专利名称：滤光装置的制作方法
技术领域：
总体来说本发明涉及一种滤光装置，具体涉及一种滤光器的滤光装置，该滤光器能产生群延迟和以此为基础的至少位于一定光谱间隔范围内的光谱群延迟形状。
随着光信号传输速率的不断增大，窄带通滤光器中由群延迟效应导致的信号失真在发射机和接收机间的传输链范围内扮演重要角色。
为了避免不适当的信号干扰，已经非常详尽研究滤光器、特别是光学多层滤光器的相位特性。A.V.Tikhonravov、P.W.Baumerster和K.V.Popov在1997年7月1日的应用光学第36卷第19期第4382页中讨论了非吸收多层传输上的相偏移。然而，它未给出有关光学带通滤光器群延迟特征优化的暗示。
R.Ausiton、B.Golubovic披露了所谓超快激光的群延迟色散多层镜结构和设计该结构的方法，该结构能传送超短脉冲、例如约低于100飞秒(fs)的脉冲。这些多层镜设计成能在宽谱区域上进行反射，它包括约700nm光谱范围的高反射率滤光器。由于超短脉冲是宽谱带信号，即它包括解释为光信号的巨大光谱成分，因此必需利用对频率产生负群延迟色散的优化激光反射镜来提供对大谱带范围的高反射性。这对150THz带宽的负群延迟色散可通过使用公知的展宽压缩(chirped)介质镜结构实现。
授予R.Austin和R.Edmond的美国专利US6154318公开了这样一种反射镜，它具有大约从600到1200nm的高反射率。
R.Szipocs e.a.在2000年5月24日的应用物理.B--DOI10.1007/s003400000303中描述了最新开发的多腔Gires-tournois干涉仪，它是获得对可视的50THz带宽附近展示负群延迟色散的高反射镜的可选择方式。其典型应用是超快飞秒激光。特别在光信号传输和通信系统中使用的滤光装置通常是窄或超窄带通滤光器。
该目的可通过权利要求1和32限定的滤光装置、依照权利要求34的滤光器波纹整平器和权利要求36限定的滤光器群延迟曲线整平器来实现。
为了实现光学信息在预定光学带通范围内的增大传输，第一方法采用带通滤光器，非常渴望滤光器带通边缘的滤光器光谱传输功能。图3中示出了这种滤光器，大约在1549.9到1550.1nm的传输间隔范围内、即在大约0.2nm的光谱带内传输光信号。
然而，如图4所示，该滤光器产生的群延迟非常明显，引起不适当失真的光信号。
依照本发明，如果使用滤光器和光学元件就能作出重要改进，该光学元件可以补偿或整平至少一部分所述滤光器产生的群延迟曲线。
有利的是所述光学元件也是滤光器，两个元件的组合体产生其波纹没有滤光器本身产生的群延迟曲线波纹深的群延迟曲线，另外该波纹也比所述光学元件的群延迟曲线的波纹浅。
在优选实施例中，滤光器和光学元件在空间上是分离的。另外，光学元件包括反射滤光装置，在最优选实施例中它还包括λ/4介电层。
为便于制造，所述反射滤光装置的另一最优选实施例完全由λ/4介电层构成。为了改善全反射性能，所述反射滤光装置除一对抗反射层外还由λ/4层构成，例如这一对反射层是叠层中与环境介质相邻的最后三层或更少层。
例如，如果所述反射滤光装置除了一对第一层外还由λ/4介电层构成，则所述一对第一层可用于对金属反射器进行相位补偿，其中，例如所述一对第一层是叠层中与所述滤光器的基底相邻的三层或更少层，依照本发明可以使用金属以及介电反射器。
在优选实施例中，光学元件的主表面相对滤光装置的光轴倾斜。
所述光学元件的所述主表面相对所述光轴的优选倾斜角范围是0到8度。
更加优选的是，所述主光轴相对于所述光路的倾斜角范围为2到6度。
在最优选实施例中，所述光学元件的所述主表面相对所述光轴的所述倾斜角小于3度或在3到5度范围内。
依照本发明，所述滤光装置的优选实施例在小于2.5ps的所述滤光器传输带内产生群延迟。
