专利名称：包括液体分配元件的阵列的分配器的制作方法
技术领域：
本发明通常涉及流体分配器领域，具体地讲，涉及根据需要从连续液体流喷射一定量的液体的穿流式液滴分配器。
背景技术：
传统上，通过称为“按需滴墨”和“连续”喷墨印刷的两种技术中的一种来实现喷墨印刷。在这两种技术中均通过形成在印刷头中的沟槽来供应诸如油墨(墨水)的液体。每个沟槽包括喷嘴，从该喷嘴选择性地挤出小滴并沉积在记录表面上。按需滴墨印刷仅提供墨滴(常称为“印刷墨滴”)以作用于印刷介质上。致动器的选择性的启动使得落到印刷介质上的墨滴形成并喷射。通过控制各个墨滴的形成来实现印刷图像的形成。通常，在按需滴墨印刷中使用两种致动器中的一种:热致动器和压电致动器。对于热致动器，设置在与喷嘴相邻的便利位置处的加热器对油墨进行加热。这使得一定量的油墨相变为气态蒸汽泡，从而使得内部油墨压力充分升高以排出油墨小滴。对于压电致动器，对压电材料施加电场，该压电材料具有使得与喷嘴相邻的液室壁移位的特性，从而生成泵作用以排出油墨小滴。连续喷墨印刷使用加压的液体源，其生成墨滴流，选择一些墨滴接触印刷介质(常称为“印刷墨滴”)，而选择其他墨滴收集并循环使用或丢弃(常称为“非印刷墨滴”)。例如，当不需要印刷时，将墨滴偏转至捕获机构(通常称为捕集器、拦截器或隔条)中，并循环使用或丢弃。当需要印刷时，不使墨滴偏转，而是允许其落到印刷介质上。另选地，可允许偏转的墨滴落在印刷介质上，而将未偏振的墨滴收集在捕获机构中。结合按需滴墨印刷和连续印刷两方面的印刷系统也是已知的。这些系统常称为穿流式液滴分配器，与按需滴墨印刷系统相比，其液滴喷射频率增大，同时没有连续印刷系统那样的复杂。因此，不断需要努力提高穿流式液滴分配器的可靠性和性能。
发明内容
根据本发明的一方面，液体分配器包括设置在基底上的液体分配元件的阵列。每个液体分配元件包括设置在所述基底上的液体分配沟槽。所述液体分配沟槽包括设置在与所述基底相对的壁上的排放开口。分流构件与所述液体分配沟槽相关联。液体返回沟槽设置在所述基底上，与所述液体分配沟槽流体连通。液体供应沟槽设置在所述基底上，与所述液体分配沟槽流体连通。液体供应通道穿过所述基底延伸，与所述液体供应沟槽流体连通。液体返回通道穿过所述基底延伸，与所述液体返回沟槽流体连通。液体供应源提供液体，所述液体从每个液体供应沟槽通过每个液体分配元件流到每个液体返回沟槽。每个分流构件被选择性地启动，以使流过相关联的液体分配沟槽的一部分液体通过相关联的液体分配沟槽的排放开口分流，以分配液滴。
在下面对本发明示例实施例的详细描述中，将参照附图，其中:图1A和图1B是根据本发明的液体分配器的示例实施例的示意性横截面图；图2A和图2B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性平面图和示意性横截面图；图2C和图2D是图2A所示液体分配器的示意性横截面图，示出根据本发明的液体分配器的另外的示例实施例；图3A和图3B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性平面图和示意性横截面图；图4A和图4B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性平面图和示意性横截面图；图5A和图5B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性平面图和示意性横截面图；图6A和图6B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性平面图和示意性横截面图；图7A和图7B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性平面图和示意性横截面图；图8A和图SB分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性平面图和示意性横截面图；图9A和图9B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性平面图和示意性横截面图；图1OA和图1OB分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性平面图和示意性横截面图；图1lA和图1lB分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意性平面图；图12A和图12B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意性平面图；图13A和图13B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意性平面图；图14A和图14B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意性平面图；图15A和图15B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意性平面图；图16A和图16B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意性平面图；图17A和图17B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意性平面图；图18A和图18B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意性平面图；图19A和图19B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意性平面图；图20A和图20B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意性平面图；图21A和图21B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意性平面图；图22A和图22B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意性平面图；图23A和图23B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意性平面图；图24A和图24B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意性平面图；图25A和图25B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意性平面图；图26A和图26B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意性平面图；图27A和图27B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意性平面图；图28A和图28B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意性平面图；图29A和图29B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意性平面图；图30A和图30B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意性平面图；图31A和图31B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意性平面图；图32A和图32B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意性平面图；图33A和图33B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和不意图；图34A和图34B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和不意图；图35A和图35B分别是根据本发明的液体分配器的另一示例实施例的示意性横截面图和示意图。
