偏振光照射装置的制造方法

专利名称：:偏振光照射装置的制造方法【专利摘要】本实用新型提供一种偏振光照射装置。实施方式的偏振光照射装置包括：照射部，沿第1方向延伸，且具有照射出波长处于紫外线波长区域内的光的光源；滤波器部，具有使规定波长的光透射的滤波器，且设置在所述照射部的下方；以及偏振部，具有第1基台、第1偏振元件及第1移动部，且设置在所述滤波器部的下方，所述第1偏振元件设置于所述第1基台且与所述滤波器相对，所述第1移动部使所述第1基台朝所述第1方向移动。所述第1移动部维持所述第1基台在与所述第1方向正交的第2方向、及在与所述第1方向及所述第2方向正交的第3方向上的位置。所述偏振光照射装置能够提高偏振元件更换作业时的作业性，并能够抑制偏振轴偏离的发生。【专利说明】偏振光照射装置
技术领域：
[0001]本实用新型的实施方式涉及一种偏振光照射装置。【
背景技术：
】[0002]在对液晶显示元件的取向膜或视角补偿薄膜(film)的取向膜等实施取向处理时，要对取向膜照射规定波长的偏振光。[0003]此种取向处理方法被称作光取向法。[0004]一般而言，取向膜材料的灵敏度波长为254nm、313nm、365nm0[0005]此时，具有包含氧化钛的线状体的线栅(wiregrid)型偏振元件对于具有254nm附近的波长的光，具有良好的偏振性能。具有包含铝的线状体的线栅型偏振元件对于具有300nm附近的波长的光，具有良好的偏振性能。[0006]但是，具有包含氧化钛的线状体的线栅型偏振元件对于具有300nm以上的波长的光，偏振性能变差。具有包含铝的线状体的线栅型偏振元件对于具有300nm以下的波长的光，偏振性能变差。[0007]因此，当使用这些偏振元件时，需要用于限制波长范围的滤波器(filter)。[0008]而且，作为光源的萊灯是照射254nm?365nm的波长的光。封入有萊与各种金属的金属卤化物灯被用于想要使365nm附近的波长的光增大的情况下。[0009]因此，当在相同的偏振光照射装置中对灵敏度波长不同的取向膜进行取向处理时，有时必须更换偏振元件、滤波器及光源中的至少任一者。[0010]偏振元件、滤波器及光源的更换需要时间。[0011]因此，提出有一种技术，S卩:从偏振光照射装置中拉出设置有多个偏振元件的偏振单元。[0012]但是，若简单地从偏振光照射装置拉出偏振单元，则有可能会因上下左右方向的晃动而发生偏振轴偏尚。[0013]若发生偏振轴偏离，则再调整需要很多的时间。[0014]因此，期望开发出一种技术，能够提高偏振元件更换作业时的作业性，并能够抑制偏振轴偏尚的发生。[0015]现有技术文献[0016]专利文献[0017]专利文献1:日本专利特开2013-218197号公报【
实用新型内容】[0018][实用新型所要解决的问题][0019]本实用新型所要解决的问题在于提供一种偏振光照射装置，能够提高偏振元件更换作业时的作业性，并能够抑制偏振轴偏离的发生。[0020][解决问题的技术手段][0021]实施方式的偏振光照射装置包括:照射部，沿第I方向延伸，且具有照射出波长处于紫外线波长区域内的光的光源;滤波器部，具有使规定波长的光透射的滤波器，且设置在所述照射部的下方；以及偏振部，具有第I基台、第I偏振元件及第I移动部，且设置在所述滤波器部的下方，所述第I偏振元件设置于所述第I基台且与所述滤波器相对，所述第I移动部使所述第I基台朝所述第I方向移动。[0022]所述第I移动部维持所述第I基台在与所述第I方向正交的第2方向、及在与所述第I方向及所述第2方向正交的第3方向上的位置。[0023]实施方式的偏振光照射装置中，所述偏振部还可包括固定部，所述固定部对所述第I基台在所述第I方向、所述第2方向及所述第3方向上的位置进行固定。[0024]实施方式的偏振光照射装置中，所述照射部还可包括:第2基台，设置有所述光源；以及第2移动部，使所述第2基台朝所述第I方向移动。[0025]实施方式的偏振光照射装置中，所述滤波器部还可包括:第3基台，设置有所述滤波器;以及第3移动部，使所述第3基台朝所述第I方向移动。[0026]实施方式的偏振光照射装置还可包括:第2偏振元件，使透射过所述第I偏振元件的光入射;第4移动部，使所述第2偏振元件朝旋转方向移动；以及检测部，接收透射过所述第2偏振元件的光，并输出与接收的光的光量相应的电信号，所述偏振光照射装置还包括:偏振光测定部，设置在所述偏振部的下方。[0027]实施方式的偏振光照射装置中，所述第I偏振元件可以是使波长为240nm以上且400nm以下的光偏振的线栅型偏振元件。[0028]实施方式的偏振光照射装置中，所述第I偏振元件可具有线状体，所述线状体可包含选自由铬(Cr)、铝(Al)、钼硅合金(MoSix)及硅(Si)所构成的群组中的至少一种。[0029](实用新型的效果)[0030]根据本实用新型的实施方式，可提供一种偏振光照射装置，能够提高偏振元件更换作业时的作业性，并能够抑制偏振轴偏离的发生。【附图说明】[0031]图1是用于例示本实施方式的偏振光照射装置I的示意立体图。[0032]图2(a)是图1中的A部的示意图。图2(b)是用于例示另一实施方式的偏振部2的示意剖面图。[0033]图3是图2(a)中的B-B线剖面图。