一种多孔陶瓷台板安装结构以及厚膜印刷机的制作方法

本技术涉及丝网印刷，特别涉及一种多孔陶瓷台板安装结构以及厚膜印刷机。

背景技术：

1、厚膜印刷机是以丝网印刷的方式在半导体片上印制线路、图型、电阻的专用设备。使用时，需要先将半导体片固定放置在多孔陶瓷台板上，其中多孔陶瓷同时称之为纳米微孔真空吸盘，是指经过特殊的纳米粉体制造工艺先生产出均匀的实心或者真空球体，通过高温烧结在材料内部生成大量彼此连体或闭合的陶瓷材料。具有高孔隙率、高强度、高平整度，及吸附能力非常强等特点，广泛应用于半导体加工行业，是各种半导体片加工过程中用于吸附及承载的专用性工具。

2、在相关技术中，多孔陶瓷台板与厚膜印刷机的底座之间进行安装过程较为复杂麻烦，往往需要使用多颗螺丝将多孔陶瓷台板与底座进行固定，导致安装拆卸时较为不便。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的是提出一种多孔陶瓷台板安装结构以及厚膜印刷机，旨在简化多孔陶瓷台板与厚膜印刷机的底座之间的安装步骤，使其二者安装拆卸更加便捷。

2、为实现上述目的，本实用新型提出一种多孔陶瓷台板安装结构以及厚膜印刷机，用于将多孔陶瓷台板安装至厚膜印刷机的底座上，其中所述底座上设有真空槽，所述真空槽的下端通过真空管路连接外部的负压装置；其中所述多孔陶瓷台板安装结构包括固定框，所述固定框的内部镶嵌有多孔陶瓷台板，所述固定框的底部设有若干垂直设置的定位杆，所述底座的表面设有与所述定位杆插入连接的定位孔；当所述定位杆插入至所述定位孔时，所述固定框的底部与所述底座相抵接，且所述多孔陶瓷台板与所述真空槽相连通；所述底座内部设有夹紧组件，所述夹紧组件用于对所述定位杆进行夹紧固定。

3、可选地，所述真空槽的正投影区域覆盖所述多孔陶瓷台板的正投影区域。

4、可选地，包括至少三根所述定位杆，至少三根所述定位杆分布于所述固定框的角位处。

5、可选地，所述夹紧组件包括对称设置的两个夹紧装置，两个所述夹紧装置分别位于所述定位杆的相对两侧；所述夹紧装置包括位移驱动装置以及夹紧块，所述夹紧块通过所述位移驱动装置向所述定位杆发生靠近运动。

6、可选地，所述夹紧块的一侧与所述位移驱动装置的驱动杆固定连接，所述夹紧块的另一侧设有内凹面，所述内凹面与所述定位杆的侧表面贴合连接。

7、可选地，所述定位杆的侧部设有凹陷部，所述凹陷部与所述夹紧块嵌入配合；且所述凹陷部的高度与所述夹紧块的高度相等。

8、可选地，所述固定框的底部设有导电片，所述底座的表面设有相互隔离的第一导电区以及第二导电区，所述底座的内部设有启动装置，所述启动装置与夹紧组件电性连接，所述启动装置的供电线路上设有所述第一导电区以及所述第二导电区；当所述定位杆插入至所述定位孔时，所述导电片的两侧分别连接所述第一导电区以及所述第二导电区，以使所述启动装置能够通电运作，从而驱动所述夹紧组件对所述定位杆进行夹紧。

9、可选地，所述底座的表面设有框型槽，所述框型槽围绕在所述真空槽的外侧，且所述框型槽的正投影区域位于所述固定框的正投影区域内；所述框型槽内部设有气囊体，所述底座的内部设有充气管路，所述充气管路的一端连接充气装置，所述充气管路的另一端连接所述气囊体的充气口；当所述气囊体受到充气膨胀时，由所述框型槽与所述固定框所组成的区域被所述气囊体所填充。

10、可选地，所述固定框的相对两侧的侧部均设有把手部。

11、为实现上述目的，本实用新型还提出一种厚膜印刷机，包括上述的多孔陶瓷台板安装结构。

12、与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

13、本实用新型通过将固定框的定位杆插入至底座的定位孔中，再通过底座内部的夹紧组件对定位杆进行夹紧固定，以实现将多孔陶瓷台板安装至厚膜印刷机的底座上。通过上述技术方案简化了多孔陶瓷台板与厚膜印刷机的底座之间的安装步骤，使其二者安装拆卸更加便捷。

