使用聚硅氧烷模具的平版印刷技术的制作方法

专利名称：使用聚硅氧烷模具的平版印刷技术的制作方法
技术领域：
本发明涉及使用可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂采用聚硅氧烷模具的方法。该方法可用于各种平版印刷技术。
待解决的技术问题需要改进平版印刷技术以提供充足的脱模性并由聚硅氧烷模具上的高长径比特征提供多个和精确的构图特征。需要使用可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂由聚硅氧烷模具提供模塑高长径比特征的方法。
解决本发明问题的方式通过使用UV固化机理或者UV和热固化机理的结合，可在模具图案分辨率高的情况下固化可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂。可通过使用氟官能的(甲基)丙烯酸酯，改进脱模性。
发明概述本发明涉及一种方法，包括下述步骤A)用可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂填充具有构图表面的聚硅氧烷模具；B)固化所述可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂，形成构图特征；C)分离聚硅氧烷模具和构图特征；任选地D)蚀刻该构图特征；和任选地E)再使用该聚硅氧烷模具，重复步骤A)-D)。
详细说明所有用量、比值和百分数均以重量计，除非另有说明。以下是此处所使用的定义。
定义当引入本发明的元素时，冠词“一个、一、该(a，an，the)”是指存在一个或多个该元素。缩写具有下述含义“cP”是指厘泊，“PDMS”是指聚二甲基硅氧烷，和“UV”是指紫外光。“(甲基)丙烯酸酯”是指不含硅原子、但确实含有至少一个下述通式基团的反应物 其中R是氢原子或甲基。
可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂适合于在本发明中使用的可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂是可通过曝光于UV辐射、热或者其结合下固化的。取决于通过本发明方法形成的所需特征尺寸，可选择可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂的粘度。例如，当粘度大于200cP时，分辨率可以是大于或等于100微米。当粘度小于或等于200cP时，分辨率可以是最多30微米。当粘度小于10cP或者为1-10cP时，分辨率可以是100纳米(nm)-10微米，或者5-10微米。可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂包括(a)氟官能的(甲基)丙烯酸酯，或氟官能的(甲基)丙烯酸酯和(甲基)丙烯酸酯的结合物，和(b)光引发剂。或者，可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂包括(a)(甲基)丙烯酸酯、氟官能的(甲基)丙烯酸酯，或其结合，和(b)光引发剂。可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂可进一步包括选自(c)抗氧化剂，(d)荧光染料，(e)反应性稀释剂，(f)光稳定剂，(g)光敏剂，(h)润湿剂，(i)硅烷和(j)UV吸收剂中的一种或多种任选的组分。在不希望受到理论束缚的情况下，认为氟官能的(甲基)丙烯酸酯的自缔合程度不如极性分子，因此，当将氟官能的(甲基)丙烯酸酯加入到可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂中时，氟官能的(甲基)丙烯酸酯辅助保持低粘度的可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂。氟官能的(甲基)丙烯酸酯也可促进脱模。
组分(a)(甲基)丙烯酸酯和氟官能的(甲基)丙烯酸酯(甲基)丙烯酸酯可以是单官能的或多官能的或者其结合。组分(a)可包括单官能的(甲基)丙烯酸酯、双官能的(甲基)丙烯酸酯、三官能的(甲基)丙烯酸酯、四官能的(甲基)丙烯酸酯、五官能的(甲基)丙烯酸酯或其结合。或者，组分(a)可包括单官能的(甲基)丙烯酸酯、双官能的(甲基)丙烯酸酯、三官能的(甲基)丙烯酸酯或其结合。(甲基)丙烯酸酯不含氟原子。氟官能的(甲基)丙烯酸酯可以是单官能的或多官能的或者其结合。氟官能的(甲基)丙烯酸酯包括至少一个氟原子。氟官能的(甲基)丙烯酸酯可包括单官能的氟官能的(甲基)丙烯酸酯、双官能的氟官能的(甲基)丙烯酸酯、三官能的氟官能的(甲基)丙烯酸酯、四官能的氟官能的(甲基)丙烯酸酯、五官能的氟官能的(甲基)丙烯酸酯或其结合。组分(a)可包括至少一种氟官能的(甲基)丙烯酸酯。组分(a)可包括具有下述通式的一种或多种组分 其中Q是氢原子或者有机基团，每一R独立地为氢原子或者甲基，和下标n表示官能度。例如，当n为1时，Q为单官能的。当n为2时，Q为双官能的。当n为3时，Q为三官能的。当n为4时，Q为四官能的。当n为5时，Q为五官能的。当n为6时，Q为六官能的。当Q是氢原子或者不含氟原子的有机基团时，该组分是(甲基)丙烯酸酯。当Q是含有至少一个氟原子的有机基团时，该组分是氟官能的(甲基)丙烯酸酯。单官能的(甲基)丙烯酸酯可具有下述通式
其中R是氢原子或甲基，和R1是不含氟原子的单价有机基团。对于R1来说的单价有机基团可以是直链、支链或者环状。对于R1来说的单价有机基团的实例包括但不限于单价烃基。单价烃基包括但不限于以甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基和乙基己基为例子的烷基；以乙烯基和烯丙基为例子的链烯基；以环戊基、环己基和异冰片基为例子的环烃基。对于R1来说的单价有机基团的实例还包括但不限于单价烃氧基官能的有机基团，例如以甲氧基、乙氧基、丙氧基和丁氧基为例子的烷氧基；烷氧基烷基，例如甲氧基甲基、乙氧基甲基、甲氧基乙基和乙氧基乙基；烷氧基烷氧基烷基，例如甲氧基甲氧基甲基、乙氧基乙氧基甲基、甲氧基甲氧基乙基和乙氧基乙氧基乙基。