[0034]图4是用于例示另一实施方式的偏振光测定部16的示意立体图。[0035]图5是用于对偏振光照射装置I生成偏振光Lp、及偏振光测定部6测定偏振光Lp的偏振方向的情况进行例示的示意立体图。[0036][符号的说明][0037]1:偏振光照射装置[0038]2、61:偏振部[0039]3:滤波器部[0040]4:照射部[0041]5:搬送部[0042]6:偏振光测定部[0043]7、65:控制部[0044]16:偏振光测定部[0045]21、61a:偏振元件[0046]22:框部[0047]22a、22b、23al:凹部[0048]22c:中心线[0049]23:基部[0050]23a、33、43:基台[0051]23b:支撑部[0052]23c:弹性部[0053]23cl、23dl、61b:保持部[0054]23c2:盘簧[0055]23d:调整部[0056]23d2:突出部[0057]24、34、44、61。、63、64、163:移动部[0058]24a、34a、44a:辊[0059]24b、24c、34b、44b:导轨[0060]25:固定部[0061]31:滤波器[0062]32、42:反射部[0063]41:光源[0064]62、62a?62c:检测部[0065]200:处理物[0066]A:部[0067]B、C、X、Y、Z:方向[0068]D:突出长度[0069]L:光[0070]Lp:偏振光[0071]Lpp:偏振光[0072]α:斜率/角度【具体实施方式】[0073]实施方式的实用新型是一种偏振光照射装置，其包括:照射部，沿第I方向延伸，且具有照射出波长处于紫外线波长区域内的光的光源;滤波器部，具有使规定波长的光透射的滤波器，且设置在所述照射部的下方；以及偏振部，具有第I基台、第I偏振元件及第I移动部，且设置在所述滤波器部的下方，所述第I偏振元件设置于所述第I基台且与所述滤波器相对，所述第I移动部使所述第I基台朝所述第I方向移动。[0074]所述第I移动部维持所述第I基台在与所述第I方向正交的第2方向、及在与所述第I方向及所述第2方向正交的第3方向上的位置。[0075]根据该偏振光照射装置，能够提高第I偏振元件的更换作业及第I偏振元件的调整作业时的作业性，并能够抑制偏振轴偏离的发生。[0076]而且，所述偏振部能够还包括固定部，所述固定部对所述第I基台在所述第I方向、所述第2方向及所述第3方向上的位置进行固定。[0077]这样，能够进一步抑制偏振轴偏离的发生。[0078]而且，所述照射部能够还包括:第2基台，设置有所述光源；以及第2移动部，使所述第2基台朝所述第I方向移动。[0079]这样，能够提高光源更换作业时的作业性。[0080]而且，所述滤波器部能够还包括:第3基台，设置有所述滤波器；以及第3移动部，使所述第3基台朝所述第I方向移动。[0081]这样，能够提高滤波器更换作业时的作业性。[0082]而且，所述偏振光照射装置能够包括:第2偏振元件，使透射过所述第I偏振元件的光入射;第4移动部，使所述第2偏振元件朝旋转方向移动；以及检测部，接收透射过所述第2偏振元件的光，并输出与所述接收的光的光量相应的电信号，所述偏振光照射装置能够还包括:偏振光测定部，设置在所述偏振部的下方。[0083]这样，能够提高第I偏振元件的调整精度。[0084]而且，所述第I偏振元件能够采用使波长为240nm以上且400nm以下的光偏振的线栅型偏振元件。[0085]这样，在进行灵敏度波长不同的取向膜的处理时，不再需要更换第I偏振元件。[0086]而且，所述第I偏振元件能够具有线状体，所述线状体包含选自由铬(Cr)、铝(Al)、钼硅合金(MoSix)及硅(Si)所构成的群组中的至少一种。[0087]这样，在进行灵敏度波长不同的取向膜的处理时，能够减少更换第I偏振元件的频率。[0088]以下，参照附图来对实施方式进行例示。另外，各附图中，对于同样的构成要素标注相同的符号，并适当省略详细说明。[0089]另外，图中的箭头X、Y、Z表示彼此正交的X方向(相当于第2方向的一例)、Y方向(相当于第I方向的一例)及Z方向(相当于第3方向的一例)。[0090]而且，处理物200例如可设为液晶显示元件或视角补偿薄膜等具有取向膜者。[0091]但是，处理物200并不限定于例示者，只要是可通过光取向法来实施取向处理的处理物即可。[0092]图1是用于例示本实施方式的偏振光照射装置I的示意立体图。[0093]图2(a)是图1中的A部的示意图。图2(b)是用于例示另一实施方式的偏振部2的示意剖面图。[0094]图3是图2(a)中的B-B线剖面图。[0095]如图1及图2(a)所示，在偏振光照射装置I中，设置有偏振部2、滤波器部3、照射部4、搬送部5、偏振光测定部6及控制部7。[0096]如图2(a)及图3所示，偏振部2具有偏振元件21(相当于第I偏振元件的一例)、框部22、基部23、移动部24(相当于第I移动部的一例)及固定部25。[0097]偏振元件21使从光源41照射的光成为具备特定偏振方向的偏振光Lp。[0098]偏振元件21例如可采用线栅型偏振元件。[0099]偏振元件21例如可采用如下所述的偏振元件，S卩，其具有:包含石英等的基板；以及多个直线状的线状体，以呈彼此平行的方式设置于基板上。