专利名称：掩模清洗装置及丝网印刷机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及将在与基板的上面接触使用的丝网印刷用的掩模的下面附着的膏擦拭除去的掩模清洗装置及具备该掩模清洗装置的丝网印刷机。
背景技术：
丝网印刷机是在基板上的电极上印刷焊锡等膏的装置，在使形成有与基板的电极的配置对应的图案孔的掩模以电极和图案孔相一致的方式与基板接触后，使刮板在供给了膏的掩模上滑动，将膏刮拢在一起，经由掩模的图案孔将膏转印到基板的电极上。在这种丝网印刷机中，在进行对于基板的丝网印刷作业时，由于附着于掩模的下面的膏的影响而可能使印刷状态发生不良，因此，在丝网印刷机中设有将附着于掩模的下面的膏擦拭除去的掩模清洗装置。该掩模清洗装置的构成为，利用嘴部上端的真空吸引口在将纸部件压靠于掩模的下面的状态下进行真空吸引的同时相对于掩模相对移动，擦拭附着于掩模的下面的膏。另外，在这样的掩模清洗装置中，公知有在嘴部内固定设有板状的整流部，该整流部具有在真空吸引时使在嘴部内流通的空气通过而将空气的流动整流的多个整流孔(例如，专利文献I)。具有这种整流部的嘴部内的空气的流动(流速等)与设于整流部的整流孔的大小及相邻的整流孔彼此的间距间隔等相对应。专利文献1:(日本)特开平10 - 193577号公报但是，在如上所述使用具有整流部的嘴部进行掩模清洗的情况下，为了将嘴部内的空气的流动形成为对应于掩模的种类对应的最佳流动，在预先准备了整流部的整流孔的大小及相邻的整流孔彼此的间距间隔不同的多种嘴部的基础上，在每次改变掩模时需要更换嘴部，因此，操作成本提高且作业性也差的问题。
实用新型内容因此，本实用新型的目的在于提供不必在每次替换掩模时更换嘴部，成本低并且可以提高作业性的掩模清洗装置及丝网印刷机。本实用新型第一方面提供一种掩模清洗装置，其设于使刮板在与基板的上面接触的掩模上滑动而将膏转印到基板上的丝网印刷机中，利用嘴部上端的真空吸引口在将纸部件压靠于掩模的下面的状态下进行真空吸引，同时相对于掩模相对移动，将附着于掩模下面的膏擦拭除去，其中，在嘴部内拆装自如地设有一个或多个整流板，该整流板具有在真空吸引时使在嘴部内流通的空气通过而将空气的流动整流的多个整流孔。第二方面提供一种丝网印刷机，其具备:掩模，其与基板的上面接触；刮板，其在与基板的上面接触的掩模上滑动，将膏转印于基板上；掩模清洗装置，其利用嘴部的上端的真空吸引口在将纸部件压靠于掩模的下面的状态下进行真空吸引，同时相对于掩模相对移动，将附着于掩模下面的膏擦拭除去；一个或多个整流板，其拆装自如地设于嘴部内，具有在真空吸引时使在嘴部内流通的空气通过而将空气的流动整流的多个整流孔。[0010]在本实用新型中，在嘴部内拆装自如地设有具有多个整流孔的一个或多个整流板，所述整流孔在真空吸引时使在嘴部内流通的空气通过而将空气的流动整流，由于只要在改变掩模的种类时仅使与该掩模的种类对应的大小及间距间隔的整流孔的整流板相对于嘴部进行拆装(更换)即可，因此，不必对每个掩模进行嘴部的更换，成本低且能够实现作业性的提高。
