印刷机4印刷执行部(印刷执行装置)11下层侧基板部件Ildp空腔部电极图案(第二电极图案)
1 Im空腔部侧对位的标记(第二标记)12上层侧基板部件12dp平坦部电极图案(第一电极图案)12m平坦部侧对位的标记(第一标记)33掩模部件33a嵌合部40控制装置(印刷执行装置)MPC空腔部对应掩模图案(第二电极图案对应掩模图案)MPF平坦部对应掩模图案(第一电极图案对应掩模图案)MRC空腔部对应掩模区域(第二电极图案对应掩模区域)MRF平坦部对应掩模区域(第一电极图案对应掩模区域)PB 基板CV空腔部(开口部)MKC空腔部对应掩模区域侧的对位标记(第二标记)MKF平坦部对应掩模区域侧的对位标记(第一标记)
具体实施例方式下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。图1是本发明一实施方式的丝网印刷机的局部俯视图，图2(a)是本发明一实施方式的丝网印刷机的作为印刷对象的空腔基板的俯视图、图2(b)是侧向剖面图，图3是本发明一实施方式的丝网印刷机具备的印刷执行部的正面图，图4(a)是本发明一实施方式的丝网印刷机所具备的掩模部件的俯视图、 图4(b)是侧向剖面图，图5是表示本发明一实施方式的丝网印刷机的控制系统的块图，图 6(a)、(b)、(c)、(d)是本发明一实施方式的丝网印刷机所具备的掩模部件和空腔基板的侧面图，图7(a)、(b)、(c)、(d)是本发明一实施方式的丝网印刷机具备的掩模部件和空腔基板的侧面图，图8是表示本发明一实施方式的丝网印刷机执行的丝网印刷工序的流程图， 图9 (a)、(b)、图10 (a)、(b)、图11 (a)、(b)、及图12 (a)、(b)、是本发明一实施方式的丝网印刷机的动作说明图，图13(a)、(b)是本发明一实施方式的丝网印刷机具备的清洗装置的动作说明图。图1中，本实施方式的丝网印刷机1具备基台2、设于基台2上且进行印刷对象物即基板PB的搬运及定位的基板搬运路径3、相对于通过基板搬运路径3定位的基板PB执行丝网印刷的印刷执行部4而构成。以下，将丝网印刷机1的基板PB的搬运方向设定为X 轴方向，将与X轴方向正交的水平面内方向设定为Y轴方向。另外，将上下方向设定为Z轴方向。在图2(a)、(b)中，基板PB是在下层侧基板部件11的上表面粘贴上层侧基板部件 12而成。在上层侧基板部件12的上表面设有多个平坦部电极12d，通过这些多个平坦部电极12d在上层侧基板部件12的上表面形成平坦部电极图案12dp。另外，在设于上层侧基板部件12的上表面的局部的开口部即空腔部CV的底面(下层侧基板部件11的上表面)设有多个空腔部电极lid。利用这些多个空腔部电极Ild在空腔部CV的底面形成空腔部电极图案lldp。即，该基板PB为具有形成于上表面(上层侧基板部件12的上表面)的平坦部电极图案12dp(第一电极图案)及形成于设于上表面的局部的开口部(空腔部CV)的底面 (下层侧基板部件11的上表面)的空腔部电极图案Ildp(第二电极图案)的空腔基板。图1中，基板搬运路径3由在X轴方向并列设置的搬入输送带21、定位输送带22 及搬出输送带23构成。搬入输送带21将从丝网印刷机1的外部(图1的纸面左侧)投入的基板PB搬入丝网印刷机1的内部并向定位输送带22转移。定位输送带22将从搬入输送带21收取的基板PB定位于规定的位置，在结束对基板PB的丝网印刷之后，将基板PB向搬出输送带23转移。搬出输送带23将从定位输送带22收取的基板PB向丝网印刷机1的外部搬出。在图3中，印刷执行部4具备夹住定位输送带22上的基板PB并进行向其基板PB 的水平面内(X轴及Y轴方向)方向的移动和向上下方向(Z轴方向)的移动的基板移动单元31、在基板移动单元31的上方向水平方向(Y轴方向)延伸设置的一对支承导轨32、由支承导轨32支承的板状的掩模部件33。