[0100]此时，多个线状体是等间隔地设置。线状体的间距尺寸(pitchsize)可设为所入射的光的波长以下。线状体的间距尺寸优选设为所入射的光的波长的1/3以下。[0101]线状体的材料例如可采用包含铬(Cr)或铝(Al)等金属、钼硅合金(MoSix)或非晶娃(amorphoussilicon)(a_Si)等含娃(Si)的材料等。[0102]此处，偏振元件21优选采用在尽可能广的波长区域内具有良好的偏振性能的偏振元件。[0103]如后所述，从光源41照射出波长处于紫外线波长区域(例如200nm以上且400nm以下的波长区域)内的光。[0104]因此，当使用使波长为450nm以下的光透射的滤波器31时，优选采用具有包含非晶娃(a-Si)等娃(Si)的线状体的偏振元件21。[0?05]这样，在取向膜材料的灵敏度波长为254nm、313nm、365nm等的情况下，不再需要更换偏振元件21。[0106]进而，若采用使波长为240nm以上且400nm以下的光偏振的线栅型偏振元件21，则在进行灵敏度波长不同的取向膜的处理时，不再需要更换偏振元件21。[0107]例如，若采用具有包含铝(Al)或钼硅合金(MoSix)的线状体的偏振元件21，则至少能够在波长为240nm以上且400nm以下的范围内获得良好的偏振性能。[0108]因此，若采用具有包含铝(Al)或钼硅合金(MoSix)的线状体的偏振元件21，则在进行灵敏度波长不同的取向膜的处理时，不再需要更换偏振元件21。[0109]框部22呈框状，保持偏振元件21的周缘。[0110]偏振元件21的基板是由石英等形成，因此偏振元件21的端部等容易发生破损。因此，框部22是为了保护偏振元件21而设置。[0111]另外，在偏振元件21难以产生缺损等的情况下，无须设置框部22。[0112]在框部22的其中一个端面的中央部分，设置有剖面形状为半圆状的凹部22a。[0113]在框部22的与设有凹部22a的端面相对的端面，设置有剖面形状为矩形状的凹部22bο凹部22b被设置在从中央部分偏离的位置(例如框部22的角部附近)。[0114]长度长的偏振元件21难以制造。因此，偏振元件21及框部22是沿着光源41所延伸的方向(Y方向)而排列有多组。[0115]另外，在多个框部22彼此之间设置有规定的间隙，从而能够实现后述的斜率调整(偏振方向的调整)。[0116]基部23具有基台23a(相当于第I基台的一例)、支撑部23b、弹性部23c及调整部23d。基台23a沿着光源41所延伸的方向(Y方向)延伸。基台23a具有凹部23al。凹部23al沿着光源41所延伸的方向(Y方向)延伸。在凹部23al的内部，设置有多个框部22。在凹部23al的底面设置有孔，以使偏振光Lp能够透射。[0117]支撑部23b、弹性部23c及调整部23d相对于I个框部22而设置有I组。[0118]支撑部23b呈圆柱状，且与凹部22a接触。[0119]弹性部23c利用弹性力将框部22按压至支撑部23b。[0120]弹性部23c具有保持部23cl及盘簧(coilspring)23c2。[0121]保持部23cl是设置于基台23a上。保持部23cl被设置在与凹部22b相对的位置。[0122]盘簧23c2是设置在保持部23cl与凹部22a之间。[0123]调整部23d是与弹性部23c隔开地设置。[0124]调整部23d例如可设置在相对于框部22的中心线22c而与弹性部23c成线对称的位置。[0125]调整部23d具有保持部23dl及突出部23d2。[0126]保持部23dl是设置于基台23a上。[0127]突出部23d2是设置于保持部23dl上。突出部23d2从保持部23dl突出。突出部23d2的前端与框部22接触。突出部23d2能够使从保持部23dl突出的突出长度D发生变化。换言之，通过使突出长度D发生变化，从而能够使偏振元件21的斜率α变化。[0128]突出部23d2例如具有梯级性地突出的机构或螺丝机构，能够基于偏振光测定部6的测定结果来使突出长度D发生变化。[0129]此时，若采用具有螺丝机构的突出部23d2，则能够实现无级调整，因此比起梯级性地突出的突出部，容易进行微调。[0130]另外，作业员既可操作突出部23d2来使突出长度D发生变化，也可通过设置于突出部23d2的驱动机构来驱动突出部23d2以使突出长度D发生变化。[0131]通过I组支撑部23b、弹性部23c及调整部23d来三点支撑I个框部22。[0132]如图3所示，只要使突出部23d2的突出长度D发生变化，便能够以支撑部23b为支点来使框部22、甚而使偏振元件21朝旋转方向移动。只要使偏振元件21朝旋转方向移动，便能够使设置于偏振元件21的线状体所延伸的方向发生变化。[0133]因此，通过基于偏振光测定部6的测定结果来使突出长度D发生变化，从而能够针对多个偏振元件21的每一个来进行偏振方向的调整。[0134]移动部24使基台23a朝光源41所延伸的方向(Y方向)移动。[0135]移动部24维持基台23a在X方向及Z方向上的位置。[0136]移动部24具有辊(roller)24a、导轨(rail)24b及导轨24c。[0137]辊24a例如可采用呈圆筒状且具有滚动轴承者。[0138]多个辊24a设置在X方向上的基台23a两侧的侧面。