具体实施例方式当前的描述将具体涉及形成根据本发明的设备的部件的元件或者更直接地与所述设备协作的元件。将理解，未具体示出或描述的元件可采取本领域技术人员熟知的各种形式。在下面的描述和附图中，只要可能就使用相同的标号来指代相同的元件。为了清晰起见，示意性地示出本发明的示例实施例，而未按比例。本领域普通技术人员将能够容易地确定本发明示例实施例的元件的具体尺寸和相互连接。如本文所述，本发明的示例实施例提供一种液体分配器(常称为印刷头)，其尤其可用于从印刷头朝着印刷介质喷射墨滴的数控喷墨印刷装置中。然而，出现了类似于喷墨印刷头的许多使用液体分配器的其他应用，其喷出不同于油墨的液体，所述液体需要以高空间精度精细计量并沉积。因此，如本文所述，术语“液体”和“油墨”可互换使用，是指能够由下述液体分配器的示例实施例喷射的任何材料，不仅是喷墨油墨。参照图1A和图1B，示出根据本发明的液体分配器10的示例实施例。液体分配器10包括液体供应沟槽11，该液体供应沟槽11通过液体分配沟槽12与液体返回沟槽13流体连通。液体分配沟槽12包括分流构件20。液体供应沟槽11包括出口 21，而液体返回沟槽13包括入口 38。液体分配沟槽12包括由上游边缘18和下游边缘19限定的排放开口 26，其直接向大气环境开放。排放开口 26不同于传统喷嘴，因为排放开口 26的面积不决定喷射液滴的大小。相反，分流构件20的致动决定喷射液滴15的大小(体积)。通常，所形成的液滴的大小与通过分流构件20的致动而移位的液体量成比例。排放开口 26的上游边缘18也至少部分地限定液体供应沟槽11的出口 21，而排放开口 26的下游边缘19也至少部分地限定液体返回沟槽13的入口 38。由本发明的液体分配器10喷射的液体不需要经过通常面积较小的传统喷嘴，这有助于降低排放开口 26被颗粒污物污染或阻塞的可能性。利用较大的排放开口 26 (相比于传统喷嘴)还减少了在液滴未被喷射时的时间段内至少部分地由喷嘴中的蒸发引起的潜在问题。较大的排放开口 26还降低了在液滴喷射过程中由于生成尾长较短的液滴而形成跟随液滴的可能性。例如设置在基底39上或基底39中的与液体分配沟槽12相关联的分流构件20能够被选择性地致动，以将一部分液体25朝向液体分配沟槽12的排放开口 26并使其通过液体分配沟槽12的排放开口 26分流，以便形成液滴15并喷射液滴15。分流构件20可包括加热器，或者可利用热来致动。如图1A和图1B所示，分流构件20包括加热器，所述加热器使流过液体分配沟槽12的一部分液体汽化，以使得另一部分液体朝着排放开口 26分流。这种类型的加热器通常成为“气泡喷射”加热器。另选地，分流构件20可包括加热器，例如双层或三层热微型致动器，其在致动过程中能够选择性地进出液体分配沟槽12，以使流过液体分配沟槽12的一部分液体朝着排放开口 26分流。这些类型的致动器是已知的，在下列共同转让的美国专利的至少一个或多个中有所描述:US6，464，341B1 ；US6, 588，884B1 ；US6,598,960B1 ；US6,721, 020B1 ；US6,817, 702B2 ；US7,073, 890B2 ；US6, 869, 169B2 ；US7, 188，931B2。如图1A和图1B所示，液体供应沟槽11、液体分配沟槽12和液体返回沟槽13部分地由基底39的多个部分限定。基底39的这些部分也可称为液体供应沟槽11、液体分配沟槽12和液体返回沟槽13的一个或多个的壁。壁40限定排放开口 26，还部分地限定液体供应沟槽11、液体分配沟槽12和液体返回沟槽13。基底39的多个部分还限定液体供应通道42和液体返回通道44。同样，基底39的这些部分可称为液体供应通道42和液体返回通道44的壁。如图1A和图1B所示，液体供应通道42和液体返回通道44垂直于液体供应沟槽
11、液体分配沟槽12和液体返回沟槽13。
液体供应源24与液体分配器10流体连通地连接。液体供应源24向液体分配器10提供液体25。在操作过程中，通过调节压力供应源16 (例如，泵)加压的液体25以连续方式从液体供应源24流过液体供应通道42、流过液体供应沟槽11、流过液体分配沟槽12、流过液体返回沟槽13、流过液体返回通道44、并流回液体供应源24 (由箭头27表示)。当想要液体25的墨滴15时，分流构件20被致动以使得液体分配沟槽12中的一部分液体25朝着排放开口 26并通过其喷射。通常，调节压力供应源16流体连通地设置在液体供应源24和液体供应沟槽11之间，并提供高于大气压的正压。可选地，在液体分配器10的液体输送系统中可包括调节真空供应源17(例如，泵)，以便更好地控制液体流过液体分配器10。通常，调节真空供应源17流体连通地设置在液体返回沟槽13和液体供应源24之间，并提供低于大气压的真空(负压)。可选地，液体返回沟槽13或液体返回通道44可包括多孔构件22 (例如，过滤器)，其除了提供对流过液体分配器10的液体的颗粒过滤之外，还帮助适应与分流构件20的致动以及朝着排放开口 26并通过排放开口 26偏转的一部分液体25相关的液体返回沟槽13中的液体流动和压力变化。这降低了在分流构件20致动过程中液体溢出液体分配沟槽12的排放开口 26的可能性。当液体分配器10中包括多孔构件22时，还降低了将空气抽吸到液体返回通道44中的可能性。多孔构件22通常在用于加工液体分配器10的制造工艺期间一体地形成在液体返回沟槽13中。另选地，多孔构件22可由金属或聚合材料制成，并插入液体返回沟槽13中或附连到限定液体返回沟槽13的一个或多个壁。如图1A和图1B所示，多孔构件22设置在液体返回沟槽13中的液体返回沟槽13和液体返回通道44相交的区域中。因此，可以说液体返回通道44包括多孔构件22或者液体返回沟槽13包括多孔构件22。另选地，多孔构件22可设置在液体返回通道44中的如图1A和图1B所示位置的下游。无论多孔构件22 —体地形成还是单独加工，多孔构件22的孔可具有基本上均匀的孔尺寸。另选地，多孔构件22的孔的孔尺寸可具有梯度，从而能够更有效地适应流过液体分配器10的液体(例如，当从液体行进方向上看时，多孔构件22的上游部分的孔尺寸较大(另选地，孔尺寸较小)，而多孔构件22的下游部分处的尺寸减小(另选地，增大))。多孔构件22的孔的具体构造通常取决于预期的特定应用。下面更详细地讨论本发明这一方面的示例实施例。通常，多孔构件22的位置根据预期的特定应用而变化。如图1A和图1B所示，多孔构件22与液体25在液体分配沟槽12中的流动方向27平行地设置在液体返回沟槽13中，使得多孔构件22的开口(孔)的中心轴线基本上垂直于液体分配沟槽中的液体流27。多孔构件22设置在液体返回沟槽13中，位于与液体分配沟槽12的排放开口 26间隔开的位置处。多孔构件22还设置在液体返回沟槽13中，位于与液体分配沟槽12的排放开口 26的下游边缘19相邻的位置处。如上所述，由于大气压与上述调节真空供应源17所提供的负压之差小于多孔构件22的弯液面压力，所以降低了空气被抽吸到液体返回通道44中的可能性。另外,液体返回沟槽13包括通风口(vent) 23，其使液体返回沟槽13向大气环境开放。通风口 23有助于适应与分流构件20的致动以及朝着排放开口 26并通过排放开口 26偏转的一部分液体25相关的液体返回沟槽13中的液体流动和压力变化。这降低了在分流构件20致动过程中液体溢出液体分配沟槽12的排放开口 26的可能性。在液体溢出排放开口 26的情况下，通风口 23还用作为任何溢出的液体提供返回液体返回沟槽13的路径的排放口。因此，术语“通风口 ”和“排放口 ”在本文中可互换使用。液体分配器10通常利用已知的半导体制造技术(例如，CMOS电路制造技术、微机电结构(MEMS)制造技术或其组合)由半导体材料(例如，娃)形成。另选地，液体分配器10可利用本领域已知的任何制造技术由任何材料形成。本发明的液体分配器与传统按需滴墨印刷头类似，仅在需要时形成墨滴，从而无需引水槽，也无需墨滴偏转机构以将形成的一些墨滴引导向引水槽，而将其他墨滴引导向印刷接收介质。本发明的液体分配器使用液体供应源向印刷头供应加压的液体(例如，油墨)。供应的油墨压力用作喷射墨滴的主要原动力，以使得大多数墨滴动力由油墨供应源提供，而非由喷嘴处的墨滴喷射致动器提供。参照图2A-2D并返回参照图1A和图1B，示出液体分配器10的另外的示例实施例。在图2A，液体分配器10的平面图中，壁46和壁48限定在垂直于液体流27 (示出于图2B中)的方向上看时液体分配沟槽12的宽度，以及在垂直于液体流27 (示出于图2B中)的方向上看时液体供应沟槽11和液体返回沟槽13的宽度。另外，图2A还示出相对于液体分配沟槽12的长度和宽度，排放开口 26的在沿着液体流27 (示出于图2B中)的方向上看时长度以及在垂直于液体流27 (示出于图2B中)的方向上看时的宽度。在图2B-2D中，示出分流构件20相对于液体供应沟槽11的出口 21和排放开口 26的上游边缘18的位置。