显示面板输送装置及显示面板模块组装装置的制作方法

专利名称：显示面板输送装置及显示面板模块组装装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及在液晶或等离子体等FPD( = Flat Panel Display平板显示器) 的显示面板(显示单元基板)的周边搭载驱动IC或C0F(Chip on Film柔性软板)、 FPC(Flexible Printed Circuits 柔性印制电路)等所谓的 TAB( = Tape Automated Bonding带式自动焊接)连接，及安装周边基板(PCB = printed circuit board印刷电路 板)的显示面板模块组装装置。更具体而言，涉及能够更有效地进行显示面板模块组装装 置中的各处理作业的显示面板基板输送装置及显示面板模块组装装置的结构、方法。
背景技术：
显示面板模块组装装置是通过对液晶或等离子体等FPD的显示面板基板依次进 行多个处理作业工序，在所述显示面板基板的周边安装驱动IC、TAB及PCB等的装置。例如，作为处理工序的一例，包括(1)清除显示面板端部的TAB贴附部的端子 清洁工序、(2)在清除后的显示面板端部贴附各向异性导电薄膜(ACF = Anisotropic Conductive Film)的ACF工序、(3)在贴附了 ACF的位置定位显示面板侧的配线，搭载TAB 或IC的搭载工序、(4)通过对搭载的TAB进行加热压接，利用ACF薄膜固定的压接工序、(5) 检查搭载的TAB或IC的位置或连接状态的检查工序、(6)在TAB的显示面板侧的相反侧用 ACF等贴附PCB而搭载的PCB工序(多个工序)等。进而，根据处理的显示面板的边的数量 或处理的TAB或IC的数量等，需要各处理位置的数量或使显示面板旋转的处理单元等。显示面板模块组装装置通过连续配置进行这些处理作业工序的处理作业装置，利 用显示面板输送机构在其之间输送显示面板，从而进行显示面板的周边安装处理。专利文献1是表示显示面板模块组装装置的结构的一例的公知例。专利文献1中 公开了如下装置构成，其包括显示面板输送机构，在处理作业位置配置工作台，并从背面 吸附显示面板，从而使显示面板基板向配置在各处理作业位置的工作台进行搬入或搬出。 在该结构中，通过往复动作的多个输送机构，在进行各处理的处理作业工作台间输送显示 面板。通常，搬入显示面板的处理工作台保持显示面板，在显示面板的宽度、长度及水平旋 转方向等能够调整，在工作台进行显示面板的处理位置的定位，并实施各处理作业。在该方式中，在从上方吸附保持显示面板的输送机构和从下保持显示面板的工作 台之间实施显示面板交接。由从上方吸附保持显示面板所进行的输送中，在输送时停电或产生难以预料的情 况时，显示面板有从吸附盘脱离而落下的危险。进而，从上方进行的吸附输送方式由于产生 将构成显示面板的2片玻璃基板间的间隙扩大的力，有对显示面板造成损害之虞。尤其是， 在大型面板或薄型面板中损害变大，因此不能由从上方的吸附进行面板输送。因此，需要仅 从显示面板下方进行输送机构或处理机构间的交换动作。专利文献2公开了仅从显示面板的下方进行保持或交换显示面板动作的保持机 构的结构。作为处理作业时的显示面板的保持机构，公开有保持显示面板的中央附近的机 构，配合处理的显示面板尺寸，成为能够扩大面板的支承部的结构。在输送时，利用将处理作业时的显示面板保持机构夹入的方式配置的一对输送臂来交换。根据显示面板尺寸，以 夹入显示面板保持机构的方式配置的一对输送臂的间隔也被扩大地构成。在保持显示面板的中央的第一保持构件和夹着它的一对第二保持构件之间交接 显示面板的该方式中，不限于显示面板，通常可以广泛应用在从下方交换输送物体的场合。此种方式中，显示面板模块组装装置中，处理作业时要求高的处理位置的定位精 度，因此显示面板处理时，需要更稳定地保持显示面板。为此，通常处理工作台侧为从显示 面板的中央向外侧扩展保持的保持机构，在工作台间输送显示面板的保持机构由夹入处理 工作台的保持区域的外侧的保持臂构成。专利文献3是利用此种从显示面板下侧的交换动作进行输送的显示面板模块组 装装置的结构的一例。该装置中，处理作业位置处的工作台从中央保持显示面板。工作台 间的显示面板输送由从下表面保持显示面板的两侧的一对保持机构构成。专利文献4也是利用从显示面板下侧的交换保持动作进行输送的显示面板模块 组装装置结构的另一例。在该装置中，处理作业位置处的工作台从中央保持显示面板。工作 台间的显示面板输送由U字型的输送臂夹着工作台，保持显示面板的两侧下表面而进行。专利文献5公开有如下方法在由一对传送带构成的输送机构之间配置工作台， 由传送带保持显示面板的两侧下表面并进行输送。在各处理作业位置中，由工作台保持所 述显示面板中央附近，进行处理作业时的显示面板的定位动作。专利文献6公开了此种保持显示面板中央附近的工作台与由以夹着其外侧的方 式保持的输送机构来输送显示面板的一般方式不同，且配置在处理作业位置的工作台自身 也可兼做显示面板的输送机构的输送定位方式。该方式中，将处理作业时保持显示面板基 板并进行定位及处理作业的工作台形成为梳齿型，从而在相邻的工作台间，能够直接进行 显示面板基板的交接输送。具有不需要工作台间的输送机构，装置结构简单、易低成本化的 优点。专利文献1 日本特开2004-6467号公报专利文献2 日本特开平9-21987号公报专利文献3 日本特开2006-222287号公报专利文献4 日本特许3781604号公报专利文献5 日本特开2003-76290号公报专利文献6 日本特开2007-99466号公报如上所述，利用从显示面板之上的吸附保持所进行的输送在遇到输送时停电或不 可预测的情况时，有显示面板从吸附盘脱离而落下的危险，并且大型面板或薄型面板时会 对显示面板造成损害。因此，大型面板或薄型面板时，需要从显示面板下侧进行交接输送。在显示面板模块组装装置中，要求在处理作业时高的处理位置的定位精度，因此 在显示面板处理时，需要更稳定地保持显示面板。因此，进行处理作业的工作台从显示面板 的中央附近朝向外侧广阔地进行显示面板的下表面的保持。对工作台的保持区域外的显示 面板的两侧下表面进行保持而进行工作台间的显示面板的输送。专利文献3至5是利用从上述的显示面板下表面的保持交接动作的显示面板模块 组装装置的各种构成例。在这些构造中，在每个处理作业位置需要能够用于进行显示面板 的定位的多轴可动定位的工作台，既需要用于进行向工作台进行显示面板的搬入或搬出的输送机构，可动部的轴数多，构造复杂，变为高成本的装置。进而，根据进行处理作业的显示 面板尺寸，需要变更工作台的保持区域和对输送时的显示面板的两侧下表面进行保持的保 持臂的间隔。在专利文献3的结构中，从输送机构向工作台搬入和搬出显示面板的位置及处理 作业位置不同。工作台在搬出位置搬出处理后的显示面板之后，需要向处理作业后的显示 面板的搬入位置移动，接受新的显示面板，并移动到处理位置进行定位后处理作业。因此， 处理作业以外的显示面板的搬出搬入需要时间。在专利文献4中，相对于工作台，在处理装置的相反侧，具备利用U型臂进行显示 面板输送的输送机构，从而，能够大致同时进行从工作台的显示面板的搬出和搬入。输送机 构相对于工作台配置在处理装置的相反侧，因此装置宽度具有变大的倾向。进而，在适用于 大型显示面板的显示面板模块组装装置的情况下，难以接触工作台或处理单元，维护性上 容易产生问题。专利文献5的结构中，能够大致同时进行处理作业后的显示面板的搬出和搬入， 并且装置宽度也相对于处理的显示面板的最大尺寸不会大过需要的程度以上。但是，在显 示面板尺寸变更时，需要变更输送带的间距，作业非常繁杂。专利文献6的构成与专利文献3至5不同，通过将处理作业位置的工作台形成为 梳齿形，从显示面板的中央附近向外侧宽敞地保持显示面板的下表面，并且相邻的工作台 间，能够直接进行显示面板的交接。该方式由于仅为工作台的结构，因此仅由处理作业时的 定位动作所需要的可动轴来构成，能够实现比较简单的结构。但是，在专利文献6的结构中，工作台需要在显示面板的处理作业后向下游侧移 动，将处理结束后的显示面板交接给下游的工作台之后，向上游侧移动，接着接收处理的显 示面板之后，返回到处理作业位置，进行处理作业。因此，处理作业前后的显示面板的搬入 或搬出作业花费时间，存在显示面板模块的组装效率差的问题。进而，在专利文献3至5公开的现有的结构中，在改变显示面板的处理边的情况 下，在移动到工作台后，使显示面板旋转，因此显示面板在工作台上的保持时间变长，作业 效率降低。此外，显示面板模块组装装置连接多个种类的处理作业装置，并连续对显示面板 进行各种处理作业。在上述专利文献公开的处理作业装置的结构中，根据其处理作业内容， 在处理作业时间产生偏差。因此，时间短的工序的处理作业装置等待花费时间的工序的处 理作业装置的结束，显示面板的输送间隔与花费时间的工序的处理作业装置同步，使得在 时间短的工序的处理作业装置中产生作业停止时间。为了更有效地使各处理作业装置工作，考虑将花费时间的工序的处理作业装置相 对于时间短的工序的处理作业装置连接多个，取得各处理工序的节奏平衡。但是，在该方式 中，存在连接的处理作业装置的数量增加，显示面板模块组装装置整体的长度变得非常长 且复杂的问题。

发明内容
本发明提供一种能够由简单的装置结构来高速实现显示面板模块组装装置中的 显示面板输送或定位动作的显示面板输送机构。此外，通过使各处理作业装置的处理作业时间接近，提高各处理作业装置的处理作业效率，从而提供能够实现各处理作业的工作效率提高的显示面板模块组装装置。进而，能够容易对应宽度大的显示面板尺寸。本发明的目的在于提供不会增大装置全长或装置宽度等装置尺寸，而解决上述问 题的显示面板模块组装装置。为了达到上述目的，本发明的一个特征在于，各处理作业装置或处理作业位置具 备处理边保持固定机构和非处理区域保持机构，以保持处理的显示面板，所述处理边保持 固定机构与处理边平行且在处理边方向上细长地在处理边整个区域上对显示面板的距处 理边侧的处理边端均勻的距离内侧进行保持固定，所述非处理区域保持机构由在与显示面 板处理边方向正交的方向上长且保持显示面板下表面的至少一个以上的保持构件构成，对 相对于所述处理边保持固定机构在显示面板处理边相反侧的显示面板下表面区域进行保 持。并且所述显示面板模块组装装置具备多个显示面板输送定位机构，该显示面板输 送定位机构在相邻的所述各处理作业装置或处理作业位置间往复移动，能够向所述处理作 业装置或所述处理作业位置进行显示面板定位或显示面板的旋转动作。所述显示面板输送 定位机构中的用于在输送时保持显示面板输送时显示面板保持机构构成为对相对于所述 处理边保持固定机构在显示面板处理边相反侧的显示面板下表面区域进行保持。所述非处理区域保持机构为留有支承所述输送时显示面板保持机构的柱状构件 能过通过的空间，在与处理边方向正交的方向上较长突出到输送时显示面板保持机构的可 动区域内的悬臂梁结构，所述非处理区域保持机构和所述输送时显示面板保持机构构成为 具有用于防止显示面板交接时的相互接触的避让构造的形状。此外，所述非处理区域保持机构能够在与处理边保持固定机构正交的方向、平行 方向及重力方向中至少一个以上的方向上可动，所述输送时显示面板保持机构构成为根据 处理的显示面板的尺寸或处理的边的位置，能够改变保持位置。在所述结构中，在所述处理边保持固定机构的显示面板处理边侧且与处理边保持 固定机构接近的位置配置显示面板姿势检测机构，控制由所述显示面板输送定位机构输送 来的显示面板的显示面板姿势，并能够定位交接到所述处理边保持固定机构。除此以外，在显示面板模块组装装置中的至少一个以上的所述处理作业装置中， 将进行各处理作业的机构部单元化，并形成至少两个以上的处理单元对一个显示面板的1 边同时进行处理作业的结构。进而，所述多个处理单元具备对显示面板的处理边与处理单元的相对位置进行修 正的处理单元位置修正机构，并具有对进行处理的显示面板的处理边姿势进行检测的显 示面板姿势检测机构、利用所述显示面板姿势检测机构的检测结果算出所述各处理单元的 位置修正量的处理单元位置修正量算出机构。