多个辊24a沿着基台23a所延伸的方向(Y方向)而排列设置。[0139]而且，如图2(b)所示，辊24a也可设置在基台23a的内部，且导轨24b侧的端部从基台23a露出。[0140]导轨24b沿着Y方向延伸。导轨24b与辊24a的下端接触。导轨24b经由辊24a来支撑基台23a。[0141]而且，导轨24b与辊24a的和基台23a侧为相反侧的侧面接触。导轨24b经由辊24a来维持基台23a在X方向上的位置。[0142]导轨24c沿着Y方向延伸。导轨24c被设置在导轨24b的上方。导轨24c是与导轨24b相对。[0143]辊24a是设置在导轨24b与导轨24c之间。因此，辊24a、导轨24b及导轨24c协同维持基台23a在Z方向上的位置。[0144]此时，基台23a能够沿Y方向移动。即，能够从偏振光照射装置I拉出基台23a。因此，设置于基台23a的偏振元件21、框部22及调整部23d等也能够从偏振光照射装置I拉出。其结果，在偏振光照射装置I的外侧，作业员能够进行偏振元件21的更换或偏振元件21的斜率调整，因此能够提高偏振元件21的更换作业等时的作业性。[0145]既可在导轨24c与辊24a的上端之间设置有间隙，也可使导轨24c与辊24a的上端接触。[0146]若在导轨24c与辊24a的上端之间设置有间隙，则辊24a的旋转将变得平滑。另一方面，导轨24c与辊24a的上端之间的间隙越大，则Z方向(上下方向)的晃动将越大，因而偏振轴偏离有可能变大。[0147]因此，优选在导轨24c与辊24a的上端之间设置微小的间隙。[0148]这样，能够使辊24a的旋转变得平滑，且能够抑制偏振轴偏离的发生。[0149]另外，例示了具有辊24a、导轨24b及导轨24c的移动部24，但并不限定于此。[0150]移动部24只要是能够使基台23a朝光源41所延伸的方向(Y方向)移动，且能够维持基台23a在X方向及Z方向上的位置即可。[0151]例如，移动部24也可采用具备滑动导轨(sliderail)、滑动单元(slideunit)、直动轴承与引导件(guide)者，具备滑动轴承与引导件者等。[0152]固定部25对偏振元件21在X方向、Y方向及Z方向上的位置进行固定。[0153]固定部25是设置于导轨24b上。多个固定部25沿着导轨24b所延伸的方向(Y方向)而排列设置。[0154]固定部25朝向导轨24c侧按压基台23a。由于基台23a由固定部25予以上抬，因此辊24a的上端与导轨24c接触。[0155]另外，图2(a)与图2(b)表示通过固定部25进行按压之前的状态(在导轨24c与辊24a的上端之间存在间隙的状态)。[0156]若棍24a的上端与导轨24c接触，贝Ij无Z方向(上下方向)的晃动。而且，偏振元件21在X方向、Y方向及Z方向上的位置得以固定。因此，能够进一步抑制偏振轴偏离的发生。[0157]固定部25例如可采用具有螺丝机构者。螺丝机构例如既可如翼形螺丝等般由作业者进行操作，也可通过驱动机构进行操作。[0158]另外，固定部25并不限定于具有螺丝机构者。[0159]固定部25例如也可为气缸(aircylinder)、液压缸、螺线管(solenoid)、铰接夹(toggleclamp)等。[0160]而且，固定部25也能够设置于导轨24c或其他构件上。在固定部25被设置于导轨24c的情况下，固定部25朝向导轨24b侧按压基台23a。由于棍24a被按压至导轨24b上，因此无Z方向(上下方向)的晃动。而且，偏振元件21在X方向、Y方向及Z方向上的位置得以固定。因此，能够进一步抑制偏振轴偏离的发生。[0161]而且，例示了按压基台23a的固定部25，但也可为经由其他构件来按压基台23a的固定部25、按压辊24a的固定部25等。[0162]而且，固定部25也可为吸引基台23a或辊24a等。例如，固定部25也可为电磁铁等。[0163]S卩，固定部25只要是能够对偏振元件21在X方向、Y方向及Z方向上的位置进行固定即可。[0164]而且，也可在偏振部2上设置使偏振光透射的窗材等。[0165]此时，窗材也可由对紫外光进行反射/遮光的反射材或遮光材来予以支撑。[0166]窗材例如可由合成石英玻璃等形成。[0167]滤波器部3是设置在偏振部2的上方。[0168]滤波器部3具有滤波器31、反射部32、基台33(相当于第3基台的一例)及移动部34(相当于第3移动部的一例)。[0169]滤波器31是设置于基台33上。[0170]滤波器31使规定波长的光透射。[°171]滤波器31例如可采用带通滤波器(bandpassfilter)。[0172]滤波器31可采用具备规定的透射率分布者。[0173]滤波器31例如可采用使波长为254nm的光透射90%以上，而不使波长为313nm及365nm的光透射者。[0174]若采用具备此种透射率分布的滤波器31，则能够将波长为254nm的光照射至处理物200，而不使波长为313nm及365nm的光照射至处理物200。[0175]滤波器31例如可采用使波长为313nm的光透射90%以上，而不使波长为254nm及365nm的光透射者。