图1是本实用新型一实施方式的丝网印刷机的主要部分的立体图；图2是本实用新型一实施方式的丝网印刷机的主要部分的侧面图；图3是本实用新型一实施方式的丝网印刷机具备的掩模支架及被掩模支架保持的掩模的平面图；图4 (a)是本实用新型一实施方式的丝网印刷机具备的掩模清洗器的立体图，(b)是侧剖面图；图5 (a)是本实用新型一实施方式的掩模清洗器具备的嘴部的放大立体图，(b)是平面图；图6 Ca)是本实用新型一实施方式的掩模清洗器的立体图，(b)是侧剖面图；图7是表示本实用新型一实施方式的丝网印刷机的丝网印刷作业的执行顺序的流程图；图8 (a)、(b)是本实用新型一实施方式的丝网印刷机的丝网印刷作业的执行顺序的说明图；图9 (a)、(b)是本实用新型一实施方式的丝网印刷机的丝网印刷作业的执行顺序的说明图；图10 (a)、(b)是本实用新型一实施方式的丝网印刷机的丝网印刷作业的执行顺序的说明图；图11是表示本实用新型一实施方式的丝网印刷机的掩模清洗作业的执行顺序的图。标记说明1:丝网印刷机2:基板15:掩模18:掩模清洗器(掩模清洗装置)31:嘴部31a:真空吸引口32:纸部件34:整流板34a:整流孔44:刮板Pt:膏具体实施方式
以下，参照附图对本实用新型的实施方式进行说明。在图1及图2中，丝网印刷机I为执行向设于基板2上的多个电极3分别丝网印刷焊锡等膏Pt的丝网印刷作业的装置，其具备:设于基台10上的基板搬入输送机11、基板保持单元12及基板搬出输送机13、设于基板保持单元12的上方的掩模支架14、通过掩模支架14保持为水平姿势的掩模15、设于掩模15的上方的刮板头16、设于掩模15的下方的照相机单兀17及与掩模清洗器18并列设于基台10内并进行各部的动作控制的控制装置19。基板搬入输送机11搬入从丝网印刷机I的外部投入的基板2(图1中所示的箭头标记R1)，向基板保持单元12交接。基板搬出输送机13将从基板保持单元12接受的基板2向丝网印刷机I的外部搬出(图1中所示的箭头标记R2)。即，基板2以基板搬入输送机
11、基板保持单元12、基板搬出输送机13的顺序进行搬送，将该基板2的移动方向设为X轴方向(从操作者OP看的左右方向)。另外，将与该X轴方向正交的水平面内方向设为Y轴方向(从操作者OP看的前后方向)，将上下方向设为Z轴方向。基板保持单元12具备:通过由XYZ机械手构成的单元移动机构12A使在XY平面内移动(也包含旋转)及向Z轴方向移动自如的单元基底21 ;安装于单元基底21并进行向基板2的X轴方向的搬送及向规定的作业位置(图1所示的位置)的定位的一对输送机22 ；设于单元基底21的下支承部升降缸23 ;通过下支承部升降缸23进行升降，以通过输送机22定位在作业位置的基板2的两端从输送机22向上方离开的方式从下方顶起支承基板2的下支承部24 ;开闭自如地设于Y轴方向，从Y轴方向夹着(夹持)通过下支承部24顶起支承的基板2的两侧部保持的一对夹持部件25。在图3中，掩模15包括:具有与基板2上的电极3的配置对应设置的多个图形孔15h的由矩形金属板构成的掩模主体15a ;设于掩模主体15a的周围的树脂(例如聚酯)制的网眼状的膜部件15b ;支承膜部件15b的外周部的矩形框状的掩模框15w。在图3中，掩模支架14由在基台10的上方在Y轴方向上延伸的截面L形的左右一对轨道部件14a构成，掩模15通过左右一对轨道部件14a从下方支承在X轴方向相对的左右两边。在图1及图2中，刮板头16具备:在被掩模支架14保持的掩模15的上方区域沿Y轴方向移动自如地设置的板状的基底部件41 ;安装于基底部件41并使活塞杆42a向基底部件41的下方突出的两个刮板升降缸42 ;安装于各刮板升降缸42的活塞杆42a的下端并沿X轴方向延伸的刮板保持件43 ;上端部被保持于各刮板保持件43,向斜下方延伸的由薄板部件构成的两个刮板44。在图1及图2中，照相机单元17具备使拍摄视野朝向下方的下方拍摄照相机17a和使拍摄视野朝向上方的上方拍摄照相机17b而构成。照相机单元17通过由未图示的促动器等构成的照相机单元移动机构17A在掩模15的下方区域沿水平面内方向移动。