专利名称：液体喷射头以及液体喷射装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及喷射液体的液体喷射头以及液体喷射装置，特别涉及将作为液体的墨水排出的喷墨式记录头以及喷墨式记录装置。
背景技术：
以喷墨式打印机、绘图仪等喷墨式记录装置为代表的液体喷射装置具备液体喷射头(下面也称为头)，所述液体喷射头设有多个能够将贮存于盒、箱等的墨水等液体作为液滴进行喷射的液体喷射头主体。多个液体喷射头主体载置于作为公共保持部件的底板上，多个液体喷射头主体的配置按照并列设置各液体喷射头主体的喷嘴开口的喷嘴列在并列设置方向连续的方式进行。各液体喷射头主体在喷嘴列彼此的相对位置被高精度地定位的基础上安装于底板。这种定位是通过例如在底板上设置用于将液体喷射头主体配置在规定位置的作为基准的定位销，将具有作为插通该定位销的基准的定位孔的定位板设置于液体喷射头主体，在定位孔中插通定位销来进行的(例如参照专利文献1)。另外，作为其他的液体喷射头的一个例子，有由设有喷嘴开口的喷嘴板、设有对喷嘴开口供给墨水的流路的流路形成基板以及保护流路形成基板的保护基板构成的液体喷射头(例如参照专利文献幻。在该液体喷射头中，通过在各部件中设置定位孔并在各定位孔中插入定位销，来进行各部件的位置对准。专利文献1日本特开2010-03(^97号公报专利文献2日本特开2007-30379号公报然而，在专利文献1、专利文献2所记载的液体喷射头中，定位板、流路形成基板由硅基板构成，定位孔的开口边缘部形成近似直角，因此在定位孔中插通的定位销的顶端易于碰撞开口边缘部，有时会由于该碰撞而在开口边缘部产生碎屑(碎片)。碎屑有可能导致定位板的强度降低。另外，有可能会使定位孔的形状发生变形，定位销与定位孔之间产生松动，进而定位精度降低。并且，由碎屑产生的微小异物混入部件彼此之间、墨水的流路等，也有可能导致打印品质降低。此外，这样的问题不限于喷墨式记录头，在喷射墨水以外的液体的液体喷射头中也同样存在。另外，不限于定位板、流路形成基板由硅基板形成的情况，在由玻璃等脆性材料形成的情况下也同样。
发明内容
本发明鉴于该问题，目的在于提供抑制由于定位销而在定位孔的开口边缘部产生碎屑来提高打印品质的液体喷射头以及液体喷射装置。解决所述课题的本发明的方式是一种液体喷射头，其特征在于具备第1部件和由脆性材料构成的第2部件，通过配置于所述第1部件的规定位置的定位销插通到形成于所述第2部件的定位孔来对所述第1部件与所述第2部件进行定位，仅所述定位孔的插通所述定位销的一侧的开口边缘部被倒角。在该方式中，能够防止在第2部件的定位孔的开口边缘部产生碎屑。由此，能够防止定位板强度的降低。另外，能够防止定位销与定位孔产生的松动所导致的定位精度的降低，进行高品质的液滴排出。并且，能够防止第2部件产生碎片而形成微小异物，因此能够防止该异物混入构成液体喷射头的部件彼此之间、液体的流路等，从而降低液滴的排出特性。另外，仅第2部件的插通定位销一侧的开口边缘部被倒角，另一面侧未被倒角。由此， 容易把握定位孔是否是以与定位销内切的恰当的形状、大小来形成的。在此，优选具备具有排出液体的喷嘴开口的头主体，所述第1部件是设有所述定位销的底板，所述第2部件是形成有所述定位孔，并且按照所述喷嘴开口与所述定位孔的相对位置成为规定配置的方式设置于所述头主体的定位板。据此，是能够将定位销反复地插通于定位孔的构成，提供头主体相对于底板可自由装卸的液体喷射头，在定位板中难以因定位销产生的碎屑，因此能够进行高品质的液滴排出。另外，优选所述定位板的与插通所述定位销的一侧相反面被镜面加工。据此，能够在对照定位板的定位孔与定位孔以外的区域之际，更容易、准确把握定位孔的大小、形状。另外，优选在所述定位孔中，通过对所述第2部件进行蚀刻来形成贯通孔，通过对该贯通孔的一方的开口边缘部周边进行半蚀刻(halfetching)来对该开口边缘部进行倒角。据此，能够很好地对开口边缘部进行倒角。另外，优选所述第1部件是设有排出液体的喷嘴开口的喷嘴板，所述第2部件是接合所述喷嘴板，并具备具有与所述喷嘴开口连通的压力产生室并使该压力产生室产生压力变化的压力产生单元的流路形成基板，所述定位孔形成于所述流路形成基板。据此，能够在具备接合了喷嘴板的流路形成基板的液体喷射头中，防止由于定位销而在流路形成基板的定位孔的开口边缘部产生碎屑。另外，本发明的其他方式是特征在于具备所述液体喷射头的液体喷射装置。在该方式中，提供防止了液体的排出特性降低的液体喷射装置。