[0176]若采用具备此种透射率分布的滤波器31，则能够将波长为313nm的光照射至处理物200，而不使波长为254nm及365nm的光照射至处理物200ο[0177]滤波器31例如可采用使波长为365nm的光透射90%以上，而不使波长为254nm及313nm的光透射者。[0178]若采用具备此种透射率分布的滤波器31，则能够将波长为365nm的光照射至处理物200，而不使波长为254nm及313nm的光照射至处理物200。[0179]滤波器31例如可采用使波长为254nm及313nm的光透射90%以上，而不使波长为365nm的光透射者。[0180]若采用具备此种透射率分布的滤波器31，则能够将波长为254nm及313nm的光照射至处理物200，而不使波长为365nm的光照射至处理物200。[0181]滤波器31例如可采用使波长为313nm及365nm的光透射90%以上，而不使波长为254nm的光透射者。[0182]若采用具备此种透射率分布的滤波器31，则能够将波长为313nm及365nm的光照射至处理物200，而不使波长为254nm的光照射至处理物200。[0183]滤波器31例如可采用使波长为254nm的光透射70%以上，使波长为313nm的光透射80%以上，使波长为365nm的光透射90%以上者。[0184]若采用具备此种透射率分布的滤波器31，则能够将波长为254nm、313nm及365nm的光照射至处理物200。[0185]反射部32是设置于基台33上。[0186]反射部32是以包围滤波器31的方式设置。[0187]反射部32具有一侧开口的槽形状，且沿基台33所延伸的方向(Y方向)延伸。[0188]反射部32的剖面形状除了圆形、椭圆、抛物线等弯曲形状以外，也可采用平面形状。[0189]反射部32的内面成为反射镜。[0190]反射部32将从光源41出射并朝向滤波器31附近的光反射向照射部4的反射部42。被反射部32反射并入射至照射部4的反射部42中的光朝向滤波器31。[0191]另外，反射部32也可为将入射的光以朝向滤波器31的方式予以反射者。[0192]反射部32并非必需，但若设置反射部32，则能够提高从光源41出射的光的利用效率。[0193]而且，例示了反射部32被设置于基台33的情况，但反射部32也可设置于照射部4，还可设置于其他构件。[0194]基台33沿光源41所延伸的方向(Y方向)延伸。在基台33上设置有凹部，在凹部内设置有滤波器31。在凹部的底面设置有孔，以使透射过滤波器31的光入射至偏振元件21。[0195]移动部34使基台33朝光源41所延伸的方向(Y方向)移动。[0196]移动部34维持基台33在X方向上的位置。[0197]移动部34具有辊(roller)34a及导轨34b。[0198]辊34a例如可采用呈圆筒状且具有滚动轴承者。[0199]多个辊34a设置在X方向上的基台33两侧的侧面。多个辊34a沿着基台33所延伸的方向(Y方向)而排列设置。[°20°]导轨34b沿Y方向延伸。导轨34b与棍34a的下端接触。导轨34b经由棍34a来支撑基台33。[0201]而且，导轨34b与辊34a的和基台33侧为相反侧的侧面接触。导轨34b经由辊34a来维持基台33在X方向上的位置。[0202]此时，基台33能够沿Y方向移动。即，能够从偏振光照射装置I拉出基台33。因此，设置于基台33的滤波器31等也能够从偏振光照射装置I拉出。[0203]其结果，在偏振光照射装置I的外侧，作业员能够进行滤波器31的更换，因此能够提高滤波器31的更换作业时的作业性。[0204]另外，例示了具有辊34a及导轨34b的移动部34，但并不限定于此。[0205]移动部34只要是能够使基台33朝光源41所延伸的方向(Y方向)移动者即可。[0206]例如，移动部34也可采用具备滑动导轨、滑动单元、直动轴承与引导件者，具备滑动轴承与引导件者等。[0207]照射部4是设置在滤波器部3的上方。[0208]照射部4具有光源41、反射部42、基台43(相当于第2基台的一例)及移动部44(相当于第2移动部的一例)。[0209]光源41是设置于基台43上。[0210]光源41具有呈直线状延伸的形态。[0211]光源41以沿与搬送处理物200的方向(X方向)正交的方向(Y方向)延伸的方式设置。[0212]光源41照射出波长处于紫外线波长区域内的光。[0213]从光源41照射的光是具有各种振动方向成分的所谓的非偏振的光。[0214]光源41例如可采用照射出波长为254nm的光的汞灯、照射出波长为313nm的光的汞灯、照射出波长为313nm的光的金属卤化物灯、照射出波长为365nm的光的金属卤化物灯等。[0215]而且，光源41也可为照射出波长处于紫外线波长区域内的光的荧光灯或发光元件(例如发光二极管(lightemittingd1de)、激光二极管(laserd1de)、有机发光二极管等)等。另外，在使用作为点光源的发光元件的情况下，只要将多个发光元件排列成直线状而设为仿真线状光源即可。[0216]反射部42是设置于基台43上。[0217]反射部42是以包围光源41的方式设置。[0218]反射部42具有一侧开口的槽形状，且沿基台43所延伸的方向(Y方向)延伸。[0219]反射部42的剖面形状可设为抛物线或椭圆的一部分。[0220]反射部42的内面成为反射镜。