能够测量液滴的喷墨打印设备的制作方法

本发明涉及一种能够测量液滴的喷墨打印设备。

背景技术：

1、显示器制造工艺包括用于在基板(透明玻璃)上形成用于发光的元件的多个处理工艺。例如，处理工艺可以包括涂层、曝光、蒸镀、清洗、蚀刻等。各个处理工艺可以通过配置于显示器制造工厂的制造设备来依次执行。另外，作为处理工艺，介绍有向基板喷出液滴(墨水)而形成膜或者图案的喷墨打印技法。

2、另一方面，喷墨打印工艺通过向基板喷出液滴(墨水)来执行，当在喷出液滴的头单元的喷嘴中残留有液滴或者异物时，液滴的喷出位置可能产生误差。

技术实现思路

1、因此，本发明的实施例提供一种可以检查液滴的喷出状态并提前判断头单元的异常的能够测量液滴的喷墨打印设备。

2、本发明的解决课题不限于以上提及的，本领域技术人员可以从下面的记载中明确地理解未提及的其它解决课题。

3、根据本发明的能够测量液滴的喷墨打印设备包括：工艺台，提供工艺基板的处理空间；导向部件，配置于所述工艺台的两侧；头单元，向所述工艺基板喷出液滴；第一夹具，构成为沿着所述导向部件移动，并夹持所述工艺基板的侧部；第二夹具，构成为沿着所述导向部件移动，并夹持被喷出用于检查所述头单元的液滴的测量用基板；以及液滴检查部，检查喷出到所述测量用基板的所述液滴的喷出状态。

4、根据本发明的实施例，可以是，所述工艺基板以及所述测量用基板构成为以利用通过设置于所述工艺台的空气排出口施加的气压浮起的状态通过所述第一夹具以及所述第二夹具沿着第一方向移动，所述头单元构成为随着设置于所述工艺台的上方的门架沿着与所述第一方向垂直的第二方向移动，并对所述工艺基板以及所述测量用基板喷出所述液滴。

5、根据本发明的实施例，可以是，所述液滴检查部包括：影像检查单元，拍摄所述测量用基板上的液滴，并从拍摄到的图像检查所述液滴的喷出位置或者所述液滴的形状。

6、根据本发明的实施例，可以是，所述液滴检查部包括：超声波检查单元，朝向所述测量用基板上的液滴施加超声波发射信号，并接收从所述液滴反射的超声波反射信号，并且通过所述超声波反射信号检查所述液滴的喷出位置或者所述液滴的形状。

7、根据本发明的实施例，可以是，所述液滴检查部比较喷出到所述测量用基板上的液滴的位置和基准位置来输出与所述头单元中发生喷出不良的喷嘴有关的信息。

8、根据本发明的实施例，可以是，当所述测量用基板上的液滴喷出状态不正常时，所述液滴检查部输出通知针对所述头单元发生异常的信号。

9、根据本发明的实施例的能够测量液滴的喷墨打印设备包括：工艺台，提供工艺基板的处理空间；导向部件，配置于所述工艺台的两侧；头单元，向所述工艺基板喷出液滴；第一夹具，构成为沿着所述导向部件移动，并夹持所述工艺基板的侧部；第二夹具，构成为沿着所述导向部件移动，并夹持被喷出用于检查所述头单元的液滴的测量用基板；液滴检查部，检查喷出到所述测量用基板的所述液滴的喷出状态；以及清洗单元，去除残留于所述测量用基板的液滴。

10、根据本发明的实施例，可以是，所述清洗单元与所述工艺台相邻配置，所述导向部件向所述清洗单元延伸。

11、根据本发明的实施例，可以是，若所述液滴喷出到所述测量用基板，则所述第二夹具将所述测量用基板传送到所述液滴检查部，若完成对所述测量用基板上的液滴的检查，则所述第二夹具将所述测量用基板传送到所述清洗单元。

