专利名称：电磁辐射脉冲定时控制的制作方法
技术领域：
本发明涉及补偿方法，具体而言，涉及在脉冲电磁辐射源时减小时间抖动和漂移的影响的方法。
背景技术：
现代UV光刻正在探求新的高度平行的写入概念。具有光学MEMS器件的空间光调制器(SLM)提供这种可能性，SLM芯片可以包括顶部具有几百万单个可寻址像素的DRAM类的CMOS电路。由于反射镜元件和寻址电极之间静电力之差，所述像素被偏转。在转让给本发明同一受让人的US6373619中公开了使用SLM的图形发生器。该专利简单地公开了一种曝光一系列SLM图像的场分档器(field stepper)。工件设置在工作台上，其连续地移动，并且脉冲电磁辐射源(其可以是脉冲激光、闪光灯、来自同步加速器光源的闪光等)闪光并在工件上定格SLM图像。在每次闪光之前，SLM用新的图形重新编程，从而在工件上构成连续的图像。
不同的脉冲电磁源对所谓的脉冲间的时间抖动具有不同的精度，即，在相邻脉冲之间的时间周期变化。所述时间抖动造成图像场从空间光调制器(SLM)错误地移位，这是一个问题。
因此，本技术领域所需要的是检测和补偿脉冲电磁辐射源，特别是受激准分子激光源的时间抖动的方法。
发明内容
因此，本发明的目的是提供一种消除或至少减轻上述问题的方法。
其中，根据本发明的第一方面，这一目的是通过一种减少脉冲激光系统中的抖动影响的方法实现的。触发信号被发送给用于产生激光脉冲的电力系统。所述触发信号被延迟一第一时间段。检测所述触发信号的所述发送和一相应的激光脉冲之间的时间段。计算所述检测到的时间段和一要求时间段之间的差。用所述计算得到的差校正下一个激光脉冲的所述第一时间段。
在另一实施例中，所述发明还包括以下的操作检测所述信号将作用于其上的一工件的实际速度，计算所述检测到的速度和一要求速度之间的差，考虑所述计算得到的速度差，校正下一个激光脉冲的第一时间段。
在根据本发明的另一实施例中，所述激光系统是用于产生约248nm波长的辐射的受激准分子激光。
在根据本发明的另一实施例中，所述激光系统是用于产生约193nm波长的辐射的受激准分子激光。
在根据本发明的又一实施例中，所述激光系统是用于产生约157nm波长的辐射的受激准分子激光。
在根据本发明的再一实施例中，所述激光系统是用于产生约126nm波长的辐射的受激准分子激光。
在根据本发明的再一实施例中，由所述激光脉冲照射的一物体的位置信息，产生所述触发信号。
在根据本发明的再一实施例中，由所述物体的速度产生所述触发信号。
本发明还涉及具有抖动控制的脉冲激光系统。9.一具有抖动控制的脉冲激光系统，所述系统包括激光气体；一对电极，其界定出一发生受激发射的区域；一电力系统，用于产生电脉冲；一时间移位电路，将一触发信号延迟一第一时间段；一探测器，其检测所述触发信号和一相应的激光脉冲之间的时间段；和一校正装置，其以对应于所述检测到的时间段和一要求时间段之间的差的一时间量校正下一个激光脉冲中的所述第一时间段。
在另一实施例中，所述的脉冲激光系统还包括一探测器，其检测所述脉冲激光将照射于其上的一工件的速度；和一校正装置，其考虑所述工件的所述检测到的速度和一要求速度之间的差校正下一个激光脉冲中的所述第一时间段。
本发明还涉及一种补偿使用脉冲激光系统照射空间光调制器的激光图形发生器中的抖动的方法，所述调制器对光照进行中继，以曝光一移动工作台上的工件。所述补偿包括以下操作将一触发信号发送给用于产生激光脉冲的一电力系统；将所述触发信号延迟一第一时间段；检测所述触发信号的所述发送和一相应的激光脉冲之间的时间段；计算所述检测到的时间段和一要求时间段之间的差；以及用所述计算得到的差补偿下一个激光脉冲中的所述第一时间段。