在另一优选实施例中，光学元件在所述第一滤光器的至少一部分光谱传输带内基本上产生与所述第一滤光器产生的光谱相偏移相反的光谱相偏移。
图9表示补偿后的滤光器光谱群延迟曲线的放大图，该曲线是利用依照第一发明实施例的光学元件由
图10所示的未补偿群延迟曲线30得到的，其包括图10中用标记28表示的平整或补偿群延迟曲线，
图10表示平整后的光谱群延迟、滤光器群延迟曲线和依照第二发明实施例设计的光学元件的群延迟曲线，图11表示依照第二发明实施例的光学元件的补偿光谱群延迟曲线，图12表示滤光装置的平面示意图，它包括滤光器，另外还有具有第一表面反射叠层的光学元件，图13表示滤光装置的平面示意图，它包括滤光器，另外还有具有第二表面反射叠层的光学元件，图14表示滤光装置的平面示意图，它包括滤光器，另外还有依照图13的节省空间装置的光学元件，图15表示滤光装置的平面示意图，它包括滤光器和作为组合基底或固态装置的光学元件。
我们用rf、tf表示第一滤光器2的振幅反射和传输系数，用rm、tm表示高反射镜3的振幅反射和传输系数。
为了简化，在下面的理论描述中将“反射镜”看成是介电λ/4或四分之一波长叠层反射器，这是本领域普通技术人员所公知的。
我们用r、t表示组合体反射器——滤光器的振幅反射和传输系数，于是符合以下关系式1t=1tm[1tf+rf*ttf*rm]----(1)]]>rt=1tm[rftf+1tf*rm]----(2)]]>其中r*是共轭振幅反射系数，有关直达波与反向波的光谱特性之间关系的更多细节参见f.i.sh.A.Furman和A.V.Tikhonravov的Basic of Optics ofMultilayer Systems，Editions Frontieres，Gif-sur-Yvette，1992。
我们进一步假设rm＝1或至少为1。在该情况下，rt≈1tm[rftf+1tfm*]≈(1tf)*----(3)]]>由等式(3)推出arg(rt)≈arg(t)]]>或arg(r)≈2arg(t)最后(4)---dd(t)(argr)≈2·dd(t)(argt))]]>对于反射振幅GDrefl.的群延迟和传输振幅GDtransm的群延迟，由等式4推出GDrefl.≈2GDtransm.
记住GDtransm.是由t(k)极点限定的。
现在考虑应当受补偿的滤光器群延迟GD或群延迟内应当得到平整的波形。
显然，两个函数fj(k)的组合适合于传输群延迟曲线5中群延迟波形的补偿。
结果，非常有利的是利用包括两个空腔滤光器结构的介质镜组合体减小滤光器的GD波形，该结构有2个接近λ0≈1551.4nm的极点，所述滤光器的群延迟曲线5如图7所示。
为了补偿或平整曲线，这两个极点应当比产生群延迟曲线5的外极点更接近k0。
已经讨论了四分之一波长系统，另外还有这样一种系统，它的层性质类似于制造所述多层滤光器时转折点监控处的四分之一波长系统，即所述层与四分之一波长系统有类似补偿效果，该系统易于用作四分之一波长系统，该层也认为是依照本发明的四分之一波、即λ/4层。
下面将基于优选和最优选实施例给出比本发明的理论描述更多的技术。
一般来说本发明涉及一种图12所述的滤光器4，其由透明基底6支撑，该滤光器产生图7所示的第一群延迟曲线，在此用数字5表示。
所述群延迟曲线是由具有图7的曲线7和8所示谱表示的复值共轭振幅传输系数导出的。为了更好地理解这类复值振幅传输系数表示类型，例如可参见上面引用的Sh.A.Fuhrmann和A.V.Tikhonravov的文章。
例如，图8中曲线9和8所示，如果在滤光器4的一部分通频带内计算平均群延迟GDAV，则该平均群延迟GDAV限定在以阴影区域11、12和13为基础的界限9和10内，即阴影区域11和13的面积与阴影区域12的面积相同。