[0221]反射部42将从光源41出射并朝向反射部42的内面的光反射向滤波器31。[0222]若设置反射部42，则能够提高从光源41出射的光的利用效率。[0223]而且，例示了反射部42被设置于基台43的情况，但反射部42也可设置于滤波器部3，还可设置于其他构件。[0224]基台43沿光源41所延伸的方向(Y方向)延伸。在基台43上设置有凹部，在凹部的内部设置有反射部42与光源41。[0225]移动部44使基台43朝光源41所延伸的方向(Y方向)移动。[0226]移动部44维持基台43在X方向上的位置。[0227]移动部44具有辊(roller)44a及导轨44b。[0228]辊44a例如可采用呈圆筒状且具有滚动轴承者。[0229]多个辊44a设置在X方向上的基台43两侧的侧面。多个辊44a沿着基台43所延伸的方向(Y方向)而排列设置。[0230]导轨44b沿Y方向延伸。导轨44b与棍44a的下端接触。导轨44b经由棍44a来支撑基台43。[0231]而且，导轨44b与辊44a的和基台43侧为相反侧的侧面接触。导轨44b经由辊44a来维持基台43在X方向上的位置。[0232]此时，基台43能够沿Y方向移动。即，能够从偏振光照射装置I拉出基台43。因此，设置于基台43的光源41等也能够从偏振光照射装置I拉出。[0233]其结果，在偏振光照射装置I的外侧，作业员能够进行光源41的更换，因此能够提高光源41的更换作业时的作业性。[0234]另外，例示了具有辊44a及导轨44b的移动部44，但并不限定于此。[0235]移动部44只要是能够使基台43朝光源41所延伸的方向(Y方向)移动者即可。[0236]例如，移动部44也可采用具备滑动导轨、滑动单元、直动轴承与引导件者，具备滑动轴承与引导件者等。[0237]此处，在对设置于处理物200上的取向膜实施取向处理时，根据取向膜材料的灵敏度波长来选定适当的光源41、滤波器31及偏振元件21。[0238]当偏振光照射装置I中未设有适当的光源41时，要更换光源41。[0239]基台43能够沿Y方向移动，因此能够从偏振光照射装置I拉出基台43。因此，在偏振光照射装置I的外侧，作业员能够进行光源41的更换，因此能够提高光源41的更换作业时的作业性。[0240]而且，当偏振光照射装置I中未设有适当的滤波器31时，要更换滤波器31。[0241]基台33能够沿Y方向移动，因此能够从偏振光照射装置I拉出基台33。因此，在偏振光照射装置I的外侧，作业员能够进行滤波器31的更换，因此能够提高滤波器31的更换作业时的作业性。[0242]而且，在偏振光照射装置I中未设有适当的偏振元件21的情况下、或需要进行后述的偏振元件21的斜率调整的情况下，要进行偏振元件21的更换或偏振元件21的斜率调整。[0243]基台23a能够沿Y方向移动，因此能够从偏振光照射装置I拉出基台23a。因此，在偏振光照射装置I的外侧，作业员能够进行偏振元件21的更换或偏振元件21的斜率调整，因此能够提高偏振元件21的更换作业等时的作业性。[0244]而且，如前所述，若采用至少在波长为240nm以上且400nm以下的范围内具有良好的偏振性能的偏振元件21(具有包含铝(Al)或钼硅合金(MoSix)的线状体的偏振元件21)，则在进行灵敏度波长不同的取向膜的处理时，不再需要更换偏振元件21。[0245]此时，基台43及基台33能够分别独立地沿Y方向移动，因此在光源41或滤波器31的更换时，偏振元件21的位置不会发生偏离。[0246]而且，基台43、基台33及基台23a能够从偏振光照射装置I的同一面侧沿Y方向拉出，因此能够从相同位置进行各作业。因此，能够进一步提高作业性。[0247]搬送部5是设置在偏振部2的下方。[0248]搬送部5沿与光源41所延伸的方向正交的方向(X方向)搬送处理物200。[0249]搬送部5以处理物200通过偏振部2下方的方式来搬送处理物200。[0250]搬送部5例如可采用具备保持处理物200的保持装置与单轴机器人(robot)等搬送装置者。[0251]偏振光测定部6是设置在偏振部2的下方。[0252]偏振光测定部6是设置在相较于处理物200的搬送位置的更下方。[0253]偏振光测定部6具有偏振部61、检测部62、移动部63、移动部64及控制部65。[0254]偏振部61具有偏振元件61a(相当于第2偏振元件的一例)、保持部61b及移动部61c(相当于第4移动部的一例)。[0255]透射过偏振元件21的偏振光Lp入射至偏振元件61a。[0256]偏振元件61a是在对偏振光Lp的偏振方向进行测定时使用。偏振元件61a有时也被称作检偏器。[0257]偏振元件61a仅使偏振光Lp的朝规定方向振动的成分透射，而成为偏振光Lpp。[0258]偏振元件61a可采用线栅型偏振元件。[0259]偏振元件61a例如可采用与前述的偏振元件21具有同样的构成者。[0260]保持部61b例如可采用呈圆筒状者。[0261]保持部61b保持偏振元件61a。透射过偏振元件61a的光通过保持部61b的内部而入射至检测部62。[0262]移动部61c以从光源41朝向检测部62的轴为中心，而使保持部61b朝旋转方向移动。通过保持部6Ib朝旋转方向移动，从而偏振元件6Ia朝旋转方向移动。因此，能够使设置于偏振元件61a的线状体所延伸的方向发生变化。