另外，印刷执行部4具备通过在掩模部件33的上方在水平面内方向移动自如及升降自如地设置的膏供给头34及设于基台2上的XY机器人35 (图1)在基板移动单元31和掩模部件33之间的空间在水平面内方向移动自如的摄像机单元36、和在支承导轨32的下方在水平面内方向移动自如及升降自如地设置且从下方与掩模部件33的下表面接触并在执行丝网印刷工序后清洗残留于掩模部件33的下表面的膏废渣的清洗装置37。图3中，印刷执行部4的基板移动单元31由相对于基台2在Y轴方向相对移动的 Y工作台31a、相对于Y工作台31a在X轴方向相对移动的X工作台31b、相对于X工作台 31b绕Z轴相对旋转的θ工作台31c、固定于θ工作台31c的底板31d、相对于底板31d进行相对升降的第一升降板31e、相对于第一升降板31e相对升降的第二升降板31f、固定于第二升降板31f的下支承单元31g、构成基板搬运路径3的定位输送带22及在定位输送带 22的上方在Y轴方向进行开闭动作的一对夹持器31h构成。在图1及图4(a)、(b)中，掩模部件33俯视通过具有矩形形状的框架部件33w支承四边，且在由框架部件33w包围的矩形区域设置彼此分开的区域即空腔部对应掩模区域 MRC和平坦部对应掩模区域MRF。在空腔部对应掩模区域MRC形成有向与基板PB的空腔部 CV嵌合的多个下方突出的形状的嵌合部33a。在各嵌合部33a设有与设置于下层侧基板部
6件11的上表面(空腔部CV的底面)的多个空腔部电极Ild对应的多个图案孔hi并形成有空腔部对应掩模图案MPC。另外，在平坦部对应掩模区域MRF设有与设置于上层侧基板部件12的上表面的多个平坦部电极12d对应的多个图案孔h2且形成有平坦部对应掩模图案 MPF。S卩、该掩模部件33作为各自不同的区域具有在与基板PB的空腔部CV (上层侧基板部件12的开口部)嵌合的嵌合部33a的底面形成有与空腔部电极图案Ildp对应的空腔部对应掩模图案MPC的空腔部对应掩模区域MRC、和形成有与平坦部电极图案12dp对应的平坦部对应掩模图案MPF的平坦部对应掩模区域MRF。另外，从图1可知，平坦部对应掩模区域MRF由位于隔着与基板PB的搬运方向(X轴方向)平行的掩模部件33的中心线CL的两个掩模部件33的区域的一侧构成，空腔部对应掩模区域MRC由位于隔着与基板PB的搬运方向平行的掩模部件33的中心线CL的两个掩模部件33区域中的另一侧构成。在图2(a)、(b)中，在下层侧基板部件11的对角位置设有两个一组的空腔部侧对位标记11m，在上层侧基板部件12的对角位置设有两个一组的平坦部侧对位标记12m。另一方面，在图1及图4 (a)中，在形成有掩模部件33的空腔部对应掩模图案MPC 的空腔部对应掩模区域MRC的对角位置，与空腔部侧对位标记Ilm对应地设置有用于使空腔部对应掩模区域MRC与基板PB的空腔部电极图案Ildp对位的两个一组的空腔部对应掩模区域侧对位的标记MKC。在形成有掩模部件33的平坦部对应掩模图案MPF的平坦部对应掩模区域MRF的对角位置，与平坦部侧对位标记1 !对应地设置有用于使平坦部对应掩模区域MRF与基板PB的平坦部电极图案12dp对位的两个一组的平坦部对应掩模区域侧对位标记MKF。在图3中，膏供给头34在支承导轨32的上方相对于基板移动单元31在Y轴方向移动自如地设置，且由头主体34a、设置于该头主体34a的下部的与Y轴方向相对的两个导向部件34g构成。各导向部件34g为向X轴方向延伸的“压勺”状的部件，其进行导向，以使向内装于头主体3 的膏盒(未图)的下方被压送的焊锡膏及导电性膏等膏向以掩模部件33上为目的的部位集中而供给。