在图2B中，分流构件20的上游边缘50位于液体供应沟槽11的出口 21和排放开口 26的上游边缘18处。分流构件20的下游边缘52位于排放开口 26的下游边缘19和液体返回沟槽13的入口 38的上游。在图2C中，分流构件20的上游边缘50位于液体分配沟槽12中，在液体供应沟槽11的出口 21和排放开口 26的上游边缘18下游。分流构件20的下游边缘52位于排放开口 26的下游边缘19和液体返回沟槽13的入口 38的上游。在图2D中，分流构件的上游边缘50位于液体供应沟槽11中，在液体供应沟槽11的出口 21和排放开口 26的上游边缘18的上游。分流构件20的下游边缘52位于排放开口 26的下游边缘19和液体返回沟槽13的入口 38的上游。根据预期应用，分流构件20与出口 21和入口 38的相对位置可用于控制或调节喷射液滴15的特性(例如，轨迹角度、体积或速度)。参照图3A-7B并返回参照图1A和图2A-2D，示出液体分配器10的另外的示例实施例。如图2B-2D、图3B、图4B、图5B、图6B和图7B所示，限定排放开口 26的壁40包括表面54。表面54可以是内表面54A或外表面54B。在通过液体分配沟槽12的液体流27的方向上看时,排放开口 26的下游边缘19垂直于液体分配沟槽12的壁40的表面54。排放开口 26的下游边缘19可包括其他特征。例如，如图2A和图5A所示，在垂直于壁40的表面54的方向上看时，排放开口 26的下游边缘19的中心部分是笔直的。当下游边缘19的中心部分笔直时，下游边缘19的拐角56可以是圆的，以提供机械稳定性并减少壁40中由应力引起的开裂。然而，据信，更优选的是如图3A和图6A所示，在垂直于壁40的表面54的方向上看时，将排放开口 26的下游边缘19构造为包括曲率半径，以便改善液体分配器10的液滴喷射性能。沿着曲线的弧在不同的位置处曲率半径可不同。从这种意义上讲，所述曲率半径可包括多个曲率半径。在垂直于液体分配沟槽12的壁40的表面54的方向上看时，排放开口 26沿着穿过液体分配沟槽12的液体流27的方向包括中心线58。在垂直于液体分配沟槽12的壁40的表面54的方向上看时，液体分配沟槽12沿着穿过液体分配沟槽12的液体流27的方向包括中心线60。在本发明的一些示例实施例中，液体分配沟槽12和排放开口 26共享此中心线58、60。据信，还更优选的是将排放开口 26的下游边缘19构造为使得其朝着排放开口 26的中心线58呈锥形，如图4A和图7A所示，以便改善液体分配器10的液滴喷射性能。在垂直于壁40的表面54的方向上看时，锥形的顶点62可包括曲率半径，以提供机械稳定性并减少壁40中由应力引起的开裂。在一些示例实施例中，排放开口 26的总体形状相对于排放开口 26的中心线58对称。在其他示例实施例中，液体分配沟槽12的总体形状相对于液体分配沟槽12的中心线60对称。然而，据信，当液体分配沟槽12的总体形状和排放开口 26的总体形状相对于共享的中心线58、60对称时可实现最佳液滴喷射性能。液体分配沟槽12包括与通过液体分配沟槽12的液体流27的方向垂直的宽度64。排放开口 26还包括与通过液体分配沟槽12的液体流27的方向垂直的宽度66。排放开口26的宽度66小于液体分配沟槽12的宽度64。在本文所述本发明的示例实施例中，在相对于分流构件20的下游位置处液体分配沟槽12的宽度64较大。另外，液体返回沟槽13比液体分配沟槽12在液体分配沟槽12的上游边缘18处的宽度宽。液体返回沟槽13也比液体供应沟槽11在其出口 21处的宽度宽。这一特征有助于控制液体在排放开口 26中的弯液面高度，以减少或者甚至防止液体溢出。然而，排放开口 26的宽度66可变化。例如在图2A、图3A和图4A所示的示例实施例中，排放开口 26的宽度66沿着排放开口 26的长度保持恒定，直到遇到排放开口的下游边缘19为止。在图5A、图6A和图7A所示的示例实施例中，与分流构件20附近的位置处排放开口 26的宽度66相比，在相对于分流构件20的下游位置且相对于排放开口的下游边缘19的上游位置处，排放开口 26的宽度66较大。据信，这种构造有助于实现最佳液滴喷射性能。尽管如上面参照图2A-2D所述，分流构件20的位置可变化，但在本发明的一些示例实施例中，在从垂直于液体分配沟槽12的壁40的表面54的方向上看时，分流构件20可设置为与排放开口 26的下游边缘19间隔开一定距离，所述距离介于大于或等于液体分配沟槽12的宽度64的0.5x和小于或等于液体分配沟槽12的宽度64的2.5x的范围之间。同样，据信，此分流构件20的位置有助于实现最佳液滴喷射性能。返回参照图1A、图2A-2D和图3A-7B，将描述从液体分配器喷射液体的方法。提供包括液体供应沟槽、液体分配沟槽和液体返回沟槽的液体分配器。液体分配沟槽包括壁。所述壁包括表面。所述壁的一部分限定排放开口，所述排放开口包括相对于通过液体分配沟槽的液体流的方向的下游边缘。所述下游边缘垂直于液体分配沟槽的所述壁的所述表面。提供从液体供应沟槽通过液体分配沟槽流向液体返回沟槽的液体。通过选择性地致动分流构件以使一部分流动液体通过液体分配沟槽的排放开口分流，使得液滴从液体分配沟槽的排放开口喷射。选择性地致动分流构件以使一部分流动液体通过液体分配沟槽的排放开口的分流可包括:对流过液体分配沟槽的一部分液体施加热。提供从液体供应沟槽通过液体分配沟槽流向液体返回沟槽的液体可包括:提供充分加压的液体，以使得液体以连续方式从液体供应沟槽通过液体分配沟槽流向液体返回沟槽。另外，提供液体分配器可包括:提供包括上述任一个或彼此组合的任意多个示例实施例的液体分配器。参照图8A-10B并返回参照图1B和图2A-2D，示出液体分配器10的另外的示例实施例。如图8B、图9B和图1OB所示，限定排放开口 26的壁40包括表面54。表面54可以是内表面54A或外表面54B。在通过液体分配沟槽12的液体流27的方向上看时，排放开口26的下游边缘19相对于液体分配沟槽12的壁40的表面54倾斜(成角度)。排放开口 26的下游边缘19可包括其他特征。例如，如图8A所示，当从垂直于壁40的表面54的方向上看时，排放开口 26的下游边缘19的中心部分为笔直的。当下游边缘19的中心部分笔直时，下游边缘19的拐角56可以是圆的(可倒角)，以提供机械稳定性并减少壁40中由应力引起的开裂。然而，据信，更优选的是如图9A所示，在垂直于壁40的表面54的方向上看时，将排放开口 26的下游边缘19的中心部分构造为包括曲率半径，以便改善液体分配器10的液滴喷射性能。沿着曲线的弧在不同的位置处曲率半径可不同。从这种意义上讲，所述曲率半径可包括多个曲率半径。从垂直于液体分配沟槽12的壁40的表面54的方向上看时，排放开口 26沿着通过液体分配沟槽12的液体流27的方向包括中心线58。从垂直于液体分配沟槽12的壁40的表面54的方向上看时，液体分配沟槽12沿着通过液体分配沟槽12的液体流27的方向包括中心线60。在本发明的一些示例实施例中，液体分配沟槽12和排放开口 26共享此中心线58、60。据信，还更优选的是将排放开口 26的下游边缘19构造为使得其朝着排放开口 26的中心线58呈锥形，如图1OA所示，以便改善液体分配器10的液滴喷射性能。从垂直于壁40的表面54的方向上看时，锥形的顶点62可包括曲率半径。在一些示例实施例中，排放开口 26的总体形状相对于排放开口 26的中心线58对称。在其他示例实施例中，液体分配沟槽12的总体形状相对于液体分配沟槽12的中心线60对称。然而，据信，当液体分配沟槽12的总体形状和排放开口 26的总体形状相对于共享的中心线58、60对称时可实现最佳液滴喷射性能。液体分配沟槽12包括与通过液体分配沟槽12的液体流27的方向垂直的宽度64。排放开口 26也包括与通过液体分配沟槽12的液体流27的方向垂直的宽度66。排放开口26的宽度66小于液体分配沟槽12的宽度64。在本文所述本发明的示例实施例中，在相对于分流构件20的下游位置处液体分配沟槽12的宽度64较大。另外，液体返回沟槽13比液体分配沟槽12在液体分配沟槽12的上游边缘18处的宽度宽。液体返回沟槽13也比液体供应沟槽11在其出口 21处的宽度宽。这一特征有助于控制液体在排放开口 26中的弯液面高度，以减少或者甚至防止液体溢出。在图8A、图9A和IOA所示的示例实施例中，与分流构件20附近的位置处排放开口26的宽度66相比，在相对于分流构件20的下游位置且相对于排放开口的下游边缘19的上游位置处，排放开口 26的宽度66较大。据信，这种构造有助于实现最佳液滴喷射性能。