在另一实施例中，所述方法还包括以下操作检测所述工件的速度；计算所述工件的所述检测到的速度和一要求速度之间的差；以及考虑所述的速度差，补偿下一个激光脉冲中的所述第一时间段。
本发明还涉及一种减少脉冲激光系统中的抖动的方法，其包括以下操作将一触发信号发送给用于产生激光脉冲的一电力系统；将所述触发信号延迟一第一时间段；检测所述触发信号的所述发送和一相应的激光脉冲之间的时间段；计算所述检测到的时间段和一要求时间段之间的差；重复所述计算所述检测到的时间段和要求时间段之间的差的操作，直到抖动的波动可以用数学表达来近似；以及由所述数学表预测下一个激光脉冲的所述第一时间段。
本发明还涉及一激光图形发生器，其包括一抖动补偿模块、用一脉冲激光系统照射的一空间光调制器，所述调制器对光照进行中继，以曝光一移动工作台上的工件。所述抖动补偿模块包括一探测器，其检测发送用于产生激光脉冲的触发信号和一相应的激光脉冲之间的时间段；一时间移位装置，用于将所述触发信号延迟一定时间；一用于计算所述检测到的时间段和一要求时间段之间的差的装置；以及一补偿器，其通过调整所述触发信号的所述延迟，补偿下一个激光脉冲中的所述差。
在另一实施例中，所述激光图形发生器还包括一探测器，其检测所述工件的速度；一用于计算所述工件的所述检测到的速度和一要求速度之间的差的装置；以及一补偿器，其在调整所述触发信号的延迟时，考虑所述速度差。
本发明还涉及一具有抖动控制的脉冲激光系统，所述系统包括激光气体；一对电极，其界定出一发生受激发射区域；一电力系统，用于产生电脉冲；一时间移位电路，其将一触发信号延迟一第一时间段；一探测器，其检测所述触发信号和一相应的信号之间的时间段；和一计算器，其由计算得到的多个检测到的时间段和要求时间段之间的差计算抖动中波动的近似公式，其中由所述近似公式预测下一个激光脉冲的所述第一时间段。
本发明还涉及一种减小脉冲激光系统中的抖动影响的方法，所述方法包括以下操作将一触发信号发送到一用于产生激光脉冲的系统；检测一相应的激光脉冲；相应于所述检测到的激光脉冲与所述激光脉冲的一要求时间位置的任何偏差，校正下一个激光脉冲的触发位置。
在另一实施例中，所述方法还包括以下操作检测所述信号将作用于其上的一工件的实际速度；计算所述检测到的速度和一要求速度之间的差；考虑所述速度差，校正所述下一个激光脉冲的所述触发位置。
本发明还涉及一激光图形发生器，其包括一抖动补偿模块、一用脉冲激光系统照射的空间光调制器，其中所述调制器对光照进行中继，以曝光一移动工作台上的工件.所述抖动补偿模块包括一探测器，其检测激光脉冲；一触发发生器，用于产生触发信号；和一补偿器，其相应于一检测到的激光脉冲与所述激光脉冲的一要求时间位置的任何偏差，补偿下一个激光脉冲的触发信号位置。
在另一实施例中，所述激光图形发生器还包括一探测器，其检测所述工件的速度；一用于计算所述工件的所述检测到的速度和一要求速度的差的装置；和一补偿器，其在调整所述触发信号位置时，考虑所述速度差。
本发明还涉及一具有抖动控制的脉冲激光系统，所述系统包括激光气体；一对电极，其界定出一发生受激发射区域；一触发发生器；一探测器，其检测激光脉冲；和一校正装置，其相应于一检测到的激光脉冲与所述激光脉冲的一要求时间位置的任何偏差，校正下一个激光脉冲的触发位置。
在另一实施例中，所述脉冲激光系统还包括一探测器，其检测所述工件的速度；一用于计算所述工件的所述检测到的速度和一要求速度的差；和一补偿器，其在调整所述触发信号的位置时，考虑所述速度差。