由此，对于每个间隔和每对限定非零谱段的光谱界限9和10，都存在界限9和10内、即滤光器4的通频带内的平均群延迟GDAV，即光谱界限9和10并不限于预定值。
然而，有利的是光谱界限9和10限定覆盖90到50％通频带的那部分通频带，在最优选实施例中其覆盖了滤光器4的至少60％的通频带。
区域11、12和13是在界限9和10内、即滤光器4的通频带内的所述群延迟波纹，该波纹具有群延迟曲线5的局部极大值或局部极小值处的最大值。依照本发明，群延迟的任何局部谱值GD减GDAV是说明书和权利要求中所述的群延迟波纹或群延迟波纹值。
依照本发明，正如下面将详细描述的，图7所示的和例如由包括高反射镜3的光学元件1产生的群延迟曲线14容易整平群延迟曲线5。
依照本发明的描述，群延迟曲线的整平或补偿是区域11、12和13的减少，即群延迟曲线中群延迟波纹的减小。
另外，将反向谱相位偏移定义为与正相位偏移相对的负相位偏移，在此所述相位偏移与平均群延迟GDAV有关。依照该定义，区域12是由相对于平均群延迟GDAV的负相位偏移产生，区域11和13是由相对GDAV的正相位偏移产生。结果图7中的曲线14相对区域12的相位偏移产生反向相位偏移。
另外，本发明不限于具有类似传输或反射通频带的所述滤光器4和所述光学元件3的实施例。依照本发明，如果传输和反射系数的组合满足预定滤光器通频带特征就足够了。
为了更好理解可参照图1，图1示出了复波数平面中的极点表示，其中λ表示不同典型带通滤光器的波长，滤光器中心波长为1550nm，其示出了复值极点15、16、17和18。
极点16和17以及极点15和18相对中心波长19对称排列。极点位置与中心波长λ0的距离表示折射率或指数的实数部分，用各极点的Y坐标表示极点15、16、17和18的所述折射指数的复数部分。
极点15、16、17和18产生本领域普通技术人员公知的复值传输系数15′、16′、17′、和18′，如图4所示，其提供了0.3nm传输通频带宽度的90％的光谱复值传输系数20。
将复值传输函数15′、16′、17′、和18′产生的各群延迟表示为产生滤光器4的传输群延迟GDtransm.21的群延迟15″、16″、17″、和18″。
在所述光学传输滤光器4的情况下，具有平坦通频带区域的陡峭滤光器特性产生群延迟曲线的深波形或高群延迟波形值，例如，这使该滤光器不能用于光学信号传输的目的、特别是滤光器信道间隔为100GHz或50GHz的窄带滤光器。
最大允许脉冲展宽限于位周期的10％。为了避免不适当的位失真，对40Gbit/s的传输光学信号流来说需要小于2.5ps的群延迟值，该群延迟值至少是图5所示示范性滤光器实施例中大小的两倍。
相反，如图8中另一个示范性滤光器所示，如果通过采用极点22、23、24和25优化群延迟曲线，则极点22、23、24和25的对应群延迟22″、23″、24″和25″就能产生平坦的群延迟曲线26。
不幸的是，由极点22、23、24和25的谱系数22′、23′、24′和25′得到的不想要和很宽的滤波图形对超窄光学通频带滤光器没有用处，这是因为该滤光器表现出较差的信道绝缘。
结果，第一眼就看出不可能获得用于避免高数据率光学信号传输过程中过度脉冲展宽导致不适当的比特出错率的超窄频带光传输滤光器，例如这些滤光器是带宽为50GHz或100GHz、群延迟小于2.5ps或甚至小于1.5ps的滤光器。
然而，依照本发明，另人惊奇的是可以改善超窄带陡峭通频带滤光器的群延迟曲线，例如如图9所示，其中用标记28表示，并可以获得具有峰值的群延迟曲线29，它以放大方式示于图10中，这表示在小于2.0ps的群延迟曲线上的群延迟波形。至此将另一个群延迟曲线30引入到光路31中，该另一群延迟曲线是由包括高反射滤光装置的光学元件1产生的。
正如图3所示，得到等式5，即GDrefl.～2GDtransm.