此外，所述多个处理单元设有能够在与显示面板的处理边方向平行的方向上移动 的工作机构，并且通过设置处理单元动作时序控制机构，形成对多个处理单元中的处理动 作和在显示面板基板边的处理位置间进行换位移动的换位移动动作的动作时序进行控制 的结构。发明效果根据本发明的一个方式，在各处理作业装置或处理作业位置设置处理边保持固定机构，以保持处理的显示面板，该处理边保持固定机构与处理边平行且在处理边方向上细 长地在处理边整个区域上对显示面板的距处理边侧的处理边端均勻的距离内侧进行保持 固定，从而对于基板处理边而言，能够在处理边整个区域进行可靠的固定保持。此外，通过设置非处理区域保持机构，该非处理区域保持机构由在与显示面板处 理边方向正交的方向上长且保持显示面板下表面的至少一个以上的保持构件构成，对相对 于所述处理边保持固定机构在显示面板处理边相反侧的显示面板下表面区域进行保持，从 而能够稳定地保持大范围的显示面板尺寸。进而，根据上述结构，由于相邻的所述各处理作业装置或处理作业位置间的显示 面板输送和向所述处理作业装置或所述处理作业位置进行的显示面板定位仅由所述显示 面板输送定位机构来进行，因此可动轴数可以变得比较少。此外，根据上述结构，能够在进行各处理作业期间将所述输送时显示面板保持机 构移动到接受下一个显示面板的上游的各处理作业装置或处理作业位置。进而，利用多个 所述显示面板输送定位机构，同时且一气地、或者同步地进行相邻的所述各处理作业装置 或处理作业位置间的显示面板输送，因此不会降低作业效率，能够有效地实现向基板的处 理作业位置的搬入、搬出动作。进而在上述结构中，能够在处理作业位置间的显示面板输送 时使显示面板旋转，因此即使在改变显示面板的处理边的情况下，也能够实现简单且高效 的输送处理作业。此外，在上述结构中，所述显示面板输送定位机构中的用于在输送时保持显示面 板输送时显示面板保持机构构成为将相对于所述处理边保持固定机构在显示面板处理边 相反侧的显示面板下表面区域较宽地保持。进而，所述非处理区域保持机构构成为留有支 承所述输送时显示面板保持机构的柱状构件能够通过的空间，并在与处理边方向正交的方 向上较长突出到输送时显示面板保持机构的可动区域内的悬臂梁。所述非处理区域保持机 构和所述输送时显示面板保持机构构成为具有用于防止显示面板交接时的相互的接触的 避让构造的形状。根据这些结构，无论用于显示面板输送的保持时还是用于处理作业的保 持时都可稳定保持显示面板，并能够应对大范围的显示面板尺寸。除此以外，能够使所述非处理区域保持机构在与处理边保持固定机构正交的方 向、平行的方向及重力方向中至少一个以上的方向上可动，并且将所述输送时显示面板保 持机构形成为根据处理的显示面板的尺寸或处理的边的位置，能够改变保持位置的结构， 进而能够应对从小板到大板的大范围的显示面板尺寸。此外，在上述结构中，在所述处理边保持固定机构的显示面板处理边侧且接近处 理边保持固定机构的位置配置显示面板姿势检测机构，通过控制由所述显示面板输送定位 机构输送来的显示面板的显示面板姿势，能够向所述处理边保持固定机构进行高精度的定 位交接动作。根据本发明的上述结构，将显示面板模块组装装置中进行各处理作业的机构部单 元化，并且形成至少两个以上的处理单元对一个显示面板的一边同时进行处理作业的结 构，能够提高慢的处理作业装置的作业效率。进而，根据上述结构，多个处理单元具备对显 示面板的处理边与处理单元的相对位置进行修正的处理单元位置修正机构，并设有对进行 处理的显示面板的处理边姿势进行检测的显示面板姿势检测机构和利用该显示面板姿势 检测机构的检测结果，算出上述的各处理单元的位置修正量的处理单元位置修正量算出机构，因此对于同一显示面板的一处理边能够独立地进行定位处理，如上所述，能够由多个处 理单元进行同时处理。 除此以外，根据上述结构，该多个处理单元设有能够在与显示面板的处理边方向 平行的方向移动的可动机构，并且设置对多个处理单元中的处理动作和在显示面板处理边 的处理位置间换位移动的换位移动动作的动作时序进行控制的处理单元动作时序控制机 构，从而能够防止进行处理作业的多个处理单元的冲撞等干涉，对于同一显示面板的一处 理边能够实现由多个处理单元进行的同时的处理作业。从而，通过调整配置在各处理作业装置或处理位置的处理单元数量，能够使各处 理作业装置的处理作业时间接近，提高各处理作业的工作效率，并且形成将显示面板模块 组装装置全长缩短的结构的显示面板模块组装装置。从以上的结果可知，根据上述本发明的结构，提供一种显示面板输送机构，其能够 以简单的装置结构来高速实现显示面板模块组装装置中的显示面板输送或定位动作。此 夕卜，通过使各处理作业装置的处理作业时间接近，提高各处理作业装置的处理作业效率，从 而提供能够实现提高各处理作业的工作效率的显示面板模块组装装置。进而，根据上述结 构，容易地应对从小板到大板的大范围的显示面板尺寸。如此，本发明不会增大装置全长或 装置宽度等装置尺寸，能够提供一种具有上述的各种特征的显示面板模块组装装置。本发明的上述特征及其他特征在以下的部分中进一步说明。


图1是用于说明本发明的实施方式的显示面板输送装置及使用其的显示面板模 块组装装置的基本结构的图。图2是图1的侧面剖视图，是用于说明显示面板基板的输送时的状态的图。图3是图1的侧面剖视图，是用于说明显示面板基板的固定时的状态的图。图4是从正面侧观察图1的输送系统的图，是用于对输送时显示面板保持机构的 待机位置进行说明的图。图5是与本发明的实施方式相关联，对于三个基板尺寸，用于说明处理边和由处 理边保持固定机构所保持的保持区域宽度和能够由输送时显示面板保持机构或非处理区 域保持机构保持的区域的图。图6是对能够进行4边处理为止的大型的显示面板的处理作业位置处的交接时的 处理边保持固定机构、非处理区域保持机构和输送时显示面板保持机构的配置关系的一实 施例进行说明图。图7是对能够进行3边处理为止的中型的显示面板的处理作业位置处的交接时的 处理边保持固定机构、非处理区域保持机构和输送时显示面板保持机构的配置关系的一实 施例进行说明的图。图8是对能够进行2边处理为止的小型的显示面板的处理作业位置处的交接时的 处理边保持固定机构、非处理区域保持机构和输送时显示面板保持机构的配置关系的一实 施例进行说明的图。图9是表示在显示面板设置的基准标志的一实施例的图。图10是本发明的实施方式的处理边保持固定机构附近的俯视图，是用于说明在处理边保持固定机构定位显示面板的方式的图。
图11是本发明的实施方式的处理边保持固定机构附近的侧视图，是用于说明在 处理边保持固定机构定位显示面板的方式的图。图12是用于对由本发明的实施方式的处理边保持固定机构来保持尺寸不同的显 示面板的保持方法进行说明的图。图13是在本发明的实施方式中，用于对多个处理单元对于1张显示面板同时进行 作业的方式进行说明的图。图14是在本发明的实施方式中，用于说明超高精度定位处理所需要的处理作业 装置的结构的图。图15是表示超高精度定位处理所需要的处理作业装置中的处理单元的定位机构 部结构的一实施例的图。图16是用于说明本发明的显示面板输送装置中的控制部结构的一实施例的图。图17是说明本发明的显示面板输送装置中的基本的控制方式的一实施例的图。1处理作业单元机构(A D 处理作业装置)2处理单元的X轴可动机构3处理边保持固定机构(A D 处理作业装置)4显示面板(A D 处理作业装置/W 宽度宽面板，N 宽度窄面板)5非处理区域保持机构(A D 处理作业装置)6X轴可动机构7Y轴可动机构8Z轴旋转可动机构9 θ轴旋转可动机构10输送定位机构的输送时显示面板保持机构11输送定位机构的输送时显示面板保持机构支承臂12处理装置相反侧的非处理区域保持机构的支承框体(Α D 处理作业装置)13各显示面板输送定位机构的区域(Α D 上游侧_下游侧处理作业装置)14输送定位机构的非干涉区域(Α D 上游侧-下游侧处理作业装置)15保持固定区域宽度16可保持区域17对输送时显示面板保持机构进行支承的柱状部分的进出入路径IN 显示面板搬入侧，OUT 显示面板搬出侧)18表示显示面板端部的基准位置的端部标志19表示TAB或IC等搭载位置的搭载位置标志20显示面板的基准标志检测机构(L，R 左右位置/1，2 位置)21显示面板的基准标志检测机构的可动域(L，R 左侧，右侧)22显示面板的基准标志检测机构的可动机构或导向件(X轴)23处理边保持固定机构表面的显示面板固定用吸附吸引口24处理作业装置的处理作业机构部及其区域25在处理边保持固定机构的两端部设置的基准标志部(L、R 左侧、右侧)
26在处理边保持固定机构内部形成的吸引腔(a、b、c 吸引腔的区域/L，R:左侧、右侧)27在处理边保持固定机构设置的开闭阀(a、b、c 与吸引腔的区域对应的开闭阀种/L，R 左侧、右侧)28从吸引泵等供给的负压系统29显示面板输送定位机构(包括符号6、7、8、9、10、11)30高精度定位处理单元的显示面板基准标志检测机构31使高精度定位处理单元整体移动的XYZ θ可动机构32高精度定位处理单元的处理位置修正机构33各处理作业装置控制机构和各处理作业装置间的控制通信信号34各处理作业装置控制机构(AC-1 AC-4)35各处理作业结束信号(也包含错误信号或处理作业中等的状态信号)36各处理作业开始信号37系统动作时序控制机构(MC)38显示面板输送结束信号[P 事前移动完成信号](也包含错误信号或输送作业中等的状态信号等)39处理作业装置内的处理单元机构控制机构(UC-1 UC-3)40输送动作开始信号[P 预告信号]41显示面板输送动作控制机构(BC-I)42各输送时显示面板保持机构的驱动装置的动作信号43各输送时显示面板保持机构的坐标位置等的检测信号44各输送时显示面板保持机构的驱动装置(Μ-1 Μ-5)45对各输送时显示面板保持机构B-I Β-5的坐标位置进行检测的传感器 (S-1 S-5)46处理作业装置47输送·定位动作控制信号[P 事前移动控制信号]48各处理作业装置控制信号49输送定位动作信号[P 事前移动动作信号]50处理作业中信号[P 处理作业结束预告信号]
具体实施例方式以下，根据图1至图12说明本发明的一实施方式。图1至图4是表示用于说明本发明的显示面板输送装置及使用其的显示面板模块组装装置的基本结构的一实施例的图。图1是从装置的上方(Ζ方向)观察装置的输送系 统的图，图2、图3是从装置的侧方(X方向)观察装置的输送系统的图，图4是从正面(Y方 向)观察装置的输送系统的图。为了说明，图1示意地示出了显示面板模块组装装置的连续的处理作业装置A D中的4台。图1的装置是将显示面板4从图中左向右在处理作业装置A D之间依次输送的同时，在显示面板的周边部进行各种处理作业，进行IC或TAB等安装组装作业的装置。 图中左侧的两个处理作业装置A、B是进行显示面板的长边侧(源极侧)的处理作业的装 置，右侧的两个处理作业装置C、D是进行显示面板的短边侧(栅极侧)的处理作业的装置。图中，显示面板4由双点划线表示各处理作业装置的处理作业位置所保持的状 态。文中或图中所示的各符号的数字之后的0内A D是表示相关的处理作业装置的记 号。对于输送装置，为了在两个处理作业装置间进行输送动作，以“ (A-B) ”的形式来表示上 游侧处理作业装置记号和下游侧作业装置记号。进而，各符号的数字之后的英文小写(a f等)表示将同一符号的各对象分割为多个的各结构部分。图中，省略处理作业装置A的上游侧的处理作业装置组与处理作业装置D的下游 侧装置组。作为显示面板模块组装装置整体，包括(1)清除显示面板端部的TAB贴附部的 端子清洁工序、(2)在清除后的显示面板端部贴附各向异性导电薄膜(ACF)的ACF工序、(3) 在贴附了 ACF的位置与显示面板配线定位而搭载TAB或IC的搭载工序、(4)通过对搭载的 TAB或IC进行加热压接，利用ACF薄膜固定的压接工序、进而(5)在TAB的显示面板侧的相 反侧由ACF等贴附搭载PCB的PCB处理工序(由多个处理工序构成)，并具有各种检查装置 等处理作业装置，并且根据处理边数等，形成多个处理作业装置相连的结构。