从下面给出的对本发明优选实施例的详细描述和附图1-6中，本发明的其它特征和优点是显而易见的。本发明的优选实施例仅仅是为了说明而给出，而并不限制本发明。
图1示出现有技术使用空间光调制器的图形发生器的整体示意图。
图2示出根据本发明用于减小抖动的发明方法的第一实施例的示意图。
图3示出根据本发明用于减小抖动的发明方法的第二实施例的示意图。
图4示出现有技术的受激准分子激光器的侧视示意图。
图5示出根据本发明用于减小抖动的发明方法的第三实施例的示意图。
图6示意性地示出激光触发位置与要求的激光脉冲之间的关系。
具体实施例方式
下面参照附图，进行详细描述。描述优选实施例是为了说明本发明，而不限制其范围，本发明的范围由权利要求来界定。本领域的普通技术人员会认识到根据下面的描述有各种等同变化。
另外，参照模拟SLM描述优选实施例。显而易见，对本领域的普通技术人员来说存在这种情况，即除了模拟SLM之外的其它SLM同样使用，例如，诸如由德州仪器公司(Texas Instruments)制造的数字微镜器件(DMD)的数字SLM。此外，SLM可以由反射或透射像素组成。此外，优选实施例将参照受激准分子激光源来描述。对本领域的技术人员来说显而易见，除了受激准分子激光器之外，脉冲电磁辐射源可以同样地通过本发明方法得到补偿，例如，Nd-YAG激光器、离子激光器、Ti蓝宝石激光器、自由电子激光器、或其它脉冲基频激光器、闪光灯、激光等离子源、同步光源等。
图4示出现有技术的横向受激的激光器100，例如受激准分子激光器。所述激光器100包括一起形成的谐振腔470的第一反射镜410和第二反射镜420。激光器100还包括一起形成的放电容积460的第一电极430和第二电极440。壳体450密封所述放电容积460和所述谐振腔。反射镜410和420之一部分地反射，以便发射在谐振腔内产生的辐射束。另一个反射镜完全反射。壳体对于在设置所述部分反射的反射镜的一端发射的波长是透明的。在放电容积中存在激光气体。通过在所述第一和第二电极上施加合适的高压，由于受激发射，所述激光气体开始发射电磁辐射。所述电磁辐射的波长取决于使用的激光气体。
本发明涉及补偿脉冲电磁辐射源中的时间抖动的方法。当使用空间光调制器(SLM)构图工件时，这种方法尤其有用，其中脉冲电磁辐射照射到所述SLM并且中继所述空间光调制器的图像，该图像在连续的工作台上被拼合在一起。
图1示意地示出根据现有技术的使用空间光调制器的图形发生器。所述图形发生器包括电磁辐射源110、第一透镜120、半透半反镜130、第二透镜140、空间光调制器150、第三透镜160、干涉仪170、图形位图发生器180、计算机185、工件190。
激光源110可以是受激准分子激光器，例如，发射308nm、248nm、193nm、156nm或126nm的脉冲。所述脉冲通过均匀和整形透镜120、140得到均匀化和整形。所述透镜120、140包括光学元件，使得平面波照射在SLM 150表面上。激光器的暂存脉冲长度可以是0.1μs或更短，例如，10ns。激光的重复率可以是0.5-5kHz，例如，2kHz。
第三透镜160确定系统的缩小率。当使用模拟空间光调制器时，空间滤光器和付里叶透镜(在图中没有示出)设置在第三透镜160和半透半反镜130之间。
计算机185产生要成像到工件上的图形。所述工件可以是覆盖有铬层、铬层上又覆盖了感光材料层的透明衬底。这是用于掩模和分划板(reticle)制造中的工件的实例。工件还可以是直接产生图形而不用掩模的半导体晶片。这个图形可以通过用于光刻工业的传统软件形成。所述图形通过图形位图发生器180转换成位图表示。所述位图示出通过所述位图发生器180按照其顺序转换成空间光调制器的驱动信号。所述驱动信号将所述空间光调制器150的各个像素元素设定成期望的调制状态。在模拟空间光调制器的情况下，特定的驱动信号对应于具体像素元素的特定偏转状态。模拟像素元素的偏转状态(诸如在模拟模式中工作的微反射镜)可以设定在完全偏转和非偏转之间的任意多个状态，例如64、128或256个状态。