然而，包括排放开口 26的倾斜的下游边缘19的替代示例实施例可包括这样的排放开口 26，其宽度66沿着排放开口 26的长度保持恒定，直到遇到排放开口的下游边缘19。这些替代示例实施例类似于上面参照图2A、3A和图4A所描述的那些，不同的是下游边缘19相对于壁的表面54倾斜。尽管如上面参照图2A-2D所述，分流构件20的位置可变化，但在本发明的一些示例实施例中，在从垂直于液体分配沟槽12的壁40的表面54的方向上看时，分流构件20可设置为与排放开口 26的下游边缘19间隔开一定距离，所述距离介于大于或等于液体分配沟槽12的宽度64的0.5x且小于或等于液体分配沟槽12的宽度64的2.5x的范围之间。同样，据信，此分流构件20位置有助于实现最佳液滴喷射性能。返回参照图1B、图2A-2D和图8A-10B，将描述从液体分配器喷射液体的另一方法。提供包括液体供应沟槽、液体分配沟槽和液体返回沟槽的液体分配器。液体分配沟槽包括壁。所述壁包括表面。所述壁的一部分限定排放开口，所述排放开口包括相对于通过液体分配沟槽的液体流的方向的下游边缘。所述下游边缘相对于液体分配沟槽的所述壁的所述表面倾斜。提供从液体供应沟槽通过液体分配沟槽流向液体返回沟槽的液体。通过选择性地致动分流构件以使一部分流动液体通过液体分配沟槽的排放开口分流，使得液滴从液体分配沟槽的排放开口喷射。选择性地致动分流构件以使一部分流动液体通过液体分配沟槽的排放开口被分流可包括:对流过液体分配沟槽的一部分液体施加热。提供从液体供应沟槽通过液体分配沟槽流向液体返回沟槽的液体可包括:提供充分加压的液体，以使得液体以连续方式从液体供应沟槽通过液体分配沟槽流向液体返回沟槽。另外，提供液体分配器可包括:提供包括上述任一个或彼此组合的任意多个示例实施例的液体分配器。返回参照图1A-10B，将讨论根据本发明的液体分配器10的另一示例实施例。如图2B-2D、图3B、图4B、图5B、图6B、图7B、图8B、图9B和图1OB所示，限定排放开口 26的壁40包括表面54。表面54可以是壁40的内表面54A或壁40的外表面54B。在通过液体分配沟槽12的液体流27的方向上看时，排放开口 26的上游边缘18包括在垂直于液体分配沟槽12的壁40的表面54的方向上看时的曲率半径。据信，提供具有曲率半径的上游边缘18有助于强化壁40，由此降低操作过程中壁疲劳或壁开裂的可能性。排放开口 26的上游边缘18可包括其他特征。例如，如图2B-2D、图3B、图4B、图5B、图6B和图7B所示，排放开口 26的上游边缘18可垂直于液体分配沟槽12的壁40的表面54。另选地，如图8B、图9B和图1OB所示，排放开口 26的上游边缘18可相对于液体分配沟槽12的壁40的表面54倾斜。如图1A、图2A、图4A、图5A、图6A、图7A、图8A、图9A和图1OA所示，在从方向垂直于液体分配沟槽12的壁40的表面54的方向上看时，上游边缘18包括圆形形状。然而，在从方向垂直于液体分配沟槽12的壁40的表面54的方向上看时，上游边缘18的替代示例实施例(例如，图3A所示的示例实施例)可包括长方形形状。上游边缘18的拐角57可以是圆形的以提供机械稳定性。从垂直于液体分配沟槽12的壁40的表面54的方向上看时，排放开口 26沿着通过液体分配沟槽12的液体流27的方向包括中心线58。在包括设置有曲率半径的上游边缘18的一些示例实施例中，排放开口 26的总体形状相对于排放开口 26的中心线58对称。如上面参照图2A-2D所述，分流构件20的位置可变化。在包括设置有曲率半径的上游边缘18的液体分配器10的示例实施例中，分流构件20的位置也可变化。例如，如图2B所示，在从垂直于液体分配沟槽12的壁40的表面54的方向上看时，分流构件20的上游边缘50 (前缘)可与排放开口 26的上游边缘18的曲率半径的中心68对齐。另选地，如图2C和图2D所示，在从垂直于液体分配沟槽12的壁40的表面54的方向上看时，分流构件20上游边缘50 (前缘)和排放开口 26的上游边缘18的曲率半径的中心68可相对于彼此偏移。例如，分流构件20的上游边缘50可位于液体分配沟槽12中，在排放开口 26的上游边缘18的曲率半径的中心68的下游。另选地，分流构件20的上游边缘50可位于液体供应沟槽11中，在排放开口 26的上游边缘18的曲率半径的中心68的上游。返回参照图1A-10B，将描述从液体分配器喷射液体的另一方法。提供包括液体供应沟槽、液体分配沟槽和液体返回沟槽的液体分配器。液体分配沟槽包括壁。所述壁包括表面。所述壁的一部分限定排放开口，所述排放开口包括相对于通过液体分配沟槽的液体流的方向的上游边缘。从垂直于所述壁的所述表面的方向上看时，所述上游边缘包括曲率半径。提供从液体供应沟槽通过液体分配沟槽流向液体返回沟槽的液体。通过选择性地致动分流构件以使一部分流动液体通过液体分配沟槽的排放开口分流，使得液滴从液体分配沟槽的排放开口喷射。选择性地致动分流构件以使一部分流动液体通过液体分配沟槽的排放开口被分流可包括:对流过液体分配沟槽的一部分液体施加热。提供从液体供应沟槽通过液体分配沟槽流向液体返回沟槽的液体可包括:提供充分加压的液体，以使得液体以连续方式从液体供应沟槽通过液体分配沟槽流向液体返回沟槽。另外，提供液体分配器可包括:提供包括上述任一个或彼此组合的任意多个示例实施例的液体分配器。参照图11A-18B并返回参照图1A和图1B，示出包括本发明另一方面的液体分配器10的示例实施例。如图1A和图18B所示,液体返回通道44的尺寸大于液体供应通道42的尺寸。据信，这一特征有助于适应液体返回沟槽13中的液体流动和压力变化，从而降低液体溢出液体分配沟槽12的排放开口 26的可能性。如图11A-18B所示，液体返回通道44包括多个单独的液体返回通道44A、44B、44C。液体返回通道44的总(合计)尺寸仍大于液体供应通道42的尺寸，但单独的液体返回通道44A、44B、44C的尺寸和形状近似等于液体供应通道42的尺寸和形状。据信，这一特征不仅适应液体返回沟槽13中的液体流动和压力变化，以降低液体溢出液体分配沟槽12的排放开口 26的可能性，而且还有利于液体分配器10的制造并改善从分流构件20向流过单独的液体返回通道44A、44B、44C的液体的热消散。如上所述，壁40的一部分限定排放开口 26。在液体流27的方向上看时，壁40的另一部分限定位于壁40中排放开口 26的下游的排放口 23。排放口 23 (也称为通风口)是壁40中的适当成形的通孔。在上面参照图11A-18B描述的排放口 23的示例实施例中，从垂直于壁40的方向上看时，排放口 23包括曲率半径。壁40包括表面54,其可为壁40的内表面54A或壁40的外表面54B。如上所述，从垂直于液体分配沟槽12的壁40的表面54的方向上看时，排放开口 26沿着通过液体分配沟槽12的液体流27的方向包括中心线58。排放开口 26的总体形状相对于排放开口 26的中心线58对称。从垂直于液体分配沟槽12的壁40的表面54的方向上看时，排放口 23沿着通过液体分配沟槽12的液体流27的方向还包括中心线70。在本发明的一些示例实施例中，排放开口 26和排放口 23共享此中心线58、70。在本发明这一方面的一些示例实施例中，排放口 23的总体形状相对于液体分配沟槽12的中心线70对称。然而，据信，当排放开口 26的形状和排放口 23的形状相对于共享的中心线58、70对称时可实现最佳液滴喷射性能。排放口 23可包括单个通孔(开口)，如图11A-17B所示。另选地，排放口 23可在壁40中包括多个分立的通孔(开口)，如图18A和图18B所示，从垂直于壁40的方向上看时，排放口 23的全部或一部分可为圆形形状，如图11A-18B所示。从垂直于壁40的方向上看时排放口 23的形状可在通过液体分配沟槽12的液体流27的方向上伸长，如图11A-18B所示。当液体返回通道44以这样的方式构造时，排放口 23的伸长可跨越一个以上单独的液体返回通道44A、44B、44C。从垂直于液体分配沟槽12的壁40的表面54的方向上看时，排放口 23的宽度78可沿着通过液体分配沟槽12的液体流27的方向变化，如图15A-16B所示。另选地，从垂直于液体分配沟槽12的壁40的表面54的方向看时，排放口 23的宽度78可沿着通过液体分配沟槽12的液体流27的方向保持恒定，如图11A-14B、图18A和图18B所示。排放口 23可包括其他特征。例如，如图11A、图12A、图13A、图14A、图15A、图16A和图18A所示，排放口 23的壁74可垂直于液体分配沟槽12的壁40的表面54。另选地，如图17A所示，排放口 23的壁74可相对于液体分配沟槽12的壁40的表面54倾斜。