图1是实施方式1涉及的头的概要立体图。图2是实施方式1涉及的头主体的概要立体图。图3是实施方式1涉及的头的俯视图。
图4是图3的A-A线剖视图。图5是定位板的俯视图、后视图以及剖视图。图6是实施方式1涉及的液体喷射装置的概要构成图。图7是实施方式2涉及的头的分解立体图。图8是穿过实施方式2涉及的头的压力产生室的剖视图。图9是穿过实施方式2涉及的头的定位孔的剖视图。附图标记说明I...喷墨式记录装置(液体喷射装置)，1、1A...喷墨式记录头(液体喷射头)， 10...头主体，11...喷嘴开口，12...头部件，13...流路部件，14...喷嘴列，20...底板(第1部件)，23...定位销，30...子板，50...定位板(第2部件)，51...定位孔，53a、 53b...开口边缘部，160...流路形成基板(第2部件)，170...喷嘴板(第1部件)， 180...贮液器形成基板，234A 234D...定位孔，2!35B、235C...开口边缘部，250...定位销。
具体实施例方式下面基于实施方式详细地说明本发明。<实施方式1>图1是作为本发明的实施方式1涉及的液体喷射头的一例的喷墨式记录头的概要立体图，图2是设置于该喷墨式记录头的头主体的概要立体图，图3是本发明的实施方式1 涉及的喷墨式记录头的俯视图，图4是图3的A-A线剖视图。如图示所示，本实施方式的喷墨式记录头1(下面也称为头)具备多个喷墨式记录头主体10 (下面也称为头主体)、载置头主体10的底板20 (第1部件)、用于将头主体10 配置在底板20的规定位置的定位板50 (第2部件)。在底板20中，对一个头主体10设置一个在其厚度方向贯通的贯通孔21，在头主体 10被插通于这些贯通孔21中的状态下，各头主体10经由子板(sub plate) 30被固定。贯通孔21是以比头主体10的外周稍大，并且比子板30小的开口设置而成的。因此，当在贯通孔21中插入头主体10时，头主体10的子板30被底板20保持。另外，在头主体10与贯通孔21之间会产生空隙，因此头主体10能够相对于底板20向第1方向以及第 2方向略微移动。在底板20中，被支承部件40支承的定位销23被设置于底板20的规定位置。定位销23被设置于底板20的规定位置是指以当在定位板50的定位孔51中插通了定位销 23时，多个头主体10的相对位置成为规定配置的方式将定位销23形成于底板20。在本实施方式中，作为各头主体10的规定位置，按照如下方式配设。即，如图1以及图3所示，通过在头主体10的喷嘴列14(参照图2)中的喷嘴开口 11的并列设置方向即第1方向配置多个头主体10，构成头组100(在图中，构成一个头组100的头主体10示出三个。)，在第2方向并列设置两个该头组100。详细而言，构成一个头组100的多个头主体10按照喷嘴列14在第1方向连续的方式沿着第ι方向配置成锯齿状。并且，该头组100在第2方向并列设置两个。在此，各头组100的喷嘴列14在第1方向连续是指在各头组100的第2方向相互相邻的头主体10中，一方头主体10的喷嘴列14的端部的喷嘴开口 11与另一方头主体10 的喷嘴列14的端部的喷嘴开口 11按照在第1方向位置相同的方式配置。这样，在各头组100中，多个头主体10的喷嘴列14按照在第1方向连续的方式配置，因此与用1个头主体10的喷嘴列14来进行打印的情况相比，能够高速进行大范围的打印。如图2以及图4所示，头主体10由在一端面具有喷嘴开口 11的头部件12和固定于头部件12的与喷嘴开口 11相反侧的面的流路部件13构成。另外，在本实施方式中，在头主体10中设有用于安装于底板20的子板30，在子板30中设有作为第2部件的一个例子的定位板50。