另外，如果GDrefl.与GDtransm.之间超过2的倍数，还能获得改善结果。
在表1中示出了反射滤光装置3的有关滤光器结构，该滤光器具有玻璃基底6和层材料SiO2和TA2O5，88个介电层，其中除了层29和69分别是第三级和第二级高折射率间隔层外，其余绝大多数都是λ/4介电层，有两层87和88与环境介质相邻。
表1示范性地示出了依照权利要求10的群延迟曲线整平滤光器表，其光学元件也仅是所述群延迟整平器，它包括第二发明实施例的光学元件的谱群延迟曲线，该光学元件产生图9所示第二发明实施例的群延迟曲线或群延迟特性。
图11示出了光学装置的另一群延迟曲线，所述装置包括滤光器4和补偿或整平至少一部分例如由图12到15中看到的群延迟曲线的光学元件3，其滤光器带宽约为0.4，波形小于2.5ps。
另外，依照本发明改进的该结构具有滤光传输功能，它的边缘比图7所示结构中的更陡峭，它用标记27表示。
结果，依照本发明提供了超窄通频带滤光器，它具有减小了很多的波纹和减小了很多的高比特率传输光信号的脉冲展宽。
在图12所示的第一优选实施例中，滤光器4和光学元件1在空间上的分离的。
在光学基底33的第一主平面32上布置了反射滤光装置3。主平面32相对光路31限定的光轴倾斜一定倾斜角a。在优选实施例中，所述主平面相对光轴31的所述倾斜角度范围是0到8度。
在更优选实施例中，所述主光学平面相对所述光路的所述倾斜角度范围是2到6度，在最优选实施例中，所述主光学平面33相对所述光路31的所述倾斜角度范围是3到5度。
在如图13所示的更优选实施例中，所述高反射滤光装置位于光学基底33的第二主光学表面34上。
后面的优选实施例包括第一主光学表面32上的抗反射涂层和与环境介质相邻的金属或介电层。
对于滤光器4和反射滤光装置3的λ/4层，优选从材料SiO2和Ta2O5或其它任何本领域普通技术人员所公知的高和低指数材料的适当组合中选择适当低和高指数材料组合，特别是要根据精确的设计要求进行选择。
然而，特别是在增大入射角时，可通过引入适当的第三材料来实现P和S极化光之间在群延迟曲线中产生的极化依存偏差，正如前面的段落中提到的，该第三材料的折射率居中，介于所述选择的低和高指数材料之间。为了避免高入射角时由于过度极化的损失，这非常重要。
在图14中示出了更优选实施例，其中通过孔或切口或凹槽35减小倾斜角a，反射信号的光路31穿过孔35延伸。
如图15所示，在另一最优选实施例中，滤光器4由所述主平面32支撑，所述第二主平面34支撑光学元件1的所述反射滤光装置3。在该实施例中，所述第一主表面32仅部分地被所述第一滤光装置3所覆盖，这样能获得小倾斜角a。
在图13到15所示的所有实施例中，可选择的是，为了提高光学性能和耐用性，与所述环境介质相邻的所述金属层可外涂另一层与所述金属层的金属不同的金属层，所述另一金属层的金属可从由铬、铜和因康镍合金组成的组中选择。
在一般优选实施例中，上述反射滤光装置3的所述反射滤光装置全部由λ/4介电层构成。
在更优选实施例中，所述反射滤光装置3除了一对最后层外都由λ/4介电层组成，例如，所述最后层是叠层中与例如空气的环境介质相邻的三层或更少的最后层，正如本领域普通技术人员所公知的，它们用于抗反射目的。
在另一优选实施例中，为了本领域普通技术人员所公知的相位适应目的，所述反射滤光装置除了一对第一层外都由λ/4介电层组成，例如所述两个第一层是与滤光装置3的基底33相邻的三个或更少的第一层。
在最优选的实施例中，所述反射滤光装置3除了叠层中与滤光装置3的基底33相邻的一对第一层和叠层中与环境介质相邻的所述一对最后层外都由λ/4介电层组成。
为了产生预定的反射率，所述反射光学元件除所述λ/4介电层外还包括介电或金属反射器。
在金属反射器情况下，金属层布置在滤光装置3的基底33与λ/4介电层叠层之间，或位于与环境介质相邻的表面36上。所述金属层由金、银、铝或任何其它经常用作金属反射镜材料的高反射金属构成。
除了所述金属层外，在所述金属层的表面上布置了适应层，用以使所述金属反射器的反射相位与多个λ/4介电层的传输函数相适应。
尽管上述描述参照了四极滤光结构，但是本发明并不限于该四极滤光结构。一般来说，所述反射滤光装置包括两个或多个第一级或更高级k的间隔层，k是半波层数量，所述层是两个四分之一波或λ/4层的邻接组合体，它将间隔体限定在由2k个高或低折射率材料构成的λ/4介电层的层结构内。
对于具有m个间隔层的滤光器来说，为了适当平整群延迟曲线，通常有n个具有2k个λ/4介电层的第一级或高等级k间隔层就足够了，其中n＞＝2且n＝m-1，其适用于间隔体数量为5或更少的滤光器。
所述滤光器4和所述反射滤光装置3可利用设计程序来获得，这些设计程序例如V3.51或更新的程序，象Optilayer V3.51，或可从位于Moscow的Optilayer有限公司得到的更新程序，或者可利用其它容易获得特别是等式5限定的传输和反射光信号群延迟关系的专用滤光设计工具。
另外，正如例如在ITU-GRID 100GHz中所讲的，目前为止不可能获得用于40Gb/s的光学传输比、群延迟小于2ps的100GHz信道间隔的光学传输滤光器。在这点上，目前为止仅实现了适合10Gb/s传输比的滤光器。
然而，与本发明不同的是，容易满足实现信道间隔为100GHz的40Gb/s光学传输比所需的技术要求。
表1单位单位Lnm，Spnm，T，R％，Phdeg替换替换材料玻璃n按色散表给定波长 n k任何波长 1.520000 0.000000入射介质入射介质空气