在图1中，XY机器人35由在基台2的上方沿Y轴方向延伸且相对固定于基台2设置的Y轴工作台35a、沿X轴方向延伸且在Y轴工作台3 上沿Y轴方向移动自如地设置的 X轴工作台3 及在X轴工作台3 上沿X轴方向移动自如设置的移动板35c构成。在图 3中，摄像机单元36为在XY机器人35的移动板35c上安装有使摄像面朝向下方的第一摄像机36a、使摄像面朝向上方的第二摄像机36b的构成。在图3中，清洗装置37可以使清洗纸37a以向水平方向伸展的状态从下方接触掩模部件33的下表面，且用一对辊37b将清洗纸37a向水平方向输送，由此，清洗掩模部件33 的下表面。构成基板搬运路径3的搬入输送带21、定位输送带22及搬出输送带23进行的基板PB的搬运及定位动作通过该丝网印刷机1所具备的控制装置40 (图幻进行由未图示的促动器等构成的基板搬运路径动作机构41(图5)的动作控制来进行。Y工作台31a相对于基台2的向Y轴方向的移动、X工作台31b相对于Y工作台 31a的向X轴方向的移动、θ工作台31c相对于X工作台31b的绕Z轴的旋转、第一升降板 31e相对于底板31d(即相对于θ工作台31c)的升降、第二升降板31f相对于第一升降板31e (即下支承单元31g)的升降及夹持器31h的开闭动作的各动作通过控制装置40进行由 Y工作台驱动电动机My及X工作台驱动电动机Mx(图幻等促动器等构成的基板移动单元动作机构42(图5)的动作控制来进行。膏供给头34向水平面内方向的移动动作通过控制装置40进行由未图示的促动器等构成的膏供给头水平移动机构43(图5)的动作控制来进行，膏供给头34的升降动作通过控制装置40进行由未图示的促动器等构成的膏供给头升降机构44 (图幻的动作控制来进行。另外，膏从膏供给头；34的供给动作通过控制装置40进行由未图示的促动器等构成的膏供给机构45(图5)的动作控制来进行。构成XY机器人35的X轴工作台3 向Y轴方向的移动动作及移动板35c向X轴方向的移动动作通过控制装置40进行由未图示的促动器等构成的XY机器人动作机构46 (图 5)的动作控制来进行。第一摄像机36a被控制装置40控制，进行设置于基板PB的下层侧基板部件11的空腔部侧对位标记Ilm及设置于上层侧基板部件12的平坦部侧对位标记12m的摄像。第二摄像机36b被控制装置40控制，进行空腔部对应掩模区域侧对位标记MKC及平坦部对应掩模区域侧对位标记MKF的摄像。由第一摄像机36a的摄像获得的图像数据及由第二摄像机36b的摄像获得的图像数据被输入到控制装置40(图5)。清洗装置37向水平面内方向的移动动作通过控制装置40进行由未图示的促动器等构成的清洗装置水平移动机构47(图5)的动作控制来进行，清洗装置37的升降动作通过控制装置40进行由未图示的促动器等构成的清洗装置升降机构48的动作控制来进行。 另外，清洗装置37进行的清洗动作(一对辊37b进行的清洗纸37a的输送动作)通过控制装置40进行由未图示的促动器等构成的清洗动作机构49(图5)的动作控制来进行。在使用掩模部件33对于空腔部电极图案Ildp的丝网印刷中，控制装置40首先在使设置于基板PB的下层侧基板部件11的空腔部侧对位标记11m、和设置于掩模部件33的空腔部对应掩模区域MRC的空腔部对应掩模区域侧对位标记MKC在上下方向一致的状态下 (图6(a))，使基板PB和掩模部件33在上下方向相对地接近(图6(a)中所示的箭头Al)， 使掩模部件33的空腔部对应掩模区域MRC内的嵌合部33a从上方与基板PB的对应的空腔部CV嵌合(图6 (b))。由此，进行掩模部件33的空腔部对应掩模区域MRC和基板PB的空腔部电极图案Ildp的对位。其次，利用膏供给头34在空腔部对应掩模区域MRC内的各嵌合部33a从上方压送膏PT，经由构成空腔部对应掩模图案MPC的各图案孔hl，向构成空腔部电极图案Ildp的各空腔部电极Ild上供给膏PT (图6(c))。