在图4 (a)、(b)中，掩模清洗器18具有纸部件32而构成，该纸部件32从上方与沿X轴方向延伸并在上端具有矩形的真空吸引口 31a的嘴部31及嘴部31的真空吸引口31a相接，具有包含真空吸引口 31a的开口部的宽度，沿Y轴方向横断并延伸。与纸部件32的嘴部31的真空吸引口 31a的上面相接并沿Y轴方向延伸的部分成为掩模清洗器18的清洗面18a，该清洗面18a通过基于夹着嘴部31在Y轴方向上相对配置的一对辊部件33 (也参照图2)的旋转实现的纸部件32向Y轴方向的进给动作而进行更新。嘴部31与一对辊部件33 —同沿Y轴方向及Z轴方向移动自如地设置，掩模清洗器18利用嘴部31上端的真空吸引口 31a在将纸部件32 (清洗面18a)压靠于掩模15的下面的状态下进行真空吸引，同时相对于掩模15沿Y轴方向相对移动，由此将附着于掩模15的下面的膏Pt擦拭除去。在图4 (a)、(b)及图5 (a)、(b)中，在掩模清洗器18的嘴部31内设有有长条板部件构成的整流板34，该整流板34具有在真空吸引时通过在嘴部31内流通的空气而将空气的流动整流的多个整流孔34a。该整流板34从在嘴部31的长度方向(X轴方向)的一端部侧的壁面开口形成的整流板插入口 31b插入嘴部31内，利用在嘴部31的内壁面沿水平面内方向延伸设置的整流板插入槽31c支承长度方向的两侧边，拆装自如地安装于嘴部31内。在整流板34的长度方向(X轴方向)的一侧端部直角弯折而成的折弯部34b被作为将整流板34从整流板插入槽31c拉出时的捏手部而利用。如图5 (b)所示，在本实施方式中，形成于整流板34的各整流孔34a以其长度方向的中心轴S相对于与整流板34的长度方向的中心轴J正交的水平面内的线SO倾斜的配置进行设置，但整流板34的整流孔34a的设置方式没有特别限定。另外，如本实施方式，在将各整流孔34a的长度方向的中心轴S沿相对于与整流板34的长度方向的中心轴J正交的水平面内的线SO倾斜的方向延伸设置时，相比将各整流孔34a的长度方向的中心轴S与和整流板34的长度方向的中心轴J正交的水平面内的线SO平行地延伸设置的情况，在使掩模清洗器18相对于掩模15相对移动(图5 (b)中箭头标记P)进行的掩模清洗时，整流孔34a通过更多的掩模15的下面区域，因此，能够进行高效的掩模清洗。图4 (b)及图5 (a)中，整流板插入槽31c在嘴部31内沿上下方向并排设有多个，在嘴部31内可以安装一个或多个整流板34。图4 (a)、(b)是在嘴部31的内部沿上下方向并排设有四个整流板插入槽131c，且在其中的两个整流板插入槽31c安装有两个整流板34的例子，但设于嘴部31的内部的整流板插入槽31c的数量是任意的，所安装的整流板34的数量也是任意的。另外，如图6 (a)、(b)所示，嘴部31也可以具有在嘴部31内的中央部设有沿嘴部31的长度方向延伸的分隔壁31d的形状，该情况下，通过在分隔壁31d的两侧面也形成整流板插入槽31c的一部分,可以在夹着分隔壁31d的两位置安装整流板34。如图6 (a)、(b),在嘴部31内的中央部设有分隔壁31d的情况下，基于嘴部31进行的将纸部件32向掩模15的下面压靠的压靠面积增大分隔壁31d的上面的量，因此，能够提高掩模15的下面的膏Pt的擦拭效率。基板保持单元12的基于输送机22进行的基板2的搬送及向作业位置的定位动作、相对于位于作业位置的基板2的基于下支承部24进行的下支承动作及基于一对夹持部件25进行的夹持动作通过控制装置19进行由含有下支承部升降缸23的促动器等构成的基板保持机构12B (图2)的动作控制来进行，保持有基板2的基板保持单元12的水平面内方向及上下方向的移动动作通过控制装置19进行上述的单元移动机构12A的动作控制来进行。