头部件12具备并列设置有喷嘴开口 11的喷嘴列14。喷嘴列14的数目没有特别限定，例如可以是1列，也可以是2列以上的多个列。在本实施方式中，在1个头部件12中设置2列喷嘴列14。在此，在本实施方式中，在喷嘴列14中将并列设置喷嘴开口 11的方向设为第1方向，将与第1方向交叉的方向设为第2方向。因此，2列喷嘴列14并列设置于第 2方向。此外，在头部件12的内部，虽然未图示但是设有构成与喷嘴开口 11连通的流路的一部分的压力产生室和使压力产生室产生压力变化来从喷嘴开口排出墨水的压力产生单兀。压力产生单元没有特别限定，例如可以使用利用以两个电极夹着发挥电气机械转换功能的压电材料而成的压电元件的压力产生单元、在压力产生室内配置发热元件并通过由发热元件的发热产生的气泡来从喷嘴开口 11排出液滴的压力产生单元、在振动板与电极之间产生静电并通过静电力使振动板发生变形来从喷嘴开口 11排出液滴的压力产生单元等。另外，作为压电元件，可以利用从压力产生室侧开始层积下电极、压电材料以及上电极并使之发生挠曲变形的挠曲振动型压电元件、交替层积压电材料与电极形成材料并使之在轴方向伸缩的纵振动型压电元件等。流路部件13固定于头部件12的与喷嘴开口 11相反侧的面，将来自外部的墨水提供给头部件12或者从头部件12将墨水排出到外部。在流路部件13的与固定于头部件12 的面相反侧的面，设有液体流路口 15和连接器16，液体流路口 15的内部的流路开口以连接外部流路，连接器16中供给来自外部的打印信号等电信号。头主体10在第1方向的两侧面设有向外侧突出的凸缘部17，该凸缘部17被头固定螺钉18固定于子板30。子板30是用于将头主体10安装于底板20的部件，具体地，由设有头插通孔31的基台部32和设置于该基台部32的一个面的脚部33构成。在子板30的基台部32中，在头主体10被插通于头插通孔31的状态下固定凸缘部17。另外，在子板30的脚部33中，形成有在其厚度方向贯通的固定螺钉插通孔34。由于在将固定螺钉35插通到固定螺钉插通孔34的状态下，使之螺合于设置于底板20的固定螺纹孔22，由此子板30被固定于底板20。此外，固定螺钉插通孔34具有比固定螺钉35的直径稍大的直径，子板30能够向第1方向以及第2方向稍微移动。这是为了在设置于定位板50的定位孔51中插通定位销23时，对子板30相对于底板20的位置进行微调整。对于子板30，在基台部32的喷嘴开口 11侧的面，在夹着贯通孔21的两侧分别安装一个、共计两个定位板50。定位板50由硅基板构成，形成定位调整孔52与定位孔51。定位孔51是被设置于底板20的定位销23插通的贯通孔，定位调整孔52是在将定位板50安装于子板30时的定位所用的孔。这些定位调整孔52以及定位孔51是按照它们的相对位置成为规定配置的方式通过光刻法而形成的。定位板50在定位调整孔52与喷嘴开口 11被定位于规定位置的状态下安装于子板30。在此，定位调整孔52与喷嘴开口 11被定位于规定位置是指在从喷嘴开口 11侧看头主体10的俯视图中，定位调整孔52位于从喷嘴开口 11向第1方向以及第2方向离开规定距离的量的位置。这样，由于是按照定位调整孔52与喷嘴开口 11采用规定配置，并且定位调整孔52与定位孔51成为规定配置的方式形成的，因此针对定位孔51与喷嘴开口 11，相对位置也被高精度地规定。即，通过使定位销23插通于头主体10的定位板50的定位孔51，各头主体 10的喷嘴开口 11保持各头主体10彼此的相对间隔而排列。在此，详细说明定位板50。图5(a)是定位板的插通定位销的一侧的俯视图，图 5(b)是定位板的后视图，图5(c)是图5(a)的A-A线剖视图。此外，将图5(a)中表示的面称为表面，将图5(b)中表示的面称为背面。如图5(a)以及(c)所示，在由硅基板构成的定位板50，形成定位销23插通的定位孔51。定位孔51其开口形状是菱形，定位销23的横截面是与定位孔51的开口形状内切的圆形。定位孔51被插通在定位销23上的定位板50，由于平面方向(第1方向以及第2方向)的移动被定位销23限制，因此头主体10相对于底板20的位置由定位板50决定。另外，在定位孔51的表面、背面分别开口的开口边缘部53a、5;3b中的、插通定位销 23的表面侧的开口边缘部53a被倒角。