单官能的(甲基)丙烯酸酯的实例包括但不限于丙烯酸2-(2-乙氧基乙氧基)乙酯、2-丙烯酰氧基乙基-2-羟乙基邻苯二甲酸酯、丙烯酸2-乙氧基乙氧基乙酯、丙烯酸2-乙氧基乙酯、甲基丙烯酸2-乙氧基乙酯、甲基丙烯酸2-乙基己酯、丙烯酸2-羟乙酯、甲基丙烯酸2-羟乙酯、丙烯酸2-羟丙酯、甲基丙烯酸2-羟丙酯、丙烯酸2-甲氧基乙酯、丙烯酸2-苯氧基乙酯、丙烯酸4-羟丁酯、丙烯酸、烷氧基化月桂基丙烯酸酯、烷氧基化苯酚丙烯酸酯、烷氧基化四氢糠基丙烯酸酯、甲基丙烯酸烯丙酯、丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸苄酯、丙烯酸β-羧乙酯、甲基丙烯酸丁二醇酯、丙烯酸己内酯、丙烯酸鲸蜡酯、环状三羟甲基丙烷甲醛丙烯酸酯、丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸二环戊二烯酯、甲基丙烯酸二乙基氨乙酯、丙烯酸二甲基氨乙酯、甲基丙烯酸二甲基氨乙酯、甲基丙烯酸二甲基氨乙酯甲基氯化物盐、E07乙基封端的甲基丙烯酸酯、丙烯酸环氧酯、甲基丙烯酸乙氧基乙酯、乙氧基化(10)羟乙基甲基丙烯酸酯、乙氧基化(2)羟乙基甲基丙烯酸酯、乙氧基化(5)羟乙基甲基丙烯酸酯、乙氧基化苯酚丙烯酸酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙基三甘醇酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸羟乙酯、丙烯酸异冰片酯、甲基丙烯酸异冰片酯、丙烯酸异丁酯、甲基丙烯酸异丁酯、丙烯酸异癸酯、丙烯酸异辛酯、丙烯酸月桂酯、甲基丙烯酸月桂酯、丙烯酸月桂基十三烷酯、甲基丙烯酸、甲基丙烯腈、甲氧基聚乙二醇(350)单丙烯酸酯E06、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸正丁酯、丙烯酸辛基癸酯、聚丙二醇单甲基丙烯酸酯、丙氧基化(2)烯丙基甲基丙烯酸酯、丙烯酸硬脂酯、甲基丙烯酸硬脂酯、甲基丙烯酸叔丁基氨基酯、丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸四氢糠酯、甲基丙烯酸四氢糠酯、丙烯酸四氢呋喃酯、甲基丙烯酸四氢呋喃酯、四氢呋喃甲基丙烯酸酯、丙烯酸十三烷酯、甲基丙烯酸十三烷酯、甲基丙烯酸三甲基环己酯、丙烯酸氨基甲酸酯、及其结合。双官能的(甲基)丙烯酸酯可具有下述通式 其中R独立地为氢原子或甲基，和R2是不含氟原子的二价有机基团。对于R2来说的二价有机基团的实例包括但不限于二价烃基，例如以亚甲基、亚乙基、亚丙基、亚丁基、亚戊基、亚己基、亚庚基和乙基亚己基为例子的亚烷基。对于R2来说的二价有机基团的实例进一步包括但不限于二价烃氧基官能的有机基团，例如通式-R′a-O-(R″b-O)c-Rd-的基团，其中下标a为至少1，b为大于或等于0，c为大于或等于0，d为至少1；和R′、R″和R各自独立地为二价烃基，例如以上所述的那些。双官能的(甲基)丙烯酸酯的实例包括但不限于1，12-十二烷二醇二甲基丙烯酸酯、1，3-丁二醇二甲基丙烯酸酯、1，3-丁二醇二丙烯酸酯、1，3-丁二醇二甲基丙烯酸酯、1，4-丁二醇二丙烯酸酯、1，4-丁二醇二甲基丙烯酸酯、1，6-己二醇二丙烯酸酯、1，6-己二醇二甲基丙烯酸酯、烷氧基化脂族二丙烯酸酯、脂族二甲基丙烯酸酯、双酚A二丙烯酸酯、双酚A乙氧基化物二甲基丙烯酸酯、丁二醇二甲基丙烯酸酯、二甘醇二丙烯酸酯、二甘醇二甲基丙烯酸酯、二丙二醇二丙烯酸酯、二丙二醇二甲基丙烯酸酯、乙氧基化双酚A二丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、聚乙二醇200二丙烯酸酯、聚乙二醇200二甲基丙烯酸酯、聚丙二醇400二甲基丙烯酸酯、丙氧基化(2)新戊二醇二丙烯酸酯、四甘醇二丙烯酸酯、四甘醇二甲基丙烯酸酯、三环癸烷二甲醇二丙烯酸酯、三甘醇二甲基丙烯酸酯、三丙二醇二丙烯酸酯、及其结合。三官能的(甲基)丙烯酸酯可具有下述通式 其中每一R独立地为氢原子或甲基，和R3是不含氟原子的三价有机基团。对于R3来说的三价有机基团的实例包括但不限于三价烃基，例如乙炔基、丙炔基和丁炔基。对于R3来说的三价有机基团的实例进一步包括但不限于烃氧基官能的基团，例如R1-C-[R′a-O-(R″b-O)c-Rd]3-，其中R1、R′、R″、R、a、b、c和d如上所述。三官能的(甲基)丙烯酸酯的实例包括但不限于乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、甘油基丙氧基三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、丙氧基化甘油三丙烯酸酯、丙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三丙烯酸酯、三甲基丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、三羟甲基丙烷乙氧基三丙烯酸酯、及其结合。可使用具有含大于3个(甲基)丙烯酸酯基的基团的其它多官能的(甲基)丙烯酸酯。这种多官能的(甲基)丙烯酸酯的实例包括但不限于四官能的丙烯酸酯、季戊四醇的丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、双三羟甲基丙烷四丙烯酸酯、乙氧基化季戊四醇四丙烯酸酯、己内酯改性的二季戊四醇六丙烯酸酯、己内酯改性的二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、及其结合。单官能的氟官能的(甲基)丙烯酸酯可具有下述通式 其中R是氢原子或者甲基，和R11是含有至少一个氟原子的单价有机基团。对于R11来说的合适的单价有机基团的实例包括但不限于氟化单价烃基，例如以十七氟癸基、七氟戊基、九氟己基、八氟戊基、五氟丁基、四氟丙基、三氟乙基和三氟丙基为例子的氟化烷基。或者，R11可以是八氟戊基或三氟乙基。合适的单官能的氟官能的(甲基)丙烯酸酯的实例包括但不限于丙烯酸十七氟癸酯、丙烯酸八氟戊酯、甲基丙烯酸八氟戊酯、丙烯酸四氟丙酯、丙烯酸三氟乙酯、甲基丙烯酸三氟乙酯、其结合。双官能的氟官能的(甲基)丙烯酸酯可具有下述通式 其中每一R独立地为氢原子或者甲基，和R21是含有至少一个氟原子的二价有机基团。对于R21来说的合适的二价有机基团的实例包括但不限于氟化二价烃基，例如以十七氟亚癸基、七氟亚戊基、九氟亚己基、八氟亚戊基、五氟亚丁基、四氟亚丙基、三氟亚乙基和三氟亚丙基为例子的氟化亚烷基。三官能的氟官能的(甲基)丙烯酸酯可具有下述通式