另外，基于基板搬入输送机11进行的基板2的搬入动作及基于基板搬出输送机13进行的基板2的搬出动作也通过控制装置19来进行。在图2中，刮板头16 (基底部件41)向Y轴方向的往复移动动作通过由控制装置19进行由未图示的促动器等构成的刮板头移动机构16M (图2)的动作控制来进行，各刮板44相对于基底部件41的升降动作通过由控制装置19进行与该刮板44对应的刮板升降缸42的动作控制而使刮板保持件43上下来进行。在图2中，照相机单元17在水平面内的移动动作通过由控制装置19进行上述照相机单元移动机构17A的动作控制来进行。下方拍摄照相机17a的拍摄动作的控制和上方拍摄照相机17b的拍摄动作的控制通过各自的控制装置19进行，通过下方拍摄照相机17a的拍摄动作获得的图像数据和通过上方拍摄照相机17b的拍摄动作获得的图像数据分别向控制装置19发送，在控制装置19的图像识别部19a进行图像识别处理。掩模清洗器18在水平面内的移动和升降移动通过由控制装置19进行由未图示的促动器等构成的清洗器移动机构18A的动作控制来进行。另外，掩模清洗器18具备的纸部件32的进给动作通过由控制装置19使上述一对辊部件33动作来进行。掩模清洗器18的嘴部31进行的真空吸引动作通过控制装置19进行由未图示的促动器等构成的清洗器动作机构18B (图2)的动作控制来进行。在嘴部31进行真空吸引动作时，从嘴部31的真空吸引口 31a吸入的空气通过设于整流板34的整流孔34a而在嘴部31内向下方流动(图4 (b)及图6 (b)中所示的箭头标记Q),此时,空气的流动(流速等)与整流孔34a的大小及相邻的整流孔34a彼此的间距间隔等相对应。因此，预先准备整流孔34a的大小及相邻的整流孔34a彼此的间距间隔不同的多种整流板34，如果每次改变掩模15时更换整流板34，则可以将嘴部31内的空气的流动形成为与掩模15的种类相对应的最佳的状态，可以进行高效的掩模清洗。在这种构成的丝网印刷机I进行的丝网印刷作业中，控制装置19首先检测到从上游工序侧的其它装置送来基板2，使基板搬入输送机11和基板保持单元12的输送机22动作，在向丝网印刷机I内搬入基板2之后(图7所示的步骤ST1。图8 (a))，进行基板保持机构12B的动作控制，保持基板2 (图7所示的步骤ST2。图8 (b))。基板2的保持具体而言，通过用下支承部升降缸23推起下支承部24而将基板2顶起为从输送机22浮起的状态，另一方面(图8 (b)中所示的箭头标记Al)，将一对夹持部件25向闭合方向驱动而夹入基板2的两端(图8 (b)中所示的箭头标记BI)来进行。在控制装置19保持基板2的话，进行照相机单元移动机构17A的动作控制，使下方拍摄照相机17a位于设于基板2的基板侧标记2m (图1)的正上方，在下方拍摄照相机17a上进行基板侧标记2m的拍摄，另一方面，使上方拍摄照相机17b位于设于掩模15的掩模侧标记15m (图1及图3)的正下方，在上方拍摄照相机17b上进行掩模侧标记15m的拍摄。而且，根据所得到的基板侧标记2m的图像数据把握基板2的位置，并且，根据所得到的掩模侧标记15m的图像数据把握掩模15的位置，使基板保持单元12在水平面内方向移动，以基板侧标记2m和掩模侧标记15m上下相对的方式进行基板2相对于掩模15的水平面内方向的对位(图7所示的步骤ST3)。控制装置19在结束基板相对于掩模15的对位后，进行单元移动机构12A的动作控制，使基板保持单元12相对于基台10上升(图9 (a)中所示的箭头标记Cl),将保持基板2的一对夹持部件25从下方相对地压靠于掩模15的下面，由此，使一对夹持部件25及基板2各自的上面与掩模15的下面接触(图7所示的步骤ST4。