引导装置、工件输送工作台及喷墨印刷装置的制作方法

本公开涉及引导装置、工件输送工作台及喷墨印刷装置。

背景技术：

1、近年来，使用喷墨印刷装置来制造器件的方法受到注目。喷墨印刷装置具有进行液滴喷出的多个喷嘴，一边控制喷嘴与印刷对象物之间的位置关系一边从喷嘴喷出液滴，由此向印刷对象物涂布液滴。

2、作为这种喷墨印刷装置之一，已知有具备多个行式头的印刷装置。各行式头具备沿着印刷对象物的宽度方向并列设置的多个喷墨头。各喷墨头是具有多个喷出口的液滴喷头。通过将这样的多个行式头沿着与主扫描方向在同一水平面内正交的方向即副扫描方向上排列配置，能够对于宽度大的印刷对象物通过1次的输送工序而总体涂布墨。而且，通过将在副扫描方向上并列设置有多个喷墨头的多个行式头也在主扫描方向上排列配置，能够将例如颜色不同等的多种墨在1次的输送工序的期间总体地向印刷对象物涂布。根据这样的结构，例如对于g4尺寸(680mm×880mm)以上的大型的印刷对象物，也能够通过1次的输送工序来总体地涂布多种墨，因此能够减少向印刷对象物涂布墨的生产节拍。而且，存在为了容易使墨涂布后的干燥条件等均匀而例如能够对墨膜厚均匀地进行控制等印刷工艺上的优点。

3、然而，近年来，为了生产率的提高，要求印刷对象物的进一步的大型化。另一方面，也强烈要求显示器面板的高精细化，其结果是，要求的印刷位置的精度日益提高。因此，需要大型且行进精度高的工件输送工作台。作为响应该要求的一个结构，存在使用了具有空气轴承的引导装置的工件输送工作台。如图17所示那样，引导装置900具备基台901、引导构件902及可动部903。在基台901的左右方向(图17中的左右方向)两侧分别固定有沿着可动部903的引导方向(图17中的前后方向)延伸的引导构件902。在构成可动部903的可动体904的左右方向两侧，分别固定有轴承支承构件905。各轴承支承构件905构成为支承位于各引导构件902的外侧(右侧的引导构件902的右侧、左侧的引导构件902的左侧)的水平方向静压空气轴承906、以及位于各引导构件902的下侧的下侧静压空气轴承907。在可动部903中的与各下侧静压空气轴承907对应的位置，分别配置有上侧静压空气轴承908。

4、然而，在图17所示那样的引导装置900中，为了提高可动部903的行进再现性，需要提高各静压空气轴承906、907、908的轴承刚性。为了提高这样的轴承刚性，需要将静压空气轴承的轴承间隙(各静压空气轴承906、907、908和引导构件902中的与各静压空气轴承906、907、908对置的部位之间的间隙)保持为几微米～十几微米程度。另一方面，当可动部903变大而2根引导构件902的距离变远时，由于引导构件902的热膨胀等的影响，有可能难以精密地保持与各引导构件902的侧面对置配置的水平方向静压空气轴承906的轴承间隙。例如，有可能轴承间隙消失、水平方向静压空气轴承906破损。于是，研究解决这样的问题的方法(例如专利文献1)。

5、在专利文献1所述的引导装置中，在基台上的基准面固定有沿着可动部的引导方向延伸的1根引导构件。在可动部的可动体的下侧，固定有与引导构件的两侧面分别对置的2个对置部。在2个对置部中的与引导构件的各侧面对置的位置配置有水平方向静压空气轴承。而且，在可动体的下侧，以与2个对置部排列的方式固定有第二对置部。在2个对置部中的外侧的对置部(距第二对置部远的一侧的对置部)的下表面、以及第二对置部的下表面，分别配置有上下方向静压空气轴承。而且，在外侧的对置部的外侧(不存在另一个对置部(内侧的对置部)的一侧)和第二对置部的外侧(不存在内侧的对置部的一侧)，分别配置有以非接触状态将可动体朝向基台吸引的吸引力产生机构。根据这样的结构，能够将与引导构件的两侧面分别对置的水平方向静压空气轴承的距离保持得小，因此不容易受到引导构件的热膨胀的影响，即便工件输送工作台大型化，也能够精密地保持轴承间隙。

6、在先技术文献

7、专利文献

8、专利文献1：专利第4270192号公报

技术实现思路

1、本公开的一方案的引导装置具备基台、在所述基台上沿着引导方向延伸的第一引导构件及第二引导构件、沿着所述第一引导构件及所述第二引导构件移动的可动部、以及将所述可动部支承为能够移动的空气轴承部，所述可动部具备位于所述第一引导构件及第二引导构件上的板状的可动体、以及从所述可动体向下方延伸且将所述第一引导构件在宽度方向上夹着的第一轴承支承构件及第二轴承支承构件，所述空气轴承部包括：第一宽度方向空气轴承部及第二宽度方向空气轴承部，它们将所述可动部在所述宽度方向上支承于所述第一引导构件，且分别配置于所述第一轴承支承构件及所述第二轴承支承构件；以及第一上浮空气轴承部，其将所述可动部在上下方向上支承于所述第一引导构件，且配置于所述可动体，所述可动体形成为，包含所述第一轴承支承构件、所述第二轴承支承构件及所述第一上浮空气轴承部的配置位置在内的厚壁部的厚度比其他部位的厚度厚。

技术特征：

1.一种引导装置，其中，

2.根据权利要求1所述的引导装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的引导装置，其中，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的引导装置，其中，

5.一种工件输送工作台，其中，

6.一种工件输送工作台，其中，

7.一种喷墨印刷装置，其中，

8.一种喷墨印刷装置，其具备：

9.根据权利要求8所述的喷墨印刷装置，其中，

技术总结
提高可动部行进精度、实现轻量化的引导装置、工件输送工作台及喷墨印刷装置。引导装置具备基台、配置于基台上的第一、第二引导构件、沿着第一、第二引导构件移动的可动部、将可动部支承为能够移动的空气轴承部，可动部具备可动体、从可动体向下方延伸且将第一引导构件在该第一引导构件的宽度方向上夹着的第一、第二轴承支承构件，空气轴承部包括将可动部在宽度方向上支承于第一引导构件且配置于第一、第二轴承支承构件的第一、第二宽度方向空气轴承部、以及将可动部在上下方向上支承于第一引导构件且配置于可动体的第一上浮空气轴承部，可动体形成为包含第一、第二轴承支承构件及第一上浮空气轴承部的配置位置在内的厚壁部的厚度比其他部位厚。

技术研发人员：井上隆史
受保护的技术使用者：松下知识产权经营株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13