干涉仪170连续地检测工件的位置。当构图印记条纹时，该工件可以以恒速移动。工件也可以以变速移动。当工件以变速移动时，必须在照射SLM的较短时间之前测量实际速度，以便确保SLM的印记(stamp)印制在工件上要求的位置。印记是SLM图形在工件上的复制。在被复制到工件之前，可以通过一个或多个透镜对SLM图形进行还原。拼合在一起的几个印记可以形成条纹。拼合在一起的条纹可以形成完整的图像。干涉仪170发送和接收用于检测工件所述位置的信号165。当工件处在所述干涉仪检测的给定位置时，触发信号发送到激光器。产生所述触发信号的一种方法是将检测到的工件位置值与存储位置值比较。当存储位置值(例如，查询表中的)和检测到的位置值之间匹配时，将产生触发信号。所述触发信号最终造成激光器发射脉冲。
在图2中示出根据本发明用于减小抖动的装置200第一实施例的示意图。所述装置包括激光器210、半透半反镜220、闪光测量装置235和触发信号的时间移位装置250。用于启动激光器的激光脉冲的触发信号被发射到时间移位装置250中。在发射所述触发信号到激光器210之前，所述时间移位装置将所述信号保持一定时间。
在脉冲率为1kHz并且在工件的移动方向上的缩微SLM尺寸为50μm的情况下，写入速度为50mm/s。在脉冲率为1kHz并且每个脉冲的暂存脉冲长度为10ns的情况下，在各个脉冲之间具有0.99μs的时间间隔。在一个实施例中，干涉仪被调整为在激光脉冲结束后的所述时间间隔的中间，即，0.495μs产生一触发信号。在没有时间抖动的情况下，在发送所述触发信号给激光器之前，时间移位装置保持所述触发信号又一个0.495μs。但是，所述触发信号的其它保持时间也是可以的，其中保持时间可以大于或小于所述的0.495μs。例如，在一个实施例中，触发信号保持等于100ns的时间段。在另一实施例中，所述触发信号保持25ns的时间段。
来自所述触发信号的光延迟取决于几个因素，特别是在激光室中的充电电压和激光室中的实际温度。本发明在不知道充电电压和所述温度的情况下，利用对至少一个更早时间的激光脉冲的延迟的认识，来补偿脉冲定时的误差，即，抖动。
触发信号用探测器230检测，并启动在闪光测量装置235中的时钟。相同的触发信号发送到所述时间移位装置250。当所述探测器230检测到激光脉冲时，所述时钟停止。触发信号和激光脉冲之间的时间段(用A表示)与要求的值(用B表示)相比较。计算所述要求的值B和所述实际时间段A之间的差。通过或多或少地延迟所述触发信号，所述差可以用于补偿下一个脉冲的抖动，其中增加延迟对应于正的差值，减少延迟对应于负的差值。有关所述差的信息发送到时间移位装置250，其通过所述差来增加或减少延迟。
在可以在启动激光器时使用的本发明的另一个实施例中，人们可以检测多个，即两个、三个、四个或者更多脉冲来观察所述脉冲定时中的变化。这样做可以检测在某一值附近的脉冲定时误差的走向或摆动。所述变化或摆动可以用于预测脉冲定时的下一个误差。在一定数量的脉冲之后，人们可以用一给定公式表示的曲线拟合脉冲定时的误差变化或抖动。这样的曲线可以用于预测下一个激光脉冲的定时。曲线拟合可以利用数值近似或者其它统计学方法来实现，用于预测下一个到来的脉冲。