n按色散表给定波长 n k任何波长1.0000000.000000材料L材料层#1SIO2n按色散表给定波长 n k任何波长1.4650000.000000材料H材料层#2TA2O5n按色散表给定波长 n k任何波长2.0650000.000000设计设计ALEX层数＝88控制波长＝1550nm匹配角 ＝0deg匹配介质＝1# 物理的th. 光学的th. FWOT QWOT Abbr.材料1 187.65 387.50 0.250000 1.000000 H TA2O52 264.51 387.50 0.250000 1.000000 L SIO23 187.50 387.50 0.250000 1.000000 H TA2O54 264.51 387.50 0.250000 1.000000 L SIO25 187.50 387.50 0.250000 1.000000 H TA2O56 264.51 387.50 0.250000 1.000000 L SIO27 187.50 387.50 0.250000 1.000000 H TA2O58 264.51 387.50 0.250000 1.000000 L SIO29 187.50 387.50 0.250000 1.000000 H TA2O510 264.51 387.50 0.250000 1.000000 L SIO211 187.50 387.50 0.250000 1.000000 H TA2O512 264.51 387.50 0.250000 1.000000 L SIO213 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O514 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO215 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O516 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO217 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O518 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO219 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O520 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO221 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O522 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO223 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O524 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO225 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O526 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO227 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O528 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO229 1125.91 2325.00 1.500000 6.000000 H TA2O530 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO231 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O532 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO233 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O534 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO235 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O536 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO237 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O538 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO239 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O540 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO241 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O542 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO243 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O544 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO245 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O546 