当然，是否需 要将何种处理作业装置由几台以何种顺序连接依赖于进行组装作业的显示面板模块结构。本发明提供在多个连接的各种处理装置间高效输送并处理显示面板，生产率高的显示面板输送装置及使用其的显示面板模块组装装置。在本实施例中，在各处理作业装置或处理作业位置配置有处理边保持固定机构3 和非处理区域保持机构5，以保持处理的显示面板。处理边保持固定机构3是比预想的显示面板尺寸的最大处理边长更长的构件，且 处理边保持固定机构3为与处理边平行且在处理边方向上细长、在处理边整个区域保持并 固定显示面板4的距离处理边侧的处理边端均勻距离的内侧，从而修正处理区域中的显示 面板的变形等的构件。处理边保持固定机构3构成为，显示面板固定表面为刚体平面，在固 定平面部内设置多个空气吸引口，利用空气吸附将显示面板4吸附固定于处理边保持固定 机构3。利用空气吸附等，将显示面板的处理边侧附近吸附固定于处理边保持固定机构3， 从而即使在具有起伏等的显示面板4中，能够确保处理边侧的显示面板的平面性。对从处 理边保持固定机构3向处理装置侧突出的显示面板的处理边部进行各处理装置中的处理 作业。非处理区域保持机构5是相对于处理边保持固定机构3宽阔地保持显示面板处理 边的相反侧的显示面板下表面区域的构件，由在与显示面板处理边方向正交的方向上长且 保持显示面板下表面的多个构件构成。图1的实施例中表示了由六个构件5a 5f来保持 处理作业位置的显示面板的结构。非处理区域保持机构5通过宽阔地保持显示面板4的非 处理区域，从而将显示面板4保持在大致水平，其是辅助由所述处理边保持固定机构3所进 行的显示面板的固定保持的构件。通过配置与处理边平行地保持固定显示面板的构件和在与其正交的方向上较长 地保持显示面板下表面的保持构件，能够保持宽度比较大的尺寸范围的显示面板。在本实施例的装置中，通过使用上述显示面板保持方式，在各处理作业位置中，能 够高精度且稳定地保持各种尺寸的显示面板。由此，能够高精度且稳定地实施对各种尺寸的显示面板的处理作业。此外，在本实施例中，设有通过在相邻的所述各处理作业装置或处理作业位置间 往复移动输送显示面板4，并能够向所述处理作业装置的处理作业位置进行显示面板定位 或显示面板的旋转动作的显示面板输送定位机构。显示面板输送定位机构包括用于在处 理作业装置间输送显示面板的X轴可动机构6、与显示面板输送方向成直角的Y轴可动机构 7、可以改变显示面板的高度的Z轴旋转可动机构8、可以改变显示面板的旋转位置的θ轴 旋转可动机构9、用于保持显示面板的输送时显示面板保持机构10。输送时显示面板保持 机构10由从θ轴旋转可动机构9伸出的臂11支承，并能够改变臂长，从而构成为能够保 持尺寸不同的显示面板。 输送时显示面板保持机构10构成为，保持比所述处理边保持固定机构的保持位 置靠内侧的显示面板下表面区域，使显示面板4旋转，并能够将其交接固定在配置于处理 作业位置的所述处理边保持固定机构3。在本实施例中，公开了 4边全部可以作为显示面 板4的处理边的结构。从而，对于显示面板4的全部4边，不用进行显示面板4的交换保持 等就能够将处理边输送并固定在配置于所述处理作业位置的处理边保持固定机构3。在本 实施例的输送时显示面板保持机构10中，为了能够对显示面板的全部4边进行处理，形成 为支承显示面板4的中央附近的结构。当然，在处理边的数量不足4边的情况下，也不限于 此，也可形成为由其余的部分来保持处理边侧的结构。图2及图3是从侧面观察图1所示的本实施例的装置的情况的示意图。图2表示 为了在处理作业装置间输送显示面板4而抬起显示面板4的状况，图3表示为了在处理作 业装置中进行处理作业而将显示面板4放置在处理边保持固定机构3和非处理区域保持机 构5上的状况。在各处理作业装置的处理作业位置完成规定的处理后的显示面板4在通过 显示面板输送定位机构的输送时显示面板保持机构10的上升，而如图2所示抬起到处理边 保持固定机构3和非处理区域保持机构5的上方的状态下，输送到下游的各处理作业装置 或处理作业位置。例如，图1的处理作业装置Α —B、B —C、C —D的输送。输送后的显示 面板4通过显示面板输送定位机构的输送时显示面板保持机构10下降，而如图3所示交接 到处理边保持固定机构3和非处理区域保持机构5。然后，显示面板输送定位机构的输送时 显示面板保持机构10通过非处理区域保持机构5的下方，移动到上游的显示面板4的接收 位置。显示面板4的处理边的处理作业是由处理边保持固定机构3和非处理区域保持机构 5固定并保持基板而进行的。因此，显示面板输送定位机构的输送时显示面板保持机构10 能够在显示面板处理边的处理作业中通过非处理区域保持机构5的下方，返回移动到上游 侧的显示面板4的接收位置。在图1的情况下，处理作业装置B — A、C — B、D — C的移动 为显示面板输送定位机构的输送时显示面板保持机构10的返回移动动作。从而，能够有效 地实现显示面板4的输送。如图2及图3所示，显示面板输送定位机构在跨相邻的两个处理作业装置而配置 的X轴可动机构6之上配置与其正交的Y轴可动机构7，在其上配置上下方向的Z轴旋转可 动机构8、进而在其上配置θ轴旋转可动机构9，进而在其上由臂11保持输送时显示面板 保持机构10。为了从上游的处理作业位置进行显示面板搬入和向下游的处理作业位置进 行显示面板搬出，在相同的处理作业装置或处理作业位置需要配置两个输送时显示面板保 持机构10。因此，在图的实施例中，将X轴可动机构6(也称为X轴可动导向件)锯齿状配置，并配置在最下层。对于Y轴可动机构7而言，其原理上也可以配置在Z轴旋转可动机构 8的上侧，但不能在Y轴可动导向件的可动范围内配置构件，因此优选接着X轴在X轴可动 机构的正上配置可动范围变大的Y轴可动机构7。对于Z轴旋转可动机构8而言，其原理上 也可以配置在θ轴旋转可动机构9的上侧，但旋转时的惯性重量变大，若考虑旋转动作后 的振动停止时间，则优选θ轴旋转可动机构9配置在更上方。在图1至图4所示的本发明 的实施例中，如此构成显示面板输送定位机构。在图示的实施例中，将X轴可动机构6锯齿状配置，但这是由于将各显示面板输送 定位机构独立构成所决定的。也就是说，各显示面板输送定位机构中的每个输送时显示面 板保持机构10的可动范围内，将X轴可动机构6分割并独立构成。
在显示面板模块组装装置中，由于显示面板输送定位机构在X方向上排列配置， 因此能够在相邻的显示面板输送定位机构间共有X轴可动机构6。从原理上而言，也可考虑 在显示面板模块组装装置全长上，各显示面板输送定位机构共有一个X轴可动机构6。如 此，显示面板模块组装装置整体中的输送系统的X轴可动机构或X轴可动导向件很少即可， 在成本上是有利的。但是，显示面板模块组装装置中的各输送时显示面板保持机构10的可动范围变 为数m程度。因此，在一体地构成相邻的显示面板输送定位机构的X轴可动机构6的情况 下，X轴可动导向件变得非常长。当然也可考虑连接X轴可动导向件，形成长条的X轴可动 导向件的方法，但在该情况下，为了满足输送精度等要求，确保分割位置或分割精度变得重要。在图1至图4的实施例中，为了容易理解说明，公开了在每一个显示面板输送定位 机构锯齿状配置独立的X轴可动机构6的结构。作为实际的结构，需要考虑上述成本方面 以及X轴可动导向件的分割位置或连接时的精度确保的容易性，而确定X轴可动机构6的 长度。作为X轴或Y轴的可动机构，作为使输送时显示面板保持机构10直线可动的机构 可以使用线性电动机或滚珠丝杠等所形成的一般的滑动台机构。对于Z轴的可动机构而 言，也可利用线性电动机或滚珠丝杠等来直接驱动，但由于要求可动距离比X轴或Y轴短， 所以若考虑高度方向的机构部薄型化等，则期望利用将利用了楔等的水平可动变换为升降 运动的各种一般的方法。对于θ轴的旋转运动而言，可以由马达和减速机等容易地构成。 本实施例的显示面板输送定位机构需要向处理边保持固定机构3高精度地进行定位交接， 因此当然需要利用伺服电动机或直线检测元件来确保位置坐标和旋转坐标精度。在本实施例的结构中，为了相邻的显示面板输送定位机构的输送时显示面板保持 机构10或其上所保持的显示面板4不干涉，需要在同一时序进行相邻的各处理作业装置或 处理作业位置中的输送时显示面板保持机构10的输送动作。显示面板模块组装装置由多 个处理作业装置或处理作业位置构成。因此显示面板输送定位机构也需要多个，为了进行 高速的连续输送，需要使他们在同一时序向下游侧输送显示面板。但是，在使多个显示面板 输送定位机构完全同时可动的情况下，存在可动机构的加减速动作时的必要电流变得极大 的问题。为了应对该问题，除了在各个输送系统的驱动电路使用电容器等而确保瞬间最大 电流的方法以外，使相邻的单元间的输送机构动作时序从下游侧朝向上游侧稍微延迟的方 法也是有效的。在需要瞬间最大电流的输送机构的加速或减速时间相对于输送机构的动作距离或时间短，因此通过以使其不重合地给予稍微的延迟，能够将作为装置整体的必要最 大电流抑制为较小。由此，不需要在输送系统的驱动电路配置大容量的电容器等。显示面板输送定位机构的加速时间为数10 数100msec左右，因此作为实际的相 邻的显示面板输送定位机构的可动时序的延迟时间，数10 数100msec左右是适当的，是 考虑输送系统的加减速的时间和同时工作台数及此时的必要最大电流而确定的。在本发明 的显示面板输送装置及使用其的显示面板模块组装装置中，在大致最短的距离且大致同一 时序，在相邻的各处理作业装置或处理作业位置间输送，从而能够以短的装置结构来实现 高速的输送。接着，对本发明的实施例结构中显示面板输送定位机构中的输送时显示面板保持 机构10的冲撞防止对策进行说明。在本实施例的结构中，在同一处理作业装置或处理作业 位置配置有两个输送时显示面板保持机构10，因此即使在同一时序进行相邻的显示面板输 送定位机构中的输送时显示面板保持机构10的输送动作，也存在产生冲撞的危险。进行高 速移动的输送时显示面板保持机构10的冲撞对装置的损害大，需要事先探讨充分的预防 对策。在本实施例的装置中，为了防止冲撞事故，具有如下方法对输送时显示面板保持 机构10相对于用于控制显示面板输送定位机构的驱动信号的位置坐标等进行监控，若驱 动信号与输送时显示面板保持机构10的位置坐标产生规定以上的差异，则作为异常而使 装置停止。进而，该软性的冲撞事故增加到防止对策中，在本实施例的装置中，以显示面板 输送定位机构中的输送时显示面板保持机构10的停止位置或待机位置变为进行显示面板 的输送的上游侧和下游侧的两个处理作业装置或处理作业位置的中间的位置的方式来实 施显示面板输送定位机构的动作控制。图4是用于说明输送时显示面板保持机构10的待机位置的图。位于图中的中央 的输送时显示面板保持机构10 (B-C)是从处理作业装置B到处理作业装置C的处理作业位 置之间在输送时保持显示面板的输送时显示面板保持机构10(B-C)。将显示面板交接到显 示面板输送定位机构中的下游侧的处理作业装置C的处理作业位置之后的输送时显示面 板保持机构10(B-C)并不是返回到上游侧的处理作业装置B的处理作业位置，而是在图示 的上游侧和下游侧的两个处理作业装置或处理作业位置的中间位置暂时停止待机。而且， 以与上游侧的处理作业装置B的处理作业结束时序相配合，使输送时显示面板保持机构 10(B-C)开始移动的方式来控制显示面板输送定位机构。在上游侧处理作业装置B和下游 侧处理作业装置C的处理作业位置的中间位置存在相邻的显示面板输送定位机构间的非 干涉区域。在如图所示的位置，使输送时显示面板保持机构10 (B-C)待机，从而防止与上游 侧的显示面板输送定位机构中的输送时显示面板保持机构10(A-B)或下游侧的显示面板 输送定位机构中的输送时显示面板保持机构10(C-D)接触，即使在由于未预料到的故障等 而使输送时显示面板保持机构10(B-C)停止的情况下也确保安全性。