[0263]检测部62是设置在偏振部61的下方。[0264]检测部62接收透射过偏振元件61a的光，并输出与所接收的光的光量相应的电信号。检测部62例如可采用具备光电二极管(photod1de)等光电转换元件者。[0265]而且，也可根据所检测的光的波长来设置多种检测部62a?62c。[0266]例如，可设置对波长为254nm的光进行检测的检测部62a、对波长为313nm的光进行检测的检测部62b、对波长为365nm的光进行检测的检测部62c。[0267]移动部63保持检测部62a?62c，并使其朝Y方向移动。[0268]S卩，移动部63根据所检测的光的波长来进行检测部62a?62c的切换。[0269]移动部63例如可设为如下所述者，S卩，其具备用于使检测部62a?62c朝规定方向移动的引导件、伺服马达(servomotor)或气缸等驱动设备、对检测部62a?62c的位置进行检测的位置检测器等。[0270]移动部64保持移动部63，并使其朝Y方向移动。[0271]S卩，移动部64使移动部63移动，以使偏振部61及检测部62位于成为测定对象的偏振元件21的下方。[0272]移动部64例如可采用与移动部63具有同样的构成者。[0273]控制部65对偏振光测定部6中所设的各要素的动作进行控制。[0274]例如，控制部65对移动部63进行控制，以使所需的检测部62a?62c位于偏振元件61a的下方。[0275]控制部65对移动部61c进行控制，以使偏振元件61a绕偏振元件61a的中心轴旋转移动规定角度。[0276]而且，控制部65基于来自控制部7的指令，进行偏振光Lp的测定。[0277]例如，控制部65基于来自检测部62的输出与来自移动部61c的旋转位置信息，对偏振光Lp的偏振方向进行运算。[0278]运算出的偏振光Lp的偏振方向既可输出至未图示的显示装置等，也可向控制部7输出。[0279]而且，控制部65控制移动部64来使移动部63移动，以使偏振部61及检测部62位于成为测定对象的偏振元件21的下方。[0280]另外，控制部65既可与控制部7—体地设置，也可使控制部7兼具控制部65的功能。[0281]图4是用于例示另一实施方式的偏振光测定部16的示意立体图。[0282]另外，为了避免造成繁琐，省略了移动部61c的描绘。[0283]如图4所示，偏振光测定部16具有偏振部61、检测部62、移动部163及移动部64。[0284]而且，偏振光测定部16可与前述的偏振光测定部6同样地具备控制部65。[0285]移动部163保持检测部62a?62c，并使其朝旋转方向移动。[0286]S卩，移动部163根据所检测的光的波长来进行检测部62a?62c的切换。[0287]移动部163例如可采用具备伺服马达或脉冲马达(pulsemotor)等控制马达的转台(table)ο[0288]控制部7对照射部4及搬送部5的动作进行控制。[0289]例如，控制部7对光源41进行控制，以从光源41照射出波长处于紫外线波长区域内的光L。[0290]控制部7对搬送部5进行控制，使搬送部5搬送处理物200以使处理物200通过偏振部2的下方。[0291]而且，控制部7也可基于偏振光测定部6的测定结果来对突出部23d2中所设的驱动机构进行控制，从而针对多个偏振元件21的每一个来进行偏振方向的调整。[0292]接下来，对偏振光照射装置I生成偏振光Lp、及偏振光测定部6测定偏振光Lp的偏振方向的情况进行说明。[0293]图5是用于对偏振光照射装置I生成偏振光Lp、及偏振光测定部6测定偏振光Lp的偏振方向的情况进行例示的示意立体图。[0294]控制部7对光源41进行控制，以从光源41照射出波长处于紫外线波长区域内的光L。从光源41照射的光L直接或被反射部42的内面反射后，从反射部42的开口出射。从反射部42的开口出射的光L包含朝各种方向、例如朝B方向或C方向振动的成分。[0295]光L入射至滤波器31，且具有所需波长的光L入射至偏振元件21。[0296]入射至偏振元件21的光L通过透射过偏振元件21而成为偏振光Lp。[0297]如前所述，在偏振元件21中，设置有沿规定方向延伸的多个线状体。因此，偏振元件21仅使光L的成分中的、朝与线状体所延伸的方向正交的方向振动的成分透射。因此，当光L透射过偏振元件21时，成为仅具备朝规定方向(例如C方向)振动的成分的偏振光Lp。[0298]以上述方式，能够生成偏振光Lp。[0299]偏振光Lp的偏振方向的测定是在无处理物200的状态下进行。[0300]控制部65对移动部63进行控制，以使所需的检测部62a?62c位于偏振元件61a的下方。[0301]偏振光Lp通过透射过偏振元件61a而成为偏振光Lpp。[0302]偏振光Lpp入射至检测部62，并输出与所接收的光的光量相应的电信号。[0303]而且，控制部65对移动部61c进行控制，以使偏振元件61a朝旋转方向移动。即，控制部65对移动部61c进行控制，以使偏振元件61a中所设的线状体所延伸的方向发生变化。[0304]若线状体所延伸的方向发生变化，则对应于偏振光Lp的偏振方向，偏振光Lpp的照度将发生变化。例如，在旋转角度Θ为0°、-20°、90°时，偏振光Lpp的照度不同，从检测部62输出的电信号的值不同。