而且，只要使基板PB和掩模部件33在上下方向相对离开(图6(d)中所示的箭头A2)，就能够在各空腔部电极Ild上印刷(转印)膏PT(图6(d))。另一方面，在使用掩模部件33对于平坦部电极图案12dp的丝网印刷中，控制装置 40首先在使设置于基板PB的上层侧基板部件12的平坦部侧对位标记12m、和设置于掩模部件33的平坦部对应掩模区域MRF的平坦部对应掩模区域侧对位标记MKF在上下方向一致的状态(图7(a))下，使基板PB和掩模部件33在上下方向相对的接近(图7(a)中所示的箭头Bi)，使基板PB和掩模部件33接触(图7 (b))。由此，进行掩模部件33的平坦部对应掩模区域MRF和基板PB的平坦部电极图案12dp的对位。其次，利用膏供给头34在平坦部对应掩模区域MRF从上方压送膏PT，经由构成平坦部对应掩模图案MPF的各图案孔h2，
8向构成平坦部电极图案12dp的各平坦部电极12d上供给膏PT(图7(c))。而且，只要使基板PB和掩模部件33在上下方向相对离开(图7(d)中所示的箭头Β2)，就能够在各平坦部电极12d上印刷(转印)膏PT(图7(d))。另外，掩模部件33的平坦部对应掩模区域MRF为平板状，因此，即使在空腔部电极 Ild上以印刷膏PT的状态使掩模部件33的平坦部对应掩模区域MRF与基板PB的上表面接触，空腔部电极Ild上的膏PT和掩模部件33也不会干涉。因此，使用掩模部件33的平坦部对应掩模区域MRF向平坦部电极图案12dp的膏PT的印刷能够以在空腔部电极Ild上印刷膏PT的状态下进行(参照图7)。因此，在向平坦部电极图案12dp进行膏PT印刷之前， 只要向空腔部电极图案Ildp进行膏PT的印刷，就能够同时进行向空腔部电极图案Ildp的膏PT的印刷和向平坦部电极图案12dp的膏PT的印刷。下面，使用图8的流程图及图9 图12的动作说明图说明丝网印刷机1的丝网印刷的执行顺序。控制装置40利用未图示的检测装置检测到自操作员(或设置于丝网印刷机1的上流侧的未图示的其它装置)向基板搬运路径3 (搬入输送带21)投入了基板PB后， 使搬入输送带21和定位输送带22进行连动动作，向丝网印刷机1内搬入基板PB (图8的步骤STl)。控制装置40在搬入基板PB后，进行基板PB相对于基板移动单元31的固定(图8 的步骤ST2)。其中，首先，使基板移动单元31的第二升降板31f相对于第一升降板31e相对上升(图9(a)中所示的箭头Cl)、使下支承单元31g的上表面从下方与基板PB的下表面抵接，使基板PB支承在下支承单元31g上(图9(a))。基板PB由下支承单元31g支承后， 通过夹持器31h夹住基板PB之后再使第二升降板31f上升(图9(b)中所示的箭头C2)，用下支承单元31g推压基板PB。由此，基板PB在使两端相对于夹持器31h —边滑动一边上升，从定位输送带22上离开上方，且基板PB的上表面与两夹持器31h的上表面成为同样的高度的状态下，固定于基板移动单元31 (图9(b))。在控制装置40结束了基板PB的固定之后，进行掩模部件33的空腔部对应掩模区域MRC和基板PB的空腔部电极图案Ildp的对位(图8的步骤ST3)。在该对位中，控制装置40首先进行摄像机单元36的移动和第一摄像机36a的摄像动作控制并取得设置于下层侧基板部件11的空腔部侧对位标记Ilrn的图像数据，掌握空腔部电极图案Ildp的位置，同时，进行摄像机单元36的移动和第二摄像机36b的摄像动作控制，取得设于掩模部件33的空腔部对应掩模区域侧对位标记MKC的图像数据，并掌握空腔部对应掩模区域MRC的位置。