其中每一R独立地为氢原子或者甲基，和R31是含有至少一个氟原子的三价有机基团。对于R31来说的合适的三价有机基团的实例包括但不限于氟化三价烃基，例如以十七氟癸炔基、七氟戊炔基、九氟己炔基、八氟戊炔基、五氟丁炔基、四氟丙炔基、三氟乙炔基和三氟丙炔基为例子的氟化炔基。对于组分(a)来说的合适的氟官能的(甲基)丙烯酸酯和(甲基)丙烯酸酯是本领域已知的，且可商购于例如Osaka OrganicChemical Industry LTD；Rhm Monomers of Europe；SartomerCompany，Inc.，of Lancaster，Pennsylvania，U.S.A.；和The UCB Groupof Belgium。基于可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂的重量，组分(a)的用量范围可以是90-99.5％。基于可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂的重量，(甲基)丙烯酸酯的用量范围可以是0-75％。基于可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂的重量，氟官能的(甲基)丙烯酸酯的用量范围可以是0-99.5％，或者25-99.5％，或者20-90％。在可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂内，氟官能的(甲基)丙烯酸酯的用量可足以在通过模塑可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂制备的特征表面处提供至少0.5％的氟。
组分(b)光引发剂组分(b)是光引发剂。组分(b)的用量足以促进可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂固化并取决于所选光引发剂的类型和组分(a)内的成分。然而，基于可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂的重量，组分(b)的用量范围可以是0.5-10％。当使用自由基光引发剂时，基于可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂的总重量，其用量范围可以是0.01-5％，或者0.1-2％。组分(b)可包括以苯偶姻类(例如苯偶姻烷基醚)、二苯甲酮及其衍生物(例如4，4′-二甲基-氨基二苯甲酮)、苯乙酮(例如，二烷氧基苯乙酮、二氯苯乙酮和三氯苯乙酮)、苯偶酰(例如苯偶酰缩酮)、醌和邻酰基化-α-肟酮为例子的自由基光引发剂。自由基光引发剂可包括用下述结构式表示的化合物
其中R4是氢原子、烷氧基、取代的烷氧基或卤素原子；R5是羟基、烷氧基、取代的烷氧基或卤素原子；和R6是氢原子、烷基、取代的烷基、芳基、取代的芳基或卤素原子。或者，R4可以是甲基，R5可以是羟基，和R6可以是甲基或苯基。或者，R4是氢原子，R5是烷氧基，和R6是苯基。或者，R4和R5各自独立地为烷氧基和R6是氢原子。或者，R4和R5各自为氯原子和R6是氯原子或者氢原子。合适的光引发剂是本领域已知的，且可商购。光引发剂的实例包括但不限于α-羟基酮；乙醛酸苯酯；苯偶酰二甲基缩酮；α-氨基酮；单酰基膦；双酰基膦；苯偶姻醚；苯偶姻异丁基醚；苯偶姻异丙基醚；二苯甲酮；苯甲酰基苯甲酸；苯甲酰基苯甲酸甲酯；4-苯甲酰基-4′-甲基二苯硫醚；苄基甲基缩酮；2-正丁氧基乙基-4-二甲基氨基苯甲酸酯；2-氯噻吨酮；2，4-二乙基噻吨酮；1-羟基-环己基苯酮(获自Ciba Specialty Chemicals，Inc.of Tarrytown，NewYork，10591，美国的CibaIRGACURE184)；甲基苯甲酰基甲酸酯；苯基双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)氧化膦(同样获自Ciba SpecialtyChemicals，Inc.的CibaIRGACURE819)；双(2，6-二甲氧基苯甲酰基)-2，4，4-三甲基戊基氧化膦和1-羟基环己基苯基酮的结合物(同样获自Ciba Specialty Chemicals，Inc.的CibaIRGACURE1800)；2-羟基-2-甲基-1-苯基丙-1-酮(同样获自Ciba SpecialtyChemicals，Inc.的CibaDAROCUR1173)；2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉基苯基)-丁酮-1(同样获自Ciba SpecialtyChemicals，Inc.的CibaIRGACURE369)；2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉基丙-1-酮(同样获自Ciba Specialty Chemicals，Inc.的CibaIRGACURE907)；50％2，4，6-三甲基苯甲酰基-二苯基氧化膦和50％2-羟基-2-甲基-1-苯基-丙-1-酮的结合物(同样获自CibaSpecialty Chemicals，Inc.的CibaDAROCUR4265)；和1-羟基-环己基苯基酮(CHIVACURE184B，获自Chitec Chemical Company ofTaipei Hsien，235，台湾，R.O.C.)；及其结合。
任选的组分可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂可进一步包括任选的组分。这种任选的组分的实例包括但不限于(c)抗氧化剂，(d)荧光染料，(e)反应性稀释剂，(f)光稳定剂，(g)光敏剂，(h)润湿剂，(i)硅烷和(j)UV吸收剂。