如图11B、图12B、图13B、图14B、图15B、图16B、图17B和图18B所示，排放口 23的上游边缘72可包括曲率半径。在一些示例实施例，例如，图13B和图14B所示那些实施例中，此曲率半径为第一曲率半径，而排放口 23的下游边缘73包括不同于第一曲率半径的第二曲率半径。在其他示例实施例，例如，图1lB和图17B所示那些实施例中，第二曲率半径与第一曲率半径相同。另选地，如图12B、图15B和图16B所示，下游边缘73笔直，不具有曲率半径。下游边缘73的拐角76可以是圆的以提供机械稳定性。返回参照图1A、图1B和图11A-18B，将描述从液体分配器喷射液体的另一方法。提供包括液体供应沟槽、液体分配沟槽和液体返回沟槽的液体分配器。液体分配沟槽包括壁。所述壁包括表面。所述壁的一部分限定排放开口。所述壁的另一部分限定排放口，所述排放口位于所述壁中排放开口的下游。从垂直于所述壁的方向上看时，所述排放口包括曲率半径。提供从液体供应沟槽通过液体分配沟槽流向液体返回沟槽的液体。通过选择性地致动分流构件以使一部分流动液体通过液体分配沟槽的排放开口被分流，使得液滴从液体分配沟槽的排放开口喷射。选择性地致动分流构件以使一部分流动液体通过液体分配沟槽的排放开口分流可包括:对流过液体分配沟槽的一部分液体施加热。提供从液体供应沟槽通过液体分配沟槽流向液体返回沟槽的液体可包括:提供充分加压的液体，以使得液体以连续方式从液体供应沟槽通过液体分配沟槽流向液体返回沟槽。另外，提供液体分配器可包括:提供包括上述任一个或彼此组合的任意多个示例实施例的液体分配器。参照图19A-24B并返回参照图11A-18B、图1A和图1B，示出包括本发明另一方面的液体分配器10的示例实施例。如图19A-24B和图11A-18B所示,液体返回通道44包括多个单独的液体返回通道44A、44B、44C。液体返回通道44的总(合计)尺寸仍大于液体供应通道42的尺寸，但单独的液体返回通道44A、44B、44C的尺寸和形状近似等于液体供应通道42的尺寸和形状。据信，这一特征不仅适应液体返回沟槽13中的液体流动和压力变化，从而降低液体溢出液体分配沟槽12的排放开口 26的可能性，而且还有利于液体分配器10的制造并改善从分流构件20向流过单独的液体返回通道44A、44B、44C的液体的热消散。在图19A-24B中，每个“B”图中移除了排放口 23以便能够更清楚地看到单独的液体返回通道44A、44B、44C。液体分配沟槽12包括第一壁40。第一壁40的一部分限定排放开口 26。液体分配沟槽12包括与第一壁40相对的第二壁80。液体分配沟槽12的第二壁80沿着液体供应沟槽11的一部分并沿着液体返回沟槽13的一部分延伸。液体供应通道42延伸穿过第二壁80，并与液体供应沟槽11流体连通。多个液体返回通道44A、44B (以及44C，如图24A和图24B所示)延伸穿过第二壁80并与液体返回沟槽13流体连通。液体供应源24 (示出于图1A和图1B中)提供从液体供应通道42、通过液体供应沟槽11、通过液体分配沟槽12、并通过液体返回沟槽13流向多个液体返回通道44A、44B (以及44C，如图24A和图24B所示)的液体。分流构件20选择性地使一部分流动液体通过液体分配沟槽12的排放开口 26分流。如图11A-24B所示，从垂直于液体分配沟槽12的第一壁40的方向看时，多个液体返回通道44A、44B (以及44C，如图24A和图24B所示)可相对于沿着通过液体分配沟槽12的液体流27的方向设置的中心线70 (例如，示出于图1lB和图18B中)对齐。各个单独的液体返回通道44A、44B、44C的面积基本上等于其他液体返回通道44A、44B、44C的面积。液体供应通道42的面积也基本上等于多个液体返回通道44A、44B、44C中的一个(或多个)的面积。因此，液体返回通道44A、44B、44C的总(合计)面积大于液体供应通道42的面积。多个液体返回通道44A、44B、44C中的至少一个包括多孔构件22。例如，如图19A和图19B所示，液体返回通道44A和44B均包括多孔构件22。然而，如图22A和图22B所示，仅液体返回通道44B包括多孔构件22。多孔构件22中所包括的多个孔的特性可根据液体分配器10的具体应用而改变。例如，如图23A和图23B所示，设置在液体返回通道44A和44B中的多孔构件22中的多个孔的每一个具有基本上彼此相同的尺寸。在图23A和图23B中，液体供应通道42包括多孔构件22。另选地，多孔构件22可包括多个孔，其中孔尺寸变化。例如，如图20A和图20B所示，设置在液体返回通道44A中的多孔构件22的孔尺寸不同于设置在液体返回通道44B中的多孔构件22的孔尺寸。在图20A和图20B中，设置在液体返回通道44A中的多孔构件22的孔尺寸和设置在液体返回通道44B中的多孔构件22的孔尺寸沿着通过液体分配沟槽12的液体流27的方向单一变化。孔尺寸变化可出现于单个多孔构件22的孔中。如图21A和图21B所示，设置在液体返回通道44A中的多孔构件22的孔尺寸在多孔构件22内变化。在图21A和图21B中，在设置在液体返回通道44B中的多孔构件22内孔尺寸沿着通过液体分配沟槽12的液体流27的方向单一变化。当多个液体返回通道中的两个的至少每一个，例如，当液体返回通道44A、44B或44C中的至少两个包括多孔构件22时，孔可具有如图24A和图24B所示的相同的孔尺寸，或者可具有不同的孔尺寸。另选地，每个多孔构件22可包括不同于另一多孔构件22的液体流阻抗。返回参照图1A、图1B和图11A-24B，将描述从液体分配器喷射液体的另一方法。提供包括液体供应沟槽、液体分配沟槽和液体返回沟槽的液体分配器。液体分配沟槽包括第一壁。第一壁的一部分限定排放开口。液体分配沟槽包括与第一壁相对的第二壁。液体分配沟槽的第二壁沿着液体供应沟槽的一部分并沿着液体返回沟槽的一部分延伸。提供延伸穿过第二壁并与液体供应沟槽流体连通的液体供应通道。提供延伸穿过第二壁并与液体返回沟槽流体连通的多个液体返回通道。提供从液体供应通道、通过液体供应沟槽、通过液体分配沟槽、通过液体返回沟槽流向所述多个液体返回通道的液体。通过选择性地致动分流构件以分流一部分流动液体使其通过液体分配沟槽的排放开口，使得从液体分配沟槽的排放开口喷射液滴。选择性地致动分流构件以使一部分流动液体通过液体分配沟槽的排放开口分流可包括:对流过液体分配沟槽的一部分液体施加热。提供从液体供应沟槽通过液体分配沟槽流向液体返回沟槽的液体可包括:提供充分加压的液体，以使得液体以连续方式从液体供应沟槽通过液体分配沟槽流向液体返回沟槽。另外，提供液体分配器可包括:提供包括上述任一个或彼此组合的任意多个示例实施例的液体分配器。参照图24A和图24B并返回参照图1A和图1B，示出包括本发明另一方面的液体分配器10的示例实施例。液体分配沟槽12包括第一壁40。第一壁40包括表面54 (内表面54A或外表面54B)。第一壁40的一部分限定排放开口 26。液体分配沟槽12包括与第一壁40相对的第二壁80。液体分配沟槽12的第二壁80沿着液体供应沟槽11的一部分并沿着液体返回沟槽13的一部分延伸。液体供应通道42延伸穿过第二壁80并与液体供应沟槽11流体连通。多个液体返回通道44A、44B和44C延伸穿过第二壁80并与液体返回沟槽13流体连通。液体供应源24 (示出于图1A和图1B中)提供从液体供应通道42通过液体供应沟槽11、通过液体分配沟槽12、通过液体返回沟槽13流向多个液体返回通道44A、44B和44C的液体。分流构件20选择性地将一部分流动液体通过液体分配沟槽12的排放开口26分流。从垂直于液体分配沟槽12的第一壁40的表面54的方向看时，液体返回通道44A与液体分配沟槽12的排放开口 26重叠。液体返回通道44A位于分流构件20的下游并与分流构件20间隔开。液体返回通道44A包括多孔构件。另外，如图24A和图24B所示,液体返回通道44A为第一液体返回通道,液体分配器10包括设置在第一液体返回通道44A的下游的第二液体返回通道(44B或44C)。第一液体返回通道44A和第二液体返回通道(44B或44C)中的至少一个包括多孔构件。返回参照图1A、图1B、图24A和图24B，将描述从液体分配器喷射液体的另一方法。提供包括液体供应沟槽、液体分配沟槽和液体返回沟槽的液体分配器。液体分配沟槽包括第一壁。第一壁包括表面。第一壁的一部分限定排放开口。液体分配沟槽包括与第一壁相对地设置的第二壁。液体分配沟槽的第二壁沿着液体供应沟槽的一部分并沿着液体返回沟槽的一部分延伸。提供延伸穿过第二壁并与液体供应沟槽流体连通的液体供应通道。提供延伸穿过第二壁并与液体返回沟槽流体连通的液体返回通道。