在使用激光器产生图形之前，即，在启动程序期间，许多脉冲运行通过测试循环，以确定在特定情况下特定激光器的特征，当确定了这一点之后，所述激光器可以用于图形形成，即，闪光可以照射在SLM 150上用于曝光工件190。
图3示出根据本发明的又一实施例。该实施例包括激光器310、半透半反镜320、闪光测量装置335和触发信号的时间移位装置350。用于启动激光器的激光脉冲的触发信号发送到时间移位装置350。在发送所述触发信号给激光器310之前，所述时间移位装置将所述信号保持一定时间。
触发信号用探测器检测，并启动闪光测量装置335的时钟。相同的触发信号发送到所述时间移位装置350。当用所述探测器330检测到激光脉冲时，所述时钟停止。触发信号和激光脉冲之间的时间段(用A表示)与要求的值(用B表示)相比较。计算所述要求的值B和所述实际时间段A之间的差。通过或多或少地延迟所述触发信号，所述差可以用于补偿下一个脉冲的抖动，其中增加延迟对应于正的差值，减少延迟对应于负的差值。有关所述差的信息发送到时间移位装置350，其通过所述差来增加或减少延迟。
这个实施例还包括速度探测器360，其检测所述脉冲激光将照射的工件的速度。通过模拟或数字伺服系统调整工件的速度。在激光脉冲之间的时间间隔中测量工件的实际速度(用C表示)。通过增加或减少触发信号的延迟，时间移位装置可以补偿工件实际速度C与工件要求速度(用D表示)之间的差。工件的移动太慢，即，要求速度D与实际速度C之间的差是正值，将导致触发信号延迟时间的增加，而工件的移动速度太快，即，要求速度D与实际速度C之间的差是负值，将导致所述触发信号延迟时间的减少。
工件速度可以在激光脉冲之间的任何时刻测量。在一个实施例中，正好在发送触发信号给激光器之前测量工件的速度。这样做，通过改变触发信号延迟时间补偿工件的速度变化，可以尽可能使用最新检测到的速度，从而可能提高精度准确度。
在又一实施例中，结合进行工件速度的调整和触发信号延迟变化，以减少所述抖动。
图5示出根据本发明补偿脉冲电磁辐射系统中的抖动影响的另一实施例。这个实施例包括触发发生器510、光源520、调制器530、工件540、光探测器550和位置与速度探测器560。触发发生器510接收有关工件540的速度和位置的信息，在图5中表示为掩模衬底。所述触发发生器还接收有关所述光探测器550检测到光的时间的信息。根据例如存储在查询表中的所述工件的位置图形产生触发脉冲。当所述存储值与所述检测到的位置之间相匹配时产生触发脉冲。通过向前或向后移动触发位置来校正速度的变化。在图6中示意地示出了例如来自受激准分子激光器的两个激光脉冲。图6示出工件触发位置和将光照射到工件上的要求位置之间的光延迟。该延迟必须补偿。所述补偿是(光延迟、探测器延迟、工件实际速度、温度和压力的)一函数。
当触发脉冲发送到光源520时，将耗费一定的时间来产生光脉冲。光延迟对于不同的脉冲可以是变化的。所造成的时间抖动或漂移转变成工件上的印记位置的抖动和漂移，这导致印制的图形线宽超出预定的规范。在这个实施例中，校正来自查询表的要求位置，以获得与工作台位置比较的新位置。从最后测量得到的延迟中(或从几个之前的测量值的统计中)，可以选择与速度测量值一起，获得校正，其中从要求的速度中减去所述测量得到的延迟和所述可选的速度测量值。通过这样的方式，条纹之间的速度变化也得到校正。这个实施例与图2和3中的实施例的不同在于其中没有延迟电路。通过校正触发位置，而不是由增加可变的时间延迟来校正光延迟，消除了光延迟的变化。