组分(c)抗氧化剂组分(c)是可任选地加入到可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂中的抗氧化剂。基于可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂的重量，组分(c)的用量可以是最多1％。合适的抗氧化剂是本领域已知的，且可商购。合适的抗氧化剂包括酚类抗氧化剂和酚类抗氧化剂与稳定剂的结合物。酚类抗氧化剂包括全位阻酚和部分受阻酚。稳定剂包括有机基磷衍生物，例如三价有机基磷化合物、亚磷酸酯、膦酸酯及其结合物；硫代增效剂，例如有机硫化合物，其中包括硫化物、二烷基二硫代氨基甲酸酯、二硫代二丙酸酯及其结合物；和位阻胺，例如四甲基哌啶衍生物。Zweifel，Hans在“Effect of Stabilization ofPolypropylene During Processing and Its Influence on Long-TermBehavior under Thermal Stress”，Polymer Durability，Ciba-GeigyAG，Additives Division，CH-4002，Basel，瑞士，American ChemicalSociety，vol.25，pp.375-396，1996中公开了合适的抗氧化剂和稳定剂。合适的酚类抗氧化剂包括维生素E和同样获自CibaSpecialty Chemicals，Inc.的IRGANOX1010。IRGANOX 1010包括季戊四醇四(3-(3，5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸酯)。可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂可包括90-99.5％的组分(a)，0.5-10％的组分(b)和0-1％的组分(c)。组分(d)是可任选地加入到可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂中的荧光染料。荧光染料的实例包括但不限于若丹明6G、获自CibaSpecialty Chemicals，Inc.of Tarrytown，New York，10591，美国的2，2′-(2，5-噻吩二基)双-[(叔)丁基苯并唑]UVITEX OB。基于可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂的总量，所使用的组分(d)的用量可以是0-1％。组分(e)是不含(甲基)丙烯酸酯的反应性稀释剂。组分(e)的选择受许多因素支配，例如在可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂内各组分的溶解度和混溶性、使用可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂的方法、以及安全和环境法规。合适的反应性稀释剂的实例包括但不限于马来酸酐、乙酸乙烯酯、乙烯酯、乙烯醚、氟代烷基乙烯醚、乙烯基吡咯烷酮(例如N-乙烯基吡咯烷酮)、苯乙烯及其结合。合适的乙烯醚的实例包括但不限于丁二醇二乙烯醚、环己烷二甲醇二乙烯醚、环己烷二甲醇单乙烯醚、环己基乙烯醚、二甘醇二乙烯醚、二甘醇单乙烯醚、十二烷基乙烯醚、乙基乙烯醚、羟丁基乙烯醚、异丁基乙烯醚、异丙基乙烯醚、正丁基乙烯醚、正丙基乙烯醚、十八烷基乙烯醚、三甘醇二乙烯醚、及其结合。乙烯醚是本领域已知的且可商购于德国BASF AG。基于可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂的总量，所使用的组分(e)的用量可以是0-1％。
组分(f)组分(f)是可任选地加入到可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂中的光稳定剂。合适的光稳定剂的实例包括但不限于癸二酸、双(2，2，6，6-四甲基-1-(辛氧基)-4-哌啶基)酯、与1，1-二甲基乙基氢过氧化物和辛烷的反应产物(它可以CibaTINUVIN123形式商购于Ciba Specialty Chemicals，Inc.of Tarrytown，New York，10591，美国)。基于可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂的总量，所使用的组分(f)的用量可以是0-1％。
组分(g)可另外或者替代组分(b)将组分(g)光敏剂任选地加入到可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂中。组分(g)改变固化可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂所要求的辐射线波长。本领域的技术人员能基于组分(a)所选的特定的(甲基)丙烯酸酯和氟官能的(甲基)丙烯酸酯、在没有过多的实验情况下选择合适的光敏剂。组分(g)可包括酮、香豆素染料、呫吨染料、吖啶染料、噻唑染料、噻嗪染料、嗪染料、吖嗪染料、氨基酮染料、卟吩、芳族多环烃、对取代的氨基苯乙烯基酮化合物、氨基三芳基甲烷、部花青、方酸盐(squarylium)染料、吡啶鎓染料或其结合。组分(g)的实例包括但不限于玫瑰红、樟脑醌、乙二醛、联乙酰、3，3，6，6-四甲基环己二酮、3，3，7，7-四甲基-1，2-环庚二酮、3，3，8，8-四甲基-1，2-环辛二酮、3，3，18，18-四甲基-1，2-环十八烷二酮、二叔戊酰、苯偶酰、糠偶酰、羟基苯偶酰、2，3-丁二酮、2，3-戊二酮、2，3-己二酮、3，4-己二酮、2，3-庚二酮、3，4-庚二酮、2，3-辛二酮、4，5-辛二酮、1，2-环己二酮、2-异丙基噻吨酮、二苯甲酮或其结合物。或者，组分(g)可包括2-异丙基噻吨酮或者二苯甲酮或其结合物。基于可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂的总量，所使用的组分(g)的用量可以是0-2％，或者0.01-2％，或者0.05-0.5％。
组分(h)组分(h)是可任选地加入到可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂中的润湿剂。组分(h)的实例包括但不限于硅氧烷二丙烯酸酯(它可以EBECRYL350形式商购于比利时UCB Chemicals)；硅氧烷六丙烯酸酯(它可以EBECRYL1360形式同样商购于UCB Chemicals)；聚醚改性的聚二甲基硅氧烷(它可以BYK-307、BYK-UV 3510和BYK-333形式商购于德国BYK-Chemie GmbH)；聚醚改性的丙烯酰基官能的聚二甲基硅氧烷(它可以BYK-UV 3500形式同样商购于BYK-ChemieGmbH)；和聚丙烯酸共聚物(它可以BYK-381形式同样商购于BYK-Chemie GmbH)；可交联的硅氧烷丙烯酸酯(它可以Rad2100、Rad2500、Rad2600和Rad2700商购于德国的Tego Chemie ServiceGmbH)；和可交联的硅氧烷聚醚丙烯酸酯(它可以Rad2200N、Rad2250和Rad2300形式同样商购于Tego Chemie Service GmbH)。基于可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂的总量，所使用的组分(h)的用量可以是0-1％。
