专利名称：一种精密可调定位装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种精密可调定位装置，适用于具有高精度定位要求，并且有间距微调要求的物体间。它用于生产中，如在集成电路光刻设备中的主基板和测量基板的连接中。
背景技术：
普通的调节定位机构装置，一般应用凸轮结构，其不足之处在于其一调节量小时，很难保证精度；其二有摩擦的影响；其三容易受温度影响。
发明内容
本发明的目的是提供一种精密可调定位装置，解决现有凸轮结构的调节定位机构，精度低、易受摩擦影响和易受温度影响的技术问题。
为解决上述技术问题，本发明的技术方案是一种精密可调定位装置，其特征在于它包括二定位机构、调节机构和二锁紧机构；该调节机构由柔性块、右螺母、左螺母和调节螺栓构成，柔性块的中间孔能够产生弹性变形，调节螺栓分为两段，一段是左螺纹，一段是右螺纹，右螺母、左螺母中心孔分别加工成右螺纹与左螺纹并具有相同的螺距，调节螺栓的前端直径较小部分为右螺纹，后端直径较大部分为左螺纹，调节螺栓旋入左螺母，并将左螺母固定在柔性块的一侧上，右螺母从另一侧固定于柔性块上并藉由螺纹与调节螺栓螺合；二定位机构是定位块，一定位销固定在柔性块的顶部，整个调节机构靠紧二定位块；二锁紧机构具有相同结构，它们分别包括四个固定螺钉、二个锁定销、锁定板、楔形块、锁紧螺钉、弹簧垫圈，二个锁定销插入到柔性块的侧面孔中，通过固定螺钉与锁定板共同把锁定销固定在柔性块内，楔形块插入到二个锁定销间，用锁紧螺钉和弹簧垫圈把楔形块的斜面压紧于锁定销的斜面上，楔形块与柔性块的中间间隙小于楔形块的长度。
该左、右螺母分别通过螺钉和弹簧垫片固定在柔性块上。
该定位块通过定位销和螺钉与底部零件相连。
二锁定销前端大，中间小，锁定销先插入到柔性块的侧面大孔中，然后卡入侧面小孔。
本发明具有如下优点1、本发明把锁紧机构和调节机构作为一个整体用定位机构来定位，一旦调节机构上方的定位销的精度达到要求，利用定位块上的定位销孔定位，同时用两个螺钉锁紧。
2、本发明的柔性块中间挖空，可以进行较大的弹性变形，一面用螺钉连接内有左螺纹的螺母，另一面也用螺钉连接内有右螺纹的螺母，左右螺母用调节螺栓连接，靠螺纹配合，调节螺栓分为两段，一段是左螺纹，一段是右螺纹，这样调节螺栓旋转时，由于左右螺母有同样的螺距，两个螺母同时等量向两边移动，由于中间孔发生弹性变形，中间张开，柔性块相应的高度相应降低，达到调节两物体间间距的目的。
3、本发明如果在轻微振动的条件下，可以把锁紧销插入到柔性块的大侧孔中，然后卡入小侧孔中，用螺钉从下往上把锁紧板固定于锁紧销中，这样，锁紧销通过锁紧板固定并且卡入柔性块内，由于锁紧销前端直径大于小的侧孔，所以它就牢牢锁于柔性块内；楔形块置于锁紧销的上面，锁紧螺钉插入其腰形孔中，下面旋入锁紧板的螺孔，这样通过锁紧螺钉压紧楔形块，柔性块受到一个压紧力，使左、右螺母和调节螺母之间的螺纹产生一个预紧力，达到锁紧调节机构的目的。
图1是本发明的机构模块图。
图2是本发明的立体结构分解图。
图3是本发明的使用状态示意图。
图4是本发明中调节机构的前侧结构分解图。
图5是本发明中调节机构的后侧结构分解图。
图6是本发明中锁紧机构的结构分解图。
图中11、12-定位机构；2-调节机构； 21-柔性块； 22-右螺母；23-左螺母； 24-调节螺栓； 25-定位销；231、221-螺钉； 232、222-弹簧垫片；31、32-锁紧机构；311-固定螺钉； 312-锁定销；313-锁定板；314-楔形块； 315-锁紧螺钉； 316弹簧垫圈；4-底部零件。
具体实施例方式
请参阅图1，它是本发明精密可调定位装置的机构模块图。如图所示它包括二定位机构11、12、调节机构2和二锁紧机构31、32。
再请参阅图2、4、5，如图所示该调节机构2中柔性块21的中间孔能够产生弹性变形，调节螺栓24分为两段，一段是左螺纹，一段是右螺纹，这样调节螺栓24旋转时，，右螺母22、左螺母23中心孔分别加工成右螺纹与左螺纹且螺距相同，调节螺栓24的前端直径较小部分为右螺纹，后端直径较大部分为左螺纹，首先把调节螺栓24旋入左螺母23，再把两个零件通过左螺母用螺钉231和弹簧垫片232固定在柔性块21上，由于已经装入了调节螺栓24，右螺母22只能旋入柔性块21内，再用螺钉221和弹簧垫片222固定右螺母22。这样，当旋转调节螺栓24时，左螺母23和右螺母22向两边张开，迫使柔性块21中心孔向两边同时张开，达到微量调节柔性块21高度的目的。在这里，螺纹螺距的大小不同，可以使柔性调节精度不同。