在图4中，由双点划 线表示上游侧及下游侧的输送时显示面板保持机构10(A-B)、10(C-D)与停止于待机位置 的输送时显示面板保持机构10(A-B)接近的状态。与相邻的显示面板输送定位机构的非干涉区域14相对于输送时显示面板保持机 构10的宽度窄的情况下，使相邻的显示面板输送定位机构间的待机时的输送时显示面板 保持机构10的高度方向上带有位置差的方法是有效的。根据该方法，即使在与相邻的显示面板输送定位机构的非干涉区域14窄的情况下，也能够确实地防止输送时显示面板保持 机构10之间的接触。图4表示在待机位置停止的输送时显示面板保持机构10(B-C)与上 游侧的输送时显示面板保持机构10(A-B)之间带阶梯差的状态的一例。当然，即使将输送时显示面板保持机构10的待机位置设置在相邻的处理作业位 置的中间的位置，与各处理作业装置的处理作业结束时序相配合，输送时显示面板保持机 构10早些从待机位置开始向显示面板输送方向下游侧的显示面板接收位置移动，也能够 完全防止时间损失的发生。图1至图4所示的本发明的一实施例的各显示面板输送定位机构中，将独立的X 轴可动机构6锯齿状配置。但是，如上所述也可考虑在相邻的显示面板输送定位机构间共 有X轴可动机构6的结构。在此种情况下，各输送时显示面板保持机构10的可动允许范围或与相邻的显示 面板输送定位机构的非干涉区域14存在。因此，将处于处理作业装置的中间附近的位置的 非干涉区域14设为输送时显示面板保持机构10的待机位置的上述控制方法作为相邻的输 送时显示面板保持机构10之间的接触防止对策是可以实现一定的效果的。除此之外，在相 邻的显示面板输送定位机构间共有X轴可动机构6的结构中，利用机械或电气式止动器机 构，对各输送时显示面板保持机构10的可动范围预先进行限制来作为相邻的输送时显示 面板保持机构10之间的接触防止对策也是重要的。上述机械式止动器是指利用物理的碰 撞构件设置所形成的超程防止机构等，电气式止动器是指在各显示面板输送定位机构间独 立地形成利用传感器进行的超程检测反馈系统或X轴可动机构的方法等。图1至图4所示的本实施例的显示面板输送定位机构中的输送时显示面板保持机 构10由放射状伸出的臂11保持在形成为柱状的z轴旋转可动机构8及e轴旋转可动机 构9之上。在各处理作业位置所配置的所述非处理区域保持机构5形成为留下能够使所述 柱状部分通过的空间，在输送时显示面板保持机构10的可动区域内，在与处理边方向正交 的方向上较长突出的悬臂梁结构，从而能够较宽地保持显示面板的下表面。当然，为了将从 上游段的处理作业位置输送来的显示面板交接到下游的处理作业位置的处理边保持固定 机构3，在输送时显示面板保持机构10下降的位置处，当然需要所述非处理区域保持机构5 与所述输送时显示面板保持机构10构成为具有用于防止显示面板交接时的相互接触的避 让构造的形状。接着，对本实施例的处理作业装置位置处的显示面板的处理边或各种显示面板尺 寸的对应方法进行说明。图1所示的本实施例的显示面板模块组装装置中，上游侧的两个处理作业装置A、 B是进行显示面板的长边侧(源极侧)的处理作业的装置，下游侧的两个处理作业装置C、D 是进行显示面板的短边侧(栅极侧)的处理作业的装置。如图所示，在各处理装置所配置 的非处理区域保持机构5根据显示面板的处理方向，其保持位置不同。因此，本实施例的装 置中，将非处理区域保持机构5形成为能够在与处理边保持固定机构正交的方向、平行的 方向上可动的结构。若将非处理区域保持机构5形成为能够改变位置的结构，则在一个处 理装置中，能够容易地应对不同的显示面板边的处理。也就是说，将进行图1的显示面板4 的长边侧(源极侧)的处理作业的处理作业装置AB切换为短边侧(栅极侧)的处理作业来使用，或相反地，也可由进行显示面板的短边侧(栅极侧)的处理作业的处理作业装置⑶ 来进行长边侧(源极侧)的处理作业。进而，若自动控制非处理区域保持机构5的位置变更动作，则仅由一个处理单元， 能够进行长边侧(源极侧)的处理作业和短边侧(栅极侧)的处理作业。也就是说，在长 边侧(源极侧)的处理作业后，由输送时显示面板保持机构10使显示面板抬起并旋转，将 非处理区域保持机构5的位置变更为短边用，并再次交接到处理边保持固定机构，从而在 一个处理作业装置中，能够进行多个边的处理。若重复该动作，原理上而言，能够由一台处 理作业装置完成对于显示面板4边的一个处理作业。当然，在该情况下，需要4次处理作业 量的处理时间和3次显示面板的旋转或再配置动作，因此处理作业时间变长。因此，通常优 选与所需要的处理作业时间相配合地，连接多个处理作业装置。非处理区域保持机构5的位置变更动作的自动化通过通常的直动促动器等组合 能够比较容易实现。进而，说明在本实施例的显示面板模块组装装置中，从小板到大板尺寸差异大的 显示面板的对应方法。在本发明的显示面板模块组装装置中，在显示面板的处理边侧设有处理边保持固 定机构3，该处理边保持固定机构3为了对处理区域中的显示面板的变形等进行修正，与处 理边平行且在处理边方向上细长地在处理边整个区域上保持显示面板的距离处理边端均 勻距离的内侧。而且，由所述非处理区域保持机构5或输送时显示面板保持机构10所进行 的显示面板保持或交接动作利用除了处理边及由处理边保持固定机构3保持的保持区域 以外的显示面板4的下表面区域来进行。图5是对3种尺寸不同的显示面板4示意地表示处理边(S1边、S2边、G1边、G2 边的4边)、由处理时用于保持固定显示面板的处理边保持固定机构3所实现的保持固定区 域宽度15、和能够用于由非处理区域保持机构5或输送时显示面板保持机构10所进行的显 示面板保持或交接动作的显示面板的可保持区域16。在图5中，由影线表示能够用于非处 理区域保持机构或输送时显示面板保持机构所进行的显示面板保持或交接动作的显示面 板的可保持区域16。例如，图中符号15a_Sl表示大型显示面板基板(a)的S1边侧的保持 固定区域宽度。此外，15b-Gl表示中型显示面板基板(b)的G1边侧的保持固定区域宽度。 其他也同样。由本发明中想定的处理边保持固定机构3所保持的保持固定区域宽度15当然受 到各处理作业的内容或处理的显示面板的最大尺寸等装置规格的影响。但是，在设想一般 的显示面板模块组装装置中的处理作业的情况下，由处理边保持固定机构3固定离处理边 端100mm左右的位置也是可以的。此外，即使考虑极端的结构，由处理边保持固定机构3进 行的固定保持所需要的区域为距离处理边端数10 200mm以下左右。实际上，在本实施例 的显示面板模块组装装置中，即使将最大处理显示面板尺寸考虑到相当于50 60英寸，在 设计上探讨的结果，将由处理边保持固定机构3所进行的保持固定位置形成在距离处理边 端不到100mm程度。图5绘制了将由处理边保持固定机构3进行的保持固定区域设为距离处理边端 100mm的情况下，以a)大型显示面板基板32英寸宽等级，b)中型面板尺寸基板20英寸 宽等级，c)小型面板尺寸基板13英寸等级，能够由输送时显示面板保持机构10保持显示面板4的区域。在图中的a)32英寸宽等级中，通过由输送时显示面板保持机构10保持显示面板 4的中央，从而在源极侧、栅极侧的4边能够确保保持固定区域宽度15。但是，显示面板尺 寸小的b) 20英寸宽等级，c) 13英寸宽等级中，当在全部4边确保100mm宽度的保持固定用 区域时，难以确保由非处理区域保持机构5或输送时显示面板保持机构10所进行的显示面 板4的保持或交接动作所使用的显示面板的可保持区域16。在此种小的显示面板4的输送中，如图所示，若规定处理边的部位或数量，在b) 20 英寸宽等级中，规定源极1边和栅极2边；在c) 13英寸等级中，规定源极1边和栅极1边， 则能够确保由本发明的显示面板模块组装装置中的非处理区域保持机构5或输送时显示 面板保持机构10所进行的显示面板4的保持或交接动作所使用的显示面板的可保持区域 16。如此一来，本发明的显示面板输送装置及使用其的显示面板模块组装装置目的是 特别针对大型或薄型的显示面板进行高速高精度处理作业，但通过对处理边的数量加以限 制，也能够将可对应范围扩大到从相当于50 60英寸的超大型显示面板至10几英寸等级 的小型面板。由非处理区域保持机构5或输送时显示面板保持机构10所进行的显示面板4的 保持或交接动作所使用的显示面板的可保持区域16的必要面积是在各种动作时对显示面 板施加的加速度等所导致的外力或显示面板4的吸附保持力所确定的，若能够吸附保持大 概显示面板4的一半以上的宽度，则能够稳定地进行显示面板保持或交接动作。图5的a) 32英寸宽等级，b) 20英寸宽等级，c) 13英寸等级的显示面板尺寸是在设 定100mm宽度的确保保持固定用区域的情况下，能够以显示面板的一半的宽度来保持的最 小显示面板尺寸附近。也就是说，在本实施例的显示面板模块组装装置中，通过将32英寸宽等级以上的 最大处理边数设为4边、将32 20英寸宽等级的最大处理边数设为3边、将20英寸以下 的显示面板尺寸的最大处理边数设为2边，从而能够应对到13英寸为止的处理作业。现实 而言，在此种中小型等级的显示面板基板中，几乎不需要对于4边处理或3边处理等的处理 作业，在实用上，该处理边数的限制不会成为问题。图6是说明能够进行到4边处理为止的大型的显示面板4的处理作业位置处交接 时的处理边保持固定机构3、非处理区域保持机构5和输送时显示面板保持机构10的配置 关系的一实施例的图。输送时显示面板保持机构10扩展到较宽地保持除了由处理边保持 固定机构3所保持的显示面板4的周边部的区域16的4角为止。如上所述，非处理区域保 持机构5确保支承输送时显示面板保持机构10的所述柱状部分能够通过的间隙，并且配置 在避开输送时显示面板保持机构10所保持的显示面板4的保持区域的位置。图6的箭头 表示显示面板搬入侧的显示面板输送定位机构中的支承输送时显示面板保持机构10的柱 状部分的进出入路径17 及显示面板搬出侧的支承输送时显示面板保持机构10的柱状部 分的进出入路径17ot。图7是说明能够进行到3边处理为止的中型的显示面板4的处理作业位置处的交 接时的处理边保持固定机构3、非处理区域保持机构5和输送时显示面板保持机构10的配 置关系的一实施例的图。由于显示面板尺寸小，因此由输送时显示面板保持机构10所保持的可保持区域16窄，因此四个输送时显示面板保持机构10比图6缩小。此外，在显示面板 的长边侧处理作业时(图7a)，由处理边保持固定机构3和非处理区域保持机构5仅保持显 示面板的两侧，但由于显示面板4的短边侧宽度窄，因此即使在图示的保持状态下，也能够 足够稳定地保持显示面板4。在显示面板的短边侧处理作业时时，显示面板的非处理区域从 处理边保持固定机构3较长地伸出，非处理边侧也需要由非处理区域保持机构5进行保持。 图7的箭头与图6同样表示显示面板搬入侧的显示面板输送定位机构中的支承输送时显示 面板保持机构10的柱状部分的进出入路径17IN及显示面板搬出侧的支承输送时显示面板 保持机构10的柱状部分的进出入路径17·。 图8是说明能够进行到2边处理为止的小型的显示面板的处理作业位置处的交接 时的处理边保持固定机构3、非处理区域保持机构5和输送时显示面板保持机构10的配置 关系的一实施例的图。由于显示面板尺寸小，因此使四个输送时显示面板保持机构10紧 靠，仅将进行处理的两个处理边侧以从输送时显示面板保持机构10突出的方式来保持。如 图所示，由该情况下的非处理区域保持机构5所保持的保持区域仅为未进行处理的处理边 附近区域部。但是，在小型显示面板中，由自重所导致的显示面板的变形也小，能够充分稳定地 保持显示面板4。图8的箭头与图6及图7同样表示显示面板搬入侧的显示面板输送定位 机构中支承输送时显示面板保持机构10的柱状部分的进出入路径17IN及显示面板搬出侧 的支承输送时显示面板保持机构10的柱状部分的进出入路径17ott。如此一来，在本发明的显示面板输送装置及使用其的显示面板模块组装装置中， 能够改变各处理作业装置或配置在处理作业位置的非处理区域保持机构5和输送时显示 面板保持机构10的位置，从而能够应对从小板到大板的尺寸较大不同的显示面板。