正如在前述的实施例中，人们可以通过改变时间移动器的延迟或校正触发位置，使用来自之前的仅仅一个脉冲的有关抖动的信息来减小下一个脉冲中的抖动，或者使用来自多个脉冲的有关抖动的信息来减小下一个脉冲中的抖动。当使用来自不止一个之前的脉冲的信息时，由于抖动会延续特性变化模式，所以可以更好地预测下一个脉冲中的抖动。通过认识抖动变化，人们可以更好地预测下一个到来的脉冲中的抖动。
在图形发生器中，可以在各个印标的条纹之间进行测试循环。所述测试循环在所述位置产生统计材料，以便尽可能准确地将SLM的图形快速曝光到工件的要求位置上。
尽管参照优选实施例和上述实例公开了本发明，但是应该明白，这些实例只是用于解释，而没有限制意义。应该预料，本领域的普通技术人员很容易想到落入本发明精神合所附权利要求的范围之内的变形和组合。
权利要求
1.一种减少脉冲激光系统中抖动影响的方法，其包括以下操作将一触发信号发送给用于产生激光脉冲的一电力系统，将所述触发信号延迟一第一时间段，检测所述触发信号的所述发送和一相应的激光脉冲之间的时间段，计算所述检测到的时间段和一要求时间段之间的差，用所述计算得到的差校正下一个激光脉冲的所述第一时间段。
2.如权利要求1所述的方法，其中，还包括以下操作检测所述信号将作用于其上的一工件的实际速度，计算所述检测到的速度和一要求速度之间的差，考虑所述计算得到的速度差，校正下一个激光脉冲中的所述第一时间段。
3.如权利要求1所述的方法，其中，所述激光系统是构造成产生大约248nm波长的辐射的受激准分子激光器。
4.如权利要求1所述的方法，其中，所述激光系统是构造成产生大约193nm波长的辐射的受激准分子激光器。
5.如权利要求1所述的方法，其中，所述激光系统是构造成产生大约157nm波长的辐射的受激准分子激光器。
6.如权利要求1所述的方法，其中，所述激光系统是构造成产生大约126nm波长的辐射的受激准分子激光器。
7.如权利要求1所述的方法，其中，由所述激光脉冲所照射的物体的位置的信息，产生所述触发信号。
8.如权利要求7所述的方法，其中，由所述物体的速度，产生所述触发信号。
9.一具有抖动控制的脉冲激光系统，所述系统包括激光气体，一对电极，其界定出一发生受激发射的区域，一电力系统，用于产生电脉冲，一时间移位电路，将一触发信号延迟一第一时间段，一探测器，其检测所述触发信号和一相应的激光脉冲之间的时间段，一校正装置，其以对应于所述检测到的时间段和一要求时间段之间的差的一时间量校正下一个激光脉冲中的所述第一时间段。
10.如权利要求9所述的脉冲激光系统，其中，还包括一探测器，其检测所述脉冲激光将照射于其上的一工件的速度，一校正装置，其考虑所述工件的所述检测到的速度和一要求速度之间的差校正下一个激光脉冲中的所述第一时间段。
11.一种补偿使用脉冲激光系统照射空间光调制器的激光图形发生器中的抖动的方法，其中所述调制器对光照进行中继，以曝光一移动工作台上的工件，其中，所述补偿包括以下操作将一触发信号发送给用于产生激光脉冲的一电力系统，将所述触发信号延迟一第一时间段，检测所述触发信号的所述发送和一相应的激光脉冲之间的时间段，计算所述检测到的时间段和一要求时间段之间的差，用所述计算得到的差补偿下一个激光脉冲中的所述第一时间段。
12.如权利要求11所述的方法，其中，还包括以下操作检测所述工件的速度，计算所述工件的所述检测到的速度和一要求速度之间的差，考虑所述的速度差，补偿下一个激光脉冲中的所述第一时间段。
13.一种减少脉冲激光系统中的抖动的方法，其包括以下操作将一触发信号发送给用于产生激光脉冲的一电力系统，将所述触发信号延迟一第一时间段，检测所述触发信号的所述发送和一相应的激光脉冲之间的时间段，计算所述检测到的时间段和一要求时间段之间的差，重复所述计算所述检测到的时间段和要求时间段之间的差的操作，直到抖动的波动可以用数学表达来近似，由所述数学表预测下一个激光脉冲的所述第一时间段。