图9 (a))。由此，基板2上的电极3和掩模15的图形孔15h成为一致的状态。[0055]控制装置19在使基板2与掩模15接触后，在与控制装置19连接的显示器装置DP(图2)中显示促使操作者OP进行膏Pt的供给的信息(图7所示的步骤ST5)。对于该显示，操作者OP在当前时刻目视残留于掩模15上的膏Pt，基于该膏Pt的量进行是否应进行膏Pt的供给(补充)的判断。而且，在判断为应进行膏Pt的供给时，通过另外准备的膏供给注射器(未图示)向掩模15上进行膏Pt的供给。而且，在判断为结束膏Pt的供给，或不需要膏Pt的供给时，操作者OP进行与控制装置19连接的再次动作按钮BT (图2)的操作。控制装置19在显示器装置DP中显示促进膏Pt的供给的信息后，每隔一定时间进行是否进行再次动作按钮BT的操作的判断(图7所示的步骤ST6)，基于来自再次动作按钮BT的信号输出，通过操作者OP检测到进行了再次动作按钮BT的操作时，进行刮板44的刮涂，将掩模15上的膏Pt转印于基板2上(图7所示的步骤ST7)。该刮涂具体而言是通过使两个刮板44中的一方从刮板头16下降，在维持使之与掩模15的上面抵接的状态下，使基底部件41向Y轴方向移动来进行的(图9 (b)中所示的箭头标记D)。由此,刮板44在掩模15上滑动,掩模15上的膏Pt被刮板44刮拢到一起并推入掩模15的图形孔15h内，转印于基板2的电极3上。另外，控制装置19使刮板头16从前方向后方移动而进行清洗时，使后侧的刮板44与掩模15上抵接,在使刮板头16从后方向前方移动而进行刮涂时，使前侧的刮板44与掩模15上抵接。控制装置19在进行刮涂而使膏Pt转印于基板2上之后，使单元移动机构12A动作，使基板保持单元12下降(图10 Ca)中所示的箭头标记C2)，使基板2及一对夹持部件25从掩模15离开而进行脱模(图7所示的步骤ST8。图10 (a))。由此，在基板2的电极3上残留膏Pt，在基板2上印刷膏Pt。控制装置19在结束脱模后，解除基板保持单元12对基板2的保持(图7所示的步骤ST9。图10 (b))。具体而言，该基板2的保持的解除通过由控制装置19使基板保持机构12B动作，在打开一对夹持部件25之后(图10 (b)中所示的箭头标记B2)，使下支承部24下降(图10 (b)中所示的箭头标记A2)，使基板2的两端落在一对输送机22上来进行。控制装置19在解除基板2的保持后，使单元移动机构12A动作，使基板保持单元12在水平面内移动，在调整了输送机22的方向后使输送机22及基板搬出输送机13动作，将基板2向丝网印刷机I的外部搬出(图7所示的步骤ST10)。控制装置19在搬出基板2后，进行是否另外有实施丝网印刷的基板2的判断(图7所示的步骤ST11)。其结果，在还有实施丝网印刷的基板2的情况下，返回步骤ST1，进行新的基板2的搬入，另外，在没有实施丝网印刷的基板2的情况下，结束一连串的丝网印刷作业。丝网印刷机I通过上述顺序对每张基板2进行丝网印刷作业，但是，在对数张 十多张(或数十张)的基板2进行这种丝网印刷作业时，由于附着于掩模15的下面的膏Pt (膏Pt的残渣)而可能使印刷状态发生不良。因此，在本实施方式的丝网印刷机I中，定期地执行使用掩模清洗器18的掩模15的清洗作业。在掩模清洗作业中，首先，操作者OP根据由此进行掩模清洗的掩模15的种类，从预先准备的多个整流板34中选择嘴部31内的空气流动最佳的整流板34，将该选择出的整流板34根据上述的要领安装于嘴部31。操作者OP在将与掩模15的种类对应的最佳的整流板34安装于掩模清洗器18的嘴部31后，进行上述动作开始按钮BT的操作。