该非处 理区域保持机构5的可变机构除了应对上述的显示面板处理边的切换动作或各种显示面 板尺寸以外，也可实现以下效果。例如，若构成为非处理区域保持机构5能够在上下方向上可动，则在输送时显示 面板保持机构10和非处理区域保持机构5间，能够减小显示面板4的交换保持动作时所需 要的输送时显示面板保持机构10的上下方向上的可动距离，能够实现显示面板交换保持 动作速度的提高或可动机构的简单化的效果。进而，当未保持显示面板4时，通过使非处理区域保持机构5可动退避，具有输送 时显示面板保持机构10的可旋转区域扩大的效果。在本发明的结构中，输送时显示面板保 持机构10和非处理区域保持机构5为了防止动作时的接触，形成为在三维上进入的结构。 因此，在需要大的区域的旋转动作时，输送时显示面板保持机构10移动到输送时显示面板 保持机构自身或其上保持的显示面板4不与非处理区域保持机构5等周边构件接触的位置 之后，需要进行旋转动作。使非处理区域保持机构5退避，从而若使输送时显示面板保持机 构10的可旋转区域扩大，则不需要输送时显示面板保持机构10移动到旋转位置，或至少使 其变短。但是，相应地，搭载非处理区域保持机构5的退避机构的结构复杂，因此需要在考 虑退避构造的复杂或所需成本和上述的效果来确定是否采用退避机构。上述根据图1至图8说明的显示面板输送装置及显示面板模块组装装置是本发明 的一实施例。本发明的特征之处在于由处理边保持固定机构3来固定保持显示面板的处理 边侧附近，并且由输送时显示面板保持机构10和非处理区域保持机构5交换保持除了由处理边保持固定机构3所进行的保持固定区域以外的可保持区域的同时进行输送。此外，输 送时显示面板保持机构10和非处理区域保持机构5形成为防止相互干涉的梳齿样形状，从 而在处理作业时和输送保持时同时实现显示面板的稳定保持。进而，通过使用处理边保持 固定机构3和与处理边保持固定机构3大致直行的非处理区域保持机构5、或者使非处理区 域保持机构5可动，从而对于处理作业时的显示面板而言，能够实现应对大范围的显示面 板尺寸。由图1至图8说明的实施例只不过是一例，输送时显示面板保持机构10和非处理 区域保持机构5的形状或它们可动范围等的结构除了由图1至图8说明的本实施例以外也 考虑各种方式。尤其是，对应的显示面板尺寸范围或处理边的位置或数量等装置规格对其 结构带来影响。当然，对于实际的装置中的详细构造而言，需要适当使用上述本发明的设计 思想并根据目的规格来进行设计。接着，对在本发明的显示面板输送装置及显示面板模块组装装置中，利用输送时 显示面板保持机构10在处理边保持固定机构3定位显示面板4的方式进行说明。通常，显示面板4的处理边及处理部位设有基准标志。图9是表示显示面板4设 有的基准标志的一例的图。作为基准标志，形成有表示显示面板端部的基准位置的端部标 志18和表示TAB或IC等搭载位置的搭载位置标志19等。基准标志的形态各种各样，除了 图示的“ + ”或“ ”以外，也可有“■”、“T”、“——” “V”等各种形态。在本发明的显示面板输送装置及显示面板模块组装装置中，在各处理作业装置或 处理作业位置间输送显示面板的显示面板输送定位机构具有X、Y、Z、0轴的可动机构。当 将显示面板4从上游输送到下游的各处理作业装置或处理作业位置之时，由(XD摄像机等 检测符号18、19等显示面板的基准标志，由此算出显示面板4的姿势，并在由显示面板输送 定位机构进行位置修正之后，通过交接到保持并固定显示面板4的处理边的处理边保持固 定机构3，能够将显示面板4向处理作业位置进行高精度的定位固定。图10及图11是为了说明向本发明中的处理边保持固定机构3定位显示面板4的 方式，示出处理边保持固定机构3附近的结构的一实施例的图。图10是俯视图，图11是侧 视图。为了高精度地将显示面板4交接固定于处理边保持固定机构3，优选尽可能在处 理边保持固定机构3附近检测设置于显示面板4的由符号18、19表示的处理边侧的基准标 志。在本实施例的装置中构成为，在各处理作业装置的处理作业机构部和设置于其前面的 处理边保持固定机构3之间，设置由光源及CCD摄像机构成的显示面板基准标志检测机构 20，检测在显示面板基板两端配置的由符号18表示的端部标志。从由显示面板基准标志检 测机构20检测的图像中，通过以图形匹配来提取基准标志，并运算其坐标位置，从而能够 算出显示面板的坐标位置和姿势。与各种显示面板尺寸相对应地，为了检测由显示面板处理边侧的符号18、19表示 的基准标志，显示面板基准标志检测机构20需要在处理边方向(X方向)移动。在本实施 例中，在用于检测显示面板4的两端的由符号18表示的端部标志的2组检测机构设有由符 号22表示的X方向的可动机构。在图10a)中，示意地表示了为了检测在显示面板的左右 配置的由符号18表示的端部标志，在左右配置的显示面板基准标志检测机构20L/R根据处 理边宽度狭的显示面板4N和处理边宽度宽的显示面板4W而变更位置的状况。
对利用显示面板基准标志检测机构20来检测由显示面板输送定位机构运送的显 示面板的以符号18表示的端部标志，修正显示面板姿势，从而高精度地定位于处理作业装 置的处理作业位置的工序的一实施例进行说明。首先，预先使显示面板基准标志检测机构20L/R待机在与位于处理的显示面板的 左右的由符号18表示的端部标志的位置或宽度对应的位置。而且，利用显示面板输送定位 机构将显示面板4输送到能够通过与处理边保持固定机构3接近设置的显示面板基准标志 检测机构20来检测由符号18表示的端部标志的位置为止，并且临时在处理边保持固定机 构3上放置显示面板。然后，利用显示面板基准标志检测机构20检测在显示面板4的两端 部设置的由符号18表示的端部标志位置，算出显示面板4的正确的坐标位置和姿势。根据 该算出结果，对显示面板的位置或姿势进行修正，并且将显示面板移动到处理作业装置的 规定的处理作业位置。最后，利用在处理边保持固定机构3的表面所设置的显示面板固定 用吸附吸引口 23来吸附显示面板4，并开始由处理作业装置进行的处理作业。显示面板输 送定位机构打开吸引吸附，并将显示面板分离之后，将输送时显示面板保持机构10移动到 所述待机位置。如图9所示，在显示面板4设置的端部标志18存在于显示面板处理边的外缘部。 因此，如图10或图11所示，需要将用于检测基准标志的显示面板的配置位置和用于进行规 定的处理作业的显示面板配置位置形成在不同的位置。但是，当然使端部标志18的检测位 置和进行处理作业的显示面板位置接近，在显示面板的定位精度上更有利。因此，在本发明中，在处理作业装置的处理作业机构部和处理边保持固定机构3 之间，构成为接近且夹住地设置显示面板基准标志检测机构20。从而，能够将检测基准标志 后的显示面板以Y轴方向上最小限度的移动距离而正确地定位在处理作业位置。实际的移 动距离根据显示面板基准标志检测机构20的安装尺寸来确定，但若考虑实际的CCD摄像机 等尺寸，数10mm左右就足够了。此外，根据IC或TAB的搭载处理等处理作业的种类，有时仅在显示面板处理边的 一部进行处理作业。在此种对于处理边的一部分进行处理作业的情况下，有时能够将显示 面板基准标志检测机构20装入处理作业机构部内。在该情况下，能够仅进行检测到由符号 18,19表示的显示面板4的基准标志之后的显示面板的移动的动作，因此能够向处理作业 位置进行更高精度的显示面板定位固定。在本实施例的结构中，为了高精度地进行各处理作业，处理作业装置的处理作业 位置与固定显示面板4的处理边保持固定机构3的相对的位置关系是重要的。因此，在本实 施例的装置中，将处理边保持固定机构3与处理作业装置的处理作业机构部一体地构成。进而，在本实施例的装置中，以处理边保持固定机构3作为基准，校正显示面板基 准标志检测机构20。应用的方法是如下方法通过在处理边保持固定机构3的两端部设置 基准标志部25，并由显示面板基准标志检测机构检测该基准标志部25，从而校正显示面板 基准标志检测机构20的检测位置坐标的方法。考虑将以处理边保持固定机构3为基准的 显示面板基准标志检测机构20的检测位置坐标作为校正机构使用的方法等各种方法。如此一来，通过将处理边保持固定机构3形成为处理作业装置的处理作业位置的 绝对基准，能够将显示面板4高精度地向处理作业位置进行定位固定，伴随于此，能够实现 高精度的处理作业动作。
进而，本发明的处理边保持固定机构3也可实现除了将显示面板4向处理作业位 置高精度地进行定位固定以外的效果。本发明的处理边保持固定机构3具有如下效果由于对处理作业时的显示面板处 理边附近整个区域进行固定保持，消除了相对于处理边保持固定机构3位于处理边侧的相 反侧的输送时显示面板保持机构10或非处理区域保持机构5的高度方向等位置精度误差 对实施显示面板的处理作业的处理边造成的影响。从而，能够带有比较大余量地构成输送定位机构的输送时显示面板保持机构10 或非处理区域保持机构5的高度方向精度等。只要在显示面板4自身的弹性或输送时显示 面板保持机构10或非处理区域保持机构5的保持部带有的弹性变形的允许范围内，允许高 度方向等位置精度。输送时显示面板保持机构10需要通过空气吸引等方法吸附保持显示 面板4，但通过再在吸附部使用橡胶盘等弹性体，能够比较容易地弹性保持显示面板4。显示面板模块组装装置为大的装置，因此需要将各种机构部单元化，并通过其组 合来构成装置。但是，在需要确保相对的精度的部位间进行的单元分割存在用于确保组装 作业时的相对位置精度的调整困难等问题。若使用本发明，以处理边保持固定机构3为边 界，能够给处理作业装置侧和输送装置侧及处理边保持侧相反侧的相对位置精度确保余 量，因此即使将处理作业装置侧和输送装置侧及处理边保持侧相反侧作为单独的单元来构 成，也具有组合时的对位调整作业等变得比较容易的优点。当然，如上所述，通过将处理边 保持固定机构3和处理装置侧一体构成，成为简单的结构，对各处理作业所需的显示面板 处理边侧的起伏等进行修正，确保平面性，因此能够进行高精度的处理作业。接着，对由处理边保持固定机构3来保持显示面板4的固定保持方式进行说明。 图12是用于对由本发明的处理边保持固定机构3来保持显示面板4的固定保持方式的一 实施例进行说明的图。处理边保持固定机构3需要对规定范围内的各种尺寸的显示面板4 进行固定保持。图12中的单点划线表示最大尺寸的显示面板基板4W的长边侧为处理边的 情况、虚线表示最小尺寸的显示面板基板4N的短边侧为处理边的情况的配置。处理边保持 固定机构3为了对固定的显示面板基板的处理边整个区域平滑地进行保持，需要构成为比 输送的显示面板基板的处理边的最大长度更长。在处理边保持固定机构3的表面设有处理作业时用于吸附基板的由符号23表示 的吸附孔。处理边保持固定机构3的吸附部与输送时显示面板保持机构10等的吸附部不 同，需要去除显示面板4的起伏等而将处理边平滑化。因此，处理边保持固定机构3是在平 滑地加工的金属表面等刚体上直接加工由符号23表示的吸附孔或槽等来构成。在小型的显示面板4N的情况下，仅在处理边保持固定机构3设置的由符号23表 示的吸附孔的一部分与显示面板4N接触。在该情况下，空气从显示面板4N的未进行吸附 的由符号23表示的吸附孔大量流入，存在吸附显示面板4N的由符号23表示的吸附孔的吸 附力降低的问题。因此，在本实施例中，如图所示，将在处理边保持固定机构3形成的由符 号23表示的吸附孔之下的由符号26表示的吸引腔分割为多个而构成。从吸引泵等供给的 负压系统28通过开闭阀27，与分割的吸引腔26a 26c连接。而且，构成为根据进行处理 作业的显示面板尺寸，控制开闭阀27，选择产生负压的由符号26表示的吸附腔，仅使显示 面板4N存在的区域的由符号23表示的吸引孔进行吸引。从而，能够仅在与显示面板尺寸 相匹配的区域内进行吸附，因此得到稳定的显示面板4的保持力。在图12中，开闭阀27设置在由符号23表示的吸附孔正下的吸引腔26，但期望开闭阀27尽可能设置在由符号23表 示的靠近吸附孔的吸引腔26等。