控制装置40掌握了空腔部电极图案Ildp的位置和空腔部对应掩模区域MRC的位置之后，进行基板移动单元31的基板PB的水平面内方向的移动动作，在使基板PB位于掩模部件33的空腔部对应掩模区域MRC的正下方之后，进行基板移动单元31对基板PB的垂直方向的移动(第一升降板31e的上升)动作，使基板PB从下方与掩模部件33接触(图 10(a)的图中所示的箭头C3)。由此，进行掩模部件33的空腔部对应掩模区域MRC和基板 PB的空腔部电极图案Ildp的对位(图10(a))。控制装置40在结束了掩模部件33的空腔部对应掩模区域MRC和基板PB的空腔部电极图案Ildp的对位之后，对空腔部电极图案Ildp执行丝网印刷(图8的步骤ST4)。在对空腔部电极图案1 Idp的丝网印刷中，控制装置40首先使膏供给头34在空腔部对应掩模区域MRC的上方移动，从膏供给头34向掩模部件33的上表面(空腔部对应掩模区域MRC内)通过两导向部件34g之间供给膏PT，由此，使膏PT填充到空腔部对应掩模图案MPC的图案孔hi内(图10(b))。控制装置40在向空腔部对应掩模图案MPC的图案孔hi内填充了膏PT之后，使第一升降板31e下降(图11(a)中所示的箭头C4)，使基板PB和掩模部件33分离(图8的步骤ST5)。由此，能够进行版面分离，填充于空腔部对应掩模图案MPC的图案孔hi内的膏PT 被印刷在空腔部电极图案Ildp上(图11 (a))。由此，对于空腔部电极图案Ildp的丝网印刷工序(第一丝网印刷工序为步骤 ST3 步骤SI^)结束，执行如下所示的对平坦部电极图案12dp的丝网印刷工序(第二丝网印刷工序为步骤ST6 步骤ST9)。在对于平坦部电极图案12dp的丝网印刷工序中，控制装置40开始进行掩模部件 33的平坦部对应掩模区域MRF和基板PB的平坦部电极图案12dp的对位(图8的步骤ST6)。在该对位中，控制装置40首先进行摄像机单元36的移动和第一摄像机36a的摄像动作控制并取得设置于上层侧基板部件12的平坦部侧对位标记iaii的图像数据，掌握平坦部电极图案12dp的位置，同时，进行摄像机单元36的移动和第二摄像机36b的摄像动作控制并取得设于掩模部件33的平坦部对应掩模区域侧对位标记MKF的图像数据，掌握平坦部对应掩模区域MRF的位置。控制装置40掌握了平坦部电极图案12dp的位置和平坦部对应掩模区域MRF的位置之后，进行基板移动单元31对基板PB的水平面内方向的移动动作(图11(b)中所示的箭头⑶)，在使基板PB位于掩模部件33的平坦部对应掩模区域MRF的正下方之后(图 11(b))，进行基板移动单元31对基板PB的垂直方向的移动(第一升降板31e的上升)动作，使基板PB从下方与掩模部件33的下表面接触(图12(a)中所示的箭头C6)。由此，进行掩模部件33的平坦部对应掩模区域MRF和基板PB的平坦部电极图案12dp的对位(图 12(a))。这样，在本实施方式的丝网印刷机1中，对于平坦部对应掩模区域MRF和平坦部电极图案12dp的对位，使用用于进行掩模部件33的平坦部对应掩模区域MRF和基板PB的平坦部电极图案12dp的对位的设于掩模部件33的平坦部对应掩模区域MRF及上层侧基板部件12的上表面的第一标记(平坦部对应掩模区域侧对位标记MKF及平坦部侧对位的标记 12m)进行。另外，空腔部对应掩模区域MRC和空腔部电极图案Ildp的对位使用用于掩模部件33的空腔部对应掩模区域MRC和基板PB的空腔部电极图案Ildp的对位的设于掩模部件33的空腔部对应掩模区域MRC及上层侧基板部件12的开口部(空腔部CV)的底面即下层侧基板部件11的上表面的第二标记(空腔部对应掩模区域侧对位标记MKC及空腔部侧对位的标记Ilm)进行。S卩、平坦部对应掩模区域MRF和平坦部电极图案12dp的对位、空腔部对应掩模区域MRC和空腔部电极图案Ildp的对位分别使用不同的标记进行。控制装置40在掩模部件33的平坦部对应掩模区域MRF和基板PB的平坦部电极图案12dp的对位结束后，执行对平坦部电极图案12dp的丝网印刷(图8的步骤ST7)。在对平坦部电极图案12dp的丝网印刷中，控制装置40首先使膏供给头34向平坦部对应掩模区域MRF的上方移动，从膏供给头34向掩模部件33的上表面(平坦部对应掩