组分(i)组分(i)是可任选地加入到可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂中的硅烷。组分(i)的实例包括但不限于烷氧基硅烷，例如环氧丙氧丙基三乙氧基硅烷、环氧丙氧丙基三甲氧基硅烷、甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷、四甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷及其结合。基于可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂的总量，所使用的组分(i)的用量可以是0-2％。
组分(j)组分(j)是可任选地加入到可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂中以延长可见寿命的UV吸收剂。组分(j)的实例包括但不限于1-甲氧基-2-丙醇和1，3-苯二醇、4-[4，6-双(2，4-二甲基苯基)-1，3，5-三嗪-2-基]-与[(十二烷氧基)甲基]环氧乙烷和环氧乙烷单[C10-16烷氧基]甲基衍生物的反应产物(它以TINUVIN400形式商购于CibaSpecialty Chemicals，Inc.of Tarrytown，New York 10591，U.S.A.)。基于可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂的总量，所使用的组分(j)的用量可以是0-1％。
模塑方法本发明涉及模塑方法。可在各种平版印刷技术，例如软平版印刷技术中使用本发明的方法。在软平版印刷中，可通过复制模塑制备模具，其中对着在其表面上具有构图浮雕结构的母模铸塑可固化的聚硅氧烷组合物。适合于这一目的可固化的聚硅氧烷组合物的实例是SYLGARD184，它可商购于Dow Corning Corporation ofMidland，Michigan，U.S.A.。然后固化可固化的硅氧烷组合物，并从母模中取出。所得产品是具有构图表面的聚硅氧烷模具。本发明的方法包括A)用以上所述的可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂填充具有构图表面的聚硅氧烷模具；
B)使该可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂固化，形成构图特征；C)分离聚硅氧烷模具和构图特征；任选地D)蚀刻该构图特征；和任选地E)再使用聚硅氧烷模具，重复步骤A)-D)。
该方法可任选地进一步包括I)对着母模铸塑可固化的聚硅氧烷组合物，II)使该可固化的聚硅氧烷组合物固化，形成聚硅氧烷模具，和III)在步骤A)之前，从母模中取出聚硅氧烷模具。可通过各种方法进行步骤A)。例如，可通过使聚硅氧烷模具的构图表面与基底接触，以便在构图表面内的构图结构形成空的通道的网络，来进行步骤A)。当在网络的开放端放置可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂时，毛细作用使得用可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂填充通道。或者，可在构图表面与基底接触之前，将可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂施加到构图表面上。或者，可在构图表面与基底接触之前，将可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂施加到基底表面上。或者，可在聚硅氧烷模具内结合并填充可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂中的其余组分之前，用一些或所有氟官能的(甲基)丙烯酸酯喷洒模具。或者，可在聚硅氧烷模具内填充可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂之前，用氟官能的表面活性剂喷洒模具。可通过将可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂曝光于UV辐射线下，通过加热可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂，或者其结合，来进行步骤B)。曝光剂量取决于所选的特定的可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂和模具的结构。然而，曝光量可以是100mJ-4000mJ。组合物的加热温度还取决于所选的特定的(甲基)丙烯酸酯配制剂，然而，温度可以是50℃-200℃，或者100℃-120℃。可通过任何方便的方式，通过例如人工剥离构图特征与聚硅氧烷模具，或者使用例如来自SUSS MicroTec，Inc.ofIndianapolis，Indiana 46204，U.S.A.的微型模塑工具自动分离构图特征与聚硅氧烷模具，来进行步骤C)。可通过本领域已知的技术，例如反应性离子蚀刻或者湿法蚀刻，进行步骤D)。在一些平版印刷技术中，例如压印模塑中，固体可能在步骤B)期间在基底上的非所需的区域内形成。可使用蚀刻除去这一多余的固体，或者除去在多余固体下方的层，或者这二者。可在各种平版印刷技术中使用本发明。这种平版印刷技术的实例包括但不限于压印模塑，分步和溢料压印模塑、溶剂辅助的微型模塑(SAMIM)、微型传递模塑和在毛细管内的微型模塑(MIMIC)。本发明可用于压印模塑。在这一平版印刷技术中，将可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂施加到基底表面上。使聚硅氧烷模具的构图表面与基底表面接触，于是在聚硅氧烷模具内分配可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂。然后将可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂固化成固体，并去除聚硅氧烷模具。可使用压印模塑，制备例如光电检测器和量子线、量子点和环形变换器。也可在SAMIM中使用本发明。在这一平版印刷技术中，将可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂施加到基底表面上。