在经由配管等将开闭阀27设置在离开由符号23表示的 吸附孔或吸引腔26的位置的情况下，阀切换后的吸附动作产生时间延迟，并且由于配管中 的压力损失等，容易产生吸引压力易变得不稳定等问题。 以上说明的处理边保持固定机构3说明本发明的处理边保持固定机构3的一个方 式，处理作业过程中，也可由过程所需的其他的构件来代用。例如，在主压附过程中，从上下 由下刃和上刃夹住显示面板4的处理边整体，并进行加热及加压。在具有如此从下表面整 个区域支承显示面板4的处理边的固定构件的过程中，也可将下刃代用为本发明中的处理 边保持固定机构3。在该情况下，与下刃独立地，需要利用所述吸附等机构来固定显示面板 4。但是，只要在由上刃夹着基板之前保持输送，有时甚至不需要配置显示面板基板的固定 机构。接着，对应用了本发明的显示面板输送装置及显示面板模块组装装置的处理作业 的高效率化和处理节奏的更高速化进行说明。显示面板模块组装装置中，将进行多个处理 作业的装置进行连接，并连续地对显示面板进行各种处理作业。当然，各处理作业工序的处 理时间不同。时间短的工序的处理作业装置等待花费时间的工序的处理作业装置的结束。 显示面板的输送间隔由花费时间的工序的处理作业装置决定，因此时间短的工序的处理作 业装置产生停止作业的时间。为了使各处理作业装置有效地工作，相对于时间短的工序的处理作业，考虑将花 费时间的工序的处理作业装置装置连接多个，取得各处理工序的节奏平衡。但是，在该方式 中连接的处理作业装置的数量增加，存在显示面板模块组装装置整体的长度变得非常长的 问题。显示面板模块组装装置中的处理作业大体分为“一个处理边需要多次处理的处 理作业工序”和“对一个处理边能够一并处理的处理作业工序”。“一个处理边需要多次处 理的处理作业工序”是在每个TAB或IC的搭载位置进行分别的处理作业的工序，其相当于 ACF的小边贴附或TAB或IC的搭载工序等。另一方面，作为“对一个处理边能够一并处理 的处理作业工序”为在贴附区域一并粘贴的ACF工序或利用搭载后的长条的压附刃进行的 TAB或IC的一并加热压附工序等。其中，处理作业时间变长的工序基本上是需要对一个处理边进行多次处理的处理 作业工序。因此，作为将处理作业时间长的处理作业装置高速化的方法，在一个处理作业装 置内或处理作业位置配置多个处理单元机构，由他们进行显示面板处理边的同时处理是简 单且有效的。图1中处理作业装置A表示移动一个处理作业单元机构1 (A)而进行多次处理的 处理作业装置。与此相反，处理作业装置B示意地表示配置两个处理作业单元机构Ia(B)、 Ib (B)，能够同时进行两个部位的作业处理的处理作业装置。相对于处理作业装置A的处理 作业单元机构1 (A)，处理作业装置B的各处理作业单元机构la (B)、Ib (B)的处理作业时间 为2倍的情况下，利用此种结构，能够提高显示面板模块组装装置整体的作业效率。本发明的显示面板输送装置及显示面板模块组装装置中，能够比较容易地实现在 此种一个处理作业装置内或处理作业位置配置多个处理单元而进行同时处理作业。图13 是说明配置有多个处理作业单元机构1的处理作业装置的一实施例的图。各处理作业单元机构1形成仅具有处理单元在X轴方向上的X轴可动机构2。图13的实施例中，在两个处 理作业单元机构1中使X轴方向的可动机构或X轴可动导向件2相同。当然，通过将各可 动机构或X轴可动导向件2在Y方向上错开地配置，也可使用对于各处理单元机构的每一 个独立的可动机构或X轴可动导向件2，该方法在成本方面是不利的。如上所述，本发明的显示面板模块组装装置中，在各处理作业机构之前配置有将 显示面板4定位固定的处理边保持固定机构3。由显示面板输送定位机构29输送来的显示 面板以规定的精度固定保持在处理边保持固定机构3。因此，在本发明的显示面板模块组装装置中，只要预先调整各处理作业单元机构1 和处理边保持固定机构3的相对的位置关系，就不需要检测控制显示面板4和各处理单元 的位置关系。也就是说，不需要在各处理作业的每一个及各处理单元的每一个，检测与显示 面板的相对位置。如此一来，显示面板输送装置及显示面板模块组装装置能够比较简单地 实现利用一个处理作业装置内或处理作业位置处的多个处理单元来进行同时处理作业。接着，对于本发明的显示面板输送装置及显示面板模块组装装置中实施更高精度 处理的方法进行说明。如之前图9中的说明，通常在显示面板4形成有表示显示面板端部的端部标志18， 以及表示TAB或IC等搭载位置的搭载位置标志19。在所述本发明的实施例中，不是检测搭 载位置标志19而是检测端部标志18来实施显示面板4向处理边保持固定机构3的定位。 其具有以下的理由。通常，相对于端部标志18，搭载位置标志19使用小的标志。这是用于高精度地定 位TAB或IC等的搭载位置。但是，为了检测小的标志，需要提高图像检测装置的分辨率。另 一方面，显示面板4带有几100 y m 几mm左右的位置误差来输送。因此，在处理边保持固 定机构3定位固定显示面板4时的显示面板处理边端的标志位置在该范围内变动。当由用 于检测小的标志的高分辨率的图像检测装置来进行大范围的图像检测时，检测机构的必要 像素数变多，检测机构的成本升高。进而，检测到的图像处理中的图形匹配处理或坐标变换 处理等运算时间需要更多的时间。这样，若考虑成本方面或图像检测及坐标变换的速度等， 则多数情况下，对处理边两端的端部标志18进行检测比检测搭载位置标志19更优选。因 此，在上述的本实施例中构成检测处理边两端的端部标志18。当然，可以利用处理边两端的搭载位置标志19，由显示面板输送定位机构29来修 正显示面板位置，从而能够交接到处理边保持固定机构3并定位固定。但是，在从显示面板 输送定位机构29的输送时显示面板保持机构向处理边保持固定机构3的显示面板交接动 作中多少产生交接误差。该误差以上的高精度检测实质上丧失了意义，因此期望考虑机构 侧的输送精度或交接精度及要求定位精度等来确定检测的标志的析像度。在之前的实施例的显示面板输送装置及使用其的显示面板模块组装装置中，检测 控制显示面板处理边两端的端部标志18，能够将显示面板4定位固定于处理边保持固定机 构3的精度为100 ym前后 几lOym左右。但是，显示面板模块组装装置中的一部分的处 理作业(TAB或IC等高精度搭载处理作业等)中，有时要求10 ym前后 几ym以下的极 高的定位精度。以下，在本发明中，对于实现此种极高的位置精度的处理作业的方法进行以 下说明。图14是对需要10 ym前后 数Pm以下的超高精度定位处理的处理作业装置的一实施例进行说明的图。图14的实施例中，与图13同样，表示配置有两台处理作业单元机 构1的结构。在显示面板模块组装装置中，对于通常要求最高的精度的搭载TAB或IC等处 理作业，由于需要向多个处理位置进行处理，因此处理作业时间长。因此，在图14的实施例 中，形成为配置有两台处理作业单元机构1的结构。当然，如上所述，即使在需要超高精度 定位的处理作业装置中，处理单元机构的数量考虑各处理作业时间的平衡来确定即可。在本实施例的处理作业装置中，为了达到超高精度定位，设有如下功能处理作业 装置内的各处理作业单元机构1各自独立，检测显示面板的搭载位置标志19，并高精度地 识别各处理作业单元机构1的每一个应处理的搭载位置，并定位。图15是说明用于实现此种功能的处理单元机构的一实施例的图。处理作业单元 机构1包括由检测显示面板上的基准标志的光源或CCD摄像机等构成的基准标志检测机 构30、使处理单元整体在XYZ及e方向上移动的XYZ0可动机构31。处理单元根据由(XD 摄像机检测到的基准标志位置信息，利用处理位置修正机构32算出处理单元的修正量，并 利用XYZ 0可动机构31修正处理位置，从而在显示面板处理边上的规定的位置进行ACF的 贴附或TAB的搭载等处理动作。在本发明的显示面板输送装置及显示面板模块组装装置中，通过显示面板输送定 位机构29，显示面板4以100 y m前后 几10 P m左右的精度被定位固定在处理边保持固定 机构3。因此，不需要将进行高精度定位的处理单元机构所搭载的基准标志检测机构30的 图像检测范围设置为那么大。也就是说，为了实现高精度定位，即使在以高析像度来检测显 示面板的基准标志的情况下，也不需要将必要像素数变得极多。这在检测机构的成本方面 是有利的，并具有缩短图像处理的运算时间的效果，在高速处理方面也变得有利。如此一来，使用了显示面板输送定位机构29或处理边保持固定机构3的本发明的 显示面板输送装置及显示面板模块组装装置即使在应对处理作业装置24的多个处理单元 化或超高精度定位化时也具有较多的优点。在具有包括用图14及图15说明的基准标志检测机构30和处理位置修正机构32 及XYZ 0可动机构31而构成的处理单元的处理作业装置中，基本上能够仅由处理作业装置 内的处理单元来检测显示面板4的搭载位置标志19并进行位置修正来处理。因此，也可省 略检测由图11、图12等说明的显示面板4的端部标志18，并利用显示面板输送定位机构29 将显示面板4定位于处理边保持固定机构3的结构。但是，在该情况下，利用显示面板输送定位机构29输送到处理边保持固定机构3 的显示面板姿势、也就是说处理位置处的显示面板姿势散乱。从而，在处理单元侧搭载的搭 载标志检测用的基准标志检测机构30所要求的图像检测范围变大。与显示面板4的端部 标志18相比，在检测小的搭载标志19的处理单元的基准标志检测机构30中，有可能需要 的像素数变得极多。这对在处理单元侧搭载的基准标志检测机构30的成本或图像处理的 运算时间等造成不好的影响。是否省略检测显示面板4的端部标志18，并利用显示面板输送定位机构29将显示 面板4定位在处理边保持固定机构3的结构需要综合评价判断成本方面和处理速度等。接着，对于在图13及图14、图15中说明的一个处理作业装置内或处理作业位置配 置有多个处理单元机构的显示面板处理边的同时处理方式，以及对于X轴的结构或控制方 式等进行更详细的说明。
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在图15的实施例中，X轴工作机构配置在最下。这是由于X轴为与显示面板基板 的处理边并行的方向的可动机构，因此移动距离变得最长的缘故。此外，通过此种结构，由 符号2表示的X轴导轨能够由处理作业装置内所具备的多个处理作业单元机构1共用。
在图15的实施例中，X轴可动机构2用于使处理作业单元机构1在显示面板的处 理边的各处理位置间移动的目的和在各处理位置处进行定位的目的这两者。为了有利于 使要求高速移动的处理位置间的移动和要求高精度移动的向处理位置的定位两方面，除了 用于使处理作业单元机构1在显示面板处理边的处理位置间移动的可动距离的大的X轴以 夕卜，也可考虑与其他轴的可动机构一起，设置用于高精度向处理位置定位的微调用X轴可 动机构的方法。现实上，由于需要多个χ轴的可动机构，因此需要考虑成本方面和必要精度 或必要移动速度等来选择结构。接着，对于多个处理单元的控制方法进行说明。在多个的处理作业单元机构1同时对一个显示面板4进行处理作业的方式中，需 要使处理单元以近距离动作。尤其是在小的显示面板或处理边的长度短的显示面板的处理 作业时，需要尽可能在使处理单元接近的状态下动作。因此，有可能在处理动作中产生处理 单元间的干涉或冲撞等不良状况。因此，本实施例的装置中，为了避免处理单元之间的冲 撞，设置处理单元动作时序控制机构，其以同步控制对同一显示面板的处理边进行处理作 业的多个处理单元的动作时序，并进行驱动的方式对多个处理单元机构的动作时序进行总 括地控制。由处理单元动作时序控制机构所进行的对各处理单元的基本的控制顺序的一实 施例如下所述。(1)从处理单元动作时序控制机构向各处理单元发送处理位置信息和移动指令。 (2)当各处理单元完成移动后，向处理单元动作时序控制机构报告移动完成。(3)处理单元 动作时序控制机构向各处理单元发出处理单元开始处理作业的指令。(4)当各处理单元结 束规定的处理作业后，向处理单元动作时序控制机构报告作业结束。(5)处理单元动作时序 控制机构向各处理单元发出向下个处理位置移动的指令。在各处理作业或移动动作中发生 异常的情况下，通过将该情况报告处理单元动作时序控制机构，处理单元动作时序控制机 构停止下面的作业或移动处理，能够防止各处理单元的冲撞等。如上所述，各处理单元具备基板标志检测及处理位置修正机构以及各处理单元的 处理单元动作时序控制机构，才可能在处理作业装置内配置多个的处理单元，提高一个显 示面板4的处理效率。图16及图17是用于说明本发明的显示面板输送装置及使用其的显示面板模块组 装装置的控制方式的一实施例的图。在图16中，A-I A-4表示各处理作业装置46，B-I B-4表示在各显示面板处理作业装置46之前输送所保持的显示面板的输送时显示面板保 持机构10。由虚线表示的B-I B-4表示显示面板输送后的输送时显示面板保持机构10 的位置。如上所述，输送时显示面板保持机构10在处理作业装置46之前大致直线地移动， 但为了图示方便，由虚线表示的输送后的输送时显示面板保持机构10的位置图示在输送 前的输送时显示面板保持机构10位置的下侧。实际上，输送前后的输送时显示面板保持机 构10的中心描绘的单点划线一致。各显示面板输送定位机构29中的各输送时显示面板保持机构10由独立的驱动装 置44(M-1 M-5)来驱动。作为驱动装置可以使用线性马达或滚珠丝杠方式等一般的直线驱动机构。图中的S-I S-5是检测输送时显示面板保持机构10(B-1 B-5)的坐标位置 等的传感器45。本实施例的控制装置中，在最上级配置用于控制装置系统整体的基本动作时序的 系统动作时序控制机构37 (MC)。在其下级有配置显示面板输送动作控制机构41 (BC-I)及 各处理作业装置控制机构34(AC-1 AC-4)。