这样，由于插通定位销23的开口边缘部53a被倒角，因此定位销23的顶端部由于被倒角的开口边缘部53a而被导入定位孔51内。由此，能够容易地将定位销23导入定位孔51内，并且定位销23对开口边缘部53a的碰撞所产生的冲击得以缓和，防止了在开口边缘部53a产生碎屑、碎片。这种开口边缘部53a能够按照如下方式形成。首先，按照定位孔51与定位调整孔 52被形成于规定位置的方式将光刻图案形成在定位板50上，之后通过进行蚀刻来形成贯通孔。并且，在定位板50的表面，通过对该贯通孔的周边区域进行半蚀刻来形成台阶部M。 在形成该台阶部M时，该贯通孔的开口被倒角，形成被倒角了的开口边缘部53a。此外，在本实施方式中，定位板50由硅基板构成，但是只要是担心会由于定位销 23的碰撞而产生碎屑的脆性材料即可，没有特别限定。作为这种脆性材料，可举出玻璃等。 另外，开口边缘部53a的倒角方法也不限于光刻法，也可以通过机械加工来形成。另外，如图5(b)以及(c)所示，定位孔51的开口边缘部5 未被倒角。S卩，在定位板50的背面呈现的开口是与定位销23内切的形状。通过设置这种未被倒角的开口边缘部53b，能够容易地把握定位孔51是否是以与定位销23内切的合适形状，大小来形成的。在表面，对台阶部M以及开口边缘部53a进行视认，因此难以准确地把握定位孔51的与定位销23内切的部分的大小、形状，与此相对在背面能够仅对定位孔51 (开口边缘部53b)进行视认。并且，定位板50的背面被镜面加工。由于背面被镜面加工，在对照定位板50的定位孔51与定位孔51以外的区域之际，能够更加容易、准确地把握定位孔51的大小、形状。如上述说明所示，能够防止在定位板50的开口边缘部53a产生碎屑。由此，能够防止定位板50的强度降低。另外，能够防止碎屑导致定位销23与定位孔51产生松动进而导致定位精度降低，从而进行高品质的打印。并且，能够防止定位板50产生碎片而形成微小的异物，因此能够防止该异物混入构成头主体10的部件彼此之间、墨水的流路等，进而降低打印品质。本实施方式涉及的喷墨式记录头1是头主体10以及子板30可相对底板20自由装卸，定位销23能够反复地插通于定位孔51的构成。该构成中，也如上所述，在定位板50 中难以产生碎屑，因此能够进行高品质的打印。
另外，这种本实施方式涉及的喷墨式记录头1能够应用于通过在与喷嘴列方向正交的方向输送记录用纸等记录媒体来进行对记录媒体的打印、所谓的行式的喷墨式记录装置等。例如，如图6所示的喷墨式记录装置I具备如上所述的头1、装置主体2、作为移动单元的一个例子的进纸辊3以及控制部4。头1具备由多个头主体10构成的头组100(在图6中，四个头主体10构成各头组 100)和保持该头组100的底板20。头1经由框架部件19被固定于装置主体2。另外，在装置主体2中设有进纸辊3。进纸辊3使供给至装置主体2的纸等记录片材S(被喷射介质)向第2方向输送，使记录片材S通过头1的墨水排出面侧。在此，第2 方向是指记录片材S与头1的相对移动方向。在本实施方式中，头1被固定于装置主体2， 因此通过进纸辊3输送记录片材S的方向是第2方向。后面，将第2方向称为输送方向。另外，在装置主体2中，设有贮存墨水的墨水贮存单元5，该墨水通过供给管6供给各头主体10。控制部4基于表示打字于记录片材S的图像的打印数据，对进纸辊3发送信号来输送记录片材S，并且通过未图示的配线对各头主体10发送驱动信号来排出墨水，详细情况后述。在这种喷墨式记录装置I中，通过进纸辊3在输送方向输送记录片材S，并且通过头1的头主体10排出墨水，对记录片材S打印图像等。另外，本实施方式涉及的头1不仅能够应用于图6所示的线式喷墨式记录装置，也能够应用于其他类型的喷墨式记录装置。例如，还能够应用于一边使搭载了头的滑动托架在与记录媒体的输送方向正交的方向移动一边进行打印的类型的喷墨式记录装置。〈实施方式2>在实施方式1中，第1部件是底板20，第2部件是定位板50，但是本发明不限于这种方式。例如，对于由多个部件构成的液体喷射头也能够应用本发明。图7是头的分解立体图，图8是穿过头的压力产生室的剖视图，图9是穿过头的定位孔的剖视图。