[0305]因此，若知晓从检测部62输出的电信号的值达到最大或最小时的旋转角度Θ，便能够根据预先求出的旋转角度Θ与偏振光Lp的偏振方向的关系来求出偏振光Lp的偏振方向。[0306]例如，将旋转角度Θ为90°的情况设为X方向、旋转角度Θ为0°的情况设为Y方向，在旋转角度Θ为0°的情况下，当从检测部62输出的电信号的值达到最大时，偏振光Lp的偏振方向为Y方向。[0307]另外，在旋转角度Θ为0°的情况下，当从检测部62输出的电信号的值达到最小时，偏振光Lp的偏振方向为X方向。[0308]在偏振光Lp的偏振方向的测定时，只要对从检测部62输出的电信号的最大值或最小值的前后进行测定便足够。[0309]如上所述，控制部65基于来自检测部62的输出与来自移动部61c的旋转位置信息，对偏振光Lp的偏振方向进行运算。[0310]而且，控制部65控制移动部64来使移动部63移动，以使偏振部61及检测部62位于成为测定对象的偏振元件21的下方。[0311]并且，对于多个偏振元件21中的每一个，进行前述的偏振光Lp的偏振方向的测定。[0312]以上述方式，能够进行偏振光Lp的偏振方向的测定。[0313]接下来，根据需要来调整偏振元件21的斜率。例如，如图3所示，通过改变调整部23d的突出部23d2的突出长度D，从而调整偏振元件21以使其倾斜角度α。[0314]偏振光Lp的偏振方向的测定结果从控制部65发送至控制部7。[0315]在偏振光Lp的偏振方向不处于规定范围内的情况下，对偏振元件21的斜率进行调整。[0316]此时，基于从控制部65或控制部7向显示装置等输出的信息，作业者能够操作突出部23d2来调整偏振元件21的斜率。[0317]而且，控制部7也能够控制突出部23d2中所设的驱动机构来调整偏振元件21的斜率。[0318]在偏振元件21的斜率调整之后，再次对进行了调整的偏振元件21中的偏振光Lpp的偏振方向进行测定。[0319]并且，反复进行前述流程，直至偏振光Lp的偏振方向处于规定范围内为止。[0320]当偏振光Lp的偏振方向处于规定范围内时，进行处理物200的取向处理。[0321]首先，控制部65对移动部64进行控制，以使偏振部61及检测部62退避至处理物200的搬送区域外。[0322]这样，能够避免处理物200与偏振部61及检测部62的干涉。[0323]接下来，控制部7对光源41进行控制，以从光源41照射出波长处于紫外线波长区域内的光L。[0324]而且，控制部7对搬送部5进行控制，以使处理物200通过光源41的设有偏振部2的一侧的下方。[0325]从光源41出射的光L入射至偏振元件21，通过透射过偏振元件21而成为偏振光Lp。[0326]偏振光Lp入射至处理物200，利用偏振光Lp来实施取向处理。[0327]而且，通过使处理物200通过光源41的设有偏振部2的一侧的下方，从而对处理物200的整个区域实施取向处理。[0328]以上，例示了本实用新型的若干个实施方式，但这些实施方式仅为例示，并不意图限定实用新型的范围。这些新颖的实施方式能以其他的各种形态来实施，在不脱离实用新型的主旨的范围内，能够进行各种省略、置换、变更等。这些实施方式或其变形例包含在实用新型的范围或主旨内，并且包含在所记载的实用新型的均等的范围内。而且，前述的各实施方式能够彼此组合而实施。【主权项】1.一种偏振光照射装置，其特征在于包括:照射部，沿第I方向延伸，且具有照射出波长处于紫外线波长区域内的光的光源；滤波器部，具有使规定波长的光透射的滤波器，且设置在所述照射部的下方；以及偏振部，具有第I基台、第I偏振元件及第I移动部，且设置在所述滤波器部的下方，所述第I偏振元件设置于所述第I基台且与所述滤波器相对，所述第I移动部使所述第I基台朝所述第I方向移动，所述第I移动部维持所述第I基台在与所述第I方向正交的第2方向、及在与所述第I方向及所述第2方向正交的第3方向上的位置。2.根据权利要求1所述的偏振光照射装置，其特征在于，所述偏振部还包括固定部，所述固定部对所述第I基台在所述第I方向、所述第2方向及所述第3方向上的位置进行固定。3.根据权利要求1或2所述的偏振光照射装置，其特征在于，所述照射部还包括:第2基台，设置有所述光源；以及第2移动部，使所述第2基台朝所述第I方向移动。4.根据权利要求1或2所述的偏振光照射装置，其特征在于，所述滤波器部还包括:第3基台，设置有所述滤波器；以及第3移动部，使所述第3基台朝所述第I方向移动。5.根据权利要求1或2所述的偏振光照射装置，其特征在于包括:第2偏振元件，使透射过所述第I偏振元件的光入射；第4移动部，使所述第2偏振元件朝旋转方向移动；以及检测部，接收透射过所述第2偏振元件的光，并输出与接收的光的光量相应的电信号，所述偏振光照射装置还包括:偏振光测定部，设置在所述偏振部的下方。6.根据权利要求1或2所述的偏振光照射装置，其特征在于，所述第I偏振元件是使波长为240nm以上且400nm以下的光偏振的线栅型偏振元件。【文档编号】G02B7/00GK205721004SQ201620180230【公开日】2016年11月23日【申请日】2016年3月9日【发明人】前田祥平,田中贵章,加藤刚雄,藤冈纯,日野弘喜,中川幸信,田内亮彦【申请人】东芝照明技术株式会社