1模区域MRF内)通过两导向部件34g之间供给膏PT，由此，将膏PT填充于平坦部对应掩模图案MPF的图案孔h2内(图12(b))。控制装置40在向平坦部对应掩模图案MPF的图案孔h2内填充了膏PT之后，使第一升降板31e下降，使基板PB和掩模部件33分离(图8的步骤ST8)。由此，进行版面分离，填充于平坦部对应掩模图案MPF内的图案孔h2内的膏PT被印刷到平坦部电极图案 12dp上。由此，对平坦部电极图案12dp的第二丝网印刷工序结束。控制装置40在对平坦部电极图案12dp的丝网印刷工序结束之后，打开夹持器 31h，解除基板PB对于基板移动单元31的固定(图8的步骤ST9)。然后，使第二升降板31f 下降，将基板PB载置于定位输送带22上，使基板移动单元31动作，进行定位输送带22对于搬出输送带23的位置调整。控制装置40在结束定位输送带22对于搬出输送带23的位置调整之后，使定位输送带22和搬出输送带23连动动作，从丝网印刷机1搬出基板PB (图 8的步骤ST10)。控制装置40在搬出基板PB后，进行是否有其他的实施丝网印刷的基板PB的判断 (图8的步骤ST11)。其结果，在还有其他的实施丝网印刷的基板PB时返回步骤STl进行基板PB的搬入，在没有实施丝网印刷的基板PB时结束一系列的丝网印刷工序。在此，控制装置40假设预先进行向平坦部电极图案12dp的丝网印刷的情况下，在之后进行的用于空腔部电极图案Ildp的掩模部件33 (空腔部对应掩模区域MRC)和基板PB 的接触时，有时产生预先印刷于平坦部电极图案12dp的膏PT附着于掩模部件33的下表面的不良现象，但是，在本实施方式的丝网印刷机1中，控制装置40在进行掩模部件33的空腔部对应掩模区域MRC和基板PB的空腔部电极图案Ildp的对位并执行在空腔部电极图案 Ildp上实施丝网印刷工序(第一丝网印刷工序)之后，进行掩模部件33的平坦部对应掩模区域MRF和基板PB的平坦部电极图案12dp的对位并执行在平坦部电极图案12dp上实施丝网印刷的工序(第二丝网印刷工序)，因此，能够防止上述的不良现象。控制装置40在结束一系列丝网印刷工序后，通过清洗装置37进行掩模部件33的下表面的清洗。该掩模部件33的下表面的清洗分别进行对空腔部对应掩模区域MRC的清洗和对平坦部对应掩模区域MRF的清洗。如图13 (a)所示，关于掩模部件33的空腔部对应掩模区域MRC的清洗，在使清洗装置37的清洗纸37a于空腔部对应掩模区域MRC内的嵌合部33a的底面的下表面接触之后，一边使清洗装置37向水平面内方向移动(图13(a)中所示的箭头Dl)，一边用一对辊 37b输送清洗纸37a，通过除去附着于空腔部对应掩模区域MRC的下面的膏PT残留的废渣来进行(第一清洗工序)。另外，如图13(b)所示，关于掩模部件33的平坦部对应掩模区域MRF的清洗，使清洗装置37的清洗纸37a与平坦部对应掩模区域MRF的下面接触之后， 使清洗装置37—边在水平面内方向移动(图13(b)中所示的箭头D2)，一边用一对辊37b 输送清洗纸37a，通过除去附着于平坦部对应掩模区域MRF的下面的膏PT的残留废渣来进行(第二清洗工序)。如以上说明，本实施方式的丝网印刷机1，对在下层侧基板部件11的上表面粘贴有上层侧基板部件12的基板PB的、形成于上层侧基板部件12的上表面的平坦部电极图案 12dp(第一电极图案)及形成于设于上层侧基板部件12的上表面的一部分的开口部(空腔部CV)的底面即下层侧基板部件11的上表面的空腔部电极图案Ildp(第二电极图案)实