接着，对本控制系统中的显示面板输送动作控制方式进行说明。作为基本动作，首 先，系统动作时序控制机构37 (MC)向显示面板输送动作控制机构41 (BC-I)发送输送动作 开始信号40。接收到该信号后，显示面板输送动作控制机构41 (BC-I)驱动各显示面板输 送定位机构29中的各输送时显示面板保持机构10，并开始位于下游侧处理作业位置的显 示面板的输送动作。显示面板4向上游侧处理作业位置的输送和向处理边保持固定机构3 的定位固定动作结束之后，显示面板输送动作控制机构41 (BC-I)向系统动作时序控制机 构37 (MC)发送显示面板输送结束信号38。然后，显示面板输送动作控制机构41 (BC-I)使 输送时显示面板保持机构10移动到所述待机位置之后使其停止。接受显示面板输送结束信号38，系统动作时序控制机构37 (MC)将各处理作业开 始信号36同时向各处理作业装置控制机构34(AC-1 AC-4)发送。接收到各处理作业开 始信号36的各处理作业装置控制机构34(AC-1 AC-4)开始规定的各处理作业。各处理 作业装置控制机构34(AC-1 AC-4)从既定的各处理作业完全结束起，在规定时间前，将处 理作业的结束预告信号35p向系统动作时序控制机构37 (MC)发送。系统动作时序控制机构37 (MC)接收各处理作业结束预告信号35p，向显示面板输 送动作控制机构41 (BC-I)发送输送动作开始预告信号40P。接受该信号后，显示面板输送 动作控制机构41 (BC-I)事前将输送时显示面板保持机构10从待机位置向下游侧处理作业 位置移动。在输送时显示面板保持机构10完成向下游侧处理作业位置移动后，显示面板输 送动作控制机构41 (BC-I)向系统动作时序控制机构37 (MC)发送事前移动完成信号38P。此外，各处理作业装置控制机构34(AC_1 AC-4)在既定的各处理作业结束之后， 向系统动作时序控制机构37 (MC)发送各处理作业结束信号35。接收到事前移动完成信号38P和各处理作业结束信号35，系统动作时序控制机构 37 (MC)将下个输送动作开始信号40向显示面板输送动作控制机构41 (BC-I)发送。重复上 述过程，连续地对由显示面板输送定位机构29进行的显示面板输送和各处理作业装置中 的处理作业动作进行控制。与输送时显示面板保持机构10从待机位置向下游侧处理作业位置的事前移动所 需的时间相配合地确定处理作业结束预告信号35p的时序，从而能够实现有效的连续输送 和连续处理作业。在本实施例的显示面板模块组装装置的控制机构中，除上述以外，显示面板输送 动作控制机构41 (BC-I)或各处理作业装置控制机构34(AC-1 AC-4)构成为将输送作 业中或处理作业中的各种状态信号或异常发生时的错误信息等向系统动作时序控制机构 37 (MC)发送。作为显示面板输送动作控制机构41 (BC-I)的状态信号为从下游侧的处理边保 持固定机构3完成显示面板4接受、显示面板输送中、显示面板定位中、向上游侧的处理边 保持固定机构3完成显示面板固定、向待机位置的输送时显示面板保持机构10移动中、在待机位置处的待机中、从待机位置向下游侧处理作业位置的移动中等。此外，各处理作业装 置控制机构34(AC-1 AC-4)的状态信号除了处理作业结束预告信号35p以外，构成为将 与各处理作业的内容相应的各种状态信号向系统动作时序控制机构37 (MC)发送。显示面板模块组装装置由多个各种作业处理装置或多个显示面板输送定位机构 29构成。为了安全且高效地运用显示面板模块组装装置，需要实时地综合监视并管理这些 多的处理作业装置46或显示面板输送定位机构29的动作时序等。在本实施例的结构中，通过配置系统动作时序控制机构37 (MC)，实现安全且高效 的显示面板模块组装装置的运转动作，其中，系统动作时序控制机构37 (MC)对来自显示面 板输送动作控制机构41(BC-1)或各处理作业装置控制机构34 (AC-1 AC-4)的各种状态 信号或错误信息_并进行管理，并对系统整体的动作进行监视控制。此外，将所述的各输送机构间的加减速时序错开的处理能够由显示面板输送动作 控制机构41(BC-1)容易地实施。其他的各种动作状况中的通信信号的详细依赖于各处理 作业装置的功能或动作模式，故此省略，但当然在仔细考虑必要功能或动作模式的基础上 来决定是重要的。图16中，在处理作业装置46的A-2中，记载了 UC-1 UC-3的方框。图的处理作 业装置46的A-2表示在由图13至图15等说明的处理作业装置内具有多个处理单元机构 的结构。UC-1 UC-3的方框图是这些处理单元机构的控制机构39。在本实施例中，设想 处理作业装置A-2为能够在内部配置三台处理单元机构的结构。如此，在处理作业装置46内具有多个处理作业单元机构1的结构中，在各处理作业装置控制机构34 (AC-2)的下级，配置各处理单元机构控制机构39 (UC-1 UC-3)，并利用 各处理作业装置控制机构34(AC-2)实施动作时序等控制。图17是说明与所述的图16的实施例中的系统动作时序控制机构37 (MC)、显示面 板输送动作控制机构41 (BC-1)、各处理作业装置控制机构34(AC-1 AC-3…)之间的基本 的控制信号的交换有关的一实施例的图。首先，接收系统动作时序控制机构37的输送 定位动作控制信号47的上升后，显 示面板输送动作控制机构41 (BC-1)使输送 定位动作信号49上升，开始显示面板4的输 送 定位动作。在显示面板的输送 定位动作结束后，显示面板输送动作控制机构41 (BC-1) 使输送 定位动作信号49下降。然后，显示面板输送动作控制机构41 (BC-1)使输送时显 示面板保持机构10移动到待机位置为止。系统动作时序控制机构37接收输送 定位动作信号49的下降，使输送 定位动 作控制信号47下降，并使各处理作业装置控制信号48上升。各处理作业装置控制机构34(AC_1 AC-3…)接收各处理作业装置控制信号48 的上升后，使处理作业中信号50(AC-1 AC-3…)上升，开始各处理作业动作。各处理作业 装置控制机构34(AC-1 AC-3…)在处理作业结束的t秒之前，使处理作业结束预告信号 50P(AC-1 AC-3…)上升。各处理作业装置控制机构34(AC-1 AC-3…)在各处理作业 动作结束后，使处理作业结束预告信号50P(AC-1 AC-3…)和处理作业中信号50(AC-1 AC-3…)均下降。系统动作时序控制机构37接收各处理作业装置控制机构34 (AC_1 AC_3…)的 处理作业结束预告信号50P(AC-1 AC-3…)上升后，使输送系统事前移动控制信号47P上升。显示面板输送动作控制机构41 (BC-1)接收输送系统事前移动控制信号47P的上 升后，使输送系统事前移动动作信号49P上升，并且将待机位置的输送时显示面板保持机 构10移动到下游侧的处理作业装置的显示面板接收位置为止。移动完成后，显示面板输送 动作控制机构41 (BC-1)使输送系统事前移动动作信号49P下降。系统动作时序控制机构37在确认显示面板输送动作控制机构41 (BC-1)的输送系 统事前移动动作信号49P和各处理作业装置控制机构34 (AC-1 AC-3…)的各处理作业中 信号50(AC-1 AC-3…)的下降之后，使输送 定位动作控制信号47上升，开始下次的显 示面板4的输送 定位动作。重复上面过程，对一系列的输送和各处理动作进行控制。在显示面板输送定位机构29 (输送时显示面板保持机构10)或各处理作业装置46 发生动作不良的情况下，向系统动作时序控制机构37发送包括错误发生信息的各处理作 业结束信号35。此外，系统动作时序控制机构37 (MC)在未在规定时间内发送来自显示面板 输送动作控制机构41 (BC-1)的显示面板输送结束信号38或来自各处理作业装置控制机构 34(AC-1 AC-3…)的各处理作业结束信号35的情况下，也考虑判定系统错误等的方法。除了图16、图17中说明的本发明的实施例以外，也考虑各处理作业装置控制机构 34独立进行各个显示面板输送定位机构29的驱动控制的方法。在该情况下，由于多个各处 理作业装置控制机构34控制多个显示面板输送定位机构29，因此难以正确地与各显示面 板输送定位机构29间的移动时序配合。因此，需要防止相邻的显示面板输送定位机构29 中的输送时显示面板保持机构10间的冲撞的方法。在各处理作业装置控制机构34独立进行各个显示面板输送定位机构29的驱动控 制的情况下，以下对于能够简单地实现防止相邻的显示面板输送定位机构29中的输送时 显示面板保持机构10间的冲撞的控制方法的_实施例进行说明。在显示面板输送定位机构29的动作时，使输送时显示面板保持机构10向下游侧 移动的情况下，在从最下游侧的输送时显示面板保持机构10使其向上游侧移动的情况下， 通过从最上游侧的输送时显示面板保持机构10依次使其移动，能够简便且可靠地防止相 邻的输送时显示面板保持机构10彼此的冲撞。也就是说，为如此方式，即，在使输送时显示 面板保持机构10向下游侧移动的情况下，首先，对最下游侧的显示面板输送定位机构29进 行控制的处理作业装置控制机构34使输送时显示面板保持机构10向下游侧移动，并将该 移动信息向对相邻的上游侧的显示面板输送定位机构29进行控制的处理作业装置控制机 构34'发送，依次地朝向下游侧进行输送时显示面板保持机构10的移动。使输送时显示面 板保持机构10向上游侧移动的情况也是同样，为如下方式，即，由对最上游侧的显示面板 输送定位机构29进行控制的处理作业装置控制机构34使输送时显示面板保持机构10向 上游侧移动，并将该移动信息向对相邻的下游侧的显示面板输送定位机构29进行控制的 处理作业装置控制机构34'发送，依次朝向上游侧进行输送时显示面板保持机构10的移 动。处理作业装置控制机构34发送的移动信息可以是输送时显示面板保持机构10的 移动完成信息，但在该情况下，显示面板模块整体的输送时显示面板保持机构10的移动动 作花费时间。为了更高速地实现显示面板模块整体的输送时显示面板保持机构10的移动 动作，将处理作业装置控制机构34发送的移动信息作为输送时显示面板保持机构10的移动开始信息更好。由此，处理作业装置控制机构34能够在没有与相邻的输送时显示面板保 持机构10冲撞的危险的范围内，开始输送时显示面板保持机构10的移动，因此能够将显示 面板模块整体的输送时显示面板保持机构10的移动动作时间抑制为较短。在该方式中，由于输送时显示面板保持机构10不会同时动作，因此不用担心所述 的输送时显示面板保持机构10的加减速时的必要最大电流变得极大。进而，显示面板输送 动作控制机构41 (BC-I)也不需要。 但是，该方式与使用显示面板输送动作控制机构41 (BC-I)的方式相比，显示面板 输送定位机构29的动作等待时间变得不确定，有显示面板输送定位机构29的动作延迟时 间变长的倾向。在需要使由多个处理作业装置构成的显示面板模块组装装置或显示面板输 送定位机构29以更短的时间进行往复动作的情况下，进而对于需要保障显示面板的输送 时间的情况等，本方式与使用显示面板输送动作控制机构41 (BC-I)的方式相比是不利的。以上、根据本发明，能够以简单的装置结构高速地实现显示面板模块组装装置中 的显示面板的输送或定位动作。此外，在本发明的显示面板模块组装装置中，比较容易地应 对从小板到大板宽度广的显示面板尺寸。进而，在本发明的显示面板模块组装装置中，对于 各处理作业装置的处理单元机构的多个化或高精度化的扩展性也好。本发明提供了对于各种面板的适应性好、且能够高速地进行高精度处理的显示面 板模块组装装置。本发明的实施方式并不限于上述记载，在其技术思想的范围内可以进行各种变 形。