从垂直于液体分配沟槽的第一壁的所述表面的方向看时，液体返回通道与液体分配沟槽的排放开口重叠。提供从液体供应通道通过液体供应沟槽、通过液体分配沟槽、通过液体返回沟槽流向液体返回通道的液体。通过选择性地致动分流构件以分流一部分流动液体使其通过液体分配沟槽的排放开口，使得从液体分配沟槽的排放开口喷射液滴。选择性地致动分流构件以使一部分流动液体通过液体分配沟槽的排放开口分流可包括:对流过液体分配沟槽的一部分液体施加热。提供从液体供应沟槽通过液体分配沟槽流向液体返回沟槽的液体可包括:提供充分加压的液体，以使得液体以连续方式从液体供应沟槽通过液体分配沟槽流向液体返回沟槽。另外，提供液体分配器可包括:提供包括上述任一个或彼此组合的任意多个示例实施例的液体分配器。参照图25A-26B并返回参照图1A和图1B，示出包括本发明另一方面的液体分配器10的不例实施例。液体分配沟槽12包括第一壁40。壁40包括表面54 (内表面54A或外表面54B)。第一壁40的一部分限定排放开口 26。液体分配沟槽12还包括与第一壁40相对地设置的第二壁80。液体分配沟槽12的第二壁80沿着液体供应沟槽11的一部分并沿着液体返回沟槽13的一部分延伸。液体供应通道42延伸穿过第二壁80并与液体供应沟槽11流体连通。液体供应通道42包括多孔构件22。液体返回通道44延伸穿过第二壁80并与液体返回沟槽13流体连通。液体返回通道包括多孔构件22。液体供应源24提供从液体供应通道42通过液体供应沟槽11、通过液体分配沟槽12、并通过液体返回沟槽13流向液体返回通道的液体。分流构件20选择性地将一部分流动液体通过液体分配沟槽12的排放开口 26分流。如图25A-26B所示，多孔构件22设置在液体供应沟槽11中，位于液体供应沟槽11与液体供应通道42相交的区域中。因此，可以说液体供应通道42包括多孔构件22，或者液体供应沟槽11包括多孔构件22。当参照在液体供应沟槽11与液体供应通道42相交处包括多孔构件22的本发明的其他示例实施例时也可以这样说。另选地，多孔构件22可设置在液体供应通道42中如图25A-26B所示位置的上游。另外，如图25A-26B所示，多孔构件22设置在液体返回沟槽13中，位于液体返回沟槽13与液体返回通道44相交的区域中。因此，可以说液体返回通道44包括多孔构件22，或者液体返回沟槽13包括多孔构件22。当参照在液体返回沟槽13与液体返回通道44相交处包括多孔构件22的本发明的其他示例实施例时也可以这样说。另选地，多孔构件22可设置在液体返回通道44中如图25A-26B所示位置的下游。如图25A和图25B所示，多孔构件22包括尺寸相同的孔。另选地，多孔构件22包括彼此相比尺寸变化的孔。如图26A和图26B所示，沿着通过液体分配沟槽12的液体流27的方向孔尺寸单一变化。多孔构件22的孔也可成形为提供不同的液体流阻抗。在25B-26B中，从每个“B”图中移除了排放口 23以便能够更清楚地看到液体返回通道44和多孔构件22。返回参照图1A、图1B和图25A-26B,将描述从液体分配器喷射液体的另一方法。提供包括液体供应沟槽、液体分配沟槽和液体返回沟槽的液体分配器。液体分配沟槽包括第一壁。第一壁的一部分限定排放开口。液体分配沟槽包括与第一壁相对地设置的第二壁。液体分配沟槽的第二壁沿着液体供应沟槽的一部分并沿着液体返回沟槽的一部分延伸。提供延伸穿过第二壁并与液体供应沟槽流体连通的液体供应通道。液体供应通道包括多孔构件。提供延伸穿过第二壁并与液体返回沟槽流体连通的液体返回通道。液体返回通道包括多孔构件。提供从液体供应通道，通过液体供应沟槽，通过液体分配沟槽，通过液体返回沟槽流向液体返回通道的液体。通过选择性地致动分流构件以使得一部分流动液体通过液体分配沟槽的排放开口分流，使得从液体分配沟槽的排放开口喷射液滴。选择性地致动分流构件以使一部分流动液体通过液体分配沟槽的排放开口分流可包括:对流过液体分配沟槽的一部分液体施加热。提供从液体供应沟槽通过液体分配沟槽流向液体返回沟槽的液体可包括:提供充分加压的液体，以使得液体以连续方式从液体供应沟槽通过液体分配沟槽流向液体返回沟槽。另外，提供液体分配器可包括:提供包括上述任一个或彼此组合的任意多个示例实施例的液体分配器。参照图27A-32B并返回参照图1A和图1B，示出包括本发明另一方面的液体分配器10的示例实施例。在图27B-32B中，每个“B”图中移除了排放口 23以便能够更清楚地看到液体返回通道44和多孔构件22。液体分配器10包括基底39以及设置在基底39上的液体分配元件82A、82B、82C的阵列(如图27B、图28B、图29B、图30B、图31B和图32B所示)。每个液体分配元件82A、82B、82C包括设置在基底39上的液体分配沟槽12。液体分配沟槽12包括位于与基底39相对的壁40中的排放开口 26。分流构件20与液体分配沟槽12相关联。液体返回沟槽13设置在基底39上并与液体分配沟槽12流体连通。液体供应沟槽11设置在基底39上并与液体分配沟槽12流体连通。液体供应通道42延伸穿过基底39并与液体供应沟槽11流体连通。液体返回通道44延伸穿过基底39并与液体返回沟槽13流体连通。液体返回通道44可为单个液体返回通道或多个单独的液体返回通道44A、44B、44C,如上所述。液体供应源24 (示出于图1A和图1B中)提供从每个液体供应沟槽11通过每个液体分配元件12流向各液体分配元件82A、82B、82C的每个液体返回沟槽13的液体25。各液体分配元件82A、82B、82C的每个分流构件20被选择性地启动，以通过相关联的液体分配沟槽12的排放开口 26将流过相关联的液体分配沟槽12的一部分液体分流，以分配液体25的墨滴15。如上所述，各液体分配元件82A、82B、82C包括与液体供应沟槽11流体连通的液体供应通道42以及与液体返回沟槽流体连通的液体返回通道44。然而，供应通道42与供应沟槽11的关系以及返回通道44与返回沟槽13的关系不必为一对一的。因此，在本发明这一方面的替代示例实施例中，一个液体供应通道42可与一个以上的液体供应沟槽11流体连通。类似地，在本发明这一方面的替代示例实施例中，一个液体返回通道44可与一个以上的液体返回沟槽13流体连通。从垂直于壁40的表面54A或54B的方向看时，液体供应沟槽11包括宽度84。宽度84沿着液体流27的方向变化。通常，液体供应沟槽11的下游部分比液体供应沟槽11的上游部分窄。从液体流27的方向看时，液体供应沟槽11在液体供应沟槽11的出口 21的上游变窄(或“收缩”)。随着液体从液体供应通道42向液体分配沟槽12行进，液体供应沟槽11的壁46与壁48的壁-壁间距变得更靠近在一起。液体供应沟槽11的出口 21的横截面积小于与液体供应通道42相邻的液体供应沟槽11的横截面积。这是为了增大液体流过液体分配沟槽12的速度。另外，在包括液体分配元件阵列82的液体分配器10中，相邻液体分配元件82A、82B、82C之间的间隔有限。在出口 21处变窄的液体供应沟槽11允许液体分配沟槽12的下游部分比出口 21宽，以便控制排放开口 26中的液体的弯液面高度，从而减少或者甚至防止液体溢出。现在将参照图27A-32B中的选定图来讨论示例实施例。如图27B、图30B和图3IB所示，第一液体供应沟槽(例如，液体分配元件82A的液体供应沟槽11)的上游部分可与第二液体供应沟槽(例如，液体分配元件82B的液体供应沟槽11)的上游部分共享壁86。如图28B所示，共享的壁86可包括至少一个开口 88，所述开口在第一液体供应沟槽(液体分配元件82A的液体供应沟槽11)和第二液体供应沟槽(液体分配元件82B的液体供应沟槽11)之间提供流体连通。如图29B和图32B所示,共享的壁86可通过柱90(或者在一些示例实施例中，多个柱90)分割，以形成通过柱90彼此间隔开的第一开口 88A和第二开口 88B。第一开口 88A和第二开口 88B在第一液体供应沟槽(液体分配元件82A的液体供应沟槽11)和第二液体供应沟槽(液体分配元件82B的液体供应沟槽11)之间提供流体连通。如图27A-32B所示，可选地，液体供应通道42可包括多孔构件22。如图27B所示，第一液体返回沟槽(例如,液体分配元件82A的液体返回沟槽13)的一部分可与第二液体返回沟槽(例如，液体分配元件82B的液体返回沟槽13)的一部分共享壁92。如图28B和图30B所示，共享的壁92可包括至少一个开口 94，所述开口在第一液体返回沟槽(液体分配元件82A的液体返回沟槽13)和第二液体返回沟槽(液体分配元件82B的液体返回沟槽13)之间提供流体连通。