11施丝网印刷，其特征为，具备掩模部件33，其作为各自不同的区域具有在与空腔部CV嵌合的嵌合部33a的底面形成有与空腔部电极图案Ildp对应的空腔部对应掩模图案MPC(第二电极图案对应掩模图案)的空腔部对应掩模区域MRC(第二电极图案对应掩模区域)和形成有与平坦部电极图案12dp对应的平坦部对应掩模图案MPF(第一电极图案对应掩模图案)的平坦部对应掩模区域MRF(第一电极图案对应掩模区域)；印刷执行装置(印刷执行部4及控制装置40)，其进行掩模部件33的空腔部对应掩模区域MRC和基板PB的空腔部电极图案Ildp的对位并在空腔部电极图案Ildp上实施丝网印刷，进行掩模部件33的平坦部电极图案对应掩模区域MRF和基板PB的平坦部电极图案12dp的对位并在平坦部电极图案 12dp上实施丝网印刷。另外，本实施方式的丝网印刷方法，对在下层侧基板部件11的上表面粘贴上层侧基板部件12的基板PB的、形成于上层侧基板部件12的上表面的平坦部电极图案12dp (第一电极图案)及形成于设于上层侧基板部件12的上表面的一部分的开口部(空腔部CV) 的底面即下层侧基板部件11的上表面的空腔部电极图案Ildp (第二电极图案)，使用掩模部件33实施丝网印刷，所述掩模部件33作为分别不同的区域，具有在与空腔部CV嵌合的嵌合部33a的底面形成有与空腔部电极图案Ildp对应的空腔部对应掩模图案MPC(第二电极图案对应掩模图案)的空腔部对应掩模区域MRC (第二电极图案对应掩模区域)和形成有与平坦部电极图案12dp对应的平坦部对应掩模图案MPF(第一电极图案对应掩模图案) 的平坦部对应掩模区域MRF (第一电极图案对应掩模区域)，其中，包括进行掩模部件33 的空腔部对应掩模区域MRC和基板PB的空腔部电极图案Ildp的对位并在空腔部电极图案 Ildp上实施丝网印刷的工序(第一丝网印刷工序)、进行掩模部件33的平坦部对应掩模区域MRF和基板PB的平坦部电极图案12dp的对位并在平坦部电极图案12dp上实施丝网印刷的工序(第二丝网印刷工序)。在本实施方式的丝网印刷机1及丝网印刷方法中，掩模部件33作为各自不同的区域具有在与上层侧基板部件12的开口部(空腔部CV)嵌合的嵌合部33a的底面形成有与空腔部电极图案Ildp对应的空腔部对应掩模图案MPC的空腔部对应掩模区域MRC、和形成有与平坦部电极图案12dp对应的平坦部对应掩模图案MPF的平坦部对应掩模区域MRF，空腔部电极图案Ildp和平坦部电极图案12dp在分别与掩模区域(空腔部对应掩模区域MRC 或平坦部对应掩模区域MRF)对位之后实施丝网印刷。因此，在以基板部件粘贴而成的空腔基板为对象的丝网印刷中，在粘贴下层侧基板部件11和上层侧基板部件12时即使产生位置偏离的情况下，也不容易引起印刷偏离。至此对本发明的实施方式进行了说明，但是，本发明不限于上述的实施方式所示。 例如，在上述的实施方式中，基板PB例示了两张基板部件(下层侧基板部件11及上层侧基板部件1 粘贴而成的空腔基板的情况，但是，以本发明为对象的基板PB只要包括至少粘贴的两张基板部件(下层侧基板部件11及上层侧基板部件1 即可，也可以是三张以上的基板部件粘贴而成的。另外，膏的供给方式也可以用开放式涂刷器供给，并不限于膏盒供本申请基于2009年3月16日申请的日本专利申请(特愿2009-062317)，其内容在此作为参照被引入。产业上的可利用性
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本发明提供一种丝网印刷机及丝网印刷方法，能够在以粘贴基板部件而构成的空腔基板为对象的丝网印刷中，不容易引起印刷偏离。