权利要求
一种显示面板模块组装装置，其在连续的多个处理作业装置或处理作业位置间依次输送显示面板，对显示面板的边缘依次进行各种处理作业，从而安装电子部件，其特征在于，各处理作业装置或处理作业位置具备处理边保持固定机构和非处理区域保持机构，以保持处理的显示面板，所述处理边保持固定机构与处理边平行且在处理边方向上细长地、在处理边整个区域上对显示面板的距处理边侧的处理边端均匀的距离内侧进行保持固定，所述非处理区域保持机构由在与显示面板处理边方向正交的方向上长且保持显示面板下表面的至少一个以上的保持构件构成，对相对于所述处理边保持固定机构在显示面板处理边相反侧的显示面板下表面区域进行保持，并且所述显示面板模块组装装置具备多个显示面板输送定位机构，该显示面板输送定位机构在相邻的所述各处理作业装置或处理作业位置间往复移动，并能够将显示面板向所述处理作业装置或所述处理作业位置定位，所述显示面板输送定位机构具备输送时显示面板保持机构，该输送时显示面板保持机构对相对于所述处理边保持固定机构在显示面板处理边相反侧的显示面板下表面区域进行保持。
2.根据权利要求1所述的显示面板模块组装装置，其特征在于，所述非处理区域保持机构，从所述处理边保持固定机构侧或处理边相反侧，在与显示 面板处理边方向正交的方向上较长地突出到所述输送时显示面板保持机构的可动区域内， 从而对显示面板进行保持。
3.根据权利要求2所述的显示面板模块组装装置，其特征在于，所述输送时显示面板保持机构由截面比所述输送时显示面板保持机构所保持的显示 面板保持区域的外周面积小的柱状构件来支承，当在所述各处理作业装置或所述处理作业 位置处进行处理作业时，对显示面板进行保持的所述非处理区域保持机构配置构成为，留 有支承所述输送时显示面板保持机构的所述柱状构件能够通过的空间，并伸出到所述输送 时显示面板保持机构的可动区域内。
4.根据权利要求1所述的显示面板模块组装装置，其特征在于，在各处理作业装置或处理作业位置所设置的所述非处理区域保持机构的至少一个具 备能够在与处理边保持固定机构正交的方向、平行的方向及重力方向中至少一个以上的方 向上可动的可动机构。
5.根据权利要求4所述的显示面板模块组装装置，其特征在于，在所述各处理作业装置或处理作业位置所设置的所述非处理区域保持机构根据处理 的显示面板的尺寸、处理边长，能够改变设置位置及显示面板的保持位置。
6.根据权利要求1所述的显示面板模块组装装置，其特征在于，在所述各处理作业装置或处理作业位置间，在显示面板的输送及将显示面板向所述处 理作业装置或所述处理作业位置进行定位的显示面板输送定位机构中的输送时，保持显示 面板下表面的所述输送时显示面板保持机构具备能够根据处理的显示面板的尺寸、处理的 边的位置来改变显示面板的保持位置的可变机构。
7.根据权利要求1所述的显示面板模块组装装置，其特征在于，所述显示面板输送定位机构中的所述输送时显示面板保持机构在保持显示面板时，从 各处理作业装置或处理作业位置所具备的所述非处理区域保持机构的上方相对于各处理 作业装置的显示面板处理位置进入及退避，在非保持显示面板时，从各处理作业装置或处 理作业位置所具备的所述非处理区域保持机构的下方相对于各处理作业装置的显示面板 处理位置进入及退避。
8.根据权利要求1所述的显示面板模块组装装置，其特征在于，所述显示面板输送定位机构中的所述输送时显示面板保持机构形成有避让区域，该避 让区域防止显示面板交接时与突出到输送时显示面板保持机构的运行区域内的所述非处 理区域保持机构接触。
9.根据权利要求1所述的显示面板模块组装装置，其特征在于，所述显示面板输送定位机构的所述输送时显示面板保持机构在非保持显示面板时，以 在能够输送显示面板的相邻的各处理作业装置或处理作业位置的大致中间位置停止、待机 的方式来驱动控制。
10.根据权利要求1所述的显示面板模块组装装置，其特征在于，在所述处理边保持固定机构的显示面板处理边侧具备显示面板姿势检测机构，该显 示面板姿势检测机构与所述处理边保持固定机构接近，对由所述显示面板输送定位机构输 送到处理作业装置或处理作业位置的显示面板基板的姿势进行检测，所述显示面板输送定 位机构根据由所述显示面板姿势检测机构所检测的显示面板姿势的结果，控制显示面板姿 势，并将显示面板定位交接到所述处理边保持固定机构。
11.根据权利要求1所述的显示面板模块组装装置，其特征在于，各处理作业装置或处理作业位置的所述处理边保持固定机构构成为能够在与多个显 示面板输送定位机构之间进行显示面板的交接。
12.根据权利要求1所述的显示面板模块组装装置，其特征在于，所述处理边保持固定机构与处理边平行且在处理边方向上细长地、在处理边整个区域 保持显示面板的距处理边侧的处理边端均勻的距离内侧，并且所述处理边保持固定机构具 备对显示面板进行真空吸附的吸附口。
13.根据权利要求1所述的显示面板模块组装装置，其特征在于，在所述各处理作业装置或处理作业位置间，在显示面板的输送及将显示面板向所述处 理作业装置或所述处理作业位置进行定位的显示面板输送定位机构中的显示面板输送时， 保持显示面板下表面的所述输送时显示面板保持机构在显示面板的保持面具备对显示面 板进行真空吸附的吸附口。
14.根据权利要求1所述的显示面板模块组装装置，其特征在于，所述显示面板输送定位机构构成为在跨多个所述处理作业装置或多个所述处理作业 位置间的方向上长的输送机构之上，在与其正交方向、垂直方向及旋转方向上层叠驱动机 构。
15.根据权利要求1所述的显示面板模块组装装置，其特征在于，在至少一个以上的所述处理作业装置或处理作业位置具备多个对所述处理边保持固 定机构所固定的显示面板的处理边同时进行处理作业的处理单元。
16.根据权利要求1所述的显示面板模块组装装置，其特征在于，在至少一个以上的所述处理作业装置或处理作业位置具备对所述处理边保持固定机 构所固定的显示面板的处理边进行处理作业的处理单元，所述处理单元具备对显示面板的 处理边与处理单元的相对位置进行修正的处理单元位置修正机构，且所述处理单元具有 对进行处理的显示面板基板的处理边姿势进行检测的显示面板姿势检测机构、根据所述显 示面板姿势检测机构的检测结果算出所述各处理单元的位置修正量的处理单元位置修正 量算出机构。
17.根据权利要求15或16所述的显示面板模块组装装置，其特征在于，对显示面板的处理边进行处理作业的所述处理单元具有能够在与显示面板的处理边 方向平行的方向上移动的工作机构。
18.根据权利要求15所述的显示面板模块组装装置，其特征在于，对一个显示面板的1边同时进行处理作业的多个处理单元具有能够在与所述处理单 元的配置方向平行的方向上移动的工作机构。
19.根据权利要求15所述的显示面板模块组装装置，其特征在于，还具备处理单元动作时序控制机构，该处理单元动作时序控制机构对针对一个显示面 板的一边进行同时处理作业的所述多个处理单元的处理动作和在基板边的处理位置间进 行换位移动的换位移动动作的作业时序进行控制。
20.根据权利要求15或16所述的显示面板模块组装装置，其特征在于，所述处理单元在显示面板的宽度方向、厚度方向、长度方向及各轴的旋转方向中至少 一个以上的方向上具有各处理单元位置的修正机构，并且具有所述位置修正机构的所述处 理单元配置于能够在显示面板基板的处理边方向上移动的可动机构之上。
21.—种显示面板输送装置，其依次向多个规定作业位置输送显示面板，其特征在于，在所述规定作业位置具备规定边保持固定机构，其为了保持所述显示面板，与规定边平行且在规定边方向上细 长地、在规定边整个区域上对显示面板的距规定边侧的边端均勻的距离内侧进行保持固 定；显示面板下表面保持机构，其由在与显示面板规定边方向正交的方向上长且保持显示 面板下表面的至少一个以上的保持构件构成，对相对于所述规定边保持固定机构在显示面 板规定边相反侧的显示面板下表面区域进行保持，所述显示面板输送装置具备多个显示面板输送定位机构，该显示面板输送定位机构在 相邻的所述规定作业位置间往复移动，并能够将显示面板向所述规定作业位置进行定位，所述显示面板输送定位机构具备输送时显示面板保持机构，该输送时显示面板保持机 构对相对于所述规定边保持固定机构在显示面板规定边相反侧的显示面板下表面区域进 行保持。
22.根据权利要求21所述的显示面板输送装置，其特征在于，所述显示面板下表面保持机构，从所述规定边保持固定机构侧或规定边相反侧，在与 显示面板规定边方向正交的方向上较长地突出到所述输送时显示面板保持机构的可动区 域内，从而对显示面板进行保持。
23.根据权利要求22所述的显示面板输送装置，其特征在于，所述输送时显示面板保持机构由截面比所述输送时显示面板保持机构所保持的显示面板保持区域的外周面积小的柱状构件来支承，在所述作业位置处，对显示面板进行保持 的所述显示面板下表面保持机构配置构成为，留有支承所述输送时显示面板保持机构的所 述柱状构件能够通过的空间，并伸出到所述输送时显示面板保持机构的可动区域内。
24. —种显示面板模块组装方法，将显示面板在连续的多个处理作业装置或处理作业 位置间依次输送，对显示面板的边缘依次进行各种处理作业，从而安装电子部件，其特征在 于，为了保持处理的显示面板，在各处理作业装置或处理作业位置与处理边平行且在处理 边方向上细长地、在处理边整个区域上对显示面板的距处理边侧的处理边端均勻的距离内 侧进行保持固定，由与显示面板处理边方向正交的方向上长且保持显示面板下表面的至少一个以上的 保持构件来保持所述显示面板处理边相反侧的显示面板下表面区域，并在相邻的所述各处理作业装置或处理作业位置间往复移动，将显示面板向所述处理 作业装置或所述处理作业位置进行定位，保持所述显示面板处理边相反侧的显示面板下表面区域。
全文摘要
一种显示面板输送装置及显示面板模块组装装置。显示面板模块组装装置中的显示面板的输送和处理作业时的定位动作所需的机构复杂，显示面板的输送、定位等相对于处理作业时间花费的时间长。各处理作业时间不同导致一部分的处理作业装置的工作率降低。在各处理作业位置设置均匀地保持处理边附近的处理边保持固定机构，并设有在与其正交的方向上长且保持显示面板下表面的非处理区域保持机构。并且设有显示面板输送定位机构，该显示面板输送定位机构在相邻的各处理作业位置间直接输送显示面板，并可将显示面板向处理边保持固定机构定位。在本结构中，能容易应对处理作业时间长的处理装置的多个处理化等，能抑制因处理作业时间不同导致的工作率降低。
文档编号G09F9/30GK101870408SQ20101016621
公开日2010年10月27日 申请日期2010年4月23日 优先权日2009年4月24日
发明者宫坂彻, 山崎不二夫, 油田国夫, 渡边丰 申请人:株式会社日立高新技术