如图29B、图31B和图32B所示，共享的壁92可通过多个柱96分割，以形成通过柱96彼此间隔开的第一开口 94A和第二开口 94B以及第三开口 94C和第四开口 94D。在替代实施例中，可使用单个柱96来形成第一开口 94A和第二开口 94B。第一开口 94A和第二开口 94B (以及第三开口 94C和第四开口 94D)在第一液体返回沟槽(液体分配元件82A的液体返回沟槽13)和第二液体返回沟槽(液体分配元件82B的液体返回沟槽13)之间提供流体连通。如图27A-32B所示,在液体分配元件82A、82B的每一个中，液体返回通道44包括第一液体返回通道44A和第二液体返回通道44B。第一液体返回通道44A和第二液体返回通道44B与液体返回沟槽13流体连通。本发明这一方面的替代示例实施例包括使用单个液体返回通道或两个以上的液体返回通道。液体返回通道44 (44A、44B)包括多孔构件22。在本发明的一些不例实施例中，设置在与基底39相对的壁40中并位于排放开口 26下游的排放口 23跨越多个液体分配元件82A、82B，而在本发明的其他示例实施例中，如上所述，排放口 23位于单个液体分配元件82的壁46、48之间。返回参照图1A、图1B和图27A-32B，将描述从液体分配器喷射液体的另一方法。提供设置在基底上的液体分配元件的阵列。每个液体分配元件包括设置在基底上的液体分配沟槽。液体分配沟槽包括设置在与基底相对的壁上的排放开口。分流构件与液体分配沟槽相关联。液体返回沟槽设置在基底上并与液体分配沟槽流体连通。液体供应沟槽设置在基底上并与液体分配沟槽流体连通。液体供应通道延伸穿过基底并与液体供应沟槽流体连通。液体返回通道延伸穿过基底并与液体返回沟槽流体连通。提供从液体供应通道，通过液体供应沟槽、通过液体分配沟槽、通过液体返回沟槽流向液体分配元件阵列的液体返回通道的液体。通过选择性地致动一个液体分配元件的分流构件以使一部分流动液体通过该液体分配元件的液体分配沟槽的排放开口分流，使得从所述液体分配元件中的液体分配沟槽的排放开口喷射液滴。可通过选择性地致动另一液体分配元件的分流构件以使一部分流动液体通过所述另一液体分配元件的液体分配沟槽的排放开口分流，使得从所述另一液体分配元件的液体分配沟槽的排放开口喷射液滴。选择性地致动分流构件以使一部分流动液体通过液体分配沟槽的排放开口分流可包括:对流过液体分配沟槽的一部分液体施加热。提供从液体供应通道通过液体供应沟槽、通过液体分配沟槽、通过液体返回沟槽流向液体返回通道的液体可包括:提供充分加压的液体，以使得液体以连续方式从液体供应通道通过液体供应沟槽、通过液体分配沟槽、通过液体返回沟槽流向液体返回通道。另外，提供液体分配器可包括:提供包括上述任一个或彼此组合的任意多个示例实施例的液体分配器。参照图33A-35B并返回参照图1A和图1B，示出本发明另一方面的液体分配器10的示例实施例。图33B、图34B和图35B提供沿着线X-X截取的液体分配器10的示图，其中液体供应通道42和液体返回通道44 (44A、44B)的位置叠加，以更清楚地示出其相对于液体歧管98的取向。液体分配器10包括设置在基底39上的液体分配元件82A、82B、82C、...82H的阵列(如图33B、图34B和图35B所示)。各液体分配元件82A、82B、82C、...82H包括设置在基底39上的液体分配沟槽12。液体分配沟槽12包括位于与基底39相对的壁40中的排放开口 26。分流构件20与液体分配沟槽12相关联。液体返回沟槽13设置在基底39上并与液体分配沟槽12流体连通。液体供应沟槽11设置在基底39上并与液体分配沟槽12流体连通。液体供应通道42延伸穿过基底39并与液体供应沟槽11流体连通。液体返回通道44延伸穿过基底39并与液体返回沟槽13流体连通。液体返回通道44可为单个液体返回通道或多个单独的液体返回通道44A、44B、44C、...44H，如上所述。液体歧管98包括液体供应管道100和液体返回管道102。液体供应管道100与各液体分配元件82A、82B、82C、...82H的每个液体供应通道42流体连通。液体返回管道102与各液体分配元件82A、82B、82C、...82H的各液体返回通道44A、44B、44C、...44H流体连通。液体供应源24 (示出于图1A和图1B中)提供从液体歧管98的液体供应管道100通过各液体分配元件82A、82B、82C、...82H流向液体歧管98的液体返回管道102的液体25。每个分流构件20被选择性地启动，以通过相关联的液体分配沟槽12的排放开口 26将流过相关联的液体分配沟槽12的一部分液体分流，以分配液体25的液滴15。液体供应管道100包括液体进口 116，同时液体返回管道102包括液体出口 118。液体供应管道100的液体进口 116和液体返回管道102的液体出口 118间隔开第一距尚106。液体供应通道42包括液体进口 120，液体返回通道44包括液体出口 122。液体供应通道42的液体进口 120和液体返回通道44的液体出口 122间隔开第二距离108。第一距离106大于第二距离108，以有助于液体分配器10与液体源24之间的流体连接。在液体流27通过液体分配元件82A、82B、82C、...82H之一的液体分配沟槽12的方向上，液体供应管道100的液体进口 116和液体返回管道102的液体出口 118彼此对齐。液体供应管道100和液体返回管道102中的至少一个包括这样的部分124,该部分被设置为提供与包括液体分配元件82A、82B、82C、...82H的基底39的表面128平行的液体流126。在一些示例实施例中，部分124是第一部分124，液体供应管道100和液体返回管道102中的至少一个包括第二部分130，所述第二部分被设置为提供与包括液体分配元件82A、82B、82C、...82H的基底39的表面128垂直的液体流132。在其他示例实施例中，仅液体供应管道100和液体返回管道102中的至少一个包括这样的部分130，该部分被设置为提供与包括液体分配元件82A、82B、82C、...82H的基底39的表面128垂直的液体流132。包括液体分配元件82A、82B、82C、...82H的阵列的基底39可称为第一基底，而液体歧管98形成在结合到第一基底39的第二基底134中。
现在将参照图33A-35B中的选定图来讨论示例实施例。如图34B所示，液体歧管98的液体供应管道100由各液体分配元件82A、82B、82C、...82H的液体供应通道42共用。另外，如图34B所示，液体歧管98的液体返回管道102由各液体分配元件82A、82B、82C、...82H的液体返回通道44A、44B、44C、...44H共用。在其他示例实施例中，仅液体歧管98的液体返回管道102由各液体分配元件82A、82B、82C、...82H的液体返回通道44A、44B、44C、.44H 共用。如图33B所不，液体歧管98的液体供应管道100包括多个分隔物104,其将液体供应管道100分成多段136。各段136通过对应的液体供应通道42与液体分配元件82A、82B、82C、...82H流体连通。在此示例实施例中，液体歧管98的液体供应管道100包括各段136共用的区段138。沿着液体流27的方向看时，共用区段138位于分段的区段136的上游。在其他示例实施例中，液体供应管道100分段，不包括共用区段。液体返回管道102也可自己分段，或者结合液体供应管道100 —起分段。如图33B所不，液体歧管98的液体返回管道102包括多个分隔物104,其将液体返回管道100分成多段136。各段136通过对应的液体返回通道44或通道44A、44B、44C、...44H与液体分配元件82A、82B、82C、...82H流体连通。在此示例实施例中，液体歧管98的液体返回管道102包括各段136共用的区段140。沿着液体流27的方向看时，共用的区段138位于分段的区段136的下游。在其他示例实施 例，液体返回管道102的长度分段，并且不包括共用区段。如图35B所示,液体歧管98的液体供应管道100包括设置在液体供应管道100中的多个柱142，以提供附加机械支撑和稳定性。液体歧管的液体返回管道102也包括设置在液体返回管道102中的多个柱142，也为了提供附加机械稳定性和支撑。在其他示例实施例中，仅液体返回管道102包括柱。返回参照图1A、图1B和图33A-35B,将描述从液体分配器喷射液体的另一方法。提供设置在基底上的液体分配元件的阵列。每个液体分配元件包括设置在基底上的液体分配沟槽。液体分配沟槽包括设置在与基底相对的壁上的排放开口。分流构件与液体分配沟槽相关联。液体返回沟槽设置在基底上并与液体分配沟槽流体连通。