权利要求
1.一种丝网印刷机，在下层侧基板部件的上表面粘贴有上层侧基板部件的基板的、形成于上层侧基板部件的上表面的第一电极图案及形成于设于上层侧基板部件的上表面的一部分的开口部的底面即下层侧基板部件的上表面的第二电极图案上实施丝网印刷，其特征在于，具备掩模部件，其作为各自不同的区域具有在与上层侧基板部件的开口部嵌合的嵌合部的底面形成有与第二电极图案对应的第二电极图案对应掩模图案的第二电极图案对应掩模区域、和形成有与第一电极图案对应的第一电极图案对应掩模图案的第一电极图案对应掩模区域；印刷执行装置，其进行掩模部件的第二电极图案对应掩模区域和基板的第二电极图案的对位并在第二电极图案上实施丝网印刷，进行掩模部件的第一电极图案对应掩模区域和基板的第一电极图案的对位并在第一电极图案上实施丝网印刷。
2.如权利要求1所述的丝网印刷机，其特征在于，印刷执行装置在进行掩模部件的第二电极图案对应掩模区域和基板的第二电极图案的对位并在第二电极图案上实施了丝网印刷之后，进行掩模部件的第一电极图案对应掩模区域和基板的第一电极图案的对位并在第一电极图案上实施丝网印刷。
3.如权利要求1或2所述的丝网印刷机，其特征在于，用于掩模部件的第一电极图案对应掩模区域和基板的第一电极图案的对位的第一标记设于第一电极图案对应掩模区域及上层侧基板部件的上表面，用于掩模部件的第二电极图案对应掩模区域和基板的第二电极图案的对位的第二标记设于第二电极图案对应掩模区域及上层侧基板部件的开口部的底面即下层侧基板部件的上表面。
4.一种丝网印刷方法，在下层侧基板部件的上表面粘贴有上层侧基板部件的基板的、 形成于上层侧基板部件的上表面的第一电极图案及形成于设于上层侧基板部件的上表面的一部分的开口部的底面即下层侧基板部件的上表面的第二电极图案上使用掩模部件实施丝网印刷，所述掩模部件作为各自不同的区域具有在与上层侧基板部件的开口部嵌合的嵌合部的底面形成有与第二电极图案对应的第二电极图案对应掩模图案的第二电极图案对应掩模区域、和形成有与第一电极图案对应的第一电极图案对应掩模图案的第一电极图案对应掩模区域，该丝网印刷方法的特征在于，包括进行掩模部件的第二电极图案对应掩模区域和基板的第二电极图案的对位并在第二电极图案上实施丝网印刷的工序；进行掩模部件的第一电极图案对应掩模区域和基板的第一电极图案的对位并在第一电极图案上实施丝网印刷的工序。
5.如权利要求4所述的丝网印刷方法，其特征在于，在执行了进行掩模部件的第二电极图案对应掩模区域和基板的第二电极图案的对位并在第二电极图案上实施丝网印刷的工序之后，执行进行掩模部件的第一电极图案对应掩模区域和基板的第一电极图案的对位并在第一电极图案上实施丝网印刷的工序。
全文摘要
本发明的目的是提供一种丝网印刷机及丝网印刷方法，能够在以粘贴基板部件而成的空腔基板为对象的丝网印刷中不容易引起印刷偏离。掩模部件(33)作为不同的区域具备在与空腔部(CV)嵌合的嵌合部(33a)的底面形成有与空腔部电极图案(11dp)对应的掩模图案(MPC)的空腔部对应掩模区域(MRC)、和形成有与平坦部电极图案(12dp)对应的掩模图案(MPF)的平坦部对应掩模区域(MRF)。进行空腔部对应掩模区域(MRC)和空腔部电极图案(11dp)的对位，并实施丝网印刷，并且，进行平坦部对应掩模区域(MRF)和平坦部电极图案(12dp)的对位，并实施丝网印刷。
文档编号B41F15/08GK102356702SQ2010800119
公开日2012年2月15日 申请日期2010年2月22日 优先权日2009年3月16日
发明者田中哲矢, 阿部成孝 申请人:松下电器产业株式会社