14.一激光图形发生器，其包括一抖动补偿模块、用一脉冲激光系统照射的一空间光调制器，所述调制器对光照进行中继，以曝光一移动工作台上的工件，所述抖动补偿模块包括一探测器，其检测发送用于产生激光脉冲的触发信号和一相应的激光脉冲之间的时间段，一时间移位装置，用于将所述触发信号延迟一定时间，一用于计算所述检测到的时间段和一要求时间段之间的差的装置，一补偿器，其通过调整所述触发信号的所述延迟，补偿下一个激光脉冲中的所述差。
15.如权利要求14所述的激光图形发生器，其中，还包括一探测器，其检测所述工件的速度，一用于计算所述工件的所述检测到的速度和一要求速度之间的差的装置，一补偿器，其在调整所述触发信号的延迟时，考虑所述速度差。
16.一具有抖动控制的脉冲激光系统，所述系统包括激光气体，一对电极，其界定出一发生受激发射区域，一电力系统，用于产生电脉冲，一时间移位电路，其将一触发信号延迟一第一时间段，一探测器，其检测所述触发信号和一相应的信号之间的时间段，一计算器，其由计算得到的多个检测到的时间段和要求时间段之间的差计算抖动中波动的近似公式，其中由所述近似公式预测下一个激光脉冲的所述第一时间段。
17.一种减小脉冲激光系统中的抖动影响的方法，其包括以下操作将一触发信号发送到一用于产生激光脉冲的系统，检测一相应的激光脉冲，相应于所述检测到的激光脉冲与所述激光脉冲的一要求时间位置的任何偏差，校正下一个激光脉冲的触发位置。
18.如权利要求17所述的方法，其中，还包括以下操作检测所述信号将作用于其上的一工件的实际速度，计算所述检测到的速度和一要求速度之间的差，考虑所述速度差，校正所述下一个激光脉冲的所述触发位置。
19.一激光图形发生器，其包括一抖动补偿模块、一用脉冲激光系统照射的空间光调制器，其中所述调制器对光照进行中继，以曝光一移动工作台上的工件，所述抖动补偿模块包括一探测器，其检测激光脉冲，一触发发生器，用于产生触发信号，一补偿器，其相应于一检测到的激光脉冲与所述激光脉冲的一要求时间位置的任何偏差，补偿下一个激光脉冲的触发信号位置。
20.如权利要求19所述的激光图形发生器，其中，还包括一探测器，其检测所述工件的速度，一用于计算所述工件的所述检测到的速度和一要求速度的差的装置，一补偿器，其在调整所述触发信号位置时，考虑所述速度差。
21.一具有抖动控制的脉冲激光系统，所述系统包括激光气体，一对电极，其界定出一发生受激发射区域，一触发发生器，一探测器，其检测激光脉冲，一校正装置，其相应于一检测到的激光脉冲与所述激光脉冲的一要求时间位置的任何偏差，校正下一个激光脉冲的触发位置。
22.如权利要求21所述的脉冲激光系统，其中，还包括一探测器，其检测所述工件的速度，一用于计算所述工件的所述检测到的速度和一要求速度的差，一补偿器，其在调整所述触发信号的位置时，考虑所述速度差。
全文摘要
本发明涉及减小脉冲激光系统中的抖动影响的方法，该方法包括以下操作将触发信号发送到用于产生激光脉冲的电力系统；将所述触发信号延迟一第一时间段；检测所述触发信号的所述发送和一相应的激光脉冲之间的时间段；计算所述检测到的时间段和一要求时间段之间的差；以及用所述计算得到的差校正下一个激光脉冲的所述第一时间段。本发明还涉及脉冲激光系统和激光图形发生器。
文档编号G03F7/20GK1739224SQ200480002463
公开日2006年2月22日 申请日期2004年1月22日 优先权日2003年1月22日
发明者庞图斯·斯滕斯特罗姆, 斯蒂芬·格尔斯特兰德 申请人:麦克罗尼克激光系统公司