液体供应沟槽设置在基底上并与液体分配沟槽流体连通。液体供应通道延伸穿过基底并与液体供应沟槽流体连通。液体返回通道延伸穿过基底并与液体返回沟槽流体连通。提供包括液体供应管道和液体返回管道的液体歧管。液体供应管道与每个液体分配元件的每个液体供应通道流体连通。液体返回管道与每个液体分配元件的每个液体返回通道流体连通。液体从液体歧管的液体供应管道通过每个液体分配元件流向液体歧管的液体返回管道。通过选择性地致动一个液体分配元件的分流构件，以将一部分流动液体通过该液体分配元件的液体分配沟槽的排放开口分流，使得从该液体分配元件的液体分配沟槽的排放开口喷射液滴。可通过选择性地致动另一液体分配元件的分流构件，以将一部分流动液体通过所述另一液体分配元件的液体分配沟槽的排放开口分流，使得从所述另一液体分配元件的液体分配沟槽的排放开口喷射液滴。选择性地致动分流构件以使一部分流动液体通过液体分配沟槽的排放开口分流可包括:对流过液体分配沟槽的一部分液体施加热。提供从液体供应通道通过液体供应沟槽、通过液体分配沟槽、通过液体返回沟槽流向液体返回通道的液体可包括:提供充分加压的液体，以使得液体以连续方式从液体供应通道通过液体供应沟槽、通过液体分配沟槽、通过液体返回沟槽流向液体返回通道。另外，提供液体分配器可包括:提供包括上述任一个或彼此组合的任意多个示例实施例的液体分配器。返回参照图1A-35B，壁46、48可以是沉积并形成在基底39上的单独的材料层。另选地，壁46、48可由基底39的部分形成。壁40可设置在任一类型的壁46、48上。尽管已分别描述了本发明的多个方面，应该理解，各方面的组合也被认为在本发明的范围内。因此，本发明的另外的示例实施例包括上述本发明的示例实施例的多个方面的任意组合。为了示出的本发明的示例实施例之间的连贯性，包含排放开口 26的壁40被示出为在装置的上侧(例如，如图1A所示)。液体分配器10不限于以这样的取向操作。液体分配器10可取向为使得包含排放开口 26的壁40在装置的侧面(例如，通过将使图1A的液体分配器10顺时针或逆时针旋转90度° )，或者在装置的下侧(例如，通过使图1A的液体分配器10旋转180° )。部件列表10液体分配器11液体供应沟槽12液体分配沟槽13液体返回沟槽15 墨滴16调节压力供应源17调节真空供应源18上游边缘19下游边缘20分流构件21 出口22多孔构件23通风口 /排放口24液体供应源25 液体26排放开口27液体流方向/箭头38 入口39 基底40 壁42液体供应通道44液体返回通道44A液体返回通道44B液体返回通道44C液体返回通道46 壁48 壁
50上游边缘52下游边缘
54 表面54A内表面54B外表面56 拐角58中心线60中心线62 顶点64 宽度66 宽度68 中心70中心线72上游边缘73下游边缘74 壁76 拐角78 宽度80 第二壁82A液体分配元件82B液体分配元件82C液体分配元件84 宽度86 壁88 开口88A 开口88B 开口90 柱92 壁94 开口94A 开口94B 开 口94C 开口94D 开 口96 柱98液体歧管100液体供应管道102液体返回管道104分隔物
106 距离108 距离116 液体进口118 液体出口120 液体进口122 液体出口124 部分126液体流128 表面130 部分132液体流134 基底136 段138 区段140 区段142 柱
权利要求
1.一种液体分配器,包括: 设置在基底上的液体分配元件的阵列，每个液体分配元件包括: 设置在所述基底上的液体分配沟槽，所述液体分配沟槽包括设置在与所述基底相对的壁上的排放开口； 与所述液体分配沟槽相关联的分流构件； 设置在所述基底上并与所述液体分配沟槽流体连通的液体返回沟槽； 设置在所述基底上并与所述液体分配沟槽流体连通的液体供应沟槽； 延伸穿过所述基底并与所述液体供应沟槽流体连通的液体供应通道； 延伸穿过所述基底并与所述液体返回沟槽流体连通的液体返回通道； 液体供应源，其提供从每个液体供应沟槽通过每个液体分配元件流向每个液体返回沟槽的液体，每个分流构件被选择性地启动，以使流过相关联的液体分配沟槽的一部分液体通过相关联的液体分配沟槽的排放开口分流，以分配液滴。
2.根据权利要求1所述的分配器，其特征在于，所述液体供应沟槽从与液体流的方向垂直的方向看时的宽度沿着液体流的方向变化。
3.根据权利要求2所述的分配器，其特征在于，所述液体供应沟槽的下游部分比所述液体供应沟槽的上游部分窄。
4.根据权利要求1所述的分配器，其特征在于，第一液体供应沟槽的上游部分与第二液体供应沟槽的上游部分共享壁。
5.根据权利要求4所述的分配器，其特征在于，共享的壁包括至少一个开口，所述开口在所述第一液体供应沟槽与所述第二液体供应沟槽之间提供流体连通。
6.根据权利要求4所述的分配器，其特征在于，共享的壁包括通过柱彼此间隔开的第一开口和第二开口。
7.根据权利要求1所述的分配器，其特征在于，所述液体供应通道包括多孔构件。
8.根据权利要求1所述的分配器，其特征在于，第一液体返回沟槽的一部分与第二液体返回沟槽的一部分共享壁。
9.根据权利要求8所述的分配器，其特征在于，共享的壁包括至少一个开口，所述开口在所述第一液体返回沟槽与所述第二液体返回沟槽之间提供流体连通。
10.根据权利要求8所述的分配器，其特征在于，共享的壁包括通过柱彼此间隔开的第一开口和第二开口。
11.根据权利要求1所述的分配器，其特征在于，所述液体返回通道包括多孔构件。
12.根据权利要求1所述的分配器，其特征在于，所述液体返回通道是第一液体返回通道，所述液体返回沟槽与第二液体返回通道流体连通。
13.根据权利要求1所述的分配器，其特征在于，还包括: 设置在与所述基底相对的所述壁中并位于所述排放开口的下游的排放口，所述排放口跨越多个液体分配元件。
14.一种从液体分配器喷射液体的方法,包括: 提供设置在基底上的液体分配元件的 阵列，每个液体分配元件包括设置在所述基底上的液体分配沟槽、与所述液体分配沟槽相关联的分流构件、设置在所述基底上并与所述液体分配沟槽流体连通的液体返回沟槽、设置在所述基底上并与所述液体分配沟槽流体连通的液体供应沟槽、延伸穿过所述基底并与所述液体供应沟槽流体连通的液体供应通道、延伸穿过所述基底并与所述液体返回沟槽流体连通的液体返回通道，所述液体分配沟槽包括设置在与所述基底相对的壁上的排放开口； 提供从所述液体供应通道通过所述液体供应沟槽、通过所述液体分配沟槽、通过所述液体返回沟槽流向所述液体分配元件的阵列的所述液体返回通道的液体； 通过选择性地致动一个液体分配元件的分流构件以将一部分流动液体通过所述液体分配元件的液体分配沟槽的排放开口分流，使得从所述液体分配元件的液体分配沟槽的排放开口喷射液滴。
15.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，通过选择性地致动分流构件以将一部分流动液体通过液体分配沟槽的排放开口分流包括:对流过液体分配沟槽的一部分液体施加热。
16.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，提供从所述液体供应沟槽通过所述液体分配沟槽流向所述液体返回沟槽的液体包括:提供充分加压的液体，以使液体以连续方式从所述液体供应沟槽通过所述液体分配沟槽流向所述液体返回沟槽。
17.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，还包括: 通过选择性地致动另一液体分配元件的分流构件以使一部分流动液体通过所述另一液体分配元件的液体分配沟槽的排放开口分流，使得从所述另一液体分配元件的液体分配沟槽的排放开口喷射液滴。
全文摘要
一种液体分配器包括设置在基底上的液体分配元件的阵列。每个液体分配元件包括设置在基底上的液体分配沟槽。液体分配沟槽包括设置在与基底相对的壁上的排放开口。分流构件与液体分配沟槽相关联。液体返回沟槽设置在基底上并与液体分配沟槽流体连通。液体供应沟槽设置在基底上并与液体分配沟槽流体连通。液体供应通道延伸穿过基底并与液体供应沟槽流体连通。液体返回通道延伸穿过基底并与液体返回沟槽流体连通。液体供应源提供从每个液体供应沟槽通过每个液体分配元件流向每个液体返回沟槽的液体。每个分流构件被选择性地启动，以将流过相关联的液体分配沟槽的一部分液体通过相关联的液体分配沟槽的排放开口分流，以分配液滴。
文档编号B41J2/14GK103180146SQ201180051587
公开日2013年6月26日 申请日期2011年10月14日 优先权日2010年10月26日
发明者Y·谢, Q·杨 申请人:伊斯曼柯达公司