基于图7 图9，说明实施方式2涉及的头1A。此外，本实施方式的头IA与实施方式1的头部件12相当。如图示所示，构成头IA的流路形成基板160(第2部件)在本实施方式中，由单晶硅基板构成，在其1个面中形成由二氧化硅构成的弹性膜150。在该流路形成基板160中， 由于从其另1个面侧进行各向异性蚀刻，因此被多个隔壁分隔的压力产生室162在宽度方向并列设置的列形成有2列。另外，在各列的压力产生室162的长边方向外侧，与设置于后述的贮液器形成基板180的贮液器部181连通，形成构成成为各压力产生室162的公共墨水室的贮液器200的连通部163。另外，连通部163通过供给路164与各压力产生室162 的长边方向一端部分别连通。即，在本实施方式中，作为形成于流路形成基板160的液体流路，设有压力产生室162、连通部163以及供给路164。另外，在流路形成基板160的开口面侧，形成有喷嘴开口 171的喷嘴板170 (第1部件)被粘结剂400固定。喷嘴板170的喷嘴开口 171在各压力产生室162的与供给路164 相反侧连通的位置被穿设。在本实施方式中，喷嘴板170由不锈钢(SUS)等金属基板形成。
另一方面，在流路形成基板160的与开口面相反侧，在弹性膜150上形成有压电元件300。在形成有压电元件300的流路形成基板160上，接合具有构成贮液器200的至少一部分的贮液器部181的贮液器形成基板180。该贮液器部181在本实施方式中，沿厚度方向贯通贮液器形成基板180，而遍及压力产生室162的宽度方向形成，如上所述构成与流路形成基板160的连通部163连通而成为各压力产生室162的共通的墨水室的贮液器200。另外，在贮液器形成基板180的与压电元件300对置的区域，设有具有不妨碍压电元件300运动的程度的空间的压电元件保持部182。并且，在贮液器形成基板180上设有用于驱动各压电元件300的由半导体集成电路(IC)等构成的驱动电路110。该驱动电路110的各端子通过未图示的压接线等与从各压电元件300的个别电极引出的引出配线连接。并且，驱动电路110的各端子通过柔性打印基板(FPC)等的外部配线111与外部连接，从外部通过外部配线111接收打印信号等各种信号。另外，在这种贮液器形成基板180上接合柔性(Compliance)基板140。在柔性基板140的与贮液器200对置的区域，用于对贮液器200供给墨水的墨水导入口 144通过在厚度方向贯通来形成。另外，柔性基板140的与贮液器200对置的区域的墨水导入口 144 以外的区域成为在厚度方向薄薄地形成的可挠部143，贮液器200被可挠部143密封。利用该可挠部143对贮液器200内给予柔量。另外，在柔性基板140上固定头盒230。头盒230与墨水导入口 144连通并且与外部的墨水供给部件(未图示)连通，设有将来自该墨水供给部件的墨水提供给墨水导入口 144的墨水供给连通路231。在该头盒 230中，在柔性基板140的与可挠部143对置的区域形成槽部232，得以适宜进行可挠部143 的挠曲变形。另外，在头盒230中，在与贮液器形成基板180上设置的驱动电路110对置的区域设有在厚度方向贯通的驱动电路保持部233，外部配线111插通驱动电路保持部233， 与驱动电路110连接。在构成头IA的各部件中，在角部的2个位置设有插入用于在组装时对各部件进行定位的定位销250的定位孔234A 234D。通过一边在定位孔234A 234D中插入定位销 250，进行各部件的相对定位，一边使部件彼此接合，头IA被一体地组装。这种本实施方式的喷墨式记录头IA使来自墨水供给部件的墨水经由墨水供给连通路231以及墨水导入口 144充满从贮液器200至喷嘴开口 171的内部，之后根据来自驱动电路110的记录信号，对与各压力产生室162对应的各个压电元件300施加电压，使弹性膜150以及压电元件300发生挠曲变形，由此各压力产生室162内的压力变高进而从喷嘴开口 171排出墨滴。在此，作为第2部件的一个例子的流路形成基板160由硅基板形成，定位孔234B 的插通定位销250的一侧的开口边缘部235B被倒角。这样，由于插通定位销250的开口边缘部235B被倒角，使得插通于作为第1部件的一个例子的喷嘴板170的定位孔234A的定位销250的顶端部通过被倒角的开口边缘部 235B被引导到定位孔234B内。由此，能够容易地将定位销250导入定位孔234B内，并且定位销250对开口边缘部235B的碰撞而导致的冲击得到缓和，能够防止在开口边缘部235B