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO247 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O548 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO249 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O550 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO251 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O552 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO253 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O554 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO255 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O556 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO257 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O558 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO259 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O560 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO261 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O562 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO263 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O564 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO265 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O566 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO267 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O568 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO269 750.611550.00 1.000000 4.000000 H TA2O570 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO271 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O572 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO273 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O574 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO275 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O576 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO277 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O578 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO279 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O580 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO281 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O582 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO283 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O584 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO285 187.50387.50 0.250000 1.000000 H TA2O586 264.51387.50 0.250000 1.000000 L SIO287 261.46539.91 0.348331 1.393325 H TA2O588 336.08492.35 0.317647 1.270587 L SIO2光谱特性目标文件CON50GHZ
权利要求
1.一种滤光装置，包括滤光器和补偿或整平由所述滤光器产生的至少一部分群延迟曲线的光学元件。
2.根据权利要求1所述的滤光装置，其中所述滤光器是具有第一光传输带的第一滤光器，以及所述光学元件是具有第二光传输带的第二滤光器。
3.根据权利要求2所述的滤光装置，其中所述第一滤光器产生第一群延迟曲线，以及所述光学元件产生具有整个光路群延迟曲线的第二群延迟曲线，所述光路包括所述第一滤光器和所述光学元件，至少在所述第一滤光器的传输系数大于零的谱带范围内，该第二群延迟曲线比所述第一群延迟曲线的群延迟波形小。
4.根据权利要求3所述的滤光装置，其中所述第一滤光器产生第一群延迟曲线，以及所述光学元件产生第二群延迟曲线，容易至少局部地整平由所述第一滤光器产生的所述第一群延迟曲线。
5.根据权利要求4所述的滤光装置，其中，所述第一滤光器的所述第一谱传输带与所述第二光学元件的第二谱反射带的组合适合于预定滤光器传输带。
6.根据权利要求1所述的滤光装置，其中，所述第一滤光器和所述光学元件在空间上分离。
7.根据权利要求1所述的滤光装置，其中，所述光学元件包括反射滤光装置。
8.根据权利要求7所述的滤光装置，其中，所述反射滤光装置包括多个λ/4介电层。
9.根据权利要求7所述的滤光装置，其中，所述反射滤光装置全部由λ/4介电层组成。
10.根据权利要求7所述的滤光装置，其中，所述反射滤光装置除了叠层中一对与环境介质相邻的最后层外其余膜层由λ/4介电层组成。
11.根据权利要求7所述的滤光装置，其中，所述反射滤光装置除了叠层中与所述滤光器基底相邻的一对第一层外其余膜层由λ/4介电层组成。
12.根据权利要求7所述的滤光装置，其中，所述反射滤光装置除了叠层中与所述滤光器基底相邻的一对第一层外和除了叠层中与环境介质相邻的一对最后层外，其余膜层由λ/4介电层组成。
13.根据权利要求7所述的滤光装置，其中，所述光学元件包括介电反射器。
14.根据权利要求7所述的滤光装置，其中，所述光学元件包括金属反射器。
15.根据权利要求7所述的滤光装置，其中，反射器布置在基底的第一表面上，所述反射滤光装置是第一表面反射滤光装置。
16.根据权利要求7所述的滤光装置，其中，所述反射滤光装置包括第一主表面和第二主表面，所述第一主表面支撑着所述滤光器，所述第二主表面支撑所述光学元件的所述反射滤光装置。
17.根据权利要求16所述的滤光装置，其中，所述第一主表面局部被所述第一滤光器所覆盖。
18.根据权利要求16所述的滤光装置，其中，所述反射滤光装置全部由λ/4介电层组成。
19.根据权利要求16所述的滤光装置，其中，所述反射滤光装置除了叠层中与环境介质相邻的一对最后层外其余由λ/4介电层组成。
20.根据权利要求16所述的滤光装置，其中，所述反射滤光装置除了叠层中与所述滤光装置基底相邻的一对第一层外其余由λ/4介电层组成。
21.根据权利要求16所述的滤光装置，其中，所述反射滤光装置除了叠层中与所述滤光装置基底相邻的一对第一层外和除叠层中与环境介质相邻的一对最后层外其余由λ/4介电层组成。
22.根据权利要求16所述的滤光装置，其中，所述反射滤光装置包括与所述环境介质相邻的金属层。
23.根据权利要求22所述的滤光装置，其中，所述金属层包括包含银、金、铜和铝的组中的一种。
24.根据权利要求23所述的滤光装置，其中，与所述环境介质相邻的所述金属层可外涂另一层与所述金属层的金属不同的金属层，所述另一金属层的金属可从包括铬、铜和因康镍合金的组中选择。
25.根据权利要求14所述的滤光装置，其中，在所述金属反射器表面上布置了适应层，用以使所述金属反射器的反射相位与所述多个λ/4介电层的传输函数相适应。
26.根据权利要求7所述的滤光装置，其中，所述光学元件的主表面相对于由通过所述滤光装置传播的光学信号的传播路径限定的光轴发生倾斜。
27.根据权利要求26所述的滤光装置，其中，所述主光学表面相对所述光路的倾斜角范围是0到8度。
28.根据权利要求26所述的滤光装置，其中，所述主光学表面相对所述光路的倾斜角范围是2到6度。
29.根据权利要求26所述的滤光装置，其中，所述主光学表面相对所述光路的倾斜角范围是3到5度。
30.根据权利要求1所述的滤光装置，其中，在产生小于2.5ps的群延迟波形的所述第一滤光器的传输带内，所述第一滤光器与所述光学元件的组合体产生群延迟曲线。
31.根据权利要求1所述的滤光装置，其中，在产生小于2.5ps的群延迟波形的所述第一滤光器的传输带内，所述第一滤光器与所述光学元件的组合体产生群延迟曲线。
32.根据权利要求1所述的滤光装置，其中，所述光学元件在所述第一滤光器的至少一部分光谱传输带内产生与所述第一滤光器产生的光谱相位偏移基本反向的光谱相位偏移。
33.一种滤光装置，包括第一滤光器，和波形整平器，所述波形整平器补偿或整平所述滤光器的谱传输带内的至少一部分波形。
34.根据权利要求33所述的滤光装置，其中，所述波形整平器包括权利要求7所述的光学元件。
35.一种滤光器的波形整平器，包括权利要求7所述的反射滤光装置。
36.一种滤光器的群延迟整平器，其包括具有权利要求7所述的光学元件的反射滤光装置。
37.依照权利要求35所述的滤光器群延迟整平器，包括两个或多个第一级或更高级k的间隔层，它们有2k个高指数材料的λ/4介电层。
38.依照权利要求36所述的滤光器群延迟整平器，包括两个或多个第一级或更高级k的间隔层，它们有2k个低指数材料的λ/4介电层。
39.依照权利要求36所述的滤光器群延迟整平器，包括n个第一级或更高级k的间隔层，它们有2k个高指数材料的λ/4介电层，其中n＞＝2，且n＝m-1，m是所述滤光器间隔层的数量。
全文摘要
一种光学滤光器包括滤光器和光学元件，光学元件可补偿或整平至少一部分由所述滤光器产生的群延迟曲线。
文档编号G02B6/34GK1448771SQ0214032
公开日2003年10月15日 申请日期2002年7月1日 优先权日2001年6月29日
发明者A·V·迪洪拉福, A·特勒, B·温格尔林 申请人:肖特玻璃厂