用溶剂润湿聚硅氧烷模具的构图表面并使之与可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂的表面接触。溶剂的选择取决于各种因素，其中包括特定的聚硅氧烷模具和所选的可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂；溶剂应当快速地溶解或者溶胀可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂的表面，但不溶胀聚硅氧烷模具。然后将可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂固化成固体，并去除聚硅氧烷模具。可在微型传递模塑中使用本发明，其中将以上所述的可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂施加到聚硅氧烷模具的构图表面上。若存在任何多余的可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂，则可例如通过用扁平块材擦掉或者通过用惰性气体物流吹扫，从而除去它。然后使所得填充的模具与基底接触。然后通过加热，暴露于UV辐射线下，或者其结合，从而使可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂固化。当可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂已固化成固体时，可剥离掉模具，在基底上留下构图特征。可使用微型传递模塑，制造例如光波导管、耦合器和干涉仪。本发明也可用于MIMIC。在这一平版印刷技术中，使聚硅氧烷模具的构图表面与基底表面接触。在聚硅氧烷模具内的构图结构形成空的通道的网络。当在网络的开放端放置以上所述的可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂时，毛细作用使得用可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂填充通道。然后，使可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂固化成固体，并除去聚硅氧烷模具。在选自压印模塑、分步和溢料压印模塑、溶剂辅助的微型模塑、微型传递模塑和在毛细管内的微型模塑中的平版印刷技术中，可使用本发明的方法制备抗蚀剂层或者永久层。可在制造各种器件中使用本发明，其中所述器件包括但不限于发光二极管(其中包括但不限于有机发光二极管)；晶体管，例如有机场效应晶体管和薄膜晶体管；显示器件，例如等离子体显示器和液晶显示器；光电检测器；光波导管；耦合器和干涉仪。
实施例对于本领域的技术人员来说，这些实施例拟阐述本发明，不应当解释为限制权利要求书中列出的本发明的范围。
参考例1-样品制备与评价在Hauschild混合器内，通过添加以下实施例中定义用量的组分，从而混合各配制剂。采用获自International Research Glassware，Kenilworth，New Jersey，07033 U.S.A.的Cannon-Fenske Routine(Ubbelohde)粘度计管，测量粘度。粘度测量的方法根据ASTM D 445和ISO 3104。该技术规格符合ASTM D446和ISO 3105。在Fusion固化处理器(300或600瓦特的灯)上对厚膜进行固化研究。在Fusion固化处理器中，将配制剂涂层施加到下述基底之一上载玻片、硅片、玻璃片或塑料(例如丙烯酸)基底。人工或者通过使用辊涂机，施加涂层。以固定的线速度传输基底通过Fusion固化处理器，并调节皮带速度控制的固化能。使用IL 1350辐射仪/光度计(获自International Lights)，监控在样品上的紫外光通量。通过立即观察紫外光固化之后的表面粘性(触摸起来干燥)，来测量固化程度。通过从基底上除去固化膜并评价在底部处的粘性，来评价完全固化。对于薄膜来说，根据下述工序进行UV固化研究。可同时在空气中(在PDMS模具下)和在氩气氛围中(或者在PDMS模具下或者没有PDMS模具)，来固化该配制剂，以确保不存在任何的氧气抑制。
惰性氛围首先在Ar手套箱内输送配制剂和基底。通过旋涂，在基底上分散配制剂。使用500-2000rpm的旋转速度来铺涂配制剂。将所得膜转移到容器内并在真空下密封，以供在膜的顶部上采用PDMS模具或者不采用PDMS模具的情况下与UV固化工具接触。UV曝光工具具有N2刀边以辅助吹扫O2。用覆盖玻璃覆盖膜表面，以防止颗粒污染。UV曝光设定在约500mJ/cm2下。在UV固化之后，将膜送回到氩气手套箱内以在120℃下进一步热固化2分钟，以增加交联密度。在固化之后，从固化的丙烯酸酯膜表面上脱除PDMS模具。使用肉眼检测、光学显微术和电子显微术，观察到图案从PDMS模具转移到固化的丙烯酸酯膜表面上。
空气氛围通过旋涂或者刮刀刮涂技术，在基底上分配配制剂。在旋涂中，使用500-2000rpm的旋转速度，将配制剂铺涂成膜。在旋涂之后，在膜的顶部上放置SYLGARD184 PDMS模具。将与模具在一起的膜送到UV固化工具中以供固化。在UV固化之后，剥离固化膜与模具。完成图案从模具表面转移到膜表面上。固化在PDMS模具下方的膜，且未在PDMS模具下方的膜没有固化。使用肉眼检测、光学显微术和电子显微术，观察到图案从PDMS模具转移到固化膜表面上。
对比例1通过混合下述组分制备可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂。 如参考例1所述在UV曝光下固化配制剂。然而，固化膜粘附到SYLGARD184 PDMS模具上。没有实现图案的转移。
对比例2通过混合下述组分制备可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂。 如参考例1所述在UV曝光下固化配制剂。在UV曝光下固化该配制剂。然而，固化膜粘附到SYLGARD184 PDMS模具上。没有实现图案的转移。
实施例1通过混合下述组分制备可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂。
实施例2通过混合下述组分制备可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂。