14、使用时，将半导体片放置在多孔陶瓷台板的表面，随后启动负压装置，负压气体依次经过真空管路以及多孔陶瓷台板的内部孔隙，以将半导体片吸附固定在多孔陶瓷台板。

技术特征：

1.一种多孔陶瓷台板安装结构，用于将多孔陶瓷台板安装至厚膜印刷机的底座上，其中所述底座上设有真空槽，所述真空槽的下端通过真空管路连接外部的负压装置；其特征在于，所述多孔陶瓷台板安装结构包括固定框，所述固定框的内部镶嵌有多孔陶瓷台板，所述固定框的底部设有若干垂直设置的定位杆，所述底座的表面设有与所述定位杆插入连接的定位孔；当所述定位杆插入至所述定位孔时，所述固定框的底部与所述底座相抵接，且所述多孔陶瓷台板与所述真空槽相连通；所述底座内部设有夹紧组件，所述夹紧组件用于对所述定位杆进行夹紧固定。

2.根据权利要求1所述的多孔陶瓷台板安装结构，其特征在于：所述真空槽的正投影区域覆盖所述多孔陶瓷台板的正投影区域。

3.根据权利要求1所述的多孔陶瓷台板安装结构，其特征在于：包括至少三根所述定位杆，至少三根所述定位杆分布于所述固定框的角位处。

4.根据权利要求1所述的多孔陶瓷台板安装结构，其特征在于：所述夹紧组件包括对称设置的两个夹紧装置，两个所述夹紧装置分别位于所述定位杆的相对两侧；所述夹紧装置包括位移驱动装置以及夹紧块，所述夹紧块通过所述位移驱动装置向所述定位杆发生靠近运动。

5.根据权利要求4所述的多孔陶瓷台板安装结构，其特征在于：所述夹紧块的一侧与所述位移驱动装置的驱动杆固定连接，所述夹紧块的另一侧设有内凹面，所述内凹面与所述定位杆的侧表面贴合连接。

6.根据权利要求5所述的多孔陶瓷台板安装结构，其特征在于：所述定位杆的侧部设有凹陷部，所述凹陷部与所述夹紧块嵌入配合；且所述凹陷部的高度与所述夹紧块的高度相等。

7.根据权利要求1所述的多孔陶瓷台板安装结构，其特征在于：所述固定框的底部设有导电片，所述底座的表面设有相互隔离的第一导电区以及第二导电区，所述底座的内部设有启动装置，所述启动装置与夹紧组件电性连接，所述启动装置的供电线路上设有所述第一导电区以及所述第二导电区；当所述定位杆插入至所述定位孔时，所述导电片的两侧分别连接所述第一导电区以及所述第二导电区，以使所述启动装置能够通电运作，从而驱动所述夹紧组件对所述定位杆进行夹紧。

8.根据权利要求1所述的多孔陶瓷台板安装结构，其特征在于：所述底座的表面设有框型槽，所述框型槽围绕在所述真空槽的外侧，且所述框型槽的正投影区域位于所述固定框的正投影区域内；所述框型槽内部设有气囊体，所述底座的内部设有充气管路，所述充气管路的一端连接充气装置，所述充气管路的另一端连接所述气囊体的充气口；当所述气囊体受到充气膨胀时，由所述框型槽与所述固定框所组成的区域被所述气囊体所填充。

9.根据权利要求1所述的多孔陶瓷台板安装结构，其特征在于：所述固定框的相对两侧的侧部均设有把手部。

10.一种厚膜印刷机，其特征在于：包括如权利要求1-9任一项所述的多孔陶瓷台板安装结构。

技术总结
本技术公开了一种多孔陶瓷台板安装结构以及厚膜印刷机，用于将多孔陶瓷台板安装至厚膜印刷机的底座上，其中所述底座上设有真空槽，所述真空槽的下端通过真空管路连接外部的负压装置；其中所述多孔陶瓷台板安装结构包括固定框，所述固定框的内部镶嵌有多孔陶瓷台板，所述固定框的底部设有若干定位杆，所述底座的表面设有与所述定位杆插入连接的定位孔；当所述定位杆插入至所述定位孔时，所述固定框的底部与所述底座相抵接，且所述多孔陶瓷台板与所述真空槽相连通；所述底座内部设有夹紧组件，所述夹紧组件用于对所述定位杆进行夹紧固定。通过本技术简化多孔陶瓷台板与厚膜印刷机的底座之间的安装步骤，使其二者安装拆卸更加便捷。

技术研发人员：许迪,伍佩铭,董鹏程
受保护的技术使用者：乾宇微纳技术（深圳）有限公司
技术研发日：20230516
技术公布日：2024/1/15