[0064]控制装置19在操作者OP检测到操作了动作开始按BT后，进行清洗器移动机构18A的动作控制，使掩模清洗器18位于掩模执行区域即掩模主体15a的下方，使掩模清洗器18由此上升(图11中所示的箭头标记W1)，使掩模清洗器18的清洗面18a接触掩模15的下面。控制装置19在使掩模清洗器18的清洗面18a与掩模15的下面接触后，进行清洗器移动机构18A的动作控制，一边使嘴部31进行真空吸引，一边使掩模清洗器18沿掩模15的下面向Y轴方向移动，通过掩模清洗器18的清洗面18a (纸部件32)擦拭附着于掩模15的下面的膏Pt的残渣(图11中所示的箭头标记W2及箭头标记W3)。而且，在检测到掩模清洗器18的清洗面18a到达掩模主体15a的端部后，使掩模清洗器18下降，使清洗面18a从掩模15的下面离开(图11中所示的箭头标记W4)。由此，掩模15的每一片的掩模清洗结束。控制装置19在掩模15的每一片的掩模清洗结束后，使一对辊部件33动作，进行纸部件32的卷取,更新清洗面18a。如以上说明，本实施方式的掩模清洗器18 (掩模清洗装置)在嘴部31内拆装自如地设有具有多个整流孔34a的一个或多个整流板34，该整流孔34a在进行真空吸引时使在嘴部31内流通的空气通过而将空气的流动整流，在改变掩模15的种类时，只要仅将具有与该掩模15的种类相对应的大小及间距间隔的整流孔34a的整流板34相对于嘴部31拆装(更换)即可，因此，不必对每个掩模15更换嘴部31，可以降低成本并且可以提高作业性。另夕卜，具备该掩模清洗器18的丝网印刷机I能够缩短掩模清洗所需的作业时间，因此，能够实现基板2的生广效率的提闻。产业上的可利用性提供一种每次替换掩模时不必更换嘴部，成本低并且能够提高作业性的掩模清洗装置及丝网印刷机。
权利要求1.一种掩模清洗装置，其设于使刮板在与基板的上面接触的掩模上滑动而将膏转印到基板上的丝网印刷机中，利用嘴部上端的真空吸引口在将纸部件压靠于掩模的下面的状态下进行真空吸引，同时相对于掩模相对移动，将附着于掩模下面的膏擦拭除去，其特征在于， 在嘴部内拆装自如地设有一个或多个整流板，该整流板具有在真空吸引时使在嘴部内流通的空气通过而将空气的流动整流的多个整流孔。
2.—种丝网印刷机，其特征在于，具备: 掩模，其与基板的上面接触； 刮板，其在与基板的上面接触的掩模上滑动，将膏转印于基板上； 掩模清洗装置，其利用嘴部的上端的真空吸引口在将纸部件压靠于掩模的下面的状态下进行真空吸引，同时相对于掩模相对移动，将附着于掩模下面的膏擦拭除去； 一个或多个整流板，其拆装自如地设于嘴部内，具有在真空吸引时使在嘴部内流通的空气通过而将空气的流动整流的多个整流孔。
专利摘要本实用新型的目的在于提供一种掩模清洗装置及丝网印刷机，不必在每次替换掩模时更换嘴部，成本低且可提高作业性。掩模清洗器(18)利用嘴部(31)上端的真空吸引口(31a)在将纸部件(32)压靠于掩模(15)的下面的状态下进行真空吸引，同时掩模清洗器(18)相对于掩模(15)相对移动而将附着于掩模(15)下面的膏(Pt)擦拭除去，掩模清洗器(18)在嘴部(31)内拆装自如地设有一个或多个整流板(34)，该整流板(34)具有在进行真空吸引时使在嘴部(31)内流通的空气通过而将空气的流动整流的多个整流孔(34a)。
文档编号B41F35/00GK202986337SQ20122060883
公开日2013年6月12日 申请日期2012年11月16日 优先权日2011年12月16日
发明者小林广纪, 村上俊行 申请人:松下电器产业株式会社