实施例3通过混合下述组分制备可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂。
实施例4通过混合下述组分制备可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂。
实施例5通过混合下述组分制备可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂。
实施例6通过混合下述组分制备可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂。
实施例7通过混合下述组分制备可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂。
实施例8通过混合下述组分制备可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂。
实施例9-12通过混合表中所示用量的各组分制备可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂。
实施例13和14混合表1用量的1，4-丁二醇二丙烯酸酯、二丙二醇二丙烯酸酯、丙烯酸异冰片酯、丙烯酸乙氧基乙氧基乙酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、四乙氧基硅烷和甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷30分钟。添加表中用量的丙烯酸，并混合所得组合物另外30分钟。添加表中用量的水，并混合所得组合物60分钟。在70℃下减压汽提所得组合物，生产含有就地形成的树脂的组合物。 通过混合下表中所示用量的各组分制备可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂。
实施例15和16混合表中用量的季戊四醇四丙烯酸酯和丙烯酸30分钟。添加表中用量的水，并混合所得组合物60分钟。在70℃下减压汽提所得组合物，生产含有就地形成的树脂的组合物。 通过混合下表中所示用量的各组分制备可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂。
工业实用性在这些实施例中使用的可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂证明具有图案分辨率和脱模性能。在不希望束缚于理论的情况下，认为氟官能的(甲基)丙烯酸酯存在最小化单体从可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂转移到模具上，且通过降低模具的结垢和模具的溶胀，这将增加模具寿命。这一工艺通过增加生产量、减少加工时间或者这二者，从而可提供照相平版印刷方法的较低成本的替代方案来提供构图涂层或者抗蚀剂。
权利要求
1.一种方法，包括A)用可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂填充具有构图表面的聚硅氧烷模具，其中可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂包含(a)氟官能的(甲基)丙烯酸酯，或氟官能的(甲基)丙烯酸酯和(甲基)丙烯酸酯的结合物，(b)光引发剂，任选地(c)抗氧化剂，任选地(d)荧光染料，任选地(e)反应性稀释剂，任选地(f)光稳定剂，任选地(g)光敏剂，任选地(h)润湿剂，和任选地(j)UV辐射吸收剂；B)固化该可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂，形成构图特征；C)分离聚硅氧烷模具和构图特征；任选地D)蚀刻该构图特征；和任选地E)再使用该聚硅氧烷模具，重复步骤A)-D)。
2.权利要求1的方法，其中氟官能的(甲基)丙烯酸酯包括丙烯酸十七氟癸酯、丙烯酸八氟戊酯、甲基丙烯酸八氟戊酯、丙烯酸四氟丙酯、丙烯酸三氟乙酯、甲基丙烯酸三氟乙酯或其结合。
3.权利要求1或2的方法，其中存在(甲基)丙烯酸酯，且选自丙烯酸2-(2-乙氧基乙氧基)乙酯、2-丙烯酰氧基乙基-2-羟乙基邻苯二甲酸酯、丙烯酸2-乙氧基乙氧基乙酯、丙烯酸2-乙氧基乙酯、甲基丙烯酸2-乙氧基乙酯、甲基丙烯酸2-乙基己酯、丙烯酸2-羟乙酯、甲基丙烯酸2-羟乙酯、丙烯酸2-羟丙酯、甲基丙烯酸2-羟丙酯、丙烯酸2-甲氧基乙酯、丙烯酸2-苯氧基乙酯、丙烯酸4-羟丁酯、丙烯酸、烷氧基化月桂基丙烯酸酯、烷氧基化苯酚丙烯酸酯、烷氧基化四氢糠基丙烯酸酯、甲基丙烯酸烯丙酯、丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸苄酯、丙烯酸β-羧乙酯、甲基丙烯酸丁二醇酯、丙烯酸己内酯、丙烯酸鲸蜡酯、环状三羟甲基丙烷甲醛丙烯酸酯、丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸二环戊二烯酯、甲基丙烯酸二乙基氨乙酯、丙烯酸二甲基氨乙酯、甲基丙烯酸二甲基氨乙酯、甲基丙烯酸二甲基氨乙酯甲基氯化物盐、E07乙基封端的甲基丙烯酸酯、丙烯酸环氧酯、甲基丙烯酸乙氧基乙酯、乙氧基化(10)羟乙基甲基丙烯酸酯、乙氧基化(2)羟乙基甲基丙烯酸酯、乙氧基化(5)羟乙基甲基丙烯酸酯、乙氧基化苯酚丙烯酸酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙基三甘醇酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸羟基乙酯、丙烯酸异冰片酯、甲基丙烯酸异冰片酯、丙烯酸异丁酯、甲基丙烯酸异丁酯、丙烯酸异癸酯、丙烯酸异辛酯、丙烯酸月桂酯、甲基丙烯酸月桂酯、丙烯酸月桂基十三烷酯、甲基丙烯酸、甲基丙烯腈、甲氧基聚乙二醇(350)单丙烯酸酯E06、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸正丁酯、丙烯酸辛基癸酯、聚丙二醇单甲基丙烯酸酯、丙氧基化(2)烯丙基甲基丙烯酸酯、丙烯酸硬脂酯、甲基丙烯酸硬脂酯、甲基丙烯酸叔丁基氨基酯、丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸四氢糠酯、甲基丙烯酸四氢糠酯、丙烯酸四氢呋喃酯、甲基丙烯酸四氢呋喃酯、四氢呋喃甲基丙烯酸酯、丙烯酸十三烷酯、甲基丙烯酸十三烷酯、甲基丙烯酸三甲基环己酯、丙烯酸氨基甲酸酯、1，12-十二