产生碎屑、碎片。
在此，权利要求中的“配置于第1部件(喷嘴板170)的规定位置的定位销250”是指在本实施方式中，在对构成头IA的各部件进行定位时，在喷嘴板170的定位孔234A中插通的状态的定位销250。此外，在本实施方式中，定位销250在各部件被定位并被固定后，从定位孔234A 234D卸下，因此本实施方式涉及的头IA具备通过定位销250的插通，被定位并连通的定位孔234A 234D。另外，在本实施方式中，贮液器形成基板180由硅基板形成，定位孔234C的插通定位销250的一侧的开口边缘部235C也被倒角。由于开口边缘部235C被倒角，能够与上述流路形成基板160的情况同样地防止开口边缘部235C产生碎屑、碎片。此外，虽然没有特别图示，但是也可以是喷嘴板170由硅基板形成，对定位孔 234A的插通定位销250的一侧的开口边缘部进行倒角。<其他实施方式> 上面，说明了本发明的各实施方式，但是本发明的基本构成不限于上述实施方式。实施方式1涉及的开口边缘部53a、实施方式2涉及的开口边缘部235B、235C被倒角，但是倒角的种类没有特别限定，也可以是所谓的C倒角，也可以按照开口边缘部成为 R形状的方式来进行倒角。并且，本发明以广义上的全部液体喷射头为对象，例如也能够应用于打印机等图像记录装置所用的各种喷墨式记录头等记录头、液晶显示器等的滤色器的制造所用的色材喷射头、有机EL显示器、FED(场发射显示器)等的电极形成所用的电极材料喷射头、生物芯片制造所用的活体有机物喷射头等。
权利要求
1.一种液体喷射头，其特征在于具备第1部件和由脆性材料构成的第2部件，通过配置于所述第1部件的规定位置的定位销插通到形成于所述第2部件的定位孔来对所述第1部件与所述第2部件进行定位，仅所述定位孔的插通所述定位销的一侧的开口边缘部被倒角。
2.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于 具备具有排出液体的喷嘴开口的头主体，所述第1部件是设有所述定位销的底板，所述第2部件是形成有所述定位孔，并且按照所述喷嘴开口与所述定位孔的相对位置成为规定的配置的方式设置于所述头主体的定位板。
3.根据权利要求1或者2所述的液体喷射头，其特征在于 所述定位板的插通所述定位销的一侧的相反面被镜面加工。
4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的液体喷射头，其特征在于关于所述定位孔，通过对所述第2部件进行蚀刻来形成贯通孔，通过对该贯通孔的一方的开口边缘部周边进行半蚀刻来对该开口边缘部进行倒角。
5.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于 所述第1部件是设有排出液体的喷嘴开口的喷嘴板，所述第2部件是接合所述喷嘴板，并具备压力产生单元的流路形成基板，该压力产生单元具有与所述喷嘴开口连通的压力产生室并使该压力产生室产生压力变化， 所述定位孔形成于所述流路形成基板。
6.一种液体喷射装置，其具备权利要求1 5中的任意一项所述的液体喷射头。
全文摘要
本发明提供抑制由于定位销而在定位孔的开口边缘部产生碎片来提高打印品质的液体喷射头以及液体喷射装置。具备具有排出墨水的喷嘴开口的头主体10、设有定位销23的底板20、设有定位孔51并由硅基板构成的定位板50，通过将定位销23插通到定位孔51来将头主体10配置在底板20的规定位置，对定位孔51的插通定位销23的一侧的开口边缘部进行倒角。
文档编号B41J2/14GK102205716SQ20111006070
公开日2011年10月5日 申请日期2011年3月10日 优先权日2010年3月12日
发明者冈沢宣昭, 荒井澄夫, 萩原宽之, 野田洋平 申请人:精工爱普生株式会社