12、根据本发明的实施例，可以是，所述清洗单元包括：清洗液喷出部，将清洗液喷出到所述测量用基板而去除所述测量用基板上的液滴。

13、根据本发明的实施例，可以是，所述清洗单元包括：清洗用刮水器，通过物理接触去除所述测量用基板上的液滴。

14、可以是，根据本发明的实施例的能够测量液滴的喷墨打印设备包括：装载部，投入以及搬出工艺基板；工艺处理部，对所述工艺基板执行工艺处理；维护部，与所述工艺处理部相邻配置，并执行用于工艺处理的器具的维护；门架，设置于所述工艺处理部以及所述维护部的上方；以及头单元，构成为能够随着所述门架移动，并喷出用于对所述工艺基板进行处理的液体，所述工艺处理部包括：工艺台，提供所述工艺基板的处理空间；导向部件，配置于所述工艺台的两侧；第一夹具，构成为能够沿着所述导向部件移动，并夹持所述工艺基板的侧部；第二夹具，构成为能够沿着所述导向部件移动，并夹持被喷出用于检查所述头单元的液滴的测量用基板；液滴检查部，检查喷出到所述测量用基板的所述液滴的喷出状态；以及清洗单元，去除残留于所述测量用基板的液滴。

15、根据本发明的实施例，可以是，所述工艺台从下方被施加气压而使得所述工艺台浮起，所述第一夹具以及所述第二夹具构成为沿着所述工艺台在第一方向上移动，所述头单元构成为随着所述门架沿着与所述第一方向垂直的第二方向移动，并对所述工艺基板以及所述测量用基板喷出所述液滴。

16、根据本发明的实施例，可以是，所述液滴检查部包括：影像检查单元，拍摄所述测量用基板上的液滴，并从拍摄到的图像检查所述液滴的喷出位置或者所述液滴的形状。

17、根据本发明的实施例，可以是，所述液滴检查部比较喷出到所述测量用基板上的液滴的位置和基准位置来输出与所述头单元中发生喷出不良的喷嘴有关的信息。

18、根据本发明的实施例，可以是，所述液滴检查部比较所述液滴的形状和基准形状来输出与所述头单元中发生喷出不良的喷嘴有关的信息。

19、根据本发明的实施例，可以是，当所述测量用基板上的液滴喷出状态正常时，设定成所述第一夹具将所述工艺基板传送到所述头单元的下方，所述头单元向所述工艺基板喷出液滴，当所述测量用基板上的液滴喷出状态不正常时，设定成所述头单元移动到所述维护部。

20、根据本发明的实施例，可以是，所述维护部包括：喷嘴检查单元，检查所述头单元的各喷嘴；以及喷嘴清洗单元，去除残留于所述喷嘴的异物。

21、根据本发明，向通过第二夹具夹持的测量用基板喷出液滴，并使用液滴检查部来检查喷出到测量用基板的液滴，从而可以提前判断头单元的异常而采取措施。

22、本发明的效果不限于以上提及的，本领域技术人员可以从下面的记载中明确地理解未提及的其它效果。

技术特征：

1.一种能够测量液滴的喷墨打印设备，包括：

2.根据权利要求1所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，

3.根据权利要求1所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，

4.根据权利要求1所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，

5.根据权利要求1所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，

6.根据权利要求1所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，

7.根据权利要求1所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，

8.根据权利要求1所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，

9.一种能够测量液滴的喷墨打印设备，包括：

10.根据权利要求9所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，

11.根据权利要求9所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，

12.根据权利要求9所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，

13.根据权利要求9所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，

14.一种能够测量液滴的喷墨打印设备，包括：

15.根据权利要求14所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，

16.根据权利要求14所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，

17.根据权利要求14所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，

18.根据权利要求14所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，

19.根据权利要求14所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，

20.根据权利要求14所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，

技术总结
本发明的实施例提供一种可以检查液滴的喷出状态并提前判断头单元的异常的能够测量液滴的喷墨打印设备。根据本发明的能够测量液滴的喷墨打印设备包括：工艺台，提供工艺基板的处理空间；头单元，向所述工艺基板喷出液滴；第一夹具，夹持所述工艺基板的侧部；第二夹具，夹持被喷出用于检查所述头单元的液滴的测量用基板；以及液滴检查部，检查喷出到所述测量用基板的所述液滴的喷出状态。

技术研发人员：李奉文
受保护的技术使用者：细美事有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13