装置中，定位销25的中心轴作为X、Y向的定位精度测量值，它的上部分和其它物体进行配合，保证精度，下部分和柔性块21配合，并且它用二个螺钉251固定在柔性块21的顶部，整个调节机构2靠紧定位块11、12，定位块11、12通过定位销和螺钉与底部零件4相连，这样，通过不断修磨定位块12左侧面和定位块11前侧面来保证定位销25的精度，当定位销25的中心轴位置确定之后，在底部零件4的底面用螺钉锁紧调节机构中的柔性块21底部的螺纹孔。
请参阅图2、6，当柔性块21的高度调节好之后，系统中有轻微的振动，会使调节螺栓25松动，为此增加了锁紧机构31、32。从图6中可以看出，锁紧机构31、32由同样结构的两部分组成，都包括四个固定螺钉311、二个锁定销312、锁定板313、楔形块314、锁紧螺钉315、弹簧垫圈316。首先，把二个锁定销312插入到柔性块21的侧面大孔中，然后卡入侧面小孔，因为锁定销312前端大，中间小，这样保证锁定销312不会拔出，在二个锁定销312底面各有两个螺纹孔，正好与锁定板313上的四个螺纹孔相配，固定螺钉311与锁定板313共同把锁定销312固定在柔性块21内。再把楔形块314插入到二个锁定销312间，用锁紧螺钉315和弹簧垫圈316把楔形块314的斜面压紧于锁定销312的斜面上，由于楔形块314与柔性块21的中间间隙小于楔形块314的长度，这样压紧柔性块21，使左螺母23、右螺母22夹紧调节螺栓24，起到锁紧功能。
综上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并非用来限定本发明的实施范围。即凡依本发明申请专利范围的内容所作的等效变化与修饰，都应为本发明的技术范畴。
权利要求
1.一种精密可调定位装置，其特征在于它包括二定位机构(11)、(12)、调节机构(2)和二锁紧机构(31)、(32)；该调节机构(2)由柔性块(21)、右螺母(22)、左螺母(23)和调节螺栓(24)构成，柔性块(21)的中间孔能够产生弹性变形，调节螺栓(24)分为两段，一段是左螺纹，一段是右螺纹，右螺母(22)、左螺母(23)中心孔分别加工成右螺纹与左螺纹并具有相同的螺距，调节螺栓(24)的前端直径较小部分为右螺纹，后端直径较大部分为左螺纹，调节螺栓(24)旋入左螺母(23)，并将左螺母(23)固定在柔性块(21)的一侧上，右螺母(22)从另一侧固定于柔性块(21)上并藉由螺纹与调节螺栓(24)螺合；二定位机构(11)、(12)是定位块，一定位销(25)固定在柔性块(21)的顶部，整个调节机构(2)靠紧二定位块(11)、(12)；二锁紧机构(31)、(32)具有相同结构，它们分别包括四个固定螺钉(311)、二个锁定销(312)、锁定板(313)、楔形块(314)、锁紧螺钉(315)、弹簧垫圈(316)，二个锁定销(312)插入到柔性块(21)的侧面孔中，通过固定螺钉(311)与锁定板(313)共同把锁定销(312)固定在柔性块(21)内，楔形块(314)插入到二个锁定销(312)间，用锁紧螺钉(315)和弹簧垫圈(316)把楔形块(314)的斜面压紧于锁定销(312)的斜面上，楔形块(314)与柔性块(21)的中间间隙小于楔形块(314)的长度。
2.根据权利要求1所述的精密可调定位装置，其特征在于该左、右螺母(23)、(22)分别通过通过螺钉(231)、(221)和弹簧垫片(232)、(222)固定在柔性块(21)上。
3.根据权利要求1所述的精密可调定位装置，其特征在于该定位块(11)、(12)通过定位销和螺钉与底部零件(4)相连。
4.根据权利要求1所述的的精密可调定位装置，其特征在于二锁定销(312)前端大，中间小，锁定销(312)先插入到柔性块(21)的侧面大孔中，然后卡入侧面小孔。
全文摘要
一种精密可调定位装置，包括二定位机构调节机构和二锁紧机构；调节机构由柔性块右螺母左螺母和调节螺栓构成，左右螺母用调节螺栓靠螺纹配合连接；一定位销固定在柔性块的顶部，整个调节机构靠紧二定位块；二锁紧机构分别包括四个固定螺钉、二个锁定销、锁定板、楔形块、锁紧螺钉、弹簧垫圈，二锁定销插入到柔性块的侧面孔中，通过固定螺钉与锁定板把锁定销固定在柔性块内，楔形块插入二个锁定销间，用锁紧螺钉和弹簧垫圈把楔形块的斜面压紧于锁定销的斜面上，楔形块与柔性块的中间间隙小于楔形块的长度。它解决现有凸轮结构的调节定位机构，精度低，易受摩擦温度影响的技术问题，用于具有高精度定位要求，并且有间距微调要求的物体间。
文档编号G03F7/20GK1670627SQ20051002401
公开日2005年9月21日 申请日期2005年2月23日 优先权日2005年2月23日
发明者邹恒杉, 袁志扬 申请人:上海微电子装备有限公司