烷二醇二甲基丙烯酸酯、1，3-丁二醇二甲基丙烯酸酯、1，3-丁二醇二丙烯酸酯、1，3-丁二醇二甲基丙烯酸酯、1，4-丁二醇二丙烯酸酯、1，4-丁二醇二甲基丙烯酸酯、1，6-己二醇二丙烯酸酯、1，6-己二醇二甲基丙烯酸酯、烷氧基化脂族二丙烯酸酯、脂族二甲基丙烯酸酯、双酚A二丙烯酸酯、双酚A乙氧基化物二甲基丙烯酸酯、丁二醇二甲基丙烯酸酯、二甘醇二丙烯酸酯、二甘醇二甲基丙烯酸酯、二丙二醇二丙烯酸酯、二丙二醇二甲基丙烯酸酯、乙氧基化双酚A二丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、聚乙二醇200二丙烯酸酯、聚乙二醇200二甲基丙烯酸酯、聚丙二醇400二甲基丙烯酸酯、丙氧基化(2)新戊二醇二丙烯酸酯、四甘醇二丙烯酸酯、四甘醇二甲基丙烯酸酯、三环癸烷二甲醇二丙烯酸酯、三甘醇二甲基丙烯酸酯、三丙二醇二丙烯酸酯、乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、甘油基丙氧基三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、丙氧基化甘油三丙烯酸酯、丙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三丙烯酸酯、三甲基丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、三羟甲基丙烷乙氧基三丙烯酸酯、四官能的丙烯酸酯、季戊四醇的丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、双三羟甲基丙烷四丙烯酸酯、乙氧基化季戊四醇四丙烯酸酯、己内酯改性的二季戊四醇六丙烯酸酯、己内酯改性的二季戊四醇六甲基丙烯酸酯及其结合。
4.前述任何一项权利要求的方法，其中组分(b)包括α-羟基酮、乙醛酸苯酯、苯偶酰二甲基缩酮、α-氨基酮、单酰基膦、双酰基膦、苯偶姻醚、苯偶姻异丁基醚、苯偶姻异丙基醚、二苯甲酮、苯甲酰基苯甲酸、苯甲酰基苯甲酸甲酯、4-苯甲酰基-4′甲基二苯硫醚、苄基甲基缩酮、2-正丁氧基乙基-4-二甲基氨基苯甲酸酯、2-氯噻吨酮、2，4-二乙基噻吨酮、1-羟基-环己基苯酮、甲基苯甲酰基甲酸酯、苯基双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)氧化膦、双(2，6-二甲氧基苯甲酰基)-2，4，4-三甲基戊基氧化膦和1-羟基环己基苯基酮的结合物、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙-1-酮、1-羟基环己基苯基酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉基苯基)-丁酮-1、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉基丙-1-酮、50％2，4，6-三甲基苯甲酰基-二苯基氧化膦和50％2-羟基-2-甲基-1-苯基-丙-1-酮的结合物、或其结合。
5.前述任何一项权利要求的方法，其中存在至少一种任选的组分，和组分(c)包括酚类抗氧化剂，或酚类抗氧化剂与稳定剂的结合物；组分(d)包括若丹明6G、2，2′-(2，5-噻吩二基)双[(叔)丁基苯并唑]或其结合物；组分(e)包括马来酸酐、乙酸乙烯酯、乙烯酯、乙烯醚、氟代烷基乙烯醚、乙烯基吡咯烷酮、苯乙烯或其结合物；组分(f)包括癸二酸、双(2，2，6，6-四甲基-1-(辛氧基)-4-哌啶基)酯、与1，1-二甲基乙基氢过氧化物和辛烷的反应产物、或其结合物；组分(g)包括酮、香豆素染料、呫吨染料、吖啶染料、噻唑染料、噻嗪染料、嗪染料、吖嗪染料、氨基酮染料、卟吩、芳族多环烃、对取代的氨基苯乙烯基酮化合物、氨基三芳基甲烷、部花青、方酸盐染料、吡啶鎓染料、或其结合物；组分(h)包括硅氧烷二丙烯酸酯、硅氧烷六丙烯酸酯、聚醚改性的聚二甲基硅氧烷、聚醚改性的丙烯酰基官能的聚二甲基硅氧烷、聚丙烯酸共聚物、可交联的硅氧烷丙烯酸酯、可交联的硅氧烷聚醚丙烯酸酯、或其结合物；组分(i)包括环氧丙氧丙基三乙氧基硅烷、环氧丙氧丙基三甲氧基硅烷、甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷、四甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、或其结合物；组分(j)包括1-甲氧基-2-丙醇和1，3-苯二醇、4-[4，6-双(2，4-二甲基苯基)-1，3，5-三嗪-2-基]-与[(十二烷氧基)甲基]环氧乙烷和环氧乙烷单[C10-16烷氧基]甲基衍生物的反应产物。
6.前述任何一项权利要求的方法，该方法进一步包括I)对着母模铸塑可固化的聚硅氧烷组合物，II)使该可固化的聚硅氧烷组合物固化，形成聚硅氧烷模具，和III)在步骤A)之前，从母模中取出聚硅氧烷模具。
7.前述任何一项权利要求的方法，其中在选自压印模塑、分步和溢料压印模塑、溶剂辅助的微型模塑、微型传递模塑和在毛细管内的微型模塑的平版印刷技术中使用该方法。
8.通过前述任何一项权利要求的方法制备的构图特征。
9.权利要求1-7任何一项的方法用于在选自压印模塑、分步和溢料压印模塑、溶剂辅助的微型模塑、微型传递模塑和在毛细管内的微型模塑的平版印刷技术中制备抗蚀剂层或者永久层。
10.权利要求1-7任何一项的方法用于制备选自显示器件、光电检测器、晶体管、光波导管、耦合器、干涉仪和发光二极管的器件。
全文摘要
一种方法，包括下述步骤A)用可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂填充具有构图表面的聚硅氧烷模具；B)固化该可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂，形成构图特征；C)分离聚硅氧烷模具和构图特征；任选地D)蚀刻该构图特征；和任选地E)再使用该聚硅氧烷模具，重复步骤A)－D)。可固化的(甲基)丙烯酸酯配制剂含有氟官能的(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸酯和光引发剂。
文档编号G03F7/027GK101019074SQ200580030625
公开日2007年8月15日 申请日期2005年8月31日 优先权日2004年9月13日
发明者M·巴哈杜尔, W·陈, J·